專利名稱：爐體冷卻結(jié)構(gòu)及使用該爐體冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
爐體冷卻結(jié)構(gòu)及使用該爐體冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長爐技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及晶體生長爐冷卻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種爐體冷卻結(jié)構(gòu)，同時(shí)還涉及使用該爐體冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長爐。
背景技術(shù)：
[0002]目前市場上提供的晶體生長爐的爐體冷卻結(jié)構(gòu)為內(nèi)嵌導(dǎo)流板結(jié)構(gòu)，也就是在晶體生長爐的內(nèi)外爐壁之間的夾層中在上下方向上間隔平行設(shè)置有若干層導(dǎo)流板，相鄰兩層導(dǎo)流板上開設(shè)有連通不同層流道的開口，使得從爐壁底部流入內(nèi)、外爐壁之間夾層中的冷卻用水經(jīng)由各個(gè)流道從爐壁頂部開設(shè)的出水口溢出，但是由于在冷卻用水從下層導(dǎo)流板上的開口流入流道后，會(huì)分流成兩股流向相反的水流，并在上層導(dǎo)流板開口設(shè)置處匯合后從上層導(dǎo)流板上的開口流出，也就是相鄰兩層導(dǎo)流板上的開口均具有兩條可相互連通的流道， 使得流道不能給冷卻用水提供導(dǎo)向，只能通過冷卻用水在流道內(nèi)的堆積才能從上層導(dǎo)流板上的開口流出，因而在冷卻用水注滿整個(gè)內(nèi)、外爐壁之間的夾層后，流至爐壁中部位置處的冷卻用水流的流速會(huì)顯著減小，而晶體生長爐在爐壁的中心位置處溫度較高，因而在爐壁的中部位置處的冷卻用水中常常會(huì)出現(xiàn)大量氣泡，且這些氣泡只能緩慢的在水流的推動(dòng)下從出水口排出，甚至在多個(gè)氣泡合并后會(huì)卡滯在上下相鄰兩個(gè)導(dǎo)流板之間，從而使得冷卻用水中出現(xiàn)憋氣的情況，使得爐壁中部位置處的散熱不均勻，進(jìn)而導(dǎo)致晶體生長爐的生產(chǎn)效率降低并且嚴(yán)重時(shí)會(huì)影響晶體質(zhì)量，使用壽命縮短。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種爐壁中部散熱均勻的爐體冷卻結(jié)構(gòu)，同時(shí)還提供了一種使用該爐體冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長爐，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中爐壁中部容易憋氣引起的局部換熱不均及提高晶體質(zhì)量的問題。[0004]為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是[0005]本實(shí)用新型的爐體冷卻結(jié)構(gòu)的技術(shù)方案如下[0006]爐體冷卻結(jié)構(gòu)，包括夾設(shè)在內(nèi)外爐壁之間的、在上下方向呈層狀間隔平行分布的環(huán)形的導(dǎo)流板，所述的導(dǎo)流板將內(nèi)外爐壁之間的空間自上而下分隔為呈層狀分布的流道， 在導(dǎo)流板上開設(shè)有用于連通相鄰層流道的開口，相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將其兩者之間的流道阻斷為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開口分別處于該兩層導(dǎo)流板之間的隔板的相對兩側(cè)、且靠近隔板的位置處。[0007]相鄰兩層流道內(nèi)的隔板一體連接。[0008]本實(shí)用新型的晶體生長爐的技術(shù)方案如下[0009]晶體生長爐，包括內(nèi)、外爐壁以及內(nèi)、外爐壁之間設(shè)置的爐體冷卻結(jié)構(gòu)，所述爐體冷卻結(jié)構(gòu)包括夾設(shè)在內(nèi)外爐壁之間的、在上下方向呈層狀間隔平行分布的環(huán)形的導(dǎo)流板， 所述的導(dǎo)流板將內(nèi)外爐壁之間的空間自上而下分隔為呈層狀分布的流道，在導(dǎo)流板上開設(shè)有用于連通相鄰層流道的開口，相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將其兩者之間的流道阻斷為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開口分別處于該兩層導(dǎo)流板之間的隔板的相對兩側(cè)、 且靠近隔板的位置處。[0010]相鄰兩層流道內(nèi)的隔板一體連接。[0011]本實(shí)用新型在相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將流道分割為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開口分別處于導(dǎo)流板的相對兩側(cè)，且靠近隔板的位置處，從而在使用過程中， 導(dǎo)流板圍成的流道為連通進(jìn)、出水口的單向流道，使得從進(jìn)水口流入流道內(nèi)的冷卻用水不需要分流，而是在流道的導(dǎo)流作用下從溢流口流出，從而使得在爐壁中部位置處產(chǎn)生的氣泡能夠及時(shí)隨冷卻用水從出水口流出，不會(huì)出現(xiàn)在爐壁中部位置處出現(xiàn)憋氣的問題，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中爐壁中部容易憋氣的問題。


[0012]圖I是本實(shí)用新型的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0013]本實(shí)用新型的晶體生長爐的實(shí)施例如圖I所示，該晶體生長爐包括內(nèi)、外爐壁I、 2以及處于內(nèi)、外爐壁1、2之間的爐體冷卻結(jié)構(gòu)。所述爐體冷卻結(jié)構(gòu)包括夾設(shè)在內(nèi)、外爐壁 I、2之間的導(dǎo)流板3、外爐壁2的底部開設(shè)的進(jìn)水口 4、外爐壁2的頂部開設(shè)的出水口 5。該導(dǎo)流板3為圍設(shè)在內(nèi)爐壁外周上的環(huán)形導(dǎo)流板3，導(dǎo)流板3在上下方向呈層狀間隔平行分布， 相鄰兩層導(dǎo)流板3之間具有用于供冷卻用水流過的流道，也就是導(dǎo)流板將內(nèi)外爐壁之間的空間自上而下分隔為呈層狀分布的流道，流道中設(shè)置有將流道隔斷為C型流道的隔板3-1， 在相鄰兩層導(dǎo)流板3上開設(shè)有處于隔板3-1的相對兩側(cè)的開口(即用于與爐壁底部開設(shè)的進(jìn)水口 4或下層流道連通的入水口 6以及用于與出水口 5或上層流道連通的溢流口 7)，且相鄰兩層導(dǎo)流板3上的開口均處于靠近隔板3-1的位置處。進(jìn)水口 4處于最底層一個(gè)流道的開始端，出水口 5處于最頂層一個(gè)流道的末端。[0014]本實(shí)用新型在使用時(shí)，每個(gè)流道均為從入水口 6通向溢流口 7的單向流道，使得從進(jìn)水口 4流入流道內(nèi)的冷卻用水不需要分流，而是在流道的導(dǎo)流作用下從溢流口 7流出，從而使得在爐壁中部位置處產(chǎn)生的氣泡能夠及時(shí)隨冷卻用水從出水口 5流出，不會(huì)出現(xiàn)在爐壁中部位置處出現(xiàn)憋氣的問題，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中爐壁中部容易憋氣的問題。[0015]在上述實(shí)施例中，相鄰兩層流道內(nèi)的隔板一體連接，從而使得所有隔板一體連接成一個(gè)整體，在其他實(shí)施例中，處于各個(gè)流道中的隔板在上下方向也可以相互錯(cuò)開。[0016]本實(shí)用新型的爐體冷卻結(jié)構(gòu)的實(shí)施例如圖I所示，在上述實(shí)施例中，關(guān)于爐體冷卻結(jié)構(gòu)已經(jīng)詳細(xì)說明，因此在本實(shí)施例中不再贅述。權(quán)利要求1.爐體冷卻結(jié)構(gòu)，包括夾設(shè)在內(nèi)外爐壁之間的、在上下方向呈層狀間隔平行分布的環(huán)形的導(dǎo)流板，所述的導(dǎo)流板將內(nèi)外爐壁之間的空間自上而下分隔為呈層狀分布的流道，在導(dǎo)流板上開設(shè)有用于連通相鄰層流道的開ロ，其特征在于，相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將其兩者之間的流道阻斷為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開ロ分別處于該兩層導(dǎo)流板之間的隔板的相對兩側(cè)、且靠近隔板的位置處。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的爐體冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰兩層流道內(nèi)的隔板一體連接。
3.晶體生長爐，包括內(nèi)、外爐壁以及內(nèi)、外爐壁之間設(shè)置的爐體冷卻結(jié)構(gòu)，所述爐體冷卻結(jié)構(gòu)包括夾設(shè)在內(nèi)外爐壁之間的、在上下方向呈層狀間隔平行分布的環(huán)形的導(dǎo)流板，所述的導(dǎo)流板將內(nèi)外爐壁之間的空間自上而下分隔為呈層狀分布的流道，在導(dǎo)流板上開設(shè)有用于連通相鄰層流道的開ロ，其特征在于，相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將其兩者之間的流道阻斷為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開ロ分別處于該兩層導(dǎo)流板之間的隔板的相對兩側(cè)、且靠近隔板的位置處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體生長爐，其特征在于，相鄰兩層流道內(nèi)的隔板一體連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種爐體冷卻結(jié)構(gòu)及使用該爐體冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長爐，晶體生長爐在相鄰兩層導(dǎo)流板之間設(shè)置有將流道分割為C型流道的隔板，相鄰兩層導(dǎo)流板上的開口分別處于導(dǎo)流板的相對兩側(cè)，且靠近隔板的位置處，從而在使用過程中，導(dǎo)流板圍成的流道為連通進(jìn)、出水口的單向流道，使得從進(jìn)水口流入流道內(nèi)的冷卻用水不需要分流，而是在流道的導(dǎo)流作用下從溢流口流出，從而使得在爐壁中部位置處產(chǎn)生的氣泡能夠及時(shí)隨冷卻用水從出水口流出，不會(huì)出現(xiàn)在爐壁中部位置處出現(xiàn)憋氣的問題，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中爐壁中部容易憋氣的問題。
文檔編號F27D9/00GK202814116SQ201220343049
公開日2013年3月20日 申請日期2012年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月16日
發(fā)明者張博, 趙東 申請人:登封市藍(lán)天石化光伏電力裝備有限公司