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具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置的制作方法

文檔序號:4743520閱讀:302來源:國知局
專利名稱:具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置的制作方法
技術領域
本實用新型為一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,尤指該離子吸附板體可以物理方式吸附濾除該氣體分子污染物,而離子吸附板體所吸附的污染物可經由水沖刷下來,而可長期重復使用,進而可使本實用新型可達到提升使用便利性及降低成本的功效,又憑借該本實用新型其水溫控制裝置,以達到溫度及濕度調節(jié)功效的目的。
背景技術
—般半導體或面板產業(yè)的無塵室(clean room),除了必須控制廠房內溫度及濕度,也要針對空氣中含有的酸、堿及有機類等氣體分子污染物(Airborne MolecularContamination,AMC)加以處理并排除,否則該多種氣體分子污染物可能會影響無塵室內各種精密昂貴的機器設備,特別是光學類元件例如液晶面板產業(yè)的曝光機(Aligner)的光學 鏡片,請參閱圖I所示,目前業(yè)界普遍采用化學濾網10來濾除該氣體分子污染物,其是利用化學酸堿中和的原理,當一含有氣體分子污染物的外在氣體Al通過該灑水器2的水泵20將水201通過噴管21灑出,即可將含有雜質的氣體沉淀后,該外在氣體Al再通過該化學濾網10,使該外在氣體Al內的氣體分子污染物便會與該化學濾網10產生酸堿中和反應,而可使通過該化學濾網10的外在氣體Al,成為不含氣體分子污染物的工作氣體A2,進而可使該化學濾網10及灑水器2可達到濾除氣體分子污染物的目的。該現(xiàn)有的化學濾網10,雖可達到濾除氣體分子污染物的目的,但該化學濾網10須定時或依使用情況更換,因該化學濾網10所吸附的污染物經由使用者取出后無法再生重復使用,又因其過濾原理為化學的酸堿中和,故單一種類的化學濾網10通常只能濾除單一的酸性或堿性氣體分子污染物,如欲達到較完整的濾除效果,便須同時使用兩種以上的化學濾網10,進而造成使用上不便及成本增加,因此實有改進的必要,又該現(xiàn)有的灑水器2,雖可達到沉淀含有雜質的氣體,但該灑水器2無溫度調節(jié)的功能,因此當溫度太高或太低時,無法進行溫度調節(jié),而導致影響工作氣體A2溫度的缺失,進而導致無塵室內各種精密昂貴的機器設備的環(huán)境條件。是故,如何將上述等缺失加以摒除,即為本實用新型的設計人所欲解決的技術困難點的所在。
發(fā)明內容有鑒于現(xiàn)有的化學濾網,因其須定時更換,無法重復使用,進而造成使用上不便及成本增加,該現(xiàn)有的灑水器,無溫度調節(jié)功能,進而造成影響工作氣體,因此本實用新型的目的在于提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,憑借該離子吸附板體可以物理方式吸附濾除該氣體分子污染物,而離子吸附板體所吸附的污染物可經由水沖刷下來,而可長期重復使用,進而可使本實用新型可達到提升使用便利性及降低成本的功效,又憑借該本實用新型其水溫控制裝置,以達到溫度及濕度調節(jié)功效的目的。為達成以上的目的,本實用新型提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其包含—殼體,該殼體設有入風口與出風口 ;一氣體分子污染物去除裝置,該氣體分子污染物去除裝置設于該殼體內,該氣體分子污染去除裝置內設有水泵及噴管,該噴管與水泵相連接,該氣體分子污染物去除裝置包含有至少一個離子吸附板體,該每一離子吸附板體包含有至少一個溫度調節(jié)導管,該氣體分子污染物去除裝置設有水溫控制裝置,該水溫控制裝置與每一溫度調節(jié)導管相連接。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,該離子吸附板體的數(shù)量為至少一個,該離子吸附板體的材質為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,該殼體內進一步包含有風機,該風機位于出風口一側。 所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,更進一步包含有一第一濾網,該第一濾網設于入風口與氣體分子污染物去除裝置之間。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,更進一步包含有一第二濾網,該第二濾網設于風機與出風口之間。本實用新型還提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其包含—殼體,該殼體設有入風口與出風口 ;一氣體分子污染物去除裝置,該氣體分子污染物去除裝置設于該殼體內,該氣體分子污染去除裝置內設有水泵、至少一個噴管及水溫控制裝置,該水溫控制裝置與水泵相連接,該水溫控制裝置與每一噴管相連接,該氣體分子污染物去除裝置設有收納槽,該收納槽位于噴管下方。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,該殼體內進一步包含有風機,該風機位于出風口一側。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,更進一步包含有一第一濾網,該第一濾網設于入風口與氣體分子污染物去除裝置之間。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,更進一步包含有一第二濾網,該第二濾網設于風機與出風口之間。所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其中,該收納槽內設有至少一個離子吸附板體,該離子吸附板體的材質為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板。本實用新型的有益效果是憑借該離子吸附板體可以物理方式吸附濾除該氣體分子污染物,而離子吸附板體所吸附的污染物可經由水沖刷下來,而可長期重復使用,進而可使本實用新型可達到提升使用便利性及降低成本的功效,又憑借該本實用新型其水溫控制裝置,以達到溫度及濕度調節(jié)功效的目的。

圖I為背景技術的動作示意圖;圖2為本實用新型的架構方塊示意圖;圖3為本實用新型的氣體流動示意圖;[0024]圖3A為本實用新型的氣體分子污染物去除裝置局部架構示意圖;圖4為本實用新型其第二實施例的架構方塊示意圖;圖4A為本實用新型其第二實施例的氣體分子污染物去除裝置局部架構示意圖;圖5為本實用新型其第三實施例的架構方塊示意圖;圖5A為本實用新型其第三實施例的氣體分子污染物去除裝置局部架構示意圖。附圖標記說明10_化學濾網;2_灑水器;20_水泵;201_水;21_噴管;3-殼體;31-入風口 ;32_出風口 ;33_第一濾網;34_第二濾網;35_氣體流道;4-氣體分子污染物去除裝置;40_離子吸附板體;41_水泵;42_噴管;421_水;422_含有雜質的水分;43_水溫控制裝置;44_溫度調節(jié)導管;45_收納槽;6_風機;A1-外在氣體;A2-工作氣體。
具體實施方式
為使貴審查員方便簡捷了解本實用新型的其他特征內容與優(yōu)點及其所達成的功效能夠更為顯現(xiàn),茲將本實用新型配合附圖,詳細說明如下請參閱圖2所示,本實用新型提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其包含一殼體3,該殼體3設有入風口 31與出風口 32,該入風口 31與出風口 32之間形成有一氣體流道35,該殼體內可進一步包含有風機6,該風機6位于出風口 32 —側;一氣體分子污染物去除裝置4,該氣體分子污染物去除裝置4設于該殼體3內,該氣體分子污染物去除裝置4位于該氣體流道35上,該氣體分子污染去除裝置4內設有水泵41及噴管42,該噴管42與水泵41相連接,該氣體分子污染物去除裝置4包含有至少一個離子吸附板體40,該每一離子吸附板體40包含有至少一個溫度調節(jié)導管44,該噴管42位于離子吸附板體40上方,該氣體分子污染物去除裝置4設有水溫控制裝置43,該水溫控制裝置43與每一溫度調節(jié)導管44相連接,該離子吸附板體40的材質可為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體40可為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板;請再參閱圖2所示,本實用新型尚可進一步包含有一第一濾網33或一第二濾網34,其中該第一濾網33設于該殼體3其入風口 31與該氣體分子污染物去除裝置4之間,該第二濾網34則設于該風機6與該殼體3的出風口 32之間,該第一濾網33或第二濾網34可為 HEPA (High Efficiency Particulate Air,高效空氣微粒子過濾)濾網或為 ULPA (UltraLow Penetration Air,超低穿透空氣微粒子過濾)濾網,通過本實用新型尚進一步包含有該第一濾網33或第二濾網34,且該第一濾網33或第二濾網34為HEPA濾網或為ULPA濾網,而使該第一濾網33或第二濾網34可濾除空氣中的微塵粒子,進而可使本實用新型兼具有更佳空氣清凈效果的功效;請再參閱圖3、圖3A所示,通過本實用新型其氣體分子污染物去除裝置4內設有水泵41,該水泵41設有噴管42,該噴管42與水泵41相連接,該氣體分子污染物去除裝置
4內設有離子吸附板體40,又該離子吸附板體40包含有至少一個溫度調節(jié)導管44,該氣體分子污染物去除裝置4內設有水溫控制裝置43,該水溫控制裝置43與離子吸附板體40的每一溫度調節(jié)導管44相連接,當該外在氣體Al經由氣體分子污染物去除裝置4作用時,通過水泵41的噴管42將水421灑出而使該外在氣體Al內含其雜質沉淀,再通過該離子吸附板體40可以物理方式吸附該外在氣體Al所含的氣體分子污染物,可使通過該離子吸附板體40的外在氣體Al不再含有該氣體分子污染物,而離子吸附板體40所吸附的污染物可經由水沖刷下來,而使離子吸附板體40可重復使用,又通過該氣體分子污染物去除裝置4內設有水溫控制裝置43,該水溫控制裝置43與離子吸附板體40的每一溫度調節(jié)導管44相連接,當該氣體溫度太低或過高時,即可通過該水溫控制裝置43可導入熱水或冷水,而使該氣體達到降溫或升溫的功效,進而達到溫度調節(jié)功能的目的,同時,通過該水溫控制裝置43也可通過水溫控制空氣濕度,當該溫度提升時,即會使離子吸附板體40表層水膜的水蒸氣分壓提升,使水分子由離子吸附板體40表面往空氣擴散,進而造成濕度提升,若當該溫度降低時,即會使離子吸附板體40表層水膜的水蒸氣分壓降低,使水分子由空氣往離子吸附板體40表面擴散,進而造成濕度降低,以達到控制外在氣體Al濕度的目的,而使該外在氣體Al成為符合無塵室或使用者的溫濕度要求且不含氣體分子污染物的工作氣體A2,該工作氣體A2可再通過該風機6的動力導引作用,經由該出風口 32離開該殼體3,以供無塵室或使用者使用,進而可使本實用新型可達到濾除氣體分子污染物的目的;請參閱圖4所示,本實用新型也提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其包含 一殼體3,該殼體3設有入風口 31與出風口 32,該入風口 31與出風口 32之間形成有一氣體流道35,該殼體內可進一步包含有風機6,該風機6位于出風口 32 —側;一氣體分子污染物去除裝置4,該氣體分子污染物去除裝置4設于該殼體3內,該氣體分子污染物去除裝置4位于該氣體流道35上,該氣體分子污染去除裝置4內設有水泵41、至少一個噴管42及水溫控制裝置43,該水溫控制裝置43與水泵41相連接,該水溫控制裝置43與每一噴管42相連接,該氣體分子污染物去除裝置4設有收納槽45,該收納槽45位于噴管42下方,再者,請參閱第五圖所示,該氣體分子污染物去除裝置4的收納槽45內可設有至少一個離子吸附板體40,該離子吸附板體40的材質可為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體40為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板,進而達到更佳吸附氣體分子污染物的功效;請參閱圖4A所示,當該外在氣體Al經由氣體分子污染物去除裝置4作用時,通過水泵41的噴管42將水421灑出而使該外在氣體Al內含其雜質沉淀,并通過該收納槽45位于噴管42下方,即可將含有雜質的水分422收納集中的功效,又通過該水泵41設有水溫控制裝置43,當該氣體溫度太低或過高時,即可憑借該水溫控制裝置43可將水溫升高或降低,而使該氣體達到升溫或降溫的功效,進而達到溫度調節(jié)功能的功效;請再參閱圖5、圖5A所示,該本實用新型另一實施例,于本實用新型其收納槽45內設有離子吸附板體40,進而達到更佳吸附氣體分子污染物的功效;請再參閱圖3、圖5所示,憑借該氣體分子污染物去除裝置4的離子吸附板體40以物理方式吸附濾除該氣體分子污染物,而可長期重復使用,進可排除現(xiàn)有化學濾網10須定時更換,因現(xiàn)有化學濾網10所吸附的污染物經由使用者取出后無法再生重復使用,導致使用不便及成本增加的缺失,進而可使本實用新型可達到提升使用便利性及降低成本的功效;該離子吸附板體40的數(shù)量為至少一個,當通過第一個離子吸附板體40的外在氣體Al其內含的氣體分子污染物因與空氣中的水分接觸而反應產生其他類型的氣體分子污染物時,該其他類型的氣體分子污染物仍會被第二個離子吸附板體40所吸附濾除,進而可使本實用新型兼具可達到更佳過濾效果的功效;再通過本實用新型設有水溫控制裝置43,而可調整控制空氣的溫度及濕度,進而可使本實用新型達到溫度調節(jié)功能且兼具恒濕的功效。為使本實用新型更加顯現(xiàn)出其進步性與實用性,茲與現(xiàn)有作一比較分析如下現(xiàn)有技術I、化學濾網須定時更換,無法重復使用,使用上 較不方便。2、使用成本較高。本實用新型優(yōu)點I、離子吸附板體可長期重復使用,無須更換,使用較便利。2、使用成本較低。3、溫度及濕度調節(jié)的功效。
權利要求1.一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,包含 一殼體,該殼體設有入風口與出風口; 一氣體分子污染物去除裝置,該氣體分子污染物去除裝置設于該殼體內,該氣體分子污染去除裝置內設有水泵及噴管,該噴管與水泵相連接,該氣體分子污染物去除裝置包含有至少一個離子吸附板體,該每一離子吸附板體包含有至少一個溫度調節(jié)導管,該氣體分子污染物去除裝置設有水溫控制裝置,該水溫控制裝置與每一溫度調節(jié)導管相連接。
2.如權利要求I所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,該離子吸附板體的數(shù)量為至少一個,該離子吸附板體的材質為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板。
3.如權利要求I所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,該殼體內進一步包含有風機,該風機位于出風口一側。
4.如權利要求I所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,更進一步包含有一第一濾網,該第一濾網設于入風口與氣體分子污染物去除裝置之間。
5.如權利要求3所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,更進一步包含有一第二濾網,該第二濾網設于風機與出風口之間。
6.一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,包含 一殼體,該殼體設有入風口與出風口 ; 一氣體分子污染物去除裝置,該氣體分子污染物去除裝置設于該殼體內,該氣體分子污染去除裝置內設有水泵、至少一個噴管及水溫控制裝置,該水溫控制裝置與水泵相連接,該水溫控制裝置與每一噴管相連接,該氣體分子污染物去除裝置設有收納槽,該收納槽位于噴管下方。
7.如權利要求6所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,該殼體內進一步包含有風機,該風機位于出風口一側。
8.如權利要求6所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,更進一步包含有一第一濾網,該第一濾網設于入風口與氣體分子污染物去除裝置之間。
9.如權利要求7所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,更進一步包含有一第二濾網,該第二濾網設于風機與出風口之間。
10.如權利要求6所述的具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其特征在于,該收納槽內設有至少一個離子吸附板體,該離子吸附板體的材質為陶瓷、鋁、銅或不銹鋼,該離子吸附板體為平板、波浪板或波浪狀的蜂巢板。
專利摘要本實用新型提供一種具有溫濕度調節(jié)功能的空氣洗滌裝置,其包含一殼體,該殼體設有入風口與出風口;一氣體分子污染物去除裝置,該氣體分子污染物去除裝置設于該殼體內,該氣體分子污染物去除裝置包含有水溫控制裝置及至少一個離子吸附板體,該離子吸附板體包含有至少一個溫度調節(jié)導管;通過該離子吸附板體可以物理方式吸附濾除該氣體分子污染物,而離子吸附板體所吸附的污染物可經由水沖刷下來,而可長期重復使用,進而可使本實用新型可達到提升使用便利性及降低成本的功效,又通過該本實用新型其水溫控制裝置,以達到溫度及濕度調節(jié)功效的目的。
文檔編號F24F1/02GK202561916SQ20122012346
公開日2012年11月28日 申請日期2012年3月28日 優(yōu)先權日2012年3月28日
發(fā)明者郭祐甫 申請人:奇鼎科技股份有限公司
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