專利名稱：潔凈室及其凈化單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶面板生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及ー種潔凈室及其凈化單元。
背景技術(shù)：
潔凈室亦稱為無(wú)塵室或清浄室，潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如玻璃基板)所接觸之空氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在ー個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。在現(xiàn)有技術(shù)中，潔凈室的清潔是通過(guò)潔凈室的頂板上的風(fēng)機(jī)濾器單元向潔凈室內(nèi)吹出潔凈空氣，將潔凈室內(nèi)的污染空氣(含微塵粒子等)從排風(fēng)ロ排出。然而，潔凈室內(nèi)通常會(huì)由于各種摩擦、感應(yīng)等而存在靜電，靜電會(huì)吸附潔凈室中的粒子，導(dǎo)致潔凈室的粒子不易清除，此外，靜電還可能對(duì)液晶模組的1C、ITO等造成擊穿。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種潔凈室及其凈化單元，以解決現(xiàn)有技術(shù)中潔凈室沒(méi)有靜電消除措施的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是提供一種潔凈室，用于存放玻璃基板，該潔凈室包括排風(fēng)ロ，設(shè)于該潔凈室的底部；凈化單元，設(shè)于該潔凈室的頂部，該凈化単元用于向該潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)以消除該玻璃基板表面的靜電和該潔凈室內(nèi)的粒子。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該凈化単元包括風(fēng)機(jī)、過(guò)濾裝置以及負(fù)離子凈化器，該風(fēng)機(jī)吸入空氣后經(jīng)由該過(guò)濾裝置過(guò)濾再經(jīng)由該負(fù)離子浄化器作用吹出離子風(fēng)。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該過(guò)濾裝置包括預(yù)過(guò)濾器、高效過(guò)濾器以及超高效過(guò)濾器。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該潔凈室包括頂板、側(cè)板以及底板，該凈化単元設(shè)于該頂板上，該排風(fēng)ロ設(shè)于該底板上。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該潔凈室包括儲(chǔ)位架，該儲(chǔ)位架放置于該底板上，用于存放卡匣，該卡匣用于存放該玻璃基板。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該潔凈室包括導(dǎo)軌，該導(dǎo)軌設(shè)于該底板上。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該潔凈室包括自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備設(shè)于該導(dǎo)軌上，該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，該搬運(yùn)叉用于叉取該儲(chǔ)位架上的該卡匣。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該潔凈室包括抽風(fēng)機(jī)，該抽風(fēng)機(jī)該設(shè)于該潔凈室的底部，該抽風(fēng)機(jī)與該凈化単元配合形成垂直氣流以減小該潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，該導(dǎo)軌為雙軌，該雙軌將該底板分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)和導(dǎo)軌外區(qū)，該抽風(fēng)機(jī)設(shè)于該導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)內(nèi)和/或該導(dǎo)軌外區(qū)內(nèi)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的另ー個(gè)技術(shù)方案是提供一種凈化単元，用于向潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)以消除該潔凈室內(nèi)的靜電和粒子，該凈化単元包括風(fēng)機(jī)、過(guò)濾裝置以及負(fù)離子凈化器，該風(fēng)機(jī)吸入空氣后經(jīng)由該過(guò)濾裝置過(guò)濾再經(jīng)由該負(fù)離子浄化器作用吹出離子風(fēng)。本發(fā)明的有益效果是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的潔凈室靜電消除措施，通過(guò)向潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)來(lái)消除玻璃基板表面的靜電和潔凈室內(nèi)的粒子，其清潔效率較較高，提高了產(chǎn)品良率。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中圖I為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的立體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的前視截面示意圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的俯視截面示意圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的凈化單元的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的俯視截面示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)ー并參閱圖I至圖3，本發(fā)明提供一種潔凈室10，該潔凈室10用于存放玻璃基板，該潔凈室10包括排風(fēng)ロ 102和凈化單元200。其中，該排風(fēng)ロ 102設(shè)于該潔凈室10的底部；該凈化單元200設(shè)于該潔凈室10的頂部，該凈化単元200用于向該潔凈室10提供潔凈的離子風(fēng)以消除該玻璃基板表面的靜電和該潔凈室10內(nèi)的粒子。具體而言，本發(fā)明實(shí)施例提供的潔凈室10由頂板110、側(cè)板120以及底板130圍合形成，該潔凈室10包括儲(chǔ)位架140、導(dǎo)軌150、自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160以及凈化單元200。其中，該頂板110可由多塊板材拼接而成，該頂板110上設(shè)有多個(gè)安裝開ロ，該凈化單元200對(duì)應(yīng)設(shè)于該安裝開口上，將吸入的空氣經(jīng)凈化后從該安裝開ロ吹入該潔凈室10內(nèi)。該側(cè)板120包括四塊，該頂板110、四塊側(cè)板120以及底板130圍合形成一矩形空間的潔凈室10。其中，每ー側(cè)板120可由多塊板材拼接而成。該底板130為相對(duì)地面的高架板，該底板130可由多塊板材拼接而成，該底板130上設(shè)有多個(gè)排風(fēng)ロ 102，如圖2中所示，該底板130的中間部位設(shè)有三列排風(fēng)ロ 102，當(dāng)然，該多個(gè)排風(fēng)ロ 102的設(shè)置方式并不限于圖2所示。該儲(chǔ)位架140放置于底板130上，該儲(chǔ)位架140包括多個(gè)儲(chǔ)位141，該多個(gè)儲(chǔ)位141用于存放卡匣142，該卡匣142用于存放玻璃基板，如圖I和圖2中所示,潔凈室10的兩側(cè)邊各設(shè)有一儲(chǔ)位架140，該儲(chǔ)位架140可由多個(gè)架體拼接組合而成。該導(dǎo)軌150設(shè)于底板130上,該導(dǎo)軌150為雙軌,該雙軌將該底板130分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152和導(dǎo)軌外區(qū)154。在優(yōu)選實(shí)施例中，該導(dǎo)軌150設(shè)于儲(chǔ)位架140的中間。該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160設(shè)于該導(dǎo)軌150上，該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160包括搬運(yùn)叉162，該搬運(yùn)叉162用于叉取該儲(chǔ)位架140上的該卡匣142。請(qǐng)ー并參閱圖4，圖4為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的凈化單元的立體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的凈化單元200包括風(fēng)機(jī)210、過(guò)濾裝置220以及負(fù)離子浄化器230。其中，該風(fēng)機(jī)210吸入空氣后經(jīng)由該過(guò)濾裝置220過(guò)濾再經(jīng)由該負(fù)離子浄化器230 作用吹出離子風(fēng)。具體地，該過(guò)濾裝置220包括預(yù)過(guò)濾器222、高效過(guò)濾器224以及超高效過(guò)濾器226。其中，高效過(guò)濾器224對(duì)直徑為0. 3微米(頭發(fā)直徑的1/200)以上的微粒去除效率可達(dá)到99. 97%以上，是煙霧、灰塵以及細(xì)菌等污染物最有效的過(guò)濾媒介。超高效過(guò)濾器226對(duì)0. ro. 2um的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過(guò)濾效率達(dá)到99. 999%以上。該負(fù)離子浄化器230不僅具有浄化過(guò)濾的作用，還能吹出離子風(fēng)，該離子風(fēng)飄散到卡匣及玻璃基板表面，能夠消除玻璃表面的靜電。該離子風(fēng)帶負(fù)電荷，可與漂浮在空氣中帶正電荷的煙霧粉塵進(jìn)行電極中和，形成多個(gè)顆粒凝聚變大從而迅速沉降，達(dá)到凈化空氣的目的。請(qǐng)ー并參閱圖5，圖5為根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的俯視截面示意圖。如圖5所示，在本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例中，潔凈室10包括抽風(fēng)機(jī)210，該抽風(fēng)機(jī)210設(shè)于該潔凈室10的底部，與該凈化単元200配合形成垂直氣流以減小該潔凈室10內(nèi)的潤(rùn)流現(xiàn)象。由此可避免潤(rùn)流卷帶微塵粒子揚(yáng)起污染玻璃基板，提聞廣品良率。該抽風(fēng)機(jī)210設(shè)于排風(fēng)ロ 102上，當(dāng)然，該抽風(fēng)機(jī)210的數(shù)量可以少于該排風(fēng)ロ102的數(shù)量。通常，將底板130上的抽風(fēng)機(jī)210與頂板110上的凈化單元200的安裝位置上下相對(duì)應(yīng)，以便于形成垂直氣流。在優(yōu)選實(shí)施例中，該抽風(fēng)機(jī)210設(shè)于該導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152內(nèi)，如此可使得抽風(fēng)機(jī)210大致位于底板130的兩儲(chǔ)位架140的中間，其位置較佳，且充分利用了導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152的空間，不用占用潔凈室10內(nèi)的其他位置，給潔凈室10內(nèi)的其他設(shè)備讓出空間。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，該抽風(fēng)機(jī)210亦可設(shè)于該導(dǎo)軌外區(qū)154內(nèi)，或者,該抽風(fēng)機(jī)210同時(shí)設(shè)于該導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152內(nèi)和該導(dǎo)軌外區(qū)154內(nèi)。本發(fā)明的有益效果是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的潔凈室通過(guò)向潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)來(lái)消除玻璃基板表面的靜電和潔凈室內(nèi)的粒子，其清潔效率較高，提高了產(chǎn)品良率，亦可減少潔凈室的清潔保養(yǎng)次數(shù)，節(jié)約生產(chǎn)維護(hù)成本。以上所述僅為本發(fā)明的示例性實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種潔凈室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述潔凈室包括 排風(fēng)口，設(shè)于所述潔凈室的底部； 凈化單元，設(shè)于所述潔凈室的頂部，所述凈化單元用于向所述潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)以消除所述玻璃基板表面的靜電和所述潔凈室內(nèi)的粒子。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈室，其特征在于所述凈化單元包括風(fēng)機(jī)、過(guò)濾裝置以及負(fù)離子凈化器，所述風(fēng)機(jī)吸入空氣后經(jīng)由所述過(guò)濾裝置過(guò)濾再經(jīng)由所述負(fù)離子凈化器作用吹出離子風(fēng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室，其特征在于所述過(guò)濾裝置包括預(yù)過(guò)濾器、高效過(guò)濾器以及超高效過(guò)濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的潔凈室，其特征在于所述潔凈室包括頂板、側(cè)板以及底板，所述凈化單元設(shè)于所述頂板上，所述排風(fēng)口設(shè)于所述底板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的潔凈室，其特征在于所述潔凈室包括儲(chǔ)位架，所述儲(chǔ)位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的潔凈室，其特征在于所述潔凈室包括導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌設(shè)于所述底板上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的潔凈室，其特征在于所述潔凈室包括自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備設(shè)于所述導(dǎo)軌上，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，所述搬運(yùn)叉用于叉取所述儲(chǔ)位架上的所述卡匣。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的潔凈室，其特征在于所述潔凈室包括抽風(fēng)機(jī)，所述抽風(fēng)機(jī)所述設(shè)于所述潔凈室的底部，所述抽風(fēng)機(jī)與所述凈化單元配合形成垂直氣流以減小所述潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈室，其特征在于所述導(dǎo)軌為雙軌，所述雙軌將所述底板分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)和導(dǎo)軌外區(qū)，所述抽風(fēng)機(jī)設(shè)于所述導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)內(nèi)和/或所述導(dǎo)軌外區(qū)內(nèi)。
10.一種凈化單元，用于向潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)以消除所述潔凈室內(nèi)的靜電和粒子，其特征在于，所述凈化單元包括風(fēng)機(jī)、過(guò)濾裝置以及負(fù)離子凈化器，所述風(fēng)機(jī)吸入空氣后經(jīng)由所述過(guò)濾裝置過(guò)濾再經(jīng)由所述負(fù)離子凈化器作用吹出離子風(fēng)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種潔凈室，用于存放玻璃基板，其中，該潔凈室包括排風(fēng)口和凈化單元，該排風(fēng)口設(shè)于該潔凈室的底部；該凈化單元設(shè)于該潔凈室的頂部，該凈化單元用于向該潔凈室提供潔凈的離子風(fēng)以消除該玻璃基板表面的靜電和該潔凈室內(nèi)的粒子。此外，本發(fā)明還公開了一種凈化單元。本發(fā)明公開的潔凈室及其凈化單元可以有效地去除潔凈室內(nèi)的靜電和粒子，提高產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)F24F7/007GK102864952SQ201210364869
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者蔣運(yùn)芍, 吳俊豪, 林昆賢, 汪永強(qiáng), 舒志優(yōu), 郭振華 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司