專利名稱：一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制備工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐作為半導(dǎo)體制備過程中的重要設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于集成電路、電力電子、 太陽能電池的生產(chǎn)等行業(yè)。擴(kuò)散爐是民用重要設(shè)備，也是軍事材料生產(chǎn)的必不可少重要設(shè)
備之一。擴(kuò)散爐的爐門需要較好的密封，目前使用的擴(kuò)散爐爐門結(jié)構(gòu)多與推舟進(jìn)行一體化 設(shè)置，將推舟推入石英管之后，爐門封閉爐口 ；推舟從石英管中推出后，擴(kuò)散爐的爐口處于 敞開狀態(tài)。擴(kuò)散爐的爐口處于敞開狀態(tài)，將導(dǎo)致爐內(nèi)熱量向外擴(kuò)散、增大擴(kuò)散爐的熱量損失， 同時增加了擴(kuò)散爐的加熱功率和用電量，而且擴(kuò)散的熱量會對室內(nèi)環(huán)境產(chǎn)生熱輻射。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，該爐門結(jié)構(gòu)與推 舟為分體設(shè)置，可以減小擴(kuò)散爐的熱量損失，降低擴(kuò)散爐的加熱功率和用電量，同時減小室 內(nèi)環(huán)境的熱輻射。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案—種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸臂和石英 門；所述耳軸座和所述支板分別固定連接于所述固定裝置；所述懸臂與所述支板鉸接；所述動力裝置的主體與所述耳軸座鉸接；所述動力裝置的動作機(jī)構(gòu)可做伸縮運(yùn)動，并與所述懸臂鉸接；所述石英門鉸接于所述懸臂的內(nèi)側(cè)面，所述內(nèi)側(cè)面為所述懸臂與所述擴(kuò)散爐的爐 口平行時，所述懸臂上與所述爐口相對的側(cè)面。優(yōu)選的，在上述爐門結(jié)構(gòu)中，所述動力裝置為氣缸，所述氣缸的缸筒與所述耳軸座 鉸接，所述氣缸的活塞桿與所述懸臂鉸接。優(yōu)選的，在上述爐門結(jié)構(gòu)中，進(jìn)一步包括I型肘接頭，所述I型肘接頭的一端與所 述活塞桿螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。優(yōu)選的，在上述爐門結(jié)構(gòu)中，所述動力裝置為液壓缸，所述液壓缸的缸筒與所述耳 軸座鉸接，所述液壓缸的活塞桿通過I型肘接頭與所述懸臂鉸接。優(yōu)選的，在上述爐門結(jié)構(gòu)中，進(jìn)一步包括I型肘接頭，所述I型肘接頭的一端與所 述活塞桿螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。由此可見，本實用新型公開的擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，與推舟采用分體式設(shè)計，當(dāng)推舟 從石英管中推出后，石英門可以在動力裝置的作用下關(guān)閉，對石英管進(jìn)行密封，減少擴(kuò)散爐的爐內(nèi)熱量向外部空間擴(kuò)散，降低擴(kuò)散爐的熱量損失，進(jìn)而減小擴(kuò)散爐的加熱功率和用電 量，并降低室內(nèi)環(huán)境的熱輻射。

為了更清楚地說明本實用新型實施例，下面將對實施例中所需要使用的附圖做簡 單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普 通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型公開的一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)在開啟狀態(tài)的俯視圖；圖2為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)在關(guān)閉狀態(tài)的俯視圖；圖3為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)安裝于擴(kuò)散爐在開啟狀態(tài)的俯視圖；圖4為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)安裝于擴(kuò)散爐在關(guān)閉狀態(tài)的俯視圖；圖5為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)的部分主視結(jié)構(gòu)圖；圖6為本實用新型公開的另一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)的在開啟狀態(tài)的俯視圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部實 施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下，所 獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)范圍。本實用新型公開了一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，該爐門結(jié)構(gòu)與推舟為分體設(shè)置，可以 減小擴(kuò)散爐的熱量損失，降低擴(kuò)散爐的加熱功率和用電量，同時減小室內(nèi)環(huán)境的熱輻射。參見圖1、圖2、圖3和圖4，圖1為本實用新型公開的一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)在開 門狀態(tài)的俯視圖，圖2為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)在關(guān)閉狀態(tài)的俯視圖，圖3為圖1所示爐門結(jié)構(gòu) 安裝于擴(kuò)散爐在開啟狀態(tài)的俯視圖，圖4為圖1所示爐門結(jié)構(gòu)安裝于擴(kuò)散爐在關(guān)閉狀態(tài)的 俯視圖。該爐門結(jié)構(gòu)包括固定裝置1、耳軸座2、支板3、動力裝置4、懸臂5和石英門6。其中，固定裝置1可以固定于其他設(shè)備上，也可以為獨(dú)立設(shè)置的裝置，用于為爐門 結(jié)構(gòu)提供支撐。耳軸座2和支板3分別固定連接在固定裝置1上。懸臂5與支板3鉸接， 動力裝置4的主體41與耳軸座2鉸接，動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42可做伸縮運(yùn)動、并與懸臂 5鉸接，石英門6與懸臂5鉸接、設(shè)置于懸臂5的內(nèi)側(cè)面上。需要說明的是，懸臂5的內(nèi)側(cè)面 是指當(dāng)懸臂5與擴(kuò)散爐的爐口(即石英管7的開口)平行時，懸臂5上與擴(kuò)散爐爐口相對 的側(cè)面。在實施中，支板3可以由上支板31和下支板32組成(如圖5所示)，上支板31和 下支板32位于同一豎直方向，并且兩者的結(jié)構(gòu)相同。轉(zhuǎn)軸10與懸臂5固定，并且轉(zhuǎn)軸10 穿過上支板31和下支板32上的安裝孔(圖中未示出)，通過緊固件(圖中未標(biāo)示)連接。 同時設(shè)置上支板31和下支板32可以更穩(wěn)定地支撐懸臂5。下面對圖1所示爐門結(jié)構(gòu)的工作過程進(jìn)行說明。當(dāng)動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42處于收縮狀態(tài)時，懸臂5處于圖1和圖3所示的狀態(tài)， 即爐門結(jié)構(gòu)處于開啟狀態(tài)，此時可將裝載有硅片8的推舟9從石英管7中推出。隨著動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42從主體41中伸出，懸臂5將以與支板3的鉸接處為軸心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，當(dāng) 懸臂5旋轉(zhuǎn)至與擴(kuò)散爐的爐口平行時，設(shè)置在懸臂5內(nèi)側(cè)面上的石英門6將擴(kuò)散爐的爐口 覆蓋，即爐門結(jié)構(gòu)處于關(guān)閉狀態(tài)。需要指出的是，在動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42伸出的過程中，懸臂5帶動石英門6 旋轉(zhuǎn)，其運(yùn)行軌跡為圓弧狀。在石英門6逐漸接近石英管7開口時，石英門6上靠近支板3 的一端會首先與石英管7接觸，如果石英門6與懸臂5之間為固定連接，那么當(dāng)石英門6上 靠近支板3的一端與石英管7發(fā)生接觸后，會阻礙石英門6及懸臂5的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，即便懸臂 5可以繼續(xù)旋轉(zhuǎn)也會造成石英門6的磨損。因此，在本實用新型公開的爐門結(jié)構(gòu)中，設(shè)置石 英門6鉸接于懸臂5，在石英門6和懸臂5之間預(yù)留一定空間，當(dāng)石英門6上靠近支板3的 一端首先與石英管7發(fā)生接觸后，石英門6可以在該預(yù)留空間內(nèi)進(jìn)行角度微調(diào)，保證石英門 6可以順利關(guān)閉，并達(dá)到良好的密封效果。本實用新型公開的擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，與推舟9采用分體式設(shè)計，當(dāng)推舟9從石英 管7中推出后，石英門6可以在動力裝置4的作用下關(guān)閉，對石英管7進(jìn)行密封，減少擴(kuò)散 爐的爐內(nèi)熱量向外部空間擴(kuò)散，降低擴(kuò)散爐的熱量損失，進(jìn)而減小擴(kuò)散爐的加熱功率和用 電量，并降低室內(nèi)環(huán)境的熱輻射。在實施中，動力裝置4可以采用氣缸或者液壓缸。動力裝置4采用氣缸時，氣缸的缸筒(即動力裝置4的主體41)與耳軸座2鉸接， 氣缸的活塞桿(即動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42)與懸臂5鉸接。活塞桿與懸臂5的鉸接可以通過多種方式實現(xiàn)，例如在活塞桿和懸臂5上分別打 孔，并通過銷軸將活塞桿與懸臂5連接為一體；或者在活塞桿上設(shè)置I型肘接頭11 (如圖6 所示)，該I型肘接頭11為標(biāo)準(zhǔn)件，其一端設(shè)置有內(nèi)螺紋(圖中未示出)，可與活塞桿上的 外螺紋配合，實現(xiàn)I型肘接頭11與活塞桿的螺紋連接，I型肘接頭11的另一端與懸臂5鉸 接。第二種方式與第一種方式相比，不需要在活塞桿上打孔，通過設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)件I型肘接頭11 就可以便捷的實現(xiàn)活塞桿與懸臂5的鉸接，其操作簡便，更能適應(yīng)企業(yè)生產(chǎn)需要。氣缸的活塞桿處于原始收縮狀態(tài)時，爐門結(jié)構(gòu)處于開啟狀態(tài)，當(dāng)氣缸尾部加入壓 縮空氣時，氣缸的活塞桿推出，活塞桿推動懸臂5旋轉(zhuǎn)，當(dāng)懸臂5旋轉(zhuǎn)至與爐口平行位置時， 設(shè)置于懸臂5內(nèi)側(cè)面的石英門6與石英管7的端面貼合，實現(xiàn)關(guān)門操作。在爐門關(guān)閉狀態(tài) 下對氣缸端部加入壓縮空氣，氣缸的活塞桿回啦，拉動懸臂5反向旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)開門操作。動力裝置4采用液壓缸時，液壓缸的缸筒(即動力裝置4的主體41)與耳軸座2 鉸接，液壓缸的活塞桿(即動力裝置4的動作機(jī)構(gòu)42)與懸臂5鉸接。并且，液壓缸的活塞 桿與懸臂5的鉸接也可以采用上述方式實現(xiàn)，在此不再贅述。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點(diǎn)說明的都是與其他 實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新 型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因 此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸 臂和石英門；所述耳軸座和所述支板分別固定連接于所述固定裝置；所述懸臂與所述支板鉸接；所述動力裝置的主體與所述耳軸座鉸接；所述動力裝置的動作機(jī)構(gòu)可做伸縮運(yùn)動，并與所述懸臂鉸接；所述石英門鉸接于所述懸臂的內(nèi)側(cè)面，所述內(nèi)側(cè)面為所述懸臂與所述擴(kuò)散爐的爐口平 行時，所述懸臂上與所述爐口相對的側(cè)面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述動力裝置為氣缸，所述氣缸的缸 筒與所述耳軸座鉸接，所述氣缸的活塞桿與所述懸臂鉸接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐門結(jié)構(gòu)，其特征在于，進(jìn)一步包括I型肘接頭，所述I型肘 接頭的一端與所述活塞桿螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述動力裝置為液壓缸，所述液壓缸 的缸筒與所述耳軸座鉸接，所述液壓缸的活塞桿通過I型肘接頭與所述懸臂鉸接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐門結(jié)構(gòu)，其特征在于，進(jìn)一步包括I型肘接頭，所述I型肘 接頭的一端與所述活塞桿螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸臂和石英門；耳軸座和支板分別固定連接于固定裝置；懸臂與支板鉸接；動力裝置的主體與耳軸座鉸接；動力裝置的動作機(jī)構(gòu)可做伸縮運(yùn)動，并與懸臂鉸接；石英門鉸接于懸臂的內(nèi)側(cè)面，該內(nèi)側(cè)面為懸臂與擴(kuò)散爐的爐口平行時，懸臂上與爐口相對的側(cè)面。本實用新型公開的擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，與推舟采用分體式設(shè)計，當(dāng)推舟從石英管中推出后，石英門可以在動力裝置的作用下關(guān)閉，對石英管進(jìn)行密封，減少擴(kuò)散爐的爐內(nèi)熱量向外部空間擴(kuò)散，降低擴(kuò)散爐的熱量損失，進(jìn)而減小擴(kuò)散爐的加熱功率和用電量，并降低室內(nèi)環(huán)境的熱輻射。
文檔編號F27D1/18GK201909539SQ20102068167
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者李澎, 楊漢文 申請人:株洲眾欣科技發(fā)展有限責(zé)任公司