專利名稱：一種石英密封爐門的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于光電技術領域，具體涉及一種太陽能電池片摻雜生產 過程中的高密封性閉管擴散爐用石英爐門。
背景技術：
在太陽能電池片生產中，需要將P型襯底硅片表面通過高溫擴散方式
形成一薄層N型層，從而形成太陽能電池所必須的PN結。目前常用的工藝 方式是高溫(90(TC)密閉N型雜質摻雜擴散。由于在高溫反應過程中產生 較多對人體及環(huán)境有害的副產物，為了避免副產物從反應室泄漏影響到人 體健康及環(huán)境，需要設置石英爐門，現有的開口式擴散石英爐門與石英反 應腔容易發(fā)生碰撞導致?lián)p壞。 發(fā)明內容
本實用新型的目的是針對現有技術的不足，提供一種石英密封爐門。
本實用新型包括圓蓋形的石英爐門本體，在石英爐門本體一側的表面 沿圓周開有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設置在燕尾槽內；石英爐門本體開 有正方孔，SiC槳固定在正方孔上。圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本 體另一側的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對應。
本實用新型結構簡單，不僅密封可靠而且避免了碰撞損壞。

圖1為本實用新型的結構示意圖2為圖1的平面結構示意圖。
具體實施方式
如圖1和2所示， 一種石英密封爐門包括圓蓋形的石英爐門本體1， 在石英爐門本體1一側的表面沿圓周開有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈3設 置在燕尾槽內；石英爐門本體1開有正方孔2， SiC槳固定在正方孔上。 圓柱形密封4筒垂直固定在石英爐門本體1另一側的表面，圓柱形密封筒 的端面與正方孔位置對應。
權利要求1、一種石英密封爐門，包括圓蓋形的石英爐門本體，其特征在于在石英爐門本體一側的表面沿圓周開有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設置在燕尾槽內；石英爐門本體開有正方孔，圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本體另一側的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對應。
專利摘要本實用新型涉及一種石英密封爐門?，F有的開口式擴散石英爐門與石英反應腔容易發(fā)生碰撞導致?lián)p壞。本實用新型包括圓蓋形的石英爐門本體，在石英爐門本體一側的表面沿圓周開有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設置在燕尾槽內；石英爐門本體開有正方孔，圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本體另一側的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對應。本實用新型結構簡單，不僅密封可靠而且避免了碰撞損壞。
文檔編號F27D1/18GK201402049SQ20092011831
公開日2010年2月10日 申請日期2009年4月23日 優(yōu)先權日2009年4月23日
發(fā)明者何天力, 何旭梅, 向小龍, 蔡未央, 酈曉苗 申請人:浙江弘晨光伏能源有限公司