專利名稱：蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
以特定頻率的光源照射相對(duì)應(yīng)能隙的物體，可令原本位于價(jià)帶的電 子跳躍至傳導(dǎo)帶，以產(chǎn)生較大的活性與特定的反應(yīng)，此種利用特定光源 照射的處理方式，被廣泛的運(yùn)用于各式制造設(shè)備的中；
操作高頻率光源，例如紫外線等高頻率光源時(shí)，無可避免的會(huì)伴隨 產(chǎn)生相當(dāng)多的熱量，這些熱量往往并非制造中所需要的，甚至是制造中 必需避免的，因此制造設(shè)備中便需要搭配各式降、溫設(shè)計(jì)，其中較常見的 為氣冷系統(tǒng)，借由壓縮機(jī)等設(shè)備將低溫氣體導(dǎo)入制造設(shè)備中，以使受光 照的基板等物體，可由氣流帶走多余的熱量，使得基板等物體可保持在 一定的溫度下，以維持產(chǎn)品質(zhì)量；
現(xiàn)有的制造設(shè)備冷卻裝置如美國(guó)專利U S3994073、 US4 6 4 6 4 4 6號(hào)等，其皆簡(jiǎn)單的以一壓縮機(jī)或鼓風(fēng)機(jī)，將低溫氣體由一 進(jìn)氣端吹入制造設(shè)備的處理區(qū)，再由排氣端將溫度升高后的氣體排出， 此種方式若使用于具有較大處理區(qū)的制造設(shè)備上，則進(jìn)氣端離進(jìn)氣口較 近與較遠(yuǎn)處，其氣體壓力分布明顯不同，故其所流經(jīng)的氣體流量相差甚 多，造成處理區(qū)的氣流不均勻，進(jìn)而使處理區(qū)內(nèi)受光照的基板等物體散 熱效果不一，部分基板無法有效散熱，質(zhì)量不佳良率下降；
再者，現(xiàn)有結(jié)構(gòu)在排氣端亦有著相同的氣流不平均的問題，若處理 區(qū)空間較大，則遠(yuǎn)離排氣端排氣口處的氣體流速較慢，而靠近排氣口處 的氣體流速較快，如此更會(huì)惡化氣流不均勻的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的主要技術(shù)問題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺 陷，而提供一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其可改善現(xiàn)有的制造設(shè)備冷卻氣
流會(huì)隨著距離進(jìn)氣口、排氣口的遠(yuǎn)近而無法均勻，散熱效果不佳令產(chǎn)品 良率下降等缺點(diǎn)。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是
一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于，其本體具有一進(jìn)氣端、一 排氣端，以及一位于進(jìn)氣端與排氣端間的處理區(qū)，該進(jìn)氣端設(shè)有一蓄壓 空間，該蓄壓空間與處理區(qū)之間設(shè)有一蓄壓板；借此，令進(jìn)氣端通入蓄 壓空間的氣體可儲(chǔ)壓于蓄壓空間中，待氣壓到達(dá)蓄壓板的額定值時(shí)再均 勻流向處理區(qū)。
前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中排氣端具有一排氣口，并以一風(fēng) 網(wǎng)將排氣口與處理區(qū)分隔，該風(fēng)網(wǎng)上具有數(shù)個(gè)大小不同的氣孔，該氣孔 的大小排列方式為靠近排氣口的氣孔較小，遠(yuǎn)離排氣口的氣孔較大的方式。
前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中排氣端設(shè)有一排氣空間與一排氣 口，該排氣空間為遠(yuǎn)離排氣口處較小，而靠近排氣口處較大的形態(tài)。
前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中排氣端設(shè)有一風(fēng)網(wǎng)將排氣口、排 氣空間與處理區(qū)分隔，該風(fēng)網(wǎng)對(duì)應(yīng)排氣空間的大小而傾斜排列。 前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中進(jìn)氣端設(shè)有一導(dǎo)氣板。 前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中本體為一紫外線多層爐。 前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中導(dǎo)氣板可為縱向與橫向交錯(cuò)設(shè)置。 前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中蓄壓板可替換為不同額定風(fēng)壓的 蓄壓板。
前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中蓄壓板可替換為不同額定風(fēng)量的 蓄壓板。
前述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其中導(dǎo)氣板可借由不同的開閉程度來 調(diào)整風(fēng)向。
借由上述的結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)蜏乩鋮s氣體被鼓風(fēng)機(jī)由進(jìn)氣口吹入進(jìn)氣端的 蓄壓空間時(shí)，該氣體會(huì)先被蓄壓板阻絕而無法立刻流向處理區(qū)，待蓄壓 空間內(nèi)的氣體壓力逐漸升高至蓄壓板的額定值時(shí)，氣體方可通過蓄壓板， 并經(jīng)由導(dǎo)氣板的方向微調(diào)而流入本體處理區(qū)各處理板內(nèi)，此時(shí)的氣體因 先在蓄壓空間中匯集至較高的氣壓，故整個(gè)蓄壓空間中的氣體壓力是呈
均勻分布的狀態(tài)，蓄壓空間中的氣體分布無壓力差，因此流向本體處理 區(qū)各處理板的低溫冷卻氣體亦呈現(xiàn)一均勻無流量差的情況，而可有效的 提供各處理板降溫效果；而當(dāng)氣流通過處理板而吸收熱量之后，其可由 排氣端的排氣口排出，該排氣端在排氣空間與處理區(qū)之間設(shè)有一風(fēng)網(wǎng)， 該風(fēng)網(wǎng)的氣孔是呈遠(yuǎn)離排氣口的氣孔孔徑較大，而靠近排氣口的氣孔孔 徑較小的排列方式，因此在較遠(yuǎn)離排氣口處的氣流所受阻力較小、靠近 排氣口處的氣流所受阻力較大，如此亦可平?jīng)_排氣端排氣空間處的壓力 差，而使處理區(qū)各處理板的氣流在排出時(shí)亦保持均勻的狀態(tài)。
本發(fā)明的有益效果是，其可改善現(xiàn)有的制造設(shè)備冷卻氣流會(huì)隨著距離 進(jìn)氣口、排氣口的遠(yuǎn)近而無法均勻，散熱效果不佳令產(chǎn)品良率下降等缺 點(diǎn)。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。 圖1是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)的分解結(jié)構(gòu)示意圖。 圖1之一是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)的導(dǎo)氣板橫向?qū)饪诘木植?放大示意圖。
圖2是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)的外觀立體示意圖。 圖3是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)另一角度的外觀立體示意圖。 圖3之一是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)的導(dǎo)氣板縱向?qū)饪诘木植?放大示意圖。
圖4是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)處理區(qū)裝設(shè)處理板的示意圖。 圖5是本發(fā)明蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)均勻氣流方向的示意圖。
圖中標(biāo)號(hào)說明
1
1 0 1
1 0 2
2 1 — 2 2 — 2 4 — 2 4 1
陽本體
-處理板
-鼓風(fēng)機(jī)
-進(jìn)氣口
-蓄壓空間
-導(dǎo)氣板
1 0
2 0
2 3
-處理區(qū)
-進(jìn)氣端
壓板
-導(dǎo)氣口
2 4 2
-導(dǎo)氣口3 0-排氣端
3 1-排氣口 3 2-排氣空間
3 3-風(fēng)網(wǎng)
3 3 1——?dú)饪?
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參閱圖1至圖3所示，這種 蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)主要包括一制造設(shè)備的本體1 ，該本體1在本實(shí)施 例中是以一紫外線多層爐為結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，但并不以此為限；
該本體1主要具有一處理區(qū)1 0 ,該處理區(qū)1 0可供數(shù)個(gè)處理板1 0 l活動(dòng)設(shè)置，該處理板l 0 1內(nèi)可裝設(shè)紫外燈與承載盤等制造相關(guān)結(jié) 構(gòu)，該本體1下方另設(shè)有一鼓風(fēng)機(jī)1 0 2 (請(qǐng)參閱圖5),此乃一般現(xiàn)有 的紫外線多層爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在此不再贅述。
該本體1處理區(qū)1 0 —側(cè)是設(shè)有一進(jìn)氣端2 0 ，該進(jìn)氣端2 0具有 一進(jìn)氣口 2 1與一蓄壓空間2 2 ，令鼓風(fēng)機(jī)1 0 2的低溫氣流可由進(jìn)氣 口2 l進(jìn)入蓄壓空間2 2之中；該蓄壓空間2 2與處理區(qū)1 0之間設(shè)有 蓄壓板2 3與導(dǎo)氣板2 4 ,該蓄壓板2 3僅可在蓄壓空間2 2內(nèi)氣壓達(dá) 到預(yù)設(shè)的額定值時(shí)供氣流通過，且可視不同需求而替換不同額定風(fēng)壓或 風(fēng)量的蓄壓板2 3 ，而該導(dǎo)氣板2 4則如圖1之一與圖3之3所示，其 是可設(shè)置為橫向與縱向，而形成橫向的導(dǎo)氣口2 4 l與縱向的導(dǎo)氣口2 4 2，使用者亦可視其所需而調(diào)整導(dǎo)氣板2 4的開閉程度以調(diào)整風(fēng)向；
該本體1處理區(qū)1 0另一側(cè)設(shè)有一排氣端3 0 ，該排氣端3 0具有 一排氣口 3 i與一排氣空間3 2 ，該排氣口 3 1可將已吸收處理區(qū)1 0 熱量的氣體排出；該排氣空間3 2與處理區(qū)1 0之間是設(shè)有風(fēng)網(wǎng)3 3， 借該風(fēng)網(wǎng)3 3將處理區(qū)1 O與排氣口 3 l分隔，而該風(fēng)網(wǎng)3 3上設(shè)有數(shù) 個(gè)排氣用的氣孔3 3 1，該氣孔3 3 l可為方形、圓形，或橢圓形等形 狀，該氣孔3 3 1的大小不盡相同，該氣孔3 3 1的大小排列方式為靠 近排氣口 3 1的氣孔3 3 1較小，遠(yuǎn)離排氣口 3 1的氣孔3 3 1較大的 方式，亦即氣孔3 3 l愈靠近排氣口3 l的孔徑較小，而愈遠(yuǎn)離排氣口 3 1的孔徑較大。
再請(qǐng)配合參閱圖4與圖5所示，本發(fā)明在使用時(shí)，該處理區(qū)l 0可如圖4所示同時(shí)置入數(shù)個(gè)處理板l 0 1以提高效率，而每一處理板l 0 1因距離進(jìn)氣端2 0進(jìn)氣口 2 1、排氣端3 0排氣口 3 1的位置不同， 故需借由本發(fā)明的進(jìn)氣端2 0、排氣端3 O特殊設(shè)計(jì)以均勻冷卻氣體的 流量；
如圖5所示，當(dāng)?shù)蜏乩鋮s氣體被鼓風(fēng)機(jī)1 0 2由進(jìn)氣口 2 1吹入進(jìn) 氣端2 0的蓄壓空間2 2時(shí)，該氣體會(huì)先被蓄壓板2 3阻絕而無法立刻 流向處理區(qū)1 0 ，待蓄壓空間2 2內(nèi)的氣體壓力逐漸升高至蓄壓板2 3 的額定值時(shí)，氣體方可通過蓄壓板2 3，并經(jīng)由導(dǎo)氣板2 4的方向微調(diào) 而流入本體l處理區(qū)l 0各處理板1 0 l內(nèi)，此時(shí)的氣體因先在蓄壓空 間2 2中匯集至較高的氣壓，故整個(gè)蓄壓空間2 2中的氣體壓力是呈均 勻分布的狀態(tài)，蓄壓空間2 2中的氣體分布無壓力差，因此流向本體l 處理區(qū)1 0各處理板1 0 1的低溫冷卻氣體亦呈1L一均勻無流量差的情 況，而可有效的使各處理板l 0 l達(dá)到降溫效果；
再者，當(dāng)氣流通過處理板l 0 l而吸收熱量的后，其可由排氣端3 0的排氣口3 l排出，該排氣端3 0是在排氣空間3 2與處理區(qū)1 0之 間設(shè)有一風(fēng)網(wǎng)3 3 ，該風(fēng)網(wǎng)3 3的氣孔3 3 1是呈遠(yuǎn)離排氣口 3 1的氣 孔3 3 1孔徑較大，而靠近排氣口 3 1的氣孔3 3 1孔徑較小的排列方 式，因此在較遠(yuǎn)離排氣口3 l處的氣流所受阻力較小、靠近排氣口3 1 處的氣流所受阻力較大，如此亦可平?jīng)_排氣端3 0排氣空間3 2處的壓 力差，而使處理區(qū)l 0各處理板1 0 l的氣流在排出時(shí)亦保持均勻的狀 態(tài)。
本發(fā)明的排氣端3 0除第一實(shí)施例采用大小不同氣孔3 3 l的風(fēng)網(wǎng) 3 3以外，亦可將該排氣空間3 2實(shí)施為遠(yuǎn)離排氣口 3 1處較小，而靠 近排氣口3 l處較大的形態(tài)，借由容置空間的大小變化，來抵消距離排 氣口3 l遠(yuǎn)近不同所造成的流速差異，或再配合傾斜設(shè)置的風(fēng)網(wǎng)3 3， 如此亦可達(dá)到與第一實(shí)施例相同的效果。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形 式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單 修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
綜上所述，本發(fā)明在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、使用實(shí)用性及成本效益上，完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需，且所揭示的結(jié)構(gòu)亦是具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造，具有 新穎性、創(chuàng)造性、實(shí)用性，符合有關(guān)發(fā)明專利要^^的規(guī)定，故依法提起申請(qǐng)。
權(quán)利要求
1.一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于，其本體具有一進(jìn)氣端、一排氣端，以及一位于進(jìn)氣端與排氣端間的處理區(qū)，該進(jìn)氣端設(shè)有一蓄壓空間，該蓄壓空間與處理區(qū)之間設(shè)有一蓄壓板；借此，令進(jìn)氣端通入蓄壓空間的氣體可儲(chǔ)壓于蓄壓空間中，待氣壓到達(dá)蓄壓板的額定值時(shí)再均勻流向處理區(qū)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述 排氣端具有一排氣口，并以一風(fēng)網(wǎng)將排氣口與處理區(qū)分隔，該風(fēng)網(wǎng)上具 有數(shù)個(gè)大小不同的氣孔，該氣孔的大小排列方式為靠近排氣口的氣孔較 小，遠(yuǎn)離排氣口的氣孔較大的方式。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述 排氣端設(shè)有一排氣空間與一排氣口 ，該排氣空間為遠(yuǎn)離排氣口處較小， 而靠近排氣口處較大的形態(tài)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述排氣端設(shè)有一風(fēng)網(wǎng)將排氣口、排氣空間與處理區(qū)分隔，該風(fēng)網(wǎng)對(duì)應(yīng)排氣 空間的大小而傾斜排列。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l、 2、 3或4所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其 特征在于所述進(jìn)氣端設(shè)有一導(dǎo)氣板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l、 2、 3或4所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述本體為一紫外線多層爐。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)氣板可為縱向與橫向交錯(cuò)設(shè)置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述 蓄壓板可替換為不同額定風(fēng)壓的蓄壓板。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述 蓄壓板可替換為不同額定風(fēng)量的蓄壓板。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)氣板可借由不同的開閉程度來調(diào)整風(fēng)向。
全文摘要
一種蓄壓式均勻氣冷結(jié)構(gòu)，其本體具有一進(jìn)氣端、一排氣端，以及一位于進(jìn)氣端與排氣端間的處理區(qū)，該進(jìn)氣端設(shè)有一蓄壓空間，該蓄壓空間與處理區(qū)之間設(shè)有一蓄壓板；借此，令進(jìn)氣端通入蓄壓空間的氣體可儲(chǔ)壓于蓄壓空間中，待氣壓到達(dá)蓄壓板的額定值時(shí)再均勻流向處理區(qū)。本發(fā)明可改善現(xiàn)有的制造設(shè)備冷卻氣流會(huì)隨著距離進(jìn)氣口、排氣口的遠(yuǎn)近而無法均勻，散熱效果不佳令產(chǎn)品良率下降等缺點(diǎn)。
文檔編號(hào)F26B3/28GK101338966SQ20071012293
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2007年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月5日
發(fā)明者巫吉生, 張義斌, 賴志勇 申請(qǐng)人:志圣工業(yè)股份有限公司