專利名稱：立式爐的凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種立式爐的凈化裝置，特別是在集成電路制造的前道工序中，用于立式擴(kuò)散氧化爐上凈化硅片的裝置。
背景技術(shù)：
立式爐是用于對(duì)硅片進(jìn)行加熱、擴(kuò)散、氧化處理的爐子，在加熱前，硅片放置在立式爐儲(chǔ)片臺(tái)及石英舟上，需要對(duì)硅片進(jìn)行凈化處理，以保證爐子內(nèi)部?jī)魠^(qū)的凈化等級(jí)達(dá)到1級(jí)。
現(xiàn)有的國(guó)外的凈化裝置，有些是采用風(fēng)機(jī)鼓入空氣經(jīng)過濾器過濾后對(duì)立式爐中的儲(chǔ)片臺(tái)、硅片、機(jī)械手及石英舟進(jìn)行凈化的，但是空氣中的氧氣容易使硅片氧化，在硅片表面生成一層自然氧化層，這層氧化層的厚度是不可控的，對(duì)硅片的加工處理非常不利。
目前國(guó)內(nèi)還沒有立式爐，大都是臥式爐，其凈化裝置也是根據(jù)臥式爐的特點(diǎn)設(shè)計(jì)的，一般采用水平層流的方式，其凈化等級(jí)為10級(jí)，達(dá)不到1級(jí)水平。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種立式爐的凈化裝置，利用高純氮?dú)鈱?duì)立式爐儲(chǔ)片臺(tái)及石英舟上的硅片進(jìn)行凈化，可保證爐子內(nèi)部?jī)魠^(qū)的凈化等級(jí)達(dá)到1級(jí)，并使高純氮?dú)饽軌蜓h(huán)利用。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的基本構(gòu)思是由風(fēng)機(jī)鼓入高純氮?dú)饨?jīng)高效過濾器過濾微小雜質(zhì)后對(duì)需要凈化的設(shè)備進(jìn)行凈化，再通過回氣箱回收氮?dú)馑腿腼L(fēng)機(jī)循環(huán)使用。因?yàn)楦呒兊獨(dú)鈨r(jià)格昂貴，所以回收后再循環(huán)利用。
本實(shí)用新型包括爐體機(jī)箱、可調(diào)速離心風(fēng)機(jī)、過濾器，爐體機(jī)箱內(nèi)安裝進(jìn)氣箱，其通過進(jìn)氣軟管與風(fēng)機(jī)相連，進(jìn)氣箱上下封閉，過濾器裝在進(jìn)氣箱外圍，使進(jìn)氣箱中的氣體只能從過濾器向外吹出，過濾器外爐體機(jī)箱內(nèi)裝有儲(chǔ)片臺(tái)，貼著爐體機(jī)箱壁安裝有回氣箱，回氣箱連接有回氣軟管，回氣軟管的另一端與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口相連。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，儲(chǔ)片臺(tái)為圓形，上下兩層，進(jìn)氣箱及過濾器為圓柱形，位于儲(chǔ)片臺(tái)的中心。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，回氣箱有兩個(gè)，對(duì)應(yīng)安裝在爐體機(jī)箱壁內(nèi)對(duì)側(cè)，相應(yīng)的回氣軟管也有兩根，兩根回氣軟管通過一個(gè)法蘭三通相連，法蘭三通的另一出口再接出一根回氣軟管給風(fēng)機(jī)。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，圓柱形過濾器為高效過濾器，效率可達(dá)99.95％，能過濾掉直徑為0.2um的顆粒。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，進(jìn)氣箱可緊貼爐體機(jī)箱一側(cè)壁安裝，進(jìn)氣箱另一側(cè)安裝平板式過濾器，其他面封閉。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，以石英舟作儲(chǔ)片臺(tái)，石英舟固定安裝在舟升降機(jī)構(gòu)上。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，回氣箱安裝在爐體機(jī)箱內(nèi)進(jìn)氣箱對(duì)側(cè)，回氣箱連接有回氣軟管，回氣軟管的另一端與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口相連。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，進(jìn)氣軟管接入進(jìn)氣箱的位置在進(jìn)氣箱的中部。
本實(shí)用新型所述的立式爐的凈化裝置，平板式過濾器為超高效過濾器，效率為99.999％，能過濾掉直徑為0.1um的顆粒。
高純氮?dú)獗伙L(fēng)機(jī)鼓入進(jìn)氣箱，再通過進(jìn)氣箱外側(cè)的過濾器以緩慢速度向外吹出，經(jīng)過四周儲(chǔ)片臺(tái)上的硅片盒或安裝在機(jī)械手升降機(jī)構(gòu)的石英舟，從兩側(cè)或?qū)?cè)的回氣箱循環(huán)回離心風(fēng)機(jī)。
本實(shí)用新型利用風(fēng)機(jī)鼓入高純氮?dú)饨?jīng)高效過濾器循環(huán)來達(dá)到凈化要求，可使凈化空間的凈化等級(jí)達(dá)到一級(jí)，同時(shí)也避免了硅片在空氣中的氧化。而且，高純氮?dú)饪裳h(huán)利用，節(jié)約了成本。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。


圖1為本實(shí)用新型的第一種實(shí)施方式的主視剖視圖。
圖2為本實(shí)用新型的第一種實(shí)施方式的俯視剖視圖。
圖3為本實(shí)用新型的第二種實(shí)施方式的主視剖視圖。
圖4為本實(shí)用新型的第二種實(shí)施方式的俯視剖視圖。
具體實(shí)施方式
立式爐是專用于集成電路的制造過程中對(duì)硅片進(jìn)行加工處理的爐子。在將硅片送入加熱爐體前及移出加熱爐體后，都需要對(duì)硅片進(jìn)行凈化處理。
圖1為本實(shí)用新型的第一種實(shí)施方式的主視剖視圖，這種結(jié)構(gòu)主要是用來對(duì)立式爐的儲(chǔ)片臺(tái)進(jìn)行凈化。在爐體機(jī)箱11底部角落固定安裝可調(diào)速離心風(fēng)機(jī)3，風(fēng)機(jī)3上有一高純氮?dú)馊肟?2，將高純氮?dú)庾⑷牒竺荛]。風(fēng)機(jī)3通過與之相連的進(jìn)氣軟管6將高純氮?dú)夤娜脒M(jìn)氣箱1a。進(jìn)氣箱1a為圓柱形，上下封閉，柱面部分裝有圓柱形高效過濾器4a。吹入進(jìn)氣箱1a的氮?dú)庵荒軓倪^濾器4a中以緩慢的速度向外吹出。過濾器4a將氮?dú)庵械奈⑿‰s質(zhì)除去，使非常潔凈的氮?dú)獯迪騼?chǔ)片臺(tái)5上的硅片9。然后氮?dú)獗粻t體機(jī)箱11兩側(cè)安裝的回氣箱2a回收?；貧庀?a底部接有回氣軟管10a，因?yàn)橛袃蓚€(gè)回氣箱，所以有兩根回氣軟管10a。這兩根回氣軟管10a都接到一個(gè)法蘭三通13上，法蘭三通13另一出口再接出一根回氣軟管10a，將回收箱2a中的氮?dú)馑突氐斤L(fēng)機(jī)3中。
儲(chǔ)片臺(tái)為上下兩層，臺(tái)上擺放著待處理的硅片。
儲(chǔ)片臺(tái)為圓形，如圖2所示。進(jìn)氣箱1a安裝在圓心位置，氮?dú)鈴闹行拇迪蛩闹?，為圓周散射層流凈化方式。
圖3為本實(shí)用新型的第二種實(shí)施方式的主視剖視圖。這種結(jié)構(gòu)主要是用來對(duì)立式爐的石英舟7和舟升降機(jī)構(gòu)14進(jìn)行凈化。在爐體機(jī)箱11底部角落固定安裝可調(diào)速離心風(fēng)機(jī)3，風(fēng)機(jī)3上有一高純氮?dú)馊肟?2，將高純氮?dú)庾⑷牒竺荛]。風(fēng)機(jī)3通過與之相連的進(jìn)氣軟管6將高純氮?dú)夤娜脒M(jìn)氣箱1b。進(jìn)氣軟管2b接入進(jìn)氣箱1b的位置在進(jìn)氣箱1b的中部。進(jìn)氣箱1b為長(zhǎng)方體，靠近爐體機(jī)箱11中央的一面裝有平板式過濾器4b，其他面封閉，使進(jìn)氣箱1b中的氣體只能從過濾器4b向外緩慢水平吹出。過濾器4b將氮?dú)庵械奈⑿‰s質(zhì)除去，使非常潔凈的氮?dú)獯迪蚴⒅?上的硅片9及舟升降機(jī)構(gòu)14。然后氮?dú)獗粻t體機(jī)箱11對(duì)側(cè)安裝的回氣箱2b回收?；貧庀?b底部接有回氣軟管10b，將回收箱2b中的氮?dú)馑突氐斤L(fēng)機(jī)3中。
石英舟7上擺放著待處理或處理后的硅片，石英舟固定安裝在舟升降機(jī)構(gòu)14上。
圖4為本實(shí)用新型的第二種實(shí)施方式的俯視剖視圖。這種方式為水平層流凈化方式。
權(quán)利要求1.一種立式爐的凈化裝置，包括爐體機(jī)箱(11)、可調(diào)速離心風(fēng)機(jī)(3)、過濾器(4)，其特征在于爐體機(jī)箱(11)內(nèi)安裝進(jìn)氣箱(1)，其通過進(jìn)氣軟管(6)與風(fēng)機(jī)(3)相連，進(jìn)氣箱(1)上下封閉，過濾器(4)裝在進(jìn)氣箱(1)外圍，使進(jìn)氣箱(1)中的氣體只能從過濾器(4)向外吹出，過濾器(4)外爐體機(jī)箱(11)內(nèi)裝有儲(chǔ)片臺(tái)(5)，貼著爐體機(jī)箱(11)壁安裝有回氣箱(2)，回氣箱(2)連接有回氣軟管(10)，回氣軟管(10)的另一端與風(fēng)機(jī)(3)的進(jìn)風(fēng)口相連。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于儲(chǔ)片臺(tái)(5)為圓形，上下兩層，進(jìn)氣箱(1a)及過濾器(4a)為圓柱形，位于儲(chǔ)片臺(tái)(5)的中心。
3.按照權(quán)利要求1所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于進(jìn)氣箱(1b)緊貼爐體機(jī)箱(11)一側(cè)壁安裝，進(jìn)氣箱(1b)另一側(cè)安裝平板式過濾器(4b)，其他面封閉。
4.按照權(quán)利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于以石英舟(7)作儲(chǔ)片臺(tái)，石英舟(7)固定安裝在舟升降機(jī)構(gòu)(14)上。
5.按照權(quán)利要求1或2所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述回氣箱(2a)有兩個(gè)，對(duì)應(yīng)安裝在爐體機(jī)箱(11)壁內(nèi)對(duì)側(cè)，相應(yīng)的回氣軟管(10a)也有兩根，兩根回氣軟管(10a)通過一個(gè)法蘭三通(13)相連，法蘭三通(13)的另一出口再接出一根回氣軟管(10a)給風(fēng)機(jī)(3)。
6.按照權(quán)利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于回氣箱(2b)安裝在爐體機(jī)箱(11)內(nèi)進(jìn)氣箱(1b)對(duì)側(cè)，回氣箱(2b)連接有回氣軟管(10b)，回氣軟管(10b)的另一端與風(fēng)機(jī)(3)的進(jìn)風(fēng)口相連。
7.按照權(quán)利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述進(jìn)氣軟管(6)接入進(jìn)氣箱(1b)的位置在進(jìn)氣箱(1b)的中部。
8.按照權(quán)利要求1或2所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述過濾器(4a)為高效過濾器(4a)，效率可達(dá)99.95％，能過濾掉直徑為0.2um的顆粒。
9.按照權(quán)利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述平板式過濾器(4b)為超高效過濾器(4b)，效率為99.999％，能過濾掉直徑為0.1um的顆粒。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種立式爐的凈化裝置，是在集成電路制造的前道工序中，用于立式擴(kuò)散氧化爐上凈化硅片的裝置。它包括爐體機(jī)箱、可調(diào)速離心風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣箱、過濾器，回氣箱。風(fēng)機(jī)將高純氮?dú)夤娜脒M(jìn)氣箱，經(jīng)高效過濾器過濾微小雜質(zhì)后對(duì)需要凈化的設(shè)備進(jìn)行凈化，再通過回氣箱回收氮?dú)馑腿腼L(fēng)機(jī)循環(huán)使用。它利用高純氮?dú)鈱?duì)立式爐儲(chǔ)片臺(tái)及石英舟上的硅片進(jìn)行凈化，可保證爐子內(nèi)部?jī)魠^(qū)的凈化等級(jí)達(dá)到1級(jí)，并使高純氮?dú)饽軌蜓h(huán)利用。
文檔編號(hào)F27D7/00GK2667435SQ0327253
公開日2004年12月29日 申請(qǐng)日期2003年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月17日
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