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晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:4716208閱讀:283來源:國知局
專利名稱:晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型是有關(guān)于一種晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)結(jié)構(gòu),特別是指一種控制進(jìn)氣方向,將惰性氣體送入爐內(nèi),并加設(shè)擾流結(jié)構(gòu),使?fàn)t內(nèi)氣體形成一回流,而后由排氣結(jié)構(gòu)排出,且于爐體的兩端,裝設(shè)向爐向斜向送風(fēng)的氣閘,阻絕氣體的進(jìn)出,達(dá)到使?fàn)t內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域的溫度均衡,燒成曲線控制準(zhǔn)確,且保持爐內(nèi)氣體的純度。
現(xiàn)有的晶片燒結(jié)爐氣循結(jié)構(gòu),是利用排氣結(jié)構(gòu)控制,以形成爐內(nèi)氣體的流動,且其氣閘的裝置,送風(fēng)方式,多為單純的直向吹送,在使用時不免有下列缺點1、體流動的方式,僅為進(jìn)氣口向排氣口單純的走向,使?fàn)t橫斷面上不同區(qū)域形成溫差,造成燒結(jié)效果不良。2、氣閘阻絕效果未盡理想,未能有效阻斷氣體進(jìn)、出,導(dǎo)致破壞爐內(nèi)氣流的方向及影響內(nèi)爐內(nèi)氣體的純度,使燒結(jié)效果不良。
本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,提供一種晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)裝置,這種晶片燒結(jié)爐氣循改良裝置不僅使?fàn)t內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域溫度均衡,燒成曲線控制準(zhǔn)確,而且能很好的保持爐內(nèi)氣體的純度。為達(dá)到上述目的,本實用新型采取了控制進(jìn)氣方向,加設(shè)擾流結(jié)構(gòu)的方式,將現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)氣單純的走向,改為由爐體兩端向爐內(nèi)斜向送風(fēng)等,其上述目的是這樣實現(xiàn)的本實用新型主要由一進(jìn)氣結(jié)構(gòu),一擾流結(jié)構(gòu)及前、后氣閘等組成;晶片燒結(jié)爐工作時,將惰性氣(一般為氮氣或氦氣),由進(jìn)氣孔設(shè)計為向爐膛方向送風(fēng)的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)送入爐內(nèi),并于接近排氣結(jié)構(gòu)處適當(dāng)位置,設(shè)置擾流結(jié)構(gòu),使?fàn)t體內(nèi)的氣體形成一回流,再經(jīng)由排氣結(jié)構(gòu)控制,使?fàn)t內(nèi)氣體排出,同時配合于爐體兩端設(shè)置的氣閘,阻絕氣體,由爐體的進(jìn)、出口逸出或進(jìn)入,達(dá)到爐內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域溫度均衡,燒結(jié)曲線控制準(zhǔn)確、燒結(jié)效果良好。
本實用新型晶片燒結(jié)爐氣循改良結(jié)構(gòu),其氣閘,設(shè)計成分為上、下兩部分,輸送晶片的輸送帶,由中間穿過,且其送風(fēng)口的方向,設(shè)計成向爐體內(nèi)部,與輸送帶方向,斜向送風(fēng),達(dá)到更有效阻絕氣體交換,避免爐內(nèi)氣流變換,影響溫度,且有效保持爐內(nèi)氣體的純度,使燒結(jié)效果更臻理想。
以下結(jié)合附圖和實施例,對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。


圖1為本實用新型一較佳具體實施例的縱向剖示平面圖;圖2是本實用新型一較佳具體實施例的輸送帶進(jìn)口端縱向剖示平面圖;圖3是本實用新型一較佳具體實施例的立體組合圖;圖4是本實用新型一較佳具體實施例的輸送帶進(jìn)口端部分剖示立體圖;由
圖1為本實用新型一較佳具體實施例的縱向剖示平面圖,和圖3為本實用新型一較佳具體實施例的立體組合圖,可看出本實用新型是由,進(jìn)氣結(jié)構(gòu)1、擾流結(jié)構(gòu)2、氣閘3、排氣結(jié)構(gòu)4等部分所組成;當(dāng)運作時,將惰性氣由進(jìn)氣結(jié)構(gòu)1,經(jīng)其進(jìn)氣管11,進(jìn)氣孔12送入爐體內(nèi),因進(jìn)氣孔12的方向,使氣體朝向爐體內(nèi)部流動,于爐體另一端,接近排氣結(jié)構(gòu)4的適當(dāng)位置,裝設(shè)擾流結(jié)構(gòu)2,由此產(chǎn)生向爐體兩端流動的氣流(請參照圖2),與前述由進(jìn)氣結(jié)構(gòu)1送入的氣流相遇,產(chǎn)生回流,再由排氣結(jié)構(gòu)4控制排出,同時由爐體兩端的氣閘3阻絕氣體由兩端進(jìn)出,確保使?fàn)t內(nèi)氣流如氣流方向6所指示,使?fàn)t內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域的溫度,因氣體均勻的傳導(dǎo),達(dá)到均衡,且有效保持爐內(nèi)氣體的純度,使燒結(jié)效果良好。
圖4為本實用新型一較佳具體實施例的輸送帶進(jìn)口端部分剖示立體圖,由圖中擾流結(jié)構(gòu)2部分放大圖可看出,擾流結(jié)構(gòu)2是將氣體,經(jīng)擾流送風(fēng)管21,由向兩邊開設(shè)的多數(shù)個擾流送風(fēng)孔22送出,形成擾動氣流,而由圖中氣閘3部分放大圖,得知氣閘3是分為,上送風(fēng)部32,下送風(fēng)部33兩部分,輸送帶5自中間穿過,氣體由氣閘送風(fēng)管31,送入送風(fēng)部,經(jīng)斜向設(shè)置的氣閘送風(fēng)板321,導(dǎo)引方向,再由氣閘送風(fēng)口322送出,形成上、下皆有向爐內(nèi)及輸送帶方向吹送的均勻氣幕,并于上送風(fēng)部32與輸送帶5之間,設(shè)置適當(dāng)高度的阻風(fēng)刷34,對輸送帶上的物品作一初步的清理,同時也可增進(jìn)阻絕氣流的功能,確定有效的阻止?fàn)t內(nèi)氣體逸出,或空氣進(jìn)入爐內(nèi),保持爐內(nèi)氣體的純度及氣流穩(wěn)定。
綜上所述,本實用新型的晶片燒結(jié)爐氣循改良結(jié)構(gòu),確實具有使?fàn)t內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域溫度均衡,確保爐內(nèi)氣體純度,燒結(jié)效果更臻良好的功效,而該等功效確實可以改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)氣閘阻絕效果未盡理想,爐內(nèi)各橫斷面上不同區(qū)域形成溫差,造成燒結(jié)效果不良之弊。
權(quán)利要求1.一種晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)結(jié)構(gòu),包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu)、擾流結(jié)構(gòu)、排氣結(jié)構(gòu)、氣閘輸送帶等,其特征在于進(jìn)氣結(jié)構(gòu)(1)由進(jìn)氣管(11)和進(jìn)氣孔(12)組成,其進(jìn)氣孔(12)設(shè)計為朝向爐膛方向;在排氣結(jié)構(gòu)(4)的適當(dāng)位置設(shè)置有擾結(jié)構(gòu)(2);氣閘(3)設(shè)置在爐體的兩端。
2.如權(quán)利要求1所述的晶片燒結(jié)爐氣循環(huán)改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于擾流結(jié)構(gòu)(2)上設(shè)置有擾流送風(fēng)孔(22),其擾流送風(fēng)孔(22)設(shè)計成朝向爐膛兩端方向。
3.如權(quán)利要求1所述的晶片燒結(jié)爐氣循環(huán)改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于氣閘(3)由氣閘送風(fēng)管(31)、上送風(fēng)部(32)、下送風(fēng)部(33)、氣閘送風(fēng)板(321)和氣閘送風(fēng)孔(322)組成輸送帶(5)在上送風(fēng)部(32)與下送風(fēng)部(33)的中間穿過。
4.如權(quán)利要求1或3所述的晶片燒結(jié)爐氣循環(huán)改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于氣閘送風(fēng)孔(322)設(shè)置在呈斜向設(shè)計的氣閘送風(fēng)板(321)上。
5.如權(quán)利要求1或3所述的晶片燒結(jié)爐氣循環(huán)改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于上送風(fēng)部(32)的底部與輸送帶(5)之間設(shè)置有阻風(fēng)刷(4)。
專利摘要本實用新型涉及一種晶片燒結(jié)爐氣循改進(jìn)結(jié)構(gòu),包括:一進(jìn)氣結(jié)構(gòu),一擾流結(jié)構(gòu),一排氣結(jié)構(gòu)及前、后氣閘等,其主要是由一進(jìn)氣結(jié)構(gòu),將其進(jìn)氣孔設(shè)定方向,將惰性氣體(如氮氣或氨氣等)送向爐膛內(nèi)并在排氣口端適當(dāng)位置設(shè)置擾流結(jié)構(gòu),使送入爐內(nèi)的氣體形成一回流,而后在排氣結(jié)構(gòu)控制排出,同時配合爐體兩端向爐內(nèi)斜向送風(fēng)的氣閘阻絕爐內(nèi)氣體逸出及外界空氣的進(jìn)入,達(dá)到使?fàn)t內(nèi)各橫斷面上任何區(qū)域溫度均衡,燒成曲線控制準(zhǔn)確,且保持爐內(nèi)氣體的純度。
文檔編號F27D7/06GK2427786SQ00217689
公開日2001年4月25日 申請日期2000年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月19日
發(fā)明者林義能 申請人:林義能
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