專利名稱：廢氣處理系統燃燒室結構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種廢氣和危害性有毒氣體的處理裝置，公開一種廢氣處理系統燃燒室結構。廢氣和危害性有毒氣體是在半導體制程原物料與副產物中產生的，通過在燃燒室中燃燒可以處理這些氣體，使排放的氣體達到環(huán)保排放標準。
背景技術：
在處理半導體制程原物料與副產物中會產生多種廢氣和危害性有毒氣體，這些危害物有些有腐蝕燃燒室的危險，因此這些危害性有毒氣體不能直接排放到大氣中，所以就會涉及到處理這些廢氣和危害性有毒氣體的方法和裝置。
一般處理的方法有(1)電熱水洗式(Thermal type)加熱溫度在800～1300度間，處理可燃氣體且其燃燒產物可溶于水的氣體，如H2，TDMAT，DCS，NF3，N2O，NH3，SiH4，C2F6，ClF3，WF6等氣體；(2)燃燒水洗式(Burn type)通入CH4、C3H8和O2等氣體進行高溫燃燒處理可燃氣體，其最高溫度可達1600℃，可有效處理各種可燃氣體(包括PFC)；這些廢氣和危害性有毒氣體是通過廢氣處理系統中的燃燒室進行處理。但是由于有些氣體一般都會有腐蝕性，所以在燃燒室中處理時，會腐蝕燃燒室的內壁，因此對燃燒室的制造時要解決該問題。

發(fā)明內容
為了解決現有的廢氣處理系統中的燃燒室被危害性有毒氣體腐蝕的問題，危害性有毒氣體進入后會腐蝕它的內壁和加熱棒，會使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內表層腐蝕脫落、內層變薄、穿孔破裂，以致會影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴重后果。本發(fā)明提供一種廢氣處理系統，該廢氣處理系統的燃燒室不僅在加熱棒外面裝了保護套，而且在燃燒室內壁加了氧化鋯復合涂層或氧化鋁或氧化鋁復合涂層，可以有效防止危害性有毒氣體的腐蝕。
本發(fā)明是這樣實現的一種廢氣處理系統燃燒室結構，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護套，其特征在于在燃燒室內壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復合涂層中選擇一種。所述的氧化鋯復合涂層為硅酸鋯和鋯石粉末復合涂層，氧化鋁復合涂層為氧化鋁和氧化鋯復合涂層，涂層厚度在1.5mm～5mm。所述的加熱棒保護套的材質為氧化鋁陶瓷，保護套的套體與加熱棒間距為5～20mm，上下間距為50～70mm，并用法蘭與加熱棒共同固定在蓋板上。
在廢氣處理系統中，一些廢氣和危害性有毒氣體，必須經過該系統中的燃燒室進行處理。但是有些氣體是具有腐蝕性的，在進入燃燒室后會對其進行腐蝕，會使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內表層腐蝕脫落、內層變薄、穿孔破裂，以致會影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴重后果。為了避免造成嚴重后果，在加熱棒外面裝了保護套，該保護套的材質為氧化鋁陶瓷，耐高溫，耐腐蝕性能良好。在燃燒室內壁加了氧化鋯復合涂層或氧化鋁或氧化鋁復合涂層，該涂層耐腐蝕性能強，耐高溫，高溫化學性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能，可以有效解決這一問題。并且在耐腐蝕的同時，把這些氣體進行有效地處理，使排放的氣體達到環(huán)保標準。
本發(fā)明的有益效果是，在處理危害性有毒氣體的同時，由于加熱棒加了保護套和燃燒室內壁加了氧化鋯復合涂層或氧化鋁或氧化鋁復合涂層，有效地防止了危害性有毒氣體的腐蝕。
四

附圖是本發(fā)明燃燒室結構示意圖。
在圖中1、內壁涂層；2、保護套；3、加熱棒。
五具體實施例方式本發(fā)明廢氣處理系統中，一些廢氣和危害性有毒氣體，必須經過該系統中的燃燒室進行處理。但是有些氣體是具有腐蝕性的，在進入燃燒室后會對其進行腐蝕，會使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內表層腐蝕脫落、內層變薄、穿孔破裂，以致會影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴重后果。為了避免造成嚴重后果，在加熱棒外面裝了保護套，該保護套的材質為氧化鋁陶瓷，耐高溫，耐腐蝕性能良好。在燃燒室內壁加了氧化鋯復合涂層或氧化鋁或氧化鋁復合涂層，該涂層耐腐蝕性能強，耐高溫，高溫化學性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能，可以有效解決這一問題。并且在耐腐蝕的同時，把這些氣體進行有效地處理，使排放的氣體達到環(huán)保標準。
下面通過對比例和實施例來進一步說明。
對比例在廢氣處理系統的燃燒室中，在燃燒室的加熱棒3的外面裝了保護套2，該保護套的材質為氧化鋁陶瓷。用該氧化鋁陶瓷加熱棒加熱，可耐1600℃的高溫，并且抗腐蝕性能良好。鈦合金也是一種可用于加熱棒保護套的材質，用鈦合金加熱棒加熱耐高溫在600～650℃，而用鈦鋁化合物為基的鈦合金Ti3Al(α2)和TiAl(γ)加熱棒分別耐高溫為816和982℃，抗腐蝕性較好。對氧化鋁陶瓷和鈦合金進行比較，氧化鋁陶瓷在耐高溫方面優(yōu)于鈦合金，并且具有更好的耐腐蝕性能。
實施例1在燃燒室內壁加了氧化鋯復合涂層，該涂層耐腐蝕性能強，耐高溫，耐沖蝕性能。
列舉氧化鋯復合涂層中的其中一種涂層，即硅酸鋯和鋯石粉末復合涂層。其性能規(guī)格如下

在燃燒室內壁用硅酸鋯和鋯石粉末復合涂層，該復合涂層具有熔點高，耐高溫，耐腐蝕性能強，一些廢氣和危害性氣體進入燃燒室中，它可以在耐腐蝕的同時，把這些氣體進行有效地處理，使排放的氣體達到環(huán)保標準。
實施例2在燃燒室內壁加了氧化鋁或氧化鋁復合涂層1，該涂層耐腐蝕性能強，耐高溫，高溫化學性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能。
列舉氧化鋁復合涂層中的其中一種涂層，即氧化鋁和氧化鋯復合涂層。其性能規(guī)格如下

在燃燒室內壁用氧化鋁和氧化鋯復合涂層，氧化鋁和氧化鋯均屬陶瓷類，氧化鋁具有耐高溫、高強度、耐磨、耐腐蝕性能等性能，氧化鋯具有密度大，硬度較高，抗彎強度和斷裂韌性在各種陶瓷中為最高等性能，兩者的復合涂層具有熔點高，耐高溫，耐腐蝕性能強，一些廢氣和危害性氣體進入燃燒室中，它可以在耐腐蝕的同時，把這些氣體進行有效地處理，使排放的氣體達到環(huán)保標準。
權利要求
1.一種廢氣處理系統燃燒室結構，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護套，其特征在于在燃燒室內壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復合涂層中選擇一種。
2.根據權利要求1所述的廢氣處理系統燃燒室結構，其特征在于所述的氧化鋯復合涂層為硅酸鋯和鋯石粉末復合涂層，氧化鋁復合涂層為氧化鋁和氧化鋯復合涂層。
3.根據權利要求1或2所述的廢氣處理系統燃燒室結構，其特征在于所述的燃燒室內壁涂層厚度為1.5mm～5mm。
4.根據權利要求1所述的廢氣處理系統燃燒室結構，其特征在于所述的加熱棒保護套的材質為氧化鋁陶瓷。
5.根據權利要求4所述的廢氣處理系統燃燒室結構，其特征在于所述氧化鋁陶瓷保護套，套體與加熱棒左右間距為5～20mm，上下間距為50～70mm，保護套通過法蘭與加熱棒共同固定在蓋板上。
全文摘要
本發(fā)明為一種廢氣處理系統中的燃燒室結構，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護套，其特征在于在燃燒室內壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復合涂層中選擇一種。加熱棒保護套的材質為氧化鋁陶瓷。本發(fā)明不但耐危害性有毒氣體的腐蝕，而且耐高溫，可以安全有效的處理這些廢氣和危害性有毒氣體，使排放的氣體達到環(huán)保標準。
文檔編號F23G5/48GK1644992SQ200510023528
公開日2005年7月27日 申請日期2005年1月24日 優(yōu)先權日2005年1月24日
發(fā)明者周鴻淇 申請人:真一(上海)集成電路設備有限公司