專利名稱：廢氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使廢氣燃燒以作無(wú)害化處理的廢氣處理裝置，這種廢氣例如為用于半導(dǎo)體制造工序且被排出來(lái)的氣體，由含有可燃性氣體成分或助燃性氣體成分的氣體組成。
背景技術(shù)：
眾所周知，在半導(dǎo)體制造過(guò)程的特定工序中，會(huì)生成硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)、乙硼烷(B2H6)、磷化氫(PH3)、砷化三氫(AsH3)、三氟化氮(NF3)等有害的廢氣。這種有毒性廢氣對(duì)人體有很高的毒性，所以要求在排放于大氣時(shí)完全去除有毒性物質(zhì)。
此外，在半導(dǎo)體制造過(guò)程的其他特定工序中會(huì)生成四氟化碳(CF4)等對(duì)地球環(huán)境造成惡劣影響的氟利昂氣體的廢氣。要求這種廢氣在放出于大氣時(shí)要去除。
日本特許第2963792號(hào)公報(bào)中記載了通過(guò)使上述廢氣燃燒而無(wú)毒化后排放于大氣、以滿足上述要求的有毒性廢氣的處理方法及裝置。
上述技術(shù)是通過(guò)將上述廢氣導(dǎo)入一端被封閉的筒狀燃燒室，用配置于該燃燒室的燃燒器，在氫、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷等燃料燃燒時(shí)生成的高溫部進(jìn)行分解，或者利用助燃用空氣的作用使之燃燒，以實(shí)現(xiàn)無(wú)毒化，其后由燃燒氣體運(yùn)送通路排出。
在上述構(gòu)成的廢氣處理裝置中，隨著廢氣的燃燒，各種廢氣中所含的固型化成分變成粉體。雖然大部分粉體在由燃燒部排出到燃燒氣體運(yùn)送通路后，聚集于設(shè)在該燃燒氣體運(yùn)送通路上的洗滌器中，但有一部分附在構(gòu)成廢氣供給路及燃燒部的筒狀體的內(nèi)面上。
例如，當(dāng)在燃燒室內(nèi)發(fā)生粉體、且該粉體堆積于構(gòu)成廢氣供給路及燃燒部的筒狀體內(nèi)面上時(shí)，會(huì)對(duì)廢氣的流動(dòng)或燃燒狀態(tài)有不良影響，可能降低除害性能，所以必須除去粉體，而這樣就導(dǎo)致效率降低。
為了有效地除去粉體，考慮設(shè)置一種刮板，該刮板的一部分一邊接觸燃燒室的筒狀體內(nèi)面一邊在圓周方向移動(dòng)，從外部操縱該刮板，使之沿著筒狀體內(nèi)面旋轉(zhuǎn)而將附著于筒狀體內(nèi)面的粉體剝離。
在導(dǎo)入燃燒氣流以及助燃用空氣或燃燒氣體冷卻用空氣等時(shí)，被上述刮板從筒狀體的內(nèi)面剝離的粉體由于這些空氣的流動(dòng)而經(jīng)由燃燒氣體運(yùn)送通路排出。
如上所述，附在筒狀體內(nèi)面上的粉體可被前述刮板剝離后排出，但在只是用扁桿等來(lái)構(gòu)成刮板時(shí)，由于對(duì)附在筒狀體內(nèi)面上的粉體進(jìn)行刮除的面相對(duì)于燃燒室的內(nèi)徑而略成直角，所以不能有效地刮除粉體，仍會(huì)有粉體固著在筒狀體內(nèi)面上。
此外，為了使附在刮板本體上的粉體落下，雖然可用板簧來(lái)使刮板撓曲，以其發(fā)生沖擊，但是當(dāng)板簧的固定部位為單點(diǎn)或?yàn)榫€接觸時(shí)，在板簧撓曲時(shí)容易發(fā)生固定部位折損的問(wèn)題。
此外，前述的刮板是單臂支承，所以有時(shí)該刮板的前端部很難一邊可靠地接觸筒狀體內(nèi)面一邊將粉體剝離，所以希望有能夠一邊在筒狀體的軸向可靠地接觸一邊將粉體剝離的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決前述課題，第1目的為能將附著于燃燒室內(nèi)面的粉體通過(guò)剝離構(gòu)件而有效地刮落，并且能延長(zhǎng)使在剝離構(gòu)件上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件的壽命；第二目的是提供一種廢氣處理裝置，其剝離構(gòu)件能夠一邊在廢氣流經(jīng)該燃燒室的整個(gè)范圍內(nèi)確實(shí)地接觸燃燒室內(nèi)面一邊將粉體剝離。
為了實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明的廢氣處理裝置具有燃燒室和燃燒氣體運(yùn)送通路，前述燃燒室的一端被封閉，另一端與前述燃燒氣體運(yùn)送通路連接，并且在被封閉的端部配置有廢氣供給路，同時(shí)在比該廢氣供給路更靠近前述燃燒氣體運(yùn)送通路的部位配置燃燒器，通過(guò)前述燃燒器使已被供給到前述燃燒室的廢氣形成高溫，以使之分解或燃燒后從前述燃燒氣體運(yùn)送通路排出，其特征在于，具有在前述燃燒室的內(nèi)面沿圓周方向移動(dòng)、以將附著于該燃燒室內(nèi)面的粉體剝離的剝離構(gòu)件，該剝離構(gòu)件是由杠桿構(gòu)成，該杠桿的一端安裝在設(shè)于該燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件上，另一端為自由端，在前述杠桿的面對(duì)前述燃燒室內(nèi)面的位置上設(shè)有刀刃部或者銳角邊緣部。
本發(fā)明采用上述構(gòu)成，具有將從廢氣供給路供給的廢氣用燃燒器的火焰加熱成高溫后分解、燃燒的燃燒室，以及燃燒氣體運(yùn)送通路，燃燒室的一端被封閉，在該端部配置有廢氣供給路，且在比該廢氣供給路更靠近燃燒氣體運(yùn)送通路的位置上配置燃燒器，所以可通過(guò)燃燒器使從廢氣供給路供給的廢氣燃燒或分解，并能將該燃燒氣體由燃燒氣體運(yùn)送通路排出。
此外，通過(guò)在構(gòu)成剝離構(gòu)件的杠桿上的面對(duì)燃燒室內(nèi)面的位置上設(shè)置刀刃部或者銳角邊緣部，能使該杠桿的刮除粉體的面相對(duì)于燃燒室的內(nèi)面而成銳角，由此能將附在燃燒室內(nèi)面上的粉體通過(guò)剝離構(gòu)件有效地刮除而清掃燃燒室內(nèi)。
此外，具有使在前述剝離構(gòu)件上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件，前述沖擊構(gòu)件由多塊板簧以不同高度重疊而成，前述板簧在與前述杠桿接觸時(shí)使該杠桿撓曲，而在脫離接觸時(shí)伴隨著該杠桿的復(fù)原而發(fā)生沖擊。在這種場(chǎng)合，作用于板簧的應(yīng)力可形成面接觸，由此可緩和作用于板簧的應(yīng)力而防止折斷，能延長(zhǎng)沖擊構(gòu)件的壽命。
通過(guò)使廢氣處理裝置如此構(gòu)成，在通過(guò)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件而操作剝離構(gòu)件(以下稱為“刮板”)時(shí)，構(gòu)成該刮板的杠桿與沖擊構(gòu)件接觸而發(fā)生撓曲，并且隨著與沖擊構(gòu)件的接觸解除，被撓曲的杠桿恢復(fù)到初期的形狀，隨之發(fā)生沖擊，能將附著于該杠桿的粉體彈去。
此外，本發(fā)明其他構(gòu)成的廢氣處理裝置具有燃燒室和燃燒氣體運(yùn)送通路，前述燃燒室的一端被封閉，另一端與前述燃燒氣體運(yùn)送通路連接，并且在被封閉的端部配置有廢氣供給路，同時(shí)在比該廢氣供給路更靠近前述燃燒氣體運(yùn)送通路的部位配置燃燒器，通過(guò)前述燃燒器使已被供給到前述燃燒室的廢氣形成高溫，以使之分解或燃燒后從前述燃燒氣體運(yùn)送通路排出，其特征在于，利用設(shè)于前述燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件使將附著于該燃燒室內(nèi)面的粉體剝離的剝離構(gòu)件沿著燃燒室的內(nèi)面而向廢氣流經(jīng)該燃燒室的方向移動(dòng)。
采用上述構(gòu)成，可利用設(shè)于燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件使剝離構(gòu)件沿著該燃燒室的內(nèi)面向廢氣流經(jīng)將該燃燒室的方向移動(dòng)，因此剝離構(gòu)件可在廢氣流經(jīng)該燃燒室的方向一邊可靠地接觸燃燒室的內(nèi)面一邊且剝離粉體，能容易地將牢固地附在燃燒室內(nèi)面上的粉體刮除。


圖1為揭示本發(fā)明的廢氣處理裝置的第1實(shí)施例的構(gòu)成的立體說(shuō)明圖。
圖2(a)為揭示第一實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的主視圖，圖2(b)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的俯視圖，圖2(c)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的左視圖，圖2(d)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的右視圖。
圖3說(shuō)明第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的刀刃部或者銳角邊緣部的角度。
圖4為揭示第1實(shí)施例的沖擊構(gòu)件的構(gòu)成的剖視圖。
圖5為揭示本發(fā)明廢氣處理裝置的第2實(shí)施例的構(gòu)成的立體說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
以下結(jié)合附圖具體說(shuō)明本發(fā)明的廢氣處理裝置的實(shí)施例。圖1為揭示本發(fā)明的廢氣處理裝置的第1實(shí)施例的構(gòu)成的立體說(shuō)明圖。圖2(a)為揭示第一實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的主視圖，圖2(b)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的俯視圖，圖2(c)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的左視圖，圖2(d)為揭示第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的構(gòu)成的右視圖。圖3說(shuō)明第1實(shí)施例的剝離構(gòu)件的刀刃部或者銳角邊緣部的角度。圖4為揭示第1實(shí)施例的沖擊構(gòu)件的構(gòu)成的剖視圖。
首先，用圖1～圖4說(shuō)明涉及本發(fā)明廢氣處理裝置的第1實(shí)施例的構(gòu)成。在圖1中，廢氣處理裝置A能使由半導(dǎo)體制造工序生成的含有硅烷、乙硅烷、乙硼烷、磷化氫、砷化三氫、三氟化氮等毒性特殊材料氣體、或四氟化碳等對(duì)地球環(huán)境有不良影響的氟利昂氣體等廢氣完全燃燒或分解后無(wú)害化排出。
廢氣處理裝置A具有使從一方端部供給的廢氣分解、燃燒的燃燒室1；配置于該燃燒室1的一方端部側(cè)、供給要處理的廢氣的廢氣供給路2a、2b；在燃燒室1中設(shè)于廢氣供給路2a、2b的下游側(cè)的燃燒器3；與燃燒室1的另一方端部連接的燃燒氣體運(yùn)送通路4；作為設(shè)置在燃燒室1的剝離構(gòu)件而由杠桿構(gòu)成的刮板7；使在該刮板7上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件8。
燃燒室1的圓筒狀筒體1a、1b隔著密封構(gòu)件且經(jīng)由突緣1c而以螺栓等連接，在設(shè)于筒體1a一端的突緣1c上，蓋體10隔著密封構(gòu)件以螺栓等固定而被封閉，而設(shè)置在筒體1b另一端的突緣1c在構(gòu)成燃燒氣體運(yùn)送通路4的T形筒體4a的突緣4b上隔著密封構(gòu)件而以螺栓等來(lái)連接并開口。
在燃燒室1的靠近蓋體10的筒體1a的既定位置上配置有廢氣供給路2a、2b，在此廢氣供給路2a、2b的下游側(cè)、即靠近燃燒氣體運(yùn)送通路4的筒體1b上配置有一個(gè)或者多個(gè)燃燒器3。并且，在燃燒器3與燃燒室氣體運(yùn)送通路4之間設(shè)有溫度傳感器11a，通過(guò)該溫度傳感器11a來(lái)檢測(cè)出燃燒室1內(nèi)的溫度。
廢氣供給路2a、2b與未圖示的廢氣發(fā)生部位(例如半導(dǎo)體的制造工序中所用的處理裝置)連接，能夠?qū)l(fā)生于該廢氣發(fā)生部位的廢氣供給于燃燒室1。對(duì)廢氣供給路2a、2b，既可以供給來(lái)自于同一個(gè)或者不同廢氣發(fā)生部位的同一種廢氣，也可以有選擇地供給來(lái)自于不同廢氣發(fā)生部位的不同種類的廢氣。
在廢氣供給路2a、12b的既定位置上設(shè)有溫度傳感器11b、11c，通過(guò)持續(xù)監(jiān)視該廢氣供給路2a、2b的各溫度，可以監(jiān)視廢氣導(dǎo)入溫度，同時(shí)可以監(jiān)視逆火現(xiàn)象的發(fā)生。
對(duì)燃燒器3有選擇地供給作為燃燒氣體的氫氣或LNG(天然氣)、LPG(液化石油氣)、都市煤氣等，并通過(guò)對(duì)所選擇的反應(yīng)促進(jìn)氣體點(diǎn)火而形成火焰，并通過(guò)該火焰使廢氣形成高溫。
燃燒氣體運(yùn)送通路4使在燃燒室1中燃燒的廢氣流通并被吸引到與該燃燒氣體運(yùn)送通路4的燃燒氣體運(yùn)送通路下游側(cè)4d連續(xù)的未圖示的洗滌器中。此外，在燃燒氣體運(yùn)送通路4，在燃燒室1的下游側(cè)設(shè)有溫度傳感器11d。
作為剝離構(gòu)件的刮板7，如圖1及圖2圖所示，具有配置在由筒體1a、1b構(gòu)成的燃燒室1的內(nèi)壁附近且一部分接觸該內(nèi)壁的杠桿7a、支承該杠桿7a且一部分接觸蓋體10的內(nèi)壁的支承構(gòu)件7c、增強(qiáng)該杠桿7a與支承構(gòu)件7c間的接合部的增強(qiáng)構(gòu)件7b、安裝在該支承構(gòu)件7c上且貫穿蓋體10的軸部7d、及安裝在該軸部7d的把手7e。
軸部7d通過(guò)設(shè)在蓋體10上的軸承5而在保持氣密性的狀態(tài)下可旋轉(zhuǎn)地被軸支。
因此，刮板7的杠桿7a的一端為自由端而另一端通過(guò)支承構(gòu)件7c而與軸部7d連接，通過(guò)對(duì)在該軸部7d的一端設(shè)于燃燒室1外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件、即把手7e進(jìn)行操作來(lái)使其旋轉(zhuǎn)，使杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1沿著燃燒室1的筒體1a、1b的內(nèi)面，一邊沿圓周方向接觸一邊移動(dòng)，以將附在燃燒室1的筒體1a、1b內(nèi)面上的粉體剝離，同時(shí)支承構(gòu)件7c的刀部或者銳角邊緣部7c1沿著燃燒室1的蓋體10的內(nèi)面一邊沿圓周方向接觸一邊移動(dòng)，以將附在燃燒室1的蓋體10的內(nèi)面上的粉體剝離。
在杠桿7a及支承構(gòu)件7c上的面對(duì)燃燒室1內(nèi)面的位置上，設(shè)有刀刃部或者銳角邊緣部7a1、7c1，由此能夠有效地剝離附在筒體1a、1b的內(nèi)壁面及蓋體10的內(nèi)壁面上的粉體。
如圖3所示，杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1對(duì)筒體1a、1b的內(nèi)周面進(jìn)行剝離的角度(即圖3所示的直線b與直線c之間形成的角度，直線b在杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1的前端與連接軸部7d的旋轉(zhuǎn)中心的直線a正交、直線c是將刀刃部或者銳角邊緣部7a1的面延長(zhǎng)而成)γ最好為30°以上且小于90°的銳角。
此外，杠桿7a的逃料角度(即圖3所示的杠桿7a的底面與前述直線b之間形成的角度)β最好為1°以上30°以下，而1°以上15°以下更佳。本實(shí)施例是將杠桿7a的逃料角度β設(shè)定為15°左右。
從而，杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1的傾斜角度α最好為30°以上60°以下。
此外，杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1的前端與燃燒室1的筒體1a、1b的內(nèi)周面之間的間隔最好為1mm以上10mm以下，支承構(gòu)件7c的刀刃部或者銳角邊緣部7c1的先端與燃燒室1的蓋體10的內(nèi)面之間的間隔最好為3mm以上13mm以下。
例如，在單純用扁平桿等來(lái)構(gòu)成杠桿7a的場(chǎng)合，對(duì)附在筒體1a、1b的內(nèi)面上的粉體進(jìn)行刮除的面與該內(nèi)面大致成直角，所以不能有效地將粉體刮落，而且有時(shí)從扁平桿的前端角部逃離的粉體會(huì)在該扁平桿的后續(xù)角部由于類似鏝刀的作用而被壓在于筒體1a、1b或蓋體10的內(nèi)面上而牢固附著。
為此，本實(shí)施例在構(gòu)成剝離構(gòu)件的杠桿7a及支承構(gòu)件7c上，在面對(duì)燃燒室1的筒體1a、1b及蓋體10的內(nèi)面的位置上設(shè)置刀刃部或者銳角邊緣部7a1、7c1，并且在杠桿7a上設(shè)置逃料角度β，使杠桿7a的刀刃部或者銳角邊緣部7a1對(duì)粉體的刮除角度γ相對(duì)于燃燒室1及蓋體10的內(nèi)面而形成銳角，從而能用杠桿7a及支承構(gòu)件7c更有效地將附在燃燒室1的內(nèi)面上的粉體刮落，以清掃燃燒室1內(nèi)，并且利用設(shè)置在杠桿7a上的逃料角度β，可如刨刀那樣將硬的粉體刮除，使從杠桿7a逃出的粉體不會(huì)因?yàn)轭愃歧N刀的作用而壓在筒體1a、1b的內(nèi)面上而牢固附在筒體1a、1b的內(nèi)面上。
附在燃燒室1的內(nèi)面上的附著物主要是要處理的廢氣燃燒時(shí)產(chǎn)生的燃燒生成物的粉體。該粉體的粒子非常細(xì)，大部分與燃燒后的廢氣一起通過(guò)燃燒氣體運(yùn)送通路4而集中于未圖示的洗滌器。但是當(dāng)粉體浮游在燃燒室1中并落下時(shí)，會(huì)附在燃燒室1的內(nèi)面及刮板7的杠桿7a上。
因此，刮板7能夠使附在燃燒室1的內(nèi)面上的粉體剝離，通過(guò)操作此刮板7可持續(xù)保持燃燒室1的內(nèi)面的清潔。
為此，杠桿7a至少有一方比燃燒室1的筒體1a、1b的長(zhǎng)度更長(zhǎng)，端部由燃燒室1伸出到燃燒氣體運(yùn)送通路4。
杠桿7a及支承構(gòu)件7c最好用耐高溫、耐腐蝕性、并且可形成與燃燒室1的內(nèi)面可靠接觸而得以將該內(nèi)壁的附著物剝離的刀刃部或者銳角邊緣部7a1、7c1的耐熱鋼來(lái)構(gòu)成，例如采用英高鎳(Inconel)(Inco社的商品名)等耐熱性合金。
不過(guò)也可以是杠桿7a、增強(qiáng)構(gòu)件7b以前述英高鎳來(lái)構(gòu)成，而支承構(gòu)件7c以SUS304等不銹鋼等來(lái)構(gòu)成。
圖1所示的沖擊構(gòu)件8為了使附在刮板7的杠桿7a上的粉體掉落而使該杠桿7a上發(fā)生沖擊。沖擊構(gòu)件8只要可發(fā)揮前述功能即可，其構(gòu)造沒有特別限定。
本實(shí)施例的沖擊構(gòu)件8如圖4所示，由設(shè)置在能夠與刮板7的杠桿7a的自由端接觸的位置上的板簧8a與高度不同的一對(duì)板簧8b、8c重疊而成。
例如，圖4所示的沖擊構(gòu)件8是在構(gòu)成燃燒氣體運(yùn)送通路4的T型筒體4a的既定位置將支架8d固定，將高度不同且多塊重疊的板簧8a、8b、8c沿著該支架8d配置，且使中央板簧8a的前端從燃燒室1的內(nèi)面突出適當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度，并用壓板8e來(lái)固定板簧8a、8b、8c束。
采用上述沖擊構(gòu)件8，一旦使刮板7旋轉(zhuǎn)而使杠桿7a與板簧8a抵接，隨著刮板7的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，杠桿7a使板簧8a及該杠桿7a的旋轉(zhuǎn)方向下游側(cè)的板簧8b、8c發(fā)生雙點(diǎn)虛線所示的撓曲，同時(shí)在杠桿7a上也發(fā)生如雙點(diǎn)虛線所示的圓周方向的撓曲量δ。
隨著刮板7的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，板簧8a、8b、8c的撓曲量增大，該板簧8a與杠桿7a的接觸被解除。此時(shí)，板簧8a、8b、8c及杠桿7a恢復(fù)原來(lái)的形狀，而在杠桿7a上發(fā)生隨著撓曲量δ瞬間恢復(fù)產(chǎn)生的沖擊，該杠桿7a振動(dòng)，可使附在該杠桿7a上的粉體掉落。
采用上述構(gòu)成，是將與杠桿7a接觸時(shí)使該杠桿7a撓曲、在接觸解除時(shí)隨著該杠桿7a恢復(fù)原來(lái)形狀而使沖擊發(fā)生的板簧8a、8b、8c以不同高度重疊，由此可使作用于各板簧8a、8b、8c上的應(yīng)力成為面接觸，可緩和作用于該板簧8a、8b、8c上的應(yīng)力而防止折斷，能延長(zhǎng)沖擊構(gòu)件8的壽命。
不過(guò)，對(duì)沖擊構(gòu)件8的配置位置并沒有特別限定，設(shè)置在燃燒氣體運(yùn)送通路4的流動(dòng)方向下游側(cè)(從燃燒氣體運(yùn)送通路上游側(cè)4c往燃燒氣體運(yùn)送通路下游側(cè)4d的方向的下游側(cè))也無(wú)妨。
采用上述構(gòu)成的廢氣處理裝置A時(shí)，一旦使與燃燒氣體運(yùn)送通路4的下游側(cè)連接的未圖示的洗滌器工作，由于該洗滌器的吸引作用，要處理的廢氣就由廢氣供給路2a、2b供給至燃燒室1，并經(jīng)過(guò)該燃燒室1的內(nèi)部而向燃燒氣體運(yùn)送通路4流動(dòng)。同時(shí)外殼9內(nèi)的空氣由燃燒氣體運(yùn)送通路4的上游側(cè)4c往下游側(cè)4d方向流入。
用燃燒器3點(diǎn)燃的火焰使由廢氣供給路2a、2b供給至燃燒室1的廢氣形成高溫后分解、燃燒，該燃燒氣體流向燃燒氣體運(yùn)送通路4。此時(shí)產(chǎn)生作為燃燒生成物的粉體，大部分與廢氣分解或燃燒后生成的廢氣共同流向燃燒氣體運(yùn)送通路4而被排出。流入燃燒氣體運(yùn)送通路4的廢氣及粉體沿圖1的箭頭方向流動(dòng)，粉體被未圖示的洗滌器捕捉。此外在燃燒室1產(chǎn)生的粉體的一部分飛散后附在燃燒室1的內(nèi)面及刮板7的杠桿7a上。
因此，定期地操作刮板7的把手7e，用設(shè)置在杠桿7a及支承構(gòu)件7c上的刀刃部或者銳角邊緣部7a1、7c1來(lái)剝離附在燃燒室1的內(nèi)面上的粉體，同時(shí)使杠桿7a與沖擊構(gòu)件8接觸，以在該杠桿7a上發(fā)生沖擊，就能使附在杠桿7a上的粉體掉落。此外，所剝離的粉體及掉落的粉體由于未圖示的洗滌器的吸引作用而從燃燒室1經(jīng)過(guò)燃燒氣體運(yùn)送通路4被吸引至未圖示的洗滌器而被捕捉。
以下結(jié)合圖5說(shuō)明本發(fā)明的廢氣處理裝置的第2實(shí)施例，圖5為揭示本發(fā)明的廢氣處理裝置的第2實(shí)施例的構(gòu)成的立體說(shuō)明圖。對(duì)與前述第1實(shí)施例相同的構(gòu)成部分加上同一符號(hào)并省略說(shuō)明。
在圖5中，本實(shí)施例的剝離構(gòu)件如圖5(a)所示，具有可沿著燃燒室1的筒體1a、1b的內(nèi)周面并沿著廢氣在該燃燒室1流通的方向(圖5(a)的左右方向)移動(dòng)的環(huán)狀構(gòu)件21。燃燒器3等則與前述第1實(shí)施例同樣地裝設(shè)在筒體1b上，圖5中省略。
環(huán)狀構(gòu)件21具有與燃燒室1的筒體1a、1b的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，如圖5(b)所示，在其徑中心固定有軸部22，在既定位置上形成一定數(shù)量的通氣孔21a，該軸部22通過(guò)設(shè)置在蓋體10上的軸承23而可于保持氣密性的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)，并且可在圖5(a)的左右方向移動(dòng)。
并且，在軸部22的端部設(shè)有把手24，該把手24成為設(shè)于燃燒室1外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，操作該把手24可使與軸部22固定為一體的環(huán)狀構(gòu)件21沿著燃燒室1的筒體1a、1b的內(nèi)面在圖5(a)的左右方向移動(dòng)，能將附在燃燒室1的內(nèi)面上的粉體刮除。
在通常的使用狀態(tài)下，環(huán)狀構(gòu)件21退縮于與蓋體10抵接的突緣1c的內(nèi)部，在清掃燃燒室1時(shí)，作業(yè)員握持把手24而使環(huán)狀構(gòu)件21沿圖5(a)的左右方向移動(dòng)，以刮取附在燃燒室1內(nèi)壁上的粉體。
在本實(shí)施例中，作業(yè)員還可用槌子等來(lái)敲擊把手24的端部，將環(huán)狀構(gòu)件21向圖5(a)的右方壓入，將牢固地附在筒體1a、1b的內(nèi)面上的粉體去除。
此外，也可以用螺釘來(lái)構(gòu)成軸部22，在軸承23上設(shè)置與該螺釘對(duì)應(yīng)的母螺紋，通過(guò)未圖示的馬達(dá)等來(lái)對(duì)軸部22作旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，以自動(dòng)地使環(huán)狀構(gòu)件21向圖5(a)的左右方向移動(dòng)。
采用上述構(gòu)成，通過(guò)對(duì)設(shè)置在燃燒室1外部的、成為驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的把手24進(jìn)行操作，使成為剝離構(gòu)件的環(huán)狀構(gòu)件21沿著該燃燒室1的內(nèi)面而向廢氣流經(jīng)該燃燒室1的方向移動(dòng)，可使成為剝離構(gòu)件的環(huán)狀構(gòu)件21一邊沿著廢氣流經(jīng)該燃燒室1的方向可靠地接觸燃燒室1的內(nèi)面一邊剝離粉體，連牢固附在燃燒室1內(nèi)面上的粉體也能容易地刮除。其他構(gòu)成與前述第1實(shí)施例同樣，也能得到同樣的效果。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明是通過(guò)剝離構(gòu)件來(lái)將附在燃燒室內(nèi)壁的粉體刮除，使燃燒器的火焰從出口完全地朝向燃燒室內(nèi)射出，使燃燒效率得以提升。
此外，本發(fā)明在構(gòu)成剝離構(gòu)件的杠桿上的面對(duì)燃燒室內(nèi)面的位置上設(shè)置刀刃部或者銳角邊緣部，使刮落粉體的面相對(duì)燃燒室的內(nèi)面而形成銳角，由此可通過(guò)剝離構(gòu)件有效地刮落附在燃燒室內(nèi)面上的粉體，以清掃燃燒室內(nèi)。
此外，本發(fā)明具有使在剝離構(gòu)件上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件，當(dāng)沖擊構(gòu)件是用與杠桿接觸時(shí)使該杠桿撓曲、解除接觸時(shí)伴隨著該杠桿恢復(fù)原來(lái)形狀而發(fā)生沖擊、以不同高度重疊的多塊板簧構(gòu)成時(shí)，能使附加于板簧的應(yīng)力成為面接觸，由此緩和附加于板簧的應(yīng)力而能防止折斷，并能延長(zhǎng)沖擊構(gòu)件的壽命。
此外，當(dāng)本發(fā)明設(shè)計(jì)成剝離構(gòu)件由于設(shè)置在燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的作用而沿著該燃燒室的內(nèi)面向廢氣在該燃燒室中流動(dòng)的方向移動(dòng)時(shí)，剝離構(gòu)件能夠一邊沿著廢氣在該燃燒室流通的方向可靠地接觸燃燒室的內(nèi)面，一邊將粉體剝離，連牢固附在燃燒室內(nèi)面上的粉體也能容易地刮除。
權(quán)利要求
1.一種廢氣處理裝置，具有燃燒室和燃燒氣體運(yùn)送通路，前述燃燒室的一端被封閉，另一端與前述燃燒氣體運(yùn)送通路連接，并且在被封閉的端部配置有廢氣供給路，同時(shí)在比該廢氣供給路更靠近前述燃燒氣體運(yùn)送通路的部位配置燃燒器，通過(guò)前述燃燒器使已被供給到前述燃燒室的廢氣形成高溫，以使之分解或燃燒后從前述燃燒氣體運(yùn)送通路排出，其特征在于，具有在前述燃燒室的內(nèi)面上沿圓周方向移動(dòng)、以將附在該燃燒室內(nèi)面上的粉體剝離的剝離構(gòu)件，該剝離構(gòu)件由杠桿構(gòu)成，該杠桿的一端安裝在設(shè)于該燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件上，另一端為自由端，在前述杠桿上的面對(duì)前述燃燒室內(nèi)面的位置上設(shè)有刀刃部或者銳角邊緣部。
2.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于，具有使在前述剝離構(gòu)件上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件，前述沖擊構(gòu)件由多塊板簧以不同高度重疊而成，前述板簧在與前述杠桿接觸時(shí)使該杠桿撓曲，而在脫離接觸時(shí)伴隨著該杠桿的復(fù)原而發(fā)生沖擊。
3.一種廢氣處理裝置，具有燃燒室和燃燒氣體運(yùn)送通路，前述燃燒室的一端被封閉，另一端與前述燃燒氣體運(yùn)送通路連接，并且在被封閉的端部配置有廢氣供給路，同時(shí)在比該廢氣供給路更靠近前述燃燒氣體運(yùn)送通路的部位配置燃燒器，通過(guò)前述燃燒器使已被供給到前述燃燒室的廢氣形成高溫，以使之分解或燃燒后從前述燃燒氣體運(yùn)送通路排出，其特征在于，利用設(shè)于前述燃燒室外部的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使將附在該燃燒室內(nèi)面上的粉體剝離的剝離構(gòu)件沿著燃燒室的內(nèi)面而向廢氣流經(jīng)該燃燒室的方向移動(dòng)。
全文摘要
一種廢氣處理裝置，能夠用剝離構(gòu)件有效地刮落附在燃燒室內(nèi)面上的粉體，并能延長(zhǎng)使在剝離構(gòu)件上發(fā)生沖擊的沖擊構(gòu)件的壽命。杠桿(7a)是剝離構(gòu)件，沿著燃燒室(1)的內(nèi)面向圓周方向移動(dòng)而剝離附在該燃燒室(1)內(nèi)面上的粉體，在杠桿(7a)上面對(duì)燃燒室(1)內(nèi)面的位置上設(shè)置刀刃部或銳角邊緣部(7a1)。
文檔編號(hào)F23G7/06GK1656341SQ0381226
公開日2005年8月17日 申請(qǐng)日期2003年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月30日
發(fā)明者樸炳涉, 金炳哲 申請(qǐng)人:小池酸素工業(yè)株式會(huì)社