技術(shù)編號(hào)：4561268
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使廢氣燃燒以作無害化處理的廢氣處理裝置，這種廢氣例如為用于半導(dǎo)體制造工序且被排出來的氣體，由含有可燃性氣體成分或助燃性氣體成分的氣體組成。背景技術(shù) 眾所周知，在半導(dǎo)體制造過程的特定工序中，會(huì)生成硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)、乙硼烷(B2H6)、磷化氫(PH3)、砷化三氫(AsH3)、三氟化氮(NF3)等有害的廢氣。這種有毒性廢氣對(duì)人體有很高的毒性，所以要求在排放于大氣時(shí)完全去除有毒性物質(zhì)。此外，在半導(dǎo)體制造過程的其他特定工序中會(huì)生成四氟...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。