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清除排氣管的清潔裝置與方法

文檔序號:4510898閱讀:583來源:國知局
專利名稱:清除排氣管的清潔裝置與方法
技術領域
本發(fā)明是關于一種清除排氣管的裝置與方法,尤指一種適用于清除排氣管壁上的生成物的裝置與方法。
背景技術
一般的制造廠房,不管是生產半導體元件、顯示面板、或是任何的化學藥品,都需架設排氣管路,以排出各種反應廢氣或副產物,甚至某些需要氣體反應物的生產機臺本身,例如化學汽相沈積機臺或蝕刻機臺,亦需架構一套將反應廢氣或廢物排除至廠務端的管路,以便生產機臺可正常運作。舉例來說,當蝕刻機臺對產品進行蝕刻制程時,會產生大量的有毒氣體,因此必須以幫浦將這些有毒氣體經由管路導入洗滌槽,再排至廠務端做后續(xù)處理。
目前于生產過程中時常發(fā)現(xiàn),這些反應廢氣或廢物在管路輸送途中,常會凝結或淤積于管壁上,且而且之,含使管路阻塞,導致機臺或廠房無法正常運轉。目前解決的大法為每隔一段時間將管路打開,如圖3所示,將管路IOO上端的封蓋110打開,然后以人工將清潔用具伸入管路中,清除內壁上的生成物。但此種需將管路打開才可清潔管路的方式相當不方便,且清潔完畢后,還需將封蓋110安裝好,相當耗費人力及時間,故無法經常執(zhí)行,且使機臺的可生產時間減少。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的是在提供一種清除排氣管的裝置,以便能簡易地清除排氣管內壁的生成物,避免排氣管阻塞,降低人力成本,提高機臺的可生產時間。
本發(fā)明的另一目的是在提供一種清除排氣管的方法,以便能簡易地清除排氣管內壁的生成物,避免排氣管阻塞,降低人力成本,提高機臺的可生產時間。
為達成上述目的,本發(fā)明排氣管的清潔裝置,是配合一排氣管,包括一把手;一具有一中空殼體,一軸承以及至少一密封元件的轉動單元,其中該軸承及該密封元件位于該中空殼體內部,該中空殼體位于該排氣管的一端,以將該轉動單元固設于該排氣管上,該密封元件位于該中空殼體與該軸承之間,以維持該排氣管的密閉性,且該軸承位于該把手外側,以利于該把手的旋轉;一固定架,位于該轉動單元的一側,具有至少一固定槽及一鎖合孔,以將該把手鎖合于該固定架上;以及一具有一拴孔的刮除單元,位于該排氣管內且位于該固定架的一側,是用以刮除清潔該排氣管內壁,其中該刮除單元并以該拴孔及該固定槽連結。
所述的裝置,其更包含復數(shù)個結合單元,以結合該鎖合孔,該把手及該固定架而將該把手鎖合于該固定架。
所述的裝置,其中該結合單元并結合該刮除單元的該拴孔及該固定槽,以將該刮除單元固定于該排氣管內壁內。
所述的裝置,其中該把手更包含一旋轉部及一位于該軸承內部的樞軸部,其中旋轉部是用以承接一旋轉動力,核樞軸部是連接該固定架并帶動該固定架及該刮除單元旋轉。
所述的裝量,其中該中空殼體包含可互相緊密結合的上蓋及下蓋,以將該軸承及該密封元件緊密限制于空殼體內部。
所述的裝置,其中該軸承為一滾珠軸承。
所述的裝置,其中該密封元件為O型環(huán)。
所述的裝置,其中該結合單元為螺絲。
所述的裝置,其中該刮除單元的長度短于該排氣管的長度。
所述的裝置,其中該刮除單元為一刮刀。
所述的裝置,其中該結合單元結合于該固定槽上的位置為可調整,以適用于不同內徑的排氣管。
本發(fā)明清除排氣管的方法,系配合一排氣管,包括以下步驟提供一把手;提供一具有一中空殼體,一軸承以及至少一密封元件的轉動單元,并將該把手套入該轉動單元中,其中該軸承及該密封元件位于該中空殼體內部,該中空殼體位于該排氣管的一端,以將該轉動單元固設于該排氣管上,該密封元件位于該中空殼體與該軸承之間,以維持該排氣管的密閉性,且該軸承位于該把手外側,以利于該把手的旋轉;提供一具有至少一固定槽及一鎖合孔的固定架;將該把手插入該鎖合孔,同時將該鎖合孔與該把手鎖合于該固定架的一側;提供一具有一拴孔的刮除單元,同時將該拴孔及該固定槽結合,以將該刮除單元固定于該固定架的另一側;將該轉動單元的該中空殼體固定于該排氣管上;以及旋轉該把手使該刮除單元沿著該排氣管內壁移動,以將該排氣管內壁上的生成物刮除。
所述的方法,其更包含提供復數(shù)個結合單元,以于該把手插入該鎖合孔時,結合該鎖合孔與該把手,將該把手鎖合于該固定架的一側。
所述的方法,其更包含提供復數(shù)個結合單元,以于該拴孔及該固定槽結合時,結合該刮除單元與該固定架,將固定于該固定架的另一側。
所述的方法,其中該把手更包含一旋轉部及一位于該軸承內部的樞軸部,其中旋轉部系用以承接一旋轉動力,該樞軸部是連接該固定架并帶動該固定架及該刮除單元旋轉。
所述的方法,其中該中空殼體包含可互相緊密結合的上蓋及下蓋,以將該軸承及該密封元件緊密限制于空殼體內部。
所述的方法,其中該軸承為一滾珠軸承。
所述的方法,其中該密封元件為O型環(huán)。
所述的方法,其中該結合單元為螺絲。
所述的方法,其中該刮除單元為一刮刀。
所述的方法,其中該結合單元結合于該固定槽上的位置為可調整,以適用于不同內徑的排氣管。
本發(fā)明清除排氣管的裝置的把手結構無限制,較佳為包含一手動的旋轉部及一位于軸承內部的樞軸部。本發(fā)明清除排氣管的裝置中,中空殼體的結構無限制,較佳為包含可互相緊密結合的上蓋及下蓋,以將軸承及密封元件緊密旋緊于其內部。本發(fā)明清除排氣管的裝置的軸承較佳為一規(guī)格軸承。本發(fā)明清除排氣管的裝置的密封元件無限制,較佳為O型環(huán)(O-rjng)。本發(fā)明清除排氣管的裝置的結合單元無限制,較佳為螺絲。本發(fā)明清除排氣管的裝置的刮除單元的長度無限制,只要較排氣管的長度短即可。本發(fā)明清除排氣管的裝置的刮除單元無限制,較佳為一刮刀。本發(fā)明清除排氣管的裝置中,結合單元結合于固定槽上各位置較佳為可調整,以適用于不同內徑的排氣管。
為能更了解本發(fā)明的技術內容,特舉一較佳具體實施例說明如下。


圖1是本發(fā)明一較佳實施例的清除排氣管裝置的立體圖;圖2是本發(fā)明一較佳實施例的清除排氣管裝置的組合立體圖;圖3是現(xiàn)有清除排氣管裝置的立體圖。
具體實施例方式
請參照圖1本發(fā)明清除排氣管裝置的立體圖,其包含把手10、轉動單元20、復數(shù)個結合單元30、固定架40以及刮除單元50。把手IO包含旋轉部11及樞軸部12,轉動單元20包含中空殼體2I及位于中空殼體內部的軸承22及密封元件23,其中中空殼體21包含可互相緊密結合的上蓋21I及下蓋212,以便將軸承22及密封元件23緊密旋緊于中空殼體21內部。將中空殼體1置于排氣管60的上端原封口處,并使轉動單元20固設于排氣管60上。密封元件23為O型環(huán)(O-ring),位于中空殼體21與軸承22之間,可確保中空殼體21與軸承22之間無縫隙存在,維持排氣管60原封口端的密閉性。軸承22為一規(guī)格軸承,其尺寸可配合樞軸部12的尺寸來選擇,使樞軸部12恰可穿入其中空處。固定架40位于轉動單元20下側的排氣管60內部,其具有固定槽41及鎖合孔42,其中鎖合孔42可與結合單元30,如螺絲結合,以將把手10的樞軸部12鎖合固定于固定架40上。刮除單元50為一端具有拴孔51的刮刀,其長度較該排氣管60的長度短,以安裝于排氣管60內部。
可先將刮除單元50的拴孔51對準固定槽41,再將結合單元30鎖入拴孔51與固定槽41,并調整固定槽41對應拴孔51的位置,以使刮除單元50位于靠近排氣管60內壁61處、可刮除內壁生成物的適當位置。
本發(fā)明的裝置可先將把手10的樞軸部12套入轉動單元20的軸承22中間,再將樞軸部12鎖入固定架40中,接著將刮除單元60固定于固定架40的固定槽41,然后將組合完成裝置的轉動單元20固定于排氣管60上即可運作,請參照圖2所示本裝置的組合立體圖。當欲清潔排氣管內壁時,只要轉動把手10的旋轉部11,其樞軸部12便會帶動固定架40上的刮除單元60沿著排氣管60內壁61移動,而將其上殘留的生成物刮除。
本發(fā)明清除排氣管的裝置及方法可輕易地將排氣管內壁的生成物刮除,使排氣管維持暢通。其清潔時間短且可于任何時間進行,不需再大費周章地將管路上的封蓋打開。此外,本裝置搭配有可密閉結構的設計,可使管路內部不受外界影響,以及可調整刮除單元的設計,可因應不同管徑的管路系統(tǒng)而作調整,使得本裝量的適用范圖更為廣泛。另外,由于清潔時間縮短,不必停機打開管路封蓋,機臺的可生產時間因而提高,且清潔所需的人力成本亦人為降低。
上述實施例僅為了方便說明而舉例而已,本發(fā)明所主張的權利范圖自應以申請專利范圖所述為準,而非僅限于上述實施例。
權利要求
1.一種排氣管的清潔裝置,其特征在于,是配合一排氣管,包括一把手;一具有一中空殼體,一軸承以及至少一密封元件的轉動單元,其中該軸承及該密封元件位于該中空殼體內部,該中空殼體位于該排氣管的一端,以將該轉動單元固設于該排氣管上,該密封元件位于該中空殼體與該軸承之間,以維持該排氣管的密閉性,又該軸承位于該把手外側,以利于該把手的旋轉;一固定架,位于該轉動單元的一側,具有至少一固定槽.及一鎖合孔,以將該把手鎖合于該固定架上;以及一具有一拴孔的刮除單元,位于該排氣管內且位于該固定架的一側,是用以刮除清潔該排氣管內壁,其中該刮除單元并以該拴孔及該固定槽連結。
2.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其更包含復數(shù)個結合單元,以結合該鎖合孔,該把手及該固定架而將該把手鎖合于該固定架。
3.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,其中該結合單元并結合該刮除單元的該拴孔及該固定槽,以將該刮除單元固定于該排氣管內壁內。
4.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該把手更包含一旋轉部及一位于該軸承內部的樞軸部,其中旋轉部是用以承接一旋轉動力,核樞軸部是連接該固定架并帶動該固定架及該刮除單元旋轉。
5.如權利要求1所述的裝量,其特征在于,其中該中空殼體包含可互相緊密結合的上蓋及下蓋,以將該軸承及該密封元件緊密限制于空殼體內部。
6.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該軸承為一滾珠軸承。
7.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該密封元件為O型環(huán)。
8.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,其中該結合單元為螺絲。
9.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該刮除單元的長度短于該排氣管的長度。
10.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該刮除單元為一刮刀。
11.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,其中該結合單元結合于該固定槽上的位置為可調整,以適用于不同內徑的排氣管。
12.一種清除排氣管的方法,其特征在于,是配合一排氣管,包括以下步驟提供一把手;提供一具有一中空殼體,一軸承以及至少一密封元件的轉動單元,并將該把手套入該轉動單元中,其中該軸承及該密封元件位于該中空殼體內部,該中空殼體位于該排氣管的一端,以將該轉動單元固設于該排氣管上,該密封元件位于該中空殼體與該軸承之間,以維持該排氣管的密閉性,及該軸承位于該把手外側,以利于該把手的旋轉;提供一具有至少一固定槽及一鎖合孔的固定架;將該把手插入該鎖合孔,同時將該鎖合孔與該把手鎖合于該固定架的一側;提供一具有一拴孔的刮除單元,同時將該該拴孔及該固定槽結合,以將該刮除單元固定于該固定架的另一側;將該轉動單元的該中空殼體固定于該排氣管上;以及旋轉該把手使該刮除單元沿著該排氣管內壁移動,以將該排氣管內壁上的生成物刮除。
13.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其更包含提供復數(shù)個結合單元,以于該把手插入該鎖合孔時,結合該鎖合孔與該把手,將該把手鎖合于該固定架的一側。
14.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其更包含提供復數(shù)個結合單元,以于該拴孔及該固定槽結合時,結合該刮除單元與該固定架,將固定于該固定架的另一側。
15.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該把手更包含一旋轉部及一位于該軸承內部的樞軸部,其中旋轉部系用以承接一旋轉動力,該樞軸部是連接該固定架并帶動該固定架及該刮除單元旋轉。
16.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該中空殼體包含可互相緊密結合的上蓋及下蓋,以將該軸承及該密封元件緊密限制于空殼體內部。
17.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該軸承為一滾珠軸承。
18.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該密封元件為O型環(huán)。
19.如權利要求13所述的方法,其特征在于,其中該結合單元為螺絲。
20.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該刮除單元為一刮刀。
21.如權利要求12所述的方法,其特征在于,其中該結合單元結合于該固定槽上的位置為可調整,以適用于不同內徑的排氣管。
全文摘要
本發(fā)明是有關于一種簡易地清除排氣管內壁的生成物的方法及裝置,以避免排氣管阻塞。該排氣管的清潔裝置,是配合一排氣管,包括一把手;一具有一中空殼體,一軸承以及至少一密封元件的轉動單元,其中該軸承及該密封元件位于該中空殼體內部,該密封元件位于該中空殼體與該軸承之間,以維持該排氣管的密閉性,且該軸承位于該把手外側;一固定架,位于該轉動單元的一側,具有至少一固定槽及一鎖合孔,以將該把手鎖合于該固定架上;以及一具有一拴孔的刮除單元,位于該排氣管內且位于該固定架的一側,是用以刮除清潔該排氣管內壁。
文檔編號F28G3/00GK1566893SQ0314829
公開日2005年1月19日 申請日期2003年7月2日 優(yōu)先權日2003年7月2日
發(fā)明者洪健雄, 蔣明堂, 高永昌, 鄭勝, 林政德, 張昭升, 黃明夷 申請人:友達光電股份有限公司
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