本發(fā)明涉及部件的端子檢查方法，更詳細(xì)而言，涉及在基板上形成的部件的端子檢查方法。

背景技術(shù)：

一般而言，在電子裝置內(nèi)具備至少一個(gè)印刷電路板(printedcircuitboard；pcb)，在這種印刷電路板上加裝有電路圖案、連接焊盤部、與所述連接焊盤部電氣連接的驅(qū)動(dòng)芯片等多樣的電路部件。

這種部件以各部件的端子(terminal)焊接(soldering)于印刷電路板的焊盤的方式加裝，在加裝后，需要檢查部件是否正確焊接于印刷電路板。在這種檢查時(shí)，為了提高檢查的準(zhǔn)確度，明確區(qū)分部件的端子區(qū)域和焊料區(qū)域極為重要。為了明確區(qū)分所述區(qū)域，找到所述部件的端子區(qū)域的邊界，例如找到部件的端子末端(terminalend)極為重要。

以往采用在二維影像中找到部件的端子末端的方法，以及測(cè)量高度值后，以基準(zhǔn)高度以上為臨界值(threshold)進(jìn)行二進(jìn)制化后實(shí)施矩形擬合(rectanglefitting)來(lái)找到端子末端的方法等。

但是，端子末端部分由于光線散射嚴(yán)重，存在測(cè)量噪聲(noise)，因而存在準(zhǔn)確度和可靠性下降的問(wèn)題。另外，例如，像筆記本電腦、平板電腦及手機(jī)等中搭載的部件一樣，在部件的大小較小的情況下，與由拍攝影像的攝像頭的分辨率決定的像素的大小相比，部件的大小非常小，因而存在誤差加重的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

解決的技術(shù)問(wèn)題

因此，本發(fā)明要解決的課題是提供一種部件的端子檢查方法，從而能夠準(zhǔn)確地設(shè)置在基板上形成的部件的端子的邊界。

本發(fā)明要解決的另一課題是提供一種基板檢查裝置，從而能夠準(zhǔn)確設(shè)置在基板上形成的部件的端子的邊界。

技術(shù)方案

本發(fā)明一個(gè)示例性實(shí)施例的部件的端子檢查方法包括：向檢查對(duì)象物照射用于獲得所述檢查對(duì)象物的三維形狀信息的光，并接收反射的光從而獲得第一圖像，向所述檢查對(duì)象物照射具有各不相同色彩的至少兩個(gè)以上的光，并接收反射的光從而獲得第二圖像的步驟；從獲得的所述第一圖像獲得亮度信息，從獲得的所述第二圖像獲得色相信息的步驟；及利用獲得的所述亮度信息及所述色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分的步驟。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述從獲得的所述第一圖像獲得亮度信息、從獲得的所述第二圖像獲得色相信息的步驟可以包括：合成所述第一圖像及所述第二圖像而生成合成圖像的步驟；及從所述合成圖像獲得所述亮度信息及所述色相信息的步驟。

作為一個(gè)實(shí)施例，用于獲得所述檢查對(duì)象物的三維形狀信息的光可以以垂直于所述檢查對(duì)象物的平面的法線為基準(zhǔn)，按第一傾斜角照射，具有各不相同色彩的至少兩個(gè)以上的光可以至少包括第一彩色光及具有不同于所述第一彩色光的色彩的第二彩色光，且所述第一彩色光按小于所述第一傾斜角的第二傾斜角照射，所述第二彩色光按大于所述第一傾斜角的第三傾斜角照射。

利用所述獲得的所述亮度信息及所述色相信息來(lái)獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分的步驟可以包括：在所述第一及第二圖像的合成圖像上，設(shè)置包含所述檢查對(duì)象物的端子的檢查區(qū)域的步驟；在所述檢查區(qū)域內(nèi)，沿著從所述端子的一側(cè)邊界朝向另一側(cè)邊界的方向(以下稱為“基準(zhǔn)方向”)，設(shè)置所述像素的色相從所述第一色彩變化為另一色彩的區(qū)間的步驟；在所述區(qū)間內(nèi)，檢測(cè)各像素的色相信息的變化及各像素的亮度信息的變化的步驟；及以所述各像素色相信息的變化及所述各像素亮度信息的變化為基礎(chǔ)，獲得所述端子的邊界中至少一部分的步驟。

所述色相及所述亮度可以設(shè)置為針對(duì)各個(gè)像素而正規(guī)化的(normalized)定量的值，所述色相的變化及所述亮度的變化可以為沿所述基準(zhǔn)方向的各像素色相值的變化及各像素亮度值的變化。

例如，所述第一色彩為紅色，所述色相的變化沿所述基準(zhǔn)方向，在所述區(qū)間增加，所述亮度的變化沿所述基準(zhǔn)方向，在所述區(qū)間減小，所述端子的邊界可以決定為基于所述各像素色相值變化的增加趨勢(shì)線與基于所述各像素亮度值變化的減少趨勢(shì)線的相交點(diǎn)。

所述部件的端子檢查方法可以還包括：從所述第一圖像獲得高度數(shù)據(jù)的步驟；及利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息的步驟。此時(shí)，利用所述獲得的所述亮度信息及所述色相信息來(lái)獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分的步驟，可以利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分。作為一個(gè)實(shí)施例，在利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息的步驟中，在所述高度數(shù)據(jù)中，在基準(zhǔn)高度以下的情況下，可以將所述亮度信息設(shè)置為0。

本發(fā)明一個(gè)示例性實(shí)施例的基板檢查裝置包括投影部、照明部、圖像獲得部及處理部。所述投影部向所述檢查對(duì)象物照射用于獲得檢查對(duì)象物的三維形狀信息的光。所述照明部向所述檢查對(duì)象物照射具有各不相同色彩的至少兩個(gè)以上的光。所述圖像獲得部接收從所述投影部照射并被所述檢查對(duì)象物反射的光，從而獲得第一圖像，接收從所述照明部照射并被所述檢查對(duì)象物反射的光，從而獲得第二圖像。所述圖像獲得部從所獲得的所述第一圖像獲得亮度信息，從所述圖像獲得部獲得的所述第二圖像獲得色相信息，利用所述獲得的亮度信息及色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述處理部可以合成所述第一圖像及所述第二圖像而生成合成圖像，從所述合成圖像獲得所述亮度信息及所述色相信息。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述投影部可以配置至少一個(gè)，以垂直于所述檢查對(duì)象物的平面的法線為基準(zhǔn)，按第一傾斜角照射用于獲得所述檢查對(duì)象物的三維形狀信息的光，所述照明部可以包括：第一照明部，其按小于所述投影部的第一傾斜角的第二傾斜角，向所述檢查對(duì)象物照射具有第一色彩的第一彩色光；及第二照明部，其按大于所述投影部的第一傾斜角的第三傾斜角，向所述檢查對(duì)象物照射具有不同于所述第一色彩的第二色彩的第二彩色光。

例如，所述處理部可以在所述第一及第二圖像的合成圖像上設(shè)置且包含所述檢查對(duì)象物的端子的檢查區(qū)域內(nèi)，沿著從所述端子的一側(cè)邊界朝向另一側(cè)邊界的方向(以下稱為“基準(zhǔn)方向”)，設(shè)置所述像素的色相從所述第一色彩變化為另一色彩的區(qū)間，在所述區(qū)間內(nèi)，以各像素色相信息的變化及各像素亮度信息的變化為基礎(chǔ)，獲得所述端子的邊界中至少一部分。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述色相及所述亮度可以設(shè)置為針對(duì)各個(gè)像素而正規(guī)化的(normalized)定量的值，所述色相的變化及所述亮度的變化可以為沿所述基準(zhǔn)方向的各像素色相值的變化及各像素亮度值的變化。

例如，所述第一色彩為紅色，所述色相的變化沿所述基準(zhǔn)方向，在所述區(qū)間增加，所述亮度的變化沿所述基準(zhǔn)方向，在所述區(qū)間減小，所述端子的邊界可以決定為基于所述各像素色相值變化的增加趨勢(shì)線與基于所述各像素亮度值變化的減少趨勢(shì)線的相交點(diǎn)。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述處理部可以從所述第一圖像獲得高度數(shù)據(jù)，利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息，利用所述修正的亮度信息及色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分。所述處理部可以在利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息時(shí)，在所述高度數(shù)據(jù)中，在基準(zhǔn)高度以下的情況下，將所述亮度信息設(shè)置為0。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，從用于獲得檢查對(duì)象物三維形狀信息的圖像和彩色圖像，分別獲得亮度信息及色相信息，由此獲得檢查對(duì)象物的端子邊界，從而能夠確保高準(zhǔn)確性和可靠性，因此，可以提高檢查的準(zhǔn)確性及可靠性。

另外，可以從按圖像的像素對(duì)所述亮度信息及所述色相信息進(jìn)行量化的數(shù)據(jù)，獲得所述檢查對(duì)象物的端子邊界，以所述各像素色相值變化的圖表與所述各像素亮度值變化的圖表的交點(diǎn)來(lái)決定端子末端，從而可以按子像素單位找出部件的端子的邊界，即使在部件大小較小的情況下，也能夠獲得更準(zhǔn)確的部件的端子的邊界。

另外，不僅能夠從用于獲得檢查對(duì)象物的三維形狀信息的圖像獲得三維形狀信息，而且，還用于亮度信息的提取，從而能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)據(jù)高效利用。

附圖說(shuō)明

圖1是顯示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置的概念圖。

圖2是顯示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的部件的端子檢查方法的流程圖。

圖3是顯示圖2中獲得端子邊界的過(guò)程的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。

圖4是用于說(shuō)明圖3的獲得端子邊界的過(guò)程的概念圖。

圖5是顯示關(guān)于圖4所示檢查區(qū)域的合成圖像的圖像。

圖6是顯示圖5所示區(qū)間中色相及亮度變化的圖表。

圖7及圖8是用于說(shuō)明圖5及圖6的各像素的色相變化及各像素的亮度變化的概念圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明可以施加多樣的變更，可以具有各種形態(tài)，在附圖中示例性列舉特定實(shí)施例并在正文中詳細(xì)說(shuō)明。但是，這并非要將本發(fā)明限定于特定的公開形態(tài)，應(yīng)理解為包括本發(fā)明的思想及技術(shù)范圍內(nèi)包含的所有變更、等同物以及替代物。

第一、第二等術(shù)語(yǔ)可以用于說(shuō)明多樣的構(gòu)成要素，但所述構(gòu)成要素不得由所述術(shù)語(yǔ)所限定。所述術(shù)語(yǔ)只用于把一種構(gòu)成要素區(qū)別于另一構(gòu)成要素的目的。例如，在不超出本發(fā)明的權(quán)利范圍的前提下，第一構(gòu)成要素可以命名為第二構(gòu)成要素，類似地，第二構(gòu)成要素也可以命名為第一構(gòu)成要素。

本申請(qǐng)中使用的術(shù)語(yǔ)只是為了說(shuō)明特定的實(shí)施例而使用的，并非要限定本發(fā)明之意圖。只要在文理上未明確表示不同，單數(shù)的表現(xiàn)包括復(fù)數(shù)的表現(xiàn)。在本申請(qǐng)中，“包括”或“具有”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)理解為是要指定說(shuō)明書中記載的特征、數(shù)字、步驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或它們組合的存在，不預(yù)先排除一個(gè)或其以上的其它特征或數(shù)字、步驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或它們組合的存在或附加可能性。

只要未不同地定義，包括技術(shù)性或科學(xué)性術(shù)語(yǔ)在內(nèi)，在此使用的所有術(shù)語(yǔ)具有與本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員一般理解的內(nèi)容相同的意義。

與一般使用的字典中定義的內(nèi)容相同的術(shù)語(yǔ)應(yīng)解釋為具有與相關(guān)技術(shù)的文理上所具有的意義一致的意義，只要在本申請(qǐng)中未明確定義，不得解釋為理想性地或過(guò)度地形式上的意義。

下面參照附圖，更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。

圖1是顯示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置的概念圖。

如果參照?qǐng)D1，本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置100可以包括投影部110、照明部120、圖像獲得部130及處理部140等。所述基板檢查裝置100可以提供用于作為檢查對(duì)象物10的部件的端子的檢查。此時(shí)，所述檢查對(duì)象物10的端子意味著所述部件的一端部，既可以由一個(gè)形成，也可以由多個(gè)形成。

所述投影部110向所述檢查對(duì)象物10照射用于獲得檢查對(duì)象物10的三維形狀信息的光。

所述檢查對(duì)象物10可以包括在基板20上形成的部件。所述基板20可以配置于平臺(tái)(stage)30上。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述投影部110可以將格子圖案光朝向所述檢查對(duì)象物10照射n次，為了照射相變的格子圖案光，可以利用格子移送器具或利用液晶顯示裝置，將格子圖案移送n次。后述的圖像獲得部130可以獲得基于如上所述照射的格子圖案光的格子圖案圖像。

所述投影部110可以沿垂直于所述檢查對(duì)象物10的平面的方向，照射用于獲得所述檢查對(duì)象物10的三維形狀信息的光，或以垂直于平面的法線為基準(zhǔn)傾斜地照射，例如，如圖1所示，可以按第一傾斜角a1照射。

所述投影部110可以配備多個(gè)。作為一個(gè)實(shí)施例，4個(gè)投影部110在平面地觀測(cè)所述檢查對(duì)象物10時(shí)，可以分別按等間隔隔開配置于將圓周外周四等分的位置。

如上所述，所述投影部110可以在預(yù)定位置配置多個(gè)，朝向各個(gè)所述檢查對(duì)象物10，按既定傾斜角照射格子圖案光。

所述照明部120為了獲得所述檢查對(duì)象物10的彩色圖像，向所述檢查對(duì)象物10照射具有各不相同色彩的至少兩個(gè)以上的光。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述照明部120可以包括第一照明部122、第二照明部124及第三照明部126。

例如，所述第一照明部122可以按第二傾斜角a2，向所述檢查對(duì)象物10照射第一彩色光，所述第二照明部124可以按第三傾斜角a3，向所述檢查對(duì)象物10照射第二彩色光，所述第三照明部126可以按第四傾斜角a4，向所述檢查對(duì)象物10照射第三彩色光。

其中，所述第二傾斜角a2小于所述投影部110的第一傾斜角a1，所述第三傾斜角a3及所述第四傾斜角a4大于所述投影部110的第一傾斜角a1。所述第一、第二及第三彩色光可以具有互不相同的色彩，例如，可以分別具有紅色、綠色及藍(lán)色的色彩。

所述第一照明部122、所述第二照明部124及所述第三照明部126可以分別具有環(huán)形狀，例如，可以由發(fā)光二極管(led)照明連續(xù)配置，分別發(fā)生環(huán)形狀的單色照明。

另一方面，所述第一照明部122可以將所述第二傾斜角a2設(shè)置為0度或幾乎0度(例如，0度～10度)，以便幾乎垂直地照射所述檢查對(duì)象物10。此時(shí)，所述第一照明部122相對(duì)于所述圖像獲得部130，可以為同軸(coaxial)照明。另外，所述第一照明部122可以不具有環(huán)形狀，根據(jù)機(jī)構(gòu)配置設(shè)計(jì)的適合性，所述第一照明部122可以配置于所述圖像獲得部130的周圍，采用變更光路徑的鏡子(mirror)或分束鏡(beamsplitter)等，以便向垂直下方照射所述第一照明部122發(fā)生的光。此時(shí)，所述第一照明部122射出的光的傾斜角可以以垂直于所述檢查對(duì)象物10的平面的法線為基準(zhǔn)，設(shè)置為90度或幾乎90度(例如，85度～95度)，經(jīng)由所述鏡子或分束鏡而向所述檢查對(duì)象物10照射的所述第二傾斜角a2與前面說(shuō)明的情形相同，可以設(shè)置為0度或幾乎0度(例如，0度～10度)。

所述圖像獲得部130接收從所述投影部110照射并被所述檢查對(duì)象物10反射的光，從而獲得第一圖像，接收從所述照明部120照射并被所述檢查對(duì)象物10反射的光，從而獲得第二圖像。所述圖像獲得部130例如可以包括用于獲得圖像的攝像頭。

這種所述圖像獲得部130由至少一個(gè)構(gòu)成，可以以垂直于所述檢查對(duì)象物10的平面的方向或垂直于平面的法線為基準(zhǔn)，在傾斜狀態(tài)下獲得所述圖像。

例如，各圖像獲得部130可以在垂直于平面的方向具備至少一個(gè)攝像頭，在傾斜狀態(tài)下具備至少一個(gè)攝像頭，獲得至少一個(gè)的第一圖像及第二圖像。

所述第一圖像可以包括基于所述格子圖案光的格子圖案圖像，在多個(gè)格子圖案圖像中，例如，可以應(yīng)用周知的桶算法(bucketalgorithm)，獲得所述檢查對(duì)象物10的三維形狀信息。

所述第二圖像作為利用至少2個(gè)彩色光而獲得的圖像，是所述檢查對(duì)象物10的平面彩色圖像。

所述處理部140從所述圖像獲得部130獲得的所述第一圖像獲得亮度信息，從所述圖像獲得部130獲得的所述第二圖像獲得色相信息。

通過(guò)所述圖像獲得部130獲得的所述第一圖像可以通過(guò)圖像處理而轉(zhuǎn)換為黑白圖像或單色圖像。例如，所述第一圖像為格子圖案圖像時(shí)，通過(guò)對(duì)多個(gè)格子圖案圖像進(jìn)行平均化的圖像處理，可以生成黑白圖像。因此，所述處理部140可以從所述第一圖像獲得亮度信息。此時(shí)，所述第一圖像例如應(yīng)用諸如周知的桶算法(bucketalgorithm)的方式，從而當(dāng)然能夠?yàn)榱双@得三維形狀信息而利用。而且，所述第一圖像還可以用于如上所述的亮度信息的提取，因而能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)據(jù)的高效利用。

通過(guò)所述圖像獲得部110獲得的所述第二圖像是利用至少2個(gè)彩色光而獲得的圖像，因而包含色相信息。因此，所述處理部140可以從所述第二圖像獲得色相信息。

所述處理部140利用所述獲得的亮度信息及色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物10的端子的邊界中至少一部分。

另一方面，所述亮度信息及所述色相信息意味著作為顏色三屬性的色相(hue)、彩度(chromaorsaturation)及亮度(brightness)中關(guān)于亮度和色相的信息。所述色相、彩度及亮度為了數(shù)字圖像處理而可以量化。例如，所述色相、彩度及亮度可以表現(xiàn)為his、hsv、hsl等，h意味著hue，s意味著saturation。另外，i、v、l代表亮度，分別意味著intensity、value、lightness。

所述處理部140也可以合成所述第一圖像及所述第二圖像而生成合成圖像，從所述合成圖像獲得所述亮度信息及所述色相信息。

所述處理部140可以是能夠執(zhí)行如上所述圖像處理等的裝置，例如，可以包括執(zhí)行相應(yīng)圖像處理的嵌入式sw驅(qū)動(dòng)部、計(jì)算機(jī)等。所述處理部140也可以控制所述的構(gòu)成要素，即，可以控制所述投影部110、所述照明部120、所述圖像獲得部130等的動(dòng)作。

另一方面，所述處理部140可以從所述第一圖像獲得高度數(shù)據(jù)，利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息。例如，所述高度數(shù)據(jù)可以包括代表高度分布的圖像、代表高度分布的分布圖(map)、各位置的高度值本身等。

例如，所述處理部140利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息時(shí)，在所述高度數(shù)據(jù)中，在基準(zhǔn)高度以下的情況下，可以將所述亮度信息設(shè)置為0，以此種方式進(jìn)行修正。即，在獲得的所述亮度信息中，與預(yù)先設(shè)置的基準(zhǔn)高度以下的高度相應(yīng)部分如陰影區(qū)域所示，是實(shí)際上存在于端子區(qū)域外部的區(qū)域的可能性很高，因而此時(shí)的亮度信息可以設(shè)置為0。

另外，獲得的所述亮度信息例如可以為intensity、value、lightness中的任意一種形態(tài)，所述亮度信息在修正時(shí)可以修正為其他形態(tài)。例如，當(dāng)獲得的所述亮度信息為intensity時(shí)，所述亮度信息可以修正為value形態(tài)。

另一方面，在如上所述的亮度信息修正時(shí)，可以運(yùn)用利用直方圖的圖像處理。

所述處理部140可以利用所述修正的亮度信息及色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分。

下面參照附圖，詳細(xì)說(shuō)明一個(gè)示例的用于利用如上所述基板檢查裝置100來(lái)檢查在所述基板20上形成的部件10的端子的方法。

圖2是顯示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的部件的端子檢查方法的流程圖。

如果參照?qǐng)D1及圖2，首先，照射用于獲得三維形狀信息的光而獲得第一圖像(s110)。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述投影部110向所述檢查對(duì)象物10照射用于獲得所述檢查對(duì)象物10三維形狀信息的格子圖案光，所述圖像獲得部130可以接收所述格子圖案光被所述檢查對(duì)象物10反射的光并獲得第一圖像。

如圖1中所作的說(shuō)明，可以以垂直于所述檢查對(duì)象物的平面的法線為基準(zhǔn)，按第一傾斜角a1照射用于獲得所述檢查對(duì)象物10的三維形狀信息的光。

接著，照射各不相同的彩色光而獲得第二圖像(s120)。

作為一個(gè)實(shí)施例，所述照明部120向所述檢查對(duì)象物10照射具有各不相同色彩的至少兩個(gè)以上的光，所述圖像獲得部130可以接收所述彩色光被所述檢查對(duì)象物10反射的光而獲得第二圖像。

如圖1中所作的說(shuō)明，所述光可以包括互不相同色彩的第一彩色光、第二彩色光及第三彩色光，所述第一彩色光按小于所述第一傾斜角a1的第二傾斜角a2照射，所述第二彩色光及所述第三彩色光可以分別按大于所述第一傾斜角a1的第三傾斜角a1及第四傾斜角a4照射。作為一個(gè)實(shí)施例，所述第一、第二及第三彩色光分別為紅色光、綠色光及藍(lán)色光。

另一方面，獲得所述第一圖像的過(guò)程s110及獲得所述第二圖像的過(guò)程s120不限定于該順序。因此，既可以獲得第二圖像后獲得第一圖像，也可以交替獲得多個(gè)第一圖像及多個(gè)第二圖像。

然后，從第一及第二圖像分別獲得亮度信息及色相信息(s130)。

此時(shí)，也可以首先合成所述第一圖像及所述第二圖像而生成合成圖像，接著，從所述合成圖像獲得所述亮度信息及所述色相信息。

另一方面，如上所述獲得的第一及第二圖像或所述合成圖像為了容易、準(zhǔn)確地獲得圖像所述亮度信息及所述色相信息，可以執(zhí)行預(yù)定的圖像處理。例如，所述第一圖像或?qū)λ龅谝粓D像進(jìn)行平均化而生成的黑白圖像可以通過(guò)如下方法強(qiáng)化(enhancement)或修正所述亮度信息，即，針對(duì)預(yù)先設(shè)置的基準(zhǔn)高度以上的賦予亮度值，針對(duì)不足所述基準(zhǔn)高度的，將亮度值設(shè)置為0。另外，可以通過(guò)對(duì)在所述第二圖像或所述合成圖像中出現(xiàn)的r、g、b值或h、s、v值給以加權(quán)值等方法來(lái)強(qiáng)化所述色相信息。

接著，利用獲得的所述亮度信息及所述色相信息，獲得端子邊界中至少一部分(s140)。

如上所述獲得亮度信息及色相信息的過(guò)程s130及獲得端子邊界中至少一部分的過(guò)程s140可以在所述處理部140中執(zhí)行。

圖3是顯示圖2中獲得端子邊界的過(guò)程的一個(gè)實(shí)施例的流程圖，圖4是用于說(shuō)明圖3的獲得端子邊界的過(guò)程的概念圖。

如果參照?qǐng)D1、圖3及圖4，首先，在所述第一及第二圖像的合成圖像上設(shè)置檢查區(qū)域ia(s142)。

所述檢查區(qū)域ia設(shè)置得包含作為所述檢查對(duì)象物10的部件的端子10a。

接著，在所述檢查區(qū)域ia內(nèi)，沿著從所述端子一側(cè)邊界b1朝向另一側(cè)邊界b2的方向(以下稱為“基準(zhǔn)方向”)rd，設(shè)置所述像素的色彩從所述第一色彩變化為另一色彩的區(qū)間(s144)。

圖5是顯示關(guān)于圖4所示檢查區(qū)域的合成圖像的圖像，圖6是顯示圖5所示區(qū)間中色相及亮度變化的圖表。

如果參照?qǐng)D5及圖6，在所述檢查區(qū)域ia內(nèi)的任意一列，可以設(shè)置與所述第一色彩相應(yīng)的紅色變化成另一色彩的區(qū)間cs。出于便利而如圖5所示定義圖像的坐標(biāo)系xy時(shí)，例如，在與y＝y(tǒng)1相應(yīng)的像素列中，紅色變化為另一色彩的區(qū)間是與x＝x1、x＝x2、x＝x3對(duì)應(yīng)的像素區(qū)間。

如果重新參照?qǐng)D1、圖3及圖4，接下來(lái)，在所述區(qū)間內(nèi)檢測(cè)各像素色相信息的變化及各像素亮度信息的變化(s146)。所述色相的變化及所述亮度的變化可以為沿著所述基準(zhǔn)方向rd的各像素色相值的變化及各像素亮度值的變化。

所述色相及所述亮度可以設(shè)置為針對(duì)各個(gè)像素進(jìn)行正規(guī)化的(normalized)定量的值。例如，正如圖1中所作的說(shuō)明，色相、亮度及彩度可以表現(xiàn)為his、hsv、hsl等。作為一個(gè)實(shí)施例，在圖6中，利用hsv進(jìn)行量化，所述色相量化為h(hue)，所述亮度量化為v(value)。

接著，以所述各像素色相信息的變化及所述各像素亮度信息的變化為基礎(chǔ)，獲得所述端子的邊界中至少一部分(s148)。

圖7及圖8是用于說(shuō)明圖5及圖6的各像素色相的變化及各像素亮度的變化的概念圖。

如果參照?qǐng)D1及圖7，就所述部件的端子10a而言，以垂直于所述檢查對(duì)象物10的平面的法線為基準(zhǔn)，以小傾斜角照射的光大量入射到所述圖像獲得部130，以大傾斜角照射的光少量入射到所述圖像獲得部130。因此，所述照明部120中以最大傾斜角照射光的所述第一照明部122所照射的第一彩色光最多地入射到所述圖像獲得部130。

相反，如果參照?qǐng)D1及圖8，就鄰接所述部件的端子10a形成的焊料40而言，以垂直于所述檢查對(duì)象物10的平面的法線為基準(zhǔn)，以小傾斜角照射的光少量地入射到所述圖像獲得部130，以大傾斜角照射的光大量地入射所述圖像獲得部130。因此，所述照明部120的第一照明部122所照射的第一彩色光最少地入射到所述圖像獲得部130。

如上所述，會(huì)在所述部件的端子10a的作為邊界的端子末端發(fā)生急劇的色相變化。因此，可以將以最小傾斜角照射到所述檢查對(duì)象物10的所述第一彩色光的第一色彩在所述第二圖像上急劇變化的地點(diǎn)視為端子末端。

另一方面，所述照明部120的多個(gè)彩色光因光線的散射而可能無(wú)法按所希望的得到檢測(cè)到，由于光量不足，在所述第二圖像中，各色彩可能無(wú)法明確區(qū)分。因此，僅憑借所述色相的變化來(lái)決定所述部件的端子末端存在困難，其結(jié)果也可能不準(zhǔn)確。

借助于所述投影部110而獲得的第一圖像可以完善這種問(wèn)題。

用于獲得所述檢查對(duì)象物10的三維形狀信息的、基于所述投影部110的第一圖像或所述第一圖像的變化圖像，根據(jù)高度而在所述部件的端子10a顯示得明亮，在周邊顯示得黑暗。

例如，所述投影部110正如圖1中所作的說(shuō)明，可以朝向所述檢查對(duì)象物10，以既定的傾斜角照射格子圖案光，通過(guò)所述圖像獲得部130獲得的所述第一圖像可以通過(guò)圖像處理，變換成黑白圖像或單色光圖像。如上所述經(jīng)圖像處理而轉(zhuǎn)換的圖像，根據(jù)高度而在所述部件的端子10a顯示得明亮，在周邊顯示得黑暗，因此，可以將所述變換的圖像中從亮度高的部分急劇變化到低的部分的地點(diǎn)視為端子末端。

因此，在前面說(shuō)明的色相信息變化的基礎(chǔ)上，利用了亮度信息的變化，因而可以決定諸如端子末端的所述部件的端子10a邊界的至少一部分。

如果重新參照?qǐng)D5及圖6，作為一個(gè)示例，當(dāng)所述第一色彩為紅色時(shí)，在所述檢查區(qū)域ia內(nèi)的任意一列內(nèi)設(shè)置的區(qū)間cs中，所述色相(hue)沿著所述基準(zhǔn)方向rd，在所述區(qū)間cs增加，所述亮度(value)沿著所述基準(zhǔn)方向rd，在所述區(qū)間cs減少。

具體而言，在所述區(qū)間cs中，所述各像素的色相在x＝x1中顯示為h＝h1，而后增加為x＝x2、x＝x3，因而增加到h＝h2、h＝h3，所述各像素的亮度在x＝x1中顯示為v＝v1，而后隨著增加為x＝x2、x＝x3，因此，減小為v＝v2、v＝v3。

這兩個(gè)圖表的交點(diǎn)在x＝xt形成，如果全部考慮所述色相信息的變化及所述亮度信息的變化，則可以將所述交點(diǎn)推定為所述部件的端子末端。

如上所述，所述端子10a的作為邊界的端子末端可以決定為基于所述各像素色相值變化的增加趨勢(shì)線與基于所述各像素亮度值變化的減少趨勢(shì)線的相交點(diǎn)。因此，可以按子像素(sub-pixel)單位找出部件的端子的邊界，即使在部件的大小較小的情況下，也能夠獲得更準(zhǔn)確的部件的端子的邊界。

另一方面，在圖5的xy坐標(biāo)系上，可以決定各列的端子末端，即根據(jù)y坐標(biāo)決定所述端子末端，利用決定的端子末端，設(shè)置端子末端的邊界。此時(shí)，可以針對(duì)基于y坐標(biāo)的所述端子末端，利用諸如最小二乘法的方法，獲得端子末端的邊界。

可以利用如上所述決定的部件的端子的邊界，檢查所述部件的端子有無(wú)不良。

另一方面，所述部件的端子檢查方法可以還包括：從所述第一圖像獲得高度數(shù)據(jù)的步驟及利用所述高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息的步驟。例如，所述高度數(shù)據(jù)可以包括代表高度分布的圖像、代表高度分布的分布圖、各位置高度值本身等。

例如，在所述利用高度數(shù)據(jù)來(lái)修正所述亮度信息的步驟中，在所述高度數(shù)據(jù)中，在基準(zhǔn)高度以下的情況下，可以將所述亮度信息設(shè)置為0，以此種方式進(jìn)行修正。即，在獲得的所述亮度信息中，與預(yù)先設(shè)置的基準(zhǔn)高度以下的高度相應(yīng)的部分如陰影區(qū)域所示，是實(shí)際上存在于端子區(qū)域外部的區(qū)域的可能性很高，因而此時(shí)的亮度信息可以設(shè)置為0。

另外，獲得的所述亮度信息例如可以為intensity、value、lightness中的任意一種形態(tài)，所述亮度信息在修正時(shí)可以修正為其他形態(tài)。例如，當(dāng)獲得的所述亮度信息為intensity時(shí)，所述亮度信息可以修正為value形態(tài)。

另一方面，在如上所述的亮度信息修正時(shí)，可以運(yùn)用利用直方圖的圖像處理。

因此，利用所述獲得的所述亮度信息及所述色相信息來(lái)獲得端子邊界中至少一部分的步驟s140，可以利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，獲得所述檢查對(duì)象物的端子的邊界中至少一部分。

根據(jù)如上所述的部件的端子檢查方法及基板檢查裝置，從用于獲得檢查對(duì)象物的三維形狀信息的圖像和彩色圖像，分別獲得亮度信息及色相信息，由此獲得檢查對(duì)象物的端子邊界，從而能夠確保高準(zhǔn)確性和可靠性，因此，能夠提高檢查的準(zhǔn)確性及可靠性。

另外，可以從按圖像的像素而對(duì)所述亮度信息及所述色相信息進(jìn)行量化的數(shù)據(jù)，獲得所述檢查對(duì)象物的端子邊界，將所述各像素色相值變化的圖表與所述各像素亮度值變化的圖表的交點(diǎn)決定為端子末端，從而可以按子像素單位找出部件的端子的邊界，即使在部件大小較小的情況下，也能夠獲得更準(zhǔn)確的部件的端子的邊界。

另外，不僅能夠從用于獲得檢查對(duì)象物的三維形狀信息的圖像獲得三維形狀信息，而且，還用于亮度信息的提取，從而能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)據(jù)高效利用。

在前面說(shuō)明的本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明中，參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但只要是相應(yīng)技術(shù)領(lǐng)域的熟練從業(yè)人員或相應(yīng)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，便能夠在不超出后述的專利權(quán)利要求書記載的本發(fā)明的思想及技術(shù)領(lǐng)域的范圍內(nèi)，多樣地修改及變更本發(fā)明。因此，前述說(shuō)明及下面的附圖應(yīng)解釋為并非限定本發(fā)明的技術(shù)思想，而是對(duì)本發(fā)明的示例。