專利名稱：表面活化處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種表面活化處理裝置。
背景技術(shù)：
一般高分子塑料之表面張力極低，界面粘著性差，譬如PET、PTFE、PC等塑料的表面，通常在加工前都須經(jīng)過表面前處理，改變界面性質(zhì)，以提高塑料的表面的鍵合力。傳統(tǒng)的處理方法有化學法、電漿法、電暈法及紫外光照射法?；瘜W法有環(huán)保上廢液之顧慮，較少使用。電漿法優(yōu)點為，利用所通入的氣體不同，可達到不同之目的，且其效果佳，缺點是必須在真空低壓下進行處理，抽真空及破真空的過程耗時，不易做到連續(xù)性處理，而設(shè)備成本較高，亦為其不利之處。電暈法優(yōu)點是方法簡單，可于大氣壓下進行處理，設(shè)備成本較低；缺點為處理后效果不甚佳，僅對某些特定的對象有一定的效果，若設(shè)備的各個參數(shù)調(diào)整不良時，會破壞對象本身。紫外光照射法優(yōu)點，可于大氣壓下進行連續(xù)性處理，但是只能對塑料的表面進行單一的處理，無法達到多樣性的要求。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種可對表面進行連續(xù)且多樣性處理的表面活化處理裝置。一種表面活化處理裝置，其用于對基板表面進行活化處理；該表面活化處理裝置包括一外殼、一反應(yīng)裝置及一封閉裝置；所述外殼包括一內(nèi)側(cè)壁及一底壁，所述基板固設(shè)在所述內(nèi)側(cè)壁上，所述底壁上開設(shè)有一軸孔；所述反應(yīng)裝置一端由一底板封閉且從該底板上垂直延伸出一轉(zhuǎn)軸，該反應(yīng)裝置容置在外殼內(nèi)且所述轉(zhuǎn)軸從所述軸孔內(nèi)伸出；該反應(yīng)裝置包括一外筒、一內(nèi)筒及至少一紫外光燈管，所述外筒和內(nèi)筒固設(shè)于底板上，且內(nèi)筒容置于外筒內(nèi)，所述外筒內(nèi)開設(shè)有至少一燈管孔，所述紫外光燈管容置于所述燈管孔內(nèi)；外筒與內(nèi)筒之間形成一第一空間，內(nèi)筒圍成一第二空間；所述封閉裝置包括封閉第一空間和第二空間且相對外殼轉(zhuǎn)動的蓋體，與第一空間相連通的第一進氣管及與第二空間相連通的第二進氣管；所述外筒的側(cè)壁設(shè)置有多個與第一空間連通的第一噴口、與第二空間連通的第二噴口及與紫外光燈管相連通的出光孔。本發(fā)明提供的表面活化處理裝置中的反應(yīng)裝置在使用紫外光燈管發(fā)射的紫外光對基板進行紫外光照射法處理的同時，分別從第一噴口和第二噴口噴射出的氣體電漿和隋性氣體以對基板進行電漿法處理，以對基板表面進行連續(xù)且多樣性的表面活化處理。


圖1是本發(fā)明實施方式提供的表面活化處理裝置的分解示意圖。圖2是圖1中的表面活化處理裝置的另一角度的分解示意圖。圖3是圖1中的表面活化處理裝置的剖示圖。主要元件符號說明
表面活化處理裝置100
外殼10
容置腔101
內(nèi)側(cè)壁11
底壁12
軸孔121
承載板13
承載座131
反應(yīng)裝置20
底板201
轉(zhuǎn)軸202
外筒21
燈管孔211
第一側(cè)壁212
第一噴口212a
第二側(cè)壁213
第二噴口213a
第三側(cè)壁214
出光孔214a
內(nèi)筒22
紫外光燈管23
第一空間24
第二空間25
封閉裝置30
蓋體31
第一進氣管32
第二進氣管33
出氣管34
驅(qū)動裝置40
驅(qū)動部41
傳動部4具體實施例方式以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的詳細說明。如圖1至3所示，為本發(fā)明實施方式提供的一種表面活化處理裝置100，其用于對基板200進行表面活化處理；所述表面活化處理裝置100包括一外殼10、一反應(yīng)裝置20、一封閉裝置30及一驅(qū)動裝置40。所述外殼10為一半封閉六棱柱套筒，該外殼10包括一個內(nèi)側(cè)壁11及一底壁12。 所述內(nèi)側(cè)壁11垂直固設(shè)在所述底壁12的邊緣，并與底壁12形成一容置腔101。所述底壁12的中心處開設(shè)有一軸孔121。所述外殼10還包括一固設(shè)于內(nèi)側(cè)壁11上的承載板13，所述承載板13為條狀薄板，且所述承載板13上開設(shè)有多個用于承載待鍍膜基材的承載座131。 本實施方式中，六個承載板13分別通過螺釘可拆卸的固設(shè)在外殼10的內(nèi)側(cè)壁11上；可以理解，將承載板13固定到外殼10的方式有很多種，例如，磁鐵相互吸引，卡扣卡合等等。所述反應(yīng)裝置20包括一外筒21、一內(nèi)筒22及至少一紫外光燈管23。所述反應(yīng)裝置20—端由一底板201封閉且從該底板201的向下垂直延伸出一轉(zhuǎn)軸202。所述反應(yīng)裝置 20收容于外殼10的容置腔101內(nèi)，且所述轉(zhuǎn)軸202從所述軸孔121伸出，所述反應(yīng)裝置20 與外殼10通過轉(zhuǎn)軸202與軸孔121轉(zhuǎn)動連接。所述外筒21沿其軸向開設(shè)有至少一燈管孔 211，所述紫外光燈管23容置于所述燈管孔211內(nèi)。所述外筒21呈近似六棱柱體，其固設(shè)于底板201上且與底板201形成一半封閉的空間。所述外筒21包括依次相連的第一側(cè)壁212、第二側(cè)壁213及第三側(cè)壁214。所述第一側(cè)壁212上設(shè)置有多個第一噴口 212a，所述第二側(cè)壁213上設(shè)置有多個第二噴口 213a， 所述第三側(cè)壁214上開設(shè)有多個出光孔21 ;所述多個第一噴口 212a、第二噴口 213a及出光孔21 分別沿外筒21軸線方向排列。所述內(nèi)筒22呈環(huán)柱體，其容置于外筒21內(nèi)，且一端被底板201所封閉。所述內(nèi)筒22與外筒21之間形成一第一空間M，所述內(nèi)筒22內(nèi)形成一第二空間25，且所述第一噴口 21 與所述第一空間M相連通，所述第二噴口 213a與所述第二空間25相連通。所述出光孔21 與容置于燈管孔211中的紫外光燈管23相連通。所述封閉裝置30包括一蓋體31、兩個第一進氣管32、兩個第二進氣管33及兩個出氣管34。所述蓋體31將外殼10與底壁12相對的一端封閉，且同時封閉第一空間M及第二空間25 ；本實施方式中，所述蓋體31與反應(yīng)裝置20相固定，而相對所述外殼10可轉(zhuǎn)動。所述第一進氣管32、第二進氣管33及出氣管34分別套設(shè)于蓋體31中。所述兩個第一進氣管32與所述第一空間M相連通，用于向該第一空間M內(nèi)輸送氣體電漿。所述兩個第二進氣管33與所述第二空間25相連通，用于向該第二空間25內(nèi)輸送隋性氣體。所述兩個出氣管34與所述容置腔101相連通，用于所述容置腔101內(nèi)多余的氣體抽出。所述蓋體 31對應(yīng)所述外筒21的紫外光燈管23開設(shè)有兩個通孔35，所述紫外光燈管23的一端從所述通孔35中伸出。所述驅(qū)動裝置40包括一驅(qū)動部41及一傳動部42，所述驅(qū)動部41固設(shè)于一工作平臺(圖未示)上，所述傳動部42與反應(yīng)裝置20的轉(zhuǎn)軸202相固定連接。所述驅(qū)動裝置40 帶動反應(yīng)裝置20相對外殼10轉(zhuǎn)動。在表面處理開始前，操作者將需要進行表面活化處理的基板200放置于承載板13 的承載座131內(nèi)，然后使用所述封閉裝置30將外殼10及反應(yīng)裝置20均封閉。對待基板 200進行表面處理時，利用出氣管34將所述外殼10內(nèi)抽成真空。所述驅(qū)動裝置40帶動反應(yīng)裝置20相對外殼10轉(zhuǎn)動，并通過第一進氣管32向第一空間M內(nèi)通入氣體電漿，通過第二進氣管33向第二空間25內(nèi)通入隋性氣體，并同時開啟紫外光燈管23。所述從第一噴口 21 噴出的氣體電漿在從所述第二噴口 213a噴出的隋性氣體的轟擊作用下電離成離子電漿，所述紫外光燈管23發(fā)射出的紫外光光線從所述出光孔21 射出。位于外殼10中承載座131上的每個基板200，在所述反應(yīng)裝置20在不斷的旋轉(zhuǎn)過程中，分別受到離子電漿的噴射以及紫外光光線的照射，以對基板200的表面進行連續(xù)且多樣性的表面活化處理。本發(fā)明提供的表面活化處理裝置中的反應(yīng)裝置在使用紫外光燈管發(fā)射的紫外光對基板進行紫外光照射法處理的同時，分別從第一噴口和第二噴口噴射出的氣體電漿和隋性氣體以對基板進行電漿法處理，使得能對基板表面進行連續(xù)且多樣性的表面活化處理。
可以理解的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種像應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種表面活化處理裝置，其用于對基板表面進行活化處理；該表面活化處理裝置包括一外殼、一反應(yīng)裝置及一封閉裝置；所述外殼包括一內(nèi)側(cè)壁及一底壁，所述基板固設(shè)在所述內(nèi)側(cè)壁上，所述底壁上開設(shè)有一軸孔；所述反應(yīng)裝置一端由一底板封閉且從該底板上垂直延伸出一轉(zhuǎn)軸，該反應(yīng)裝置容置在外殼內(nèi)且所述轉(zhuǎn)軸從所述軸孔內(nèi)伸出；該反應(yīng)裝置包括一外筒、一內(nèi)筒及至少一紫外光燈管，所述外筒和內(nèi)筒固設(shè)于底板上，且內(nèi)筒容置于外筒內(nèi)，所述外筒內(nèi)開設(shè)有至少一燈管孔，所述紫外光燈管容置于所述燈管孔內(nèi)；外筒與內(nèi)筒之間形成一第一空間，內(nèi)筒圍成一第二空間；所述封閉裝置包括封閉第一空間和第二空間且相對外殼轉(zhuǎn)動的蓋體，與第一空間相連通的第一進氣管及與第二空間相連通的第二進氣管；所述外筒的側(cè)壁設(shè)置有多個與第一空間連通的第一噴口、與第二空間連通的第二噴口及與紫外光燈管相連通的出光孔。
2.如權(quán)利要求1所述的表面活化處理裝置，其特征在于所述內(nèi)側(cè)壁與底壁形成一容置腔，所述封閉裝置還包括一出氣管，所述出氣管與容置腔相連通。
3.如權(quán)利要求1所述的表面活化處理裝置，其特征在于所述外筒包括依次相連的第一側(cè)壁、第二側(cè)壁及第三側(cè)壁；所述第一噴口位于第一側(cè)壁上，所述第二噴口位于第二側(cè)壁上，所述出光孔位于第三側(cè)壁上。
4.如權(quán)利要求3所述的表面活化處理裝置，其特征在于所述燈管孔與出光孔相連通， 所述紫外光燈管發(fā)射的光線從出光孔射出。
5.如權(quán)利要求1所述的表面活化處理裝置，其特征在于所述表面活化處理裝置還包括一驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置與所述轉(zhuǎn)軸相連接。
6.如權(quán)利要求1所述的表面活化處理裝置，其特征在于所述第一進氣管內(nèi)通入電漿氣體，所述第二進氣管內(nèi)通入隋性氣體，所述電漿氣體在隋性氣體的轟擊下形成離子電漿。
全文摘要
本發(fā)明提供一種表面活化處理裝置，其包括外殼、反應(yīng)裝置及封閉裝置；外殼包括內(nèi)側(cè)壁及底壁，基板固設(shè)在所述內(nèi)側(cè)壁上，底壁上開設(shè)有軸孔；反應(yīng)裝置一端由底板封閉且從該底板上垂直延伸出轉(zhuǎn)軸，反應(yīng)裝置容置在外殼內(nèi)且轉(zhuǎn)軸從軸孔內(nèi)伸出；反應(yīng)裝置包括外筒、內(nèi)筒及紫外光燈管，外筒和內(nèi)筒固設(shè)于底板上且內(nèi)筒容置于外筒中，外筒內(nèi)開設(shè)有容置紫外光燈管的燈管孔；外筒與內(nèi)筒之間形成第一空間，內(nèi)筒圍成第二空間；封閉裝置包括封閉第一空間和第二空間且相對外殼轉(zhuǎn)動的蓋體，與第一空間連通的第一進氣管及與第二空間連通的第二進氣管；外筒的側(cè)壁設(shè)置有與第一空間連通的第一噴口、與第二空間連通的第二噴口及與紫外光燈管相連通的出光孔。
文檔編號B29B13/00GK102189617SQ201010117058
公開日2011年9月21日 申請日期2010年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月3日
發(fā)明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司