專利名稱：真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置、薄膜粘貼裝置、顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置、具有真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的薄膜粘貼
裝置、用薄膜粘貼裝置制造的顯示裝置。
背景技術(shù)：
使用液晶等的顯示裝置通過在具有顯示用電極的一對玻璃等基板之間填充液晶 等、并在一個的面上粘貼偏光膜而形成。 在基板上粘貼薄膜的裝置有各種結(jié)構(gòu)的裝置，有專利文獻(xiàn)1所記載的、采用在表 面具有吸附孔的粘貼部(粘貼頭)的裝置。 具體而言，如日本特開2001-42315號公報(專利文獻(xiàn)1)
段所述，薄膜支撐 體22的具有彎曲形狀的吸附面由穿設(shè)有多個吸附孔的板構(gòu)成，吸附孔上連接有吸附閥。
并且，如
段所述，使薄膜支撐體22旋轉(zhuǎn)而移動至供給薄膜的供給裝置A 側(cè)，切換吸附閥而通過吸附孔進(jìn)行除氣，由此吸附薄膜。 若吸附了薄膜，則使薄膜支撐體22旋轉(zhuǎn)而移動至基板(液晶面板)上，從而將薄 膜粘貼在基板上。 之后，切換吸附閥而進(jìn)行供氣，由此解除吸附，從基板上將薄膜支撐體22剝離。
此外，如
段所述，為了防止粘貼時薄膜的位置偏離，在粘貼時對薄膜噴吹空氣。
發(fā)明內(nèi)容
然而，在上述利用真空吸附粘貼薄膜的結(jié)構(gòu)中，通過吸附閥控制吸附孔的吸附，因
此需要準(zhǔn)備與吸附孔的數(shù)量對應(yīng)的數(shù)量的閥，因此存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問題。 此外，由于在進(jìn)行吸附或粘貼時噴吹空氣，因此裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，并且，由于噴吹
空氣，異物或空氣混入粘貼面，存在可能會降低粘貼精度的問題。 本發(fā)明鑒于上述問題而做出，其目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單并且能夠高精度地將 薄膜粘貼于被粘貼物上的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置。 為了實現(xiàn)上述目的，第一發(fā)明涉及的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于，包括 粘貼頭，在內(nèi)部具有空間；多個吸附孔，被設(shè)置為從所述粘貼頭的表面貫通至內(nèi)部的所述空 間，吸附薄膜；移動擋塊，被設(shè)置為在所述空間的內(nèi)部與所述吸附孔接觸并相對于所述粘貼 頭進(jìn)行相對移動，將所述空間劃分為2個區(qū)域；以及連接部，設(shè)置于作為2個所述區(qū)域中的 1個區(qū)域的第一區(qū)域，能夠連接于減壓源。 第二發(fā)明涉及薄膜粘貼裝置，其特征在于，具有第一發(fā)明所述的真空吸附控制機(jī) 構(gòu)裝置。 第三發(fā)明涉及顯示裝置，其特征在于，使用第二發(fā)明所述的薄膜粘貼裝置在被粘 貼物上粘貼薄膜而制造出來。 第四發(fā)明涉及薄膜粘貼方法，其特征在于，使用第二發(fā)明所述的薄膜粘貼裝置。
3
(發(fā)明效果) 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種結(jié)構(gòu)簡單并且能夠高精度地將薄膜粘貼于被粘貼物上 的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置。
圖1是表示薄膜粘貼裝置1的透視圖。 圖2是通過虛線表示圖1中的粘貼頭3的圖。 圖3是圖2的側(cè)視圖，是通過3-3剖視圖表示粘貼頭3的圖。 圖4是通過4-4剖視圖表示圖3中的粘貼頭3的圖。 圖5A是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17吸附于粘貼頭3的步驟的圖。 圖5B是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17吸附于粘貼頭3的步驟的圖。 圖6A是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17吸附于粘貼頭3的步驟的圖。 圖6B是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17吸附于粘貼頭3的步驟的圖。 圖7A是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上的步驟的圖。 圖7B是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上的步驟的圖。 圖8A是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上的步驟的圖。 圖8B是表示使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上的步驟的圖。 圖9是表示使用薄膜粘貼裝置1將偏光板粘貼于液晶面板而制造出來的顯示裝置 的圖。 標(biāo)號說明1薄膜粘貼裝置
3粘貼頭5移動擋塊9吸附孔9a吸附孔組11a第一區(qū)域lib第二區(qū)域13連接部15粘貼平臺15a上表面17薄膜19玻璃基板19a臺紙21粘貼輥25偏光板26液晶面板27顯示裝置
具體實施例方式
以下，根據(jù)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。 首先，參照圖1 圖4說明本發(fā)明的實施方式所涉及的薄膜粘貼裝置1的概略結(jié)構(gòu)。
在此，作為薄膜粘貼裝置l，示例了用于在作為被粘貼物的液晶顯示裝置的玻璃基 板上粘貼作為薄膜的具有撓性的偏光膜的薄膜粘貼裝置。 如圖1 圖3所示，作為真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的薄膜粘貼裝置1具有粘貼頭3、 粘貼平臺15、及作為粘貼輔助件的粘貼輥21。 在此，作為具備粘貼輔助件的例子，以粘貼輥21為例進(jìn)行說明，但也可以代替粘 貼輥21而使用桿狀的刮板(Squeegee)，也可以將粘貼頭3的端部用作刮板而發(fā)揮粘貼輔助 件的作用。 如圖1 圖3所示，薄膜粘貼裝置1具有吸附后述的薄膜17的塊狀的粘貼頭3。
構(gòu)成粘貼頭3的材料沒有特別限定，但是優(yōu)選至少與薄膜17接觸的部位具有彈性 的材料，更優(yōu)選硬度為SRIS 0101規(guī)格的20 40度的橡膠或樹脂。 通過由上述材料構(gòu)成粘貼頭3，在將薄膜17粘貼在玻璃基板19上時均勻地產(chǎn)生 粘貼壓力，因此，能夠防止粘貼壓力集中在局部而使玻璃破碎的情況，能夠?qū)崿F(xiàn)玻璃基板19 的薄板化。 此外，由于均勻地產(chǎn)生粘貼壓力，因此能夠防止粘貼時氣泡混入粘貼面，從而能夠 使用平坦性差的低級玻璃作為玻璃基板19的材料。 此外。粘貼頭3能夠通過未圖示的致動器朝著圖3的C1、C2、F1、F2方向移動。
此外，與粘貼頭3的表面3a相對地設(shè)置有保持被粘貼物的平板狀的粘貼平臺15。
粘貼平臺15也可以設(shè)置成能夠朝著圖3的Cl、 C2、 Fl、 F2方向移動。并且，也可 以設(shè)置成調(diào)整粘貼平臺的水平度的e朝向也可調(diào)的結(jié)構(gòu)。 構(gòu)成粘貼平臺15的材料沒有特別的限定，但與粘貼頭3同樣優(yōu)選具有彈性的材 料，更優(yōu)選硬度為SRIS 0101規(guī)格的20 40度的橡膠或樹脂。 通過由上述材料構(gòu)成粘貼平臺15，能夠?qū)崿F(xiàn)與由上述材料構(gòu)成粘貼頭3時相同的 效果。 此外，與粘貼平臺15的上表面15a相對地設(shè)置有圓筒狀的粘貼輥21，所述圓筒狀 的粘貼輥21用于粘貼時按壓薄膜17。 另外，粘貼輥21可以設(shè)置成能夠旋轉(zhuǎn)，也可以設(shè)置成能夠朝著圖2的Cl、 C2、 Fl、
F2方向移動。 接著，參照圖2 圖4詳細(xì)說明粘貼頭3的結(jié)構(gòu)。 如圖2 圖4所示，在粘貼頭3的內(nèi)部設(shè)有空間11。 在粘貼頭3的表面3a設(shè)有從表面3a貫通至空間11的多個吸附孔9。 空間11內(nèi)設(shè)有移動擋塊5 。 移動擋塊5被設(shè)置成將空間11的內(nèi)部劃分成第一區(qū)域lla及第二區(qū)域llb，能夠 接觸于吸附孔9并朝著圖2的D1、D2方向移動。 此外，粘貼頭3具有從第一區(qū)域lla的內(nèi)壁貫通至粘貼頭3的側(cè)面3b而設(shè)置的連 接部13。 連接部13連接有未圖示的真空泵等減壓源。
在此，如圖3所示，多個吸附孔9中與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔即吸附孔組9a 的各吸附孔經(jīng)由第一區(qū)域lla與連接部13連接，因此與減壓源連接。 若在該狀態(tài)下使減壓源運(yùn)轉(zhuǎn)，則吸附孔組9a的各吸附孔內(nèi)被排氣，能夠吸附薄膜 17。 而吸附孔組9a以外的吸附孔、具體而言與第二區(qū)域lib或移動擋塊5接觸的吸附 孔，與連接部13的連接被移動擋塊5斷開，因此不與減壓源連接。 在該狀態(tài)下，這些吸附孔9內(nèi)不被排氣，因此不能夠吸附薄膜17，在已經(jīng)吸附有薄 膜17的情況下，薄膜17從這些吸附孔9離開。 由此，薄膜粘貼裝置1連接與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔和減壓源。 另外，粘貼頭3被設(shè)置成表面3a相對于粘貼平臺15的上表面15a成預(yù)定的傾斜
角度a。此外，粘貼頭3能夠朝著E1、E2方向移動，通過移動能夠改變傾斜角度a。 接著，參照圖5A 圖8B說明使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19
上的步驟。 為了使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上，需要將薄膜17吸附于
粘貼頭3的工序和將粘貼頭3上的薄膜17粘貼在玻璃基板19上的工序。 首先，參照圖5A 圖6B說明將薄膜17吸附于粘貼頭3的工序。 首先，如圖5a所示，在粘貼平臺15上放置并固定薄膜17。 薄膜17被粘貼于臺紙19a，與臺紙19a的接觸面上設(shè)有未圖示的粘接層。 另外，作為固定薄膜17的構(gòu)件可使用公知的構(gòu)件，例如通過真空吸附或夾持件進(jìn)
行固定。 接著，使粘貼頭3的移動擋塊5朝著圖5A的Dl方向移動，所有吸附孔9被設(shè)置在 與第二區(qū)域lib或移動擋塊5接觸的位置。 另外，移動擋塊5只要相對于粘貼頭3進(jìn)行相對移動即可，但是也可以不使移動擋
塊5移動，而使粘貼頭3移動。 由此，所有吸附孔9失去吸附力。 接著，在該狀態(tài)下，使粘貼頭3或粘貼平臺15朝著圖2的C1、C2、F1、F2方向移動， 并且使粘貼頭3朝著E2方向移動，如圖5B所示，所有的吸附孔9接觸于薄膜17的表面，使 未圖示的減壓源排氣。 另外，在使吸附孔9接觸于薄膜17的表面時，如圖5B所示，使薄膜17的端部稍微 從粘貼頭3的右端伸出。這是為了在粘貼時對粘貼輥21施加張力。 此外，移動時通過未圖示的傳感器、攝像機(jī)等確定薄膜17的位置，根據(jù)該位置，驅(qū)
動未圖示的致動器，使粘貼頭3或粘貼平臺15移動。 接著，使移動擋塊5從圖5B的狀態(tài)朝著D2方向移動。 于是，吸附孔9從圖5B的右端的吸附孔起按依次與第一區(qū)域lla接觸，按照與第
一區(qū)域lla接觸的順序與減壓源連接而被排氣，從而吸附薄膜17。 另外，也可以不使移動擋塊5移動，而使粘貼頭3及粘貼平臺15移動。 例如，圖6A是表示吸附中途的圖，與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔即吸附孔組9a的
各吸附孔經(jīng)由第一區(qū)域lla與連接部13連接，因此與減壓源連接，從而吸附薄膜17。 另外，吸附力取決于薄膜17的表面粗糙度及撓性，但如果是本實施方式這樣的液晶面板用偏光膜，則優(yōu)選為2. OX 104Pa 4. 9X 104Pa左右。 并且，如圖6B所示，若移動擋塊5移動至左端，所有的吸附孔9與第一區(qū)域11a接 觸，則使粘貼頭3朝向圖2的El方向傾斜而返回至原來的傾斜角度a (參照圖3)，使粘貼 頭3或粘貼平臺15朝著圖2的C1、C2、F1、F2方向移動，從而使粘貼頭3從粘貼平臺15離 開。 由此，薄膜粘貼裝置1在吸附薄膜17時，從與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔依次與 減壓源連接，吸附薄膜17。 因此，吸附時薄膜17不會產(chǎn)生偏離，能夠高精度地吸附薄膜17。 接著，參照圖7A 圖8B說明將所吸附的薄膜17粘貼在玻璃基板19上的工序。 首先，如圖7A所示，在粘貼平臺15上固定玻璃基板19。固定構(gòu)件與固定薄膜17
時相同。接著，使吸附有薄膜17的粘貼頭3或粘貼平臺15朝著圖2的C1、C2、F1、F2方向 移動，使薄膜17的右端接觸于玻璃基板19的預(yù)定位置。
并且，用粘貼輥21按壓薄膜17的右端。 另外，通過未圖示的傳感器、攝像機(jī)等確定玻璃基板19的預(yù)定位置，根據(jù)該位置，
驅(qū)動未圖示的致動器，使粘貼頭3或粘貼平臺15移動，由此向預(yù)定位置對準(zhǔn)。 并且，使粘貼平臺15朝著Cl方向移動，并且與該移動同步地使移動擋塊5朝著圖
7A的D1方向移動。 另外，粘貼頭3及粘貼輥21不移動。 于是，由于粘貼輥21的按壓，薄膜17從右端開始粘貼于玻璃基板19，但此時吸附 孔9從左端起依次解除與第一區(qū)域lla的接觸，從而失去吸附力。 因此，薄膜17在被吸附于粘貼頭3的表面3a的狀態(tài)下保持著張力，且使粘貼頭3 的表面朝著Dl方向移動并將薄膜17粘貼于玻璃基板19。 例如，圖7B及圖8A是表示粘貼中途的圖，與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔即吸附孔 組9a的各吸附孔經(jīng)由第一區(qū)域lla與連接部13連接，因此與減壓源連接，吸附薄膜17。
如圖8B所示，若結(jié)束薄膜17的粘貼，則停止粘貼平臺15的移動。
由此，薄膜17被粘貼于玻璃基板19，制作完成液晶面板。 作為參考，在圖9中示出使用薄膜粘貼裝置1將偏光板粘貼于液晶面板而制造的 顯示裝置27。 在圖9所示的顯示裝置27中，使用薄膜粘貼裝置1將偏光板25粘貼于液晶面板 26。 由此，薄膜粘貼裝置1在將薄膜17粘貼于玻璃基板19時，以從吸附孔9的左端起 依次失去吸附力的方式移動移動擋塊5，在薄膜17吸附于粘貼頭3的表面3a的狀態(tài)下，使 粘貼頭3的表面朝著Dl方向移動并將薄膜17粘貼于玻璃基板19。 因此，粘貼時不會產(chǎn)生薄膜17偏離、空氣或異物混入的情況，能夠高精度地粘貼 薄膜17。 由此，根據(jù)本實施方式，薄膜粘貼裝置1包括具有多個吸附孔9及空間11的粘貼 頭3、將空間11內(nèi)劃分成2個區(qū)域的移動擋塊5，連接或斷開與第一區(qū)域lla接觸的吸附孔 9和減壓源。
因此，薄膜粘貼裝置1不需要為了控制吸附而設(shè)置多個閥，從而結(jié)構(gòu)簡單。 此外，由于不需要噴吹空氣，因此粘貼時不會產(chǎn)生薄膜17偏離、空氣或異物混入
等情況，能夠高精度地粘貼薄膜17。 此外，使用薄膜粘貼裝置1將薄膜17粘貼在玻璃基板19上來制造顯示裝置，由此
能夠提高所制造的顯示裝置的品質(zhì)。
(實施例) 以下，根據(jù)實施例具體地說明本發(fā)明。 作為本發(fā)明的實施例，準(zhǔn)備圖1所示的薄膜粘貼裝置1，在對角長2英寸 60英寸 的玻璃基板19上粘貼偏光膜。 另外，粘貼所使用的偏光膜的表面粗糙度為0. 3 ii m《Ra《3. 0 ii m、厚度為0. 1 0. 5mm。 此外，粘貼時的各吸附孔的吸附力設(shè)定為2. 0X104Pa 4. 9X10乍a左右。 結(jié)果得知，粘貼時偏光膜不會從粘貼頭3落下，并且粘貼時的偏光膜的滑動方面
也不會產(chǎn)生不良狀況。 在上述的實施方式中，說明了將本發(fā)明適用于在液晶顯示基板上粘貼偏光膜的裝
置的情況，但是本發(fā)明不限于此，能夠適用于在被粘貼物上粘貼薄膜的所有裝置。 S卩，根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，所述移動擋
塊被設(shè)置為粘貼時能夠相對于所述粘貼頭移動。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，所述粘貼頭被 設(shè)置為粘貼時能夠相對于所述移動擋塊移動。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，所述真空吸附 控制機(jī)構(gòu)還包括保持被粘貼物的粘貼平臺，能夠改變所述粘貼頭與所述粘貼平臺的相對位置。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，通過移動粘貼 頭或粘貼平臺，改變所述相對位置。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，所述粘貼頭及/ 或所述粘貼平臺具有彈性。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，也可以是，還包括輔助件， 被設(shè)置為與所述粘貼平臺相對，用于進(jìn)行粘貼時按壓薄膜。 根據(jù)本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置的其他實施方式，所述輔助件可以是能夠旋 轉(zhuǎn)的粘貼輥，也可以是桿狀的刮板。 此外，根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的其他實施方式，也可以是，所述薄膜具有撓性。
根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的其他實施方式，也可以是，所述薄膜是光學(xué)薄膜，所述被 粘貼物是可見光能夠透射的基板。 根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的其他實施方式，也可以是，所述光學(xué)薄膜是偏光膜，所述 顯示裝置是液晶顯示裝置。 根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的其他實施方式，也可以是，所述被粘貼物是玻璃。 在上述的實施方式中，真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置具備將粘貼頭內(nèi)部的空間劃分成2
個區(qū)域的移動擋塊，只有與作為移動擋塊所劃分的1個區(qū)域的第一區(qū)域接觸的吸附孔具有吸附力。
因此，在粘貼薄膜時，能夠僅通過移動擋塊的移動進(jìn)行吸附控制，結(jié)構(gòu)簡單，并且
不會產(chǎn)生薄膜的偏離、異物或空氣的混入，能夠高精度地將薄膜粘貼于被粘貼物。 此外，根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的實施方式，顯示裝置是使用本發(fā)明的真空吸附控
制機(jī)構(gòu)裝置制造的，因此能夠提高顯示裝置的品質(zhì)。 另外，本申請要求2007年9月4日提交的日本專利申請第2007-229159號的優(yōu)先 權(quán)，其公開的所有內(nèi)容作為參考文獻(xiàn)引入本申請。
權(quán)利要求
一種真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于，包括粘貼頭，在內(nèi)部具有空間；多個吸附孔，被設(shè)置為從所述粘貼頭的表面貫通至內(nèi)部的所述空間，吸附薄膜；移動擋塊，被設(shè)置為在所述空間的內(nèi)部與所述吸附孔接觸并相對于所述粘貼頭進(jìn)行相對移動，將所述空間劃分為2個區(qū)域；以及連接部，設(shè)置于作為2個所述區(qū)域中的1個區(qū)域的第一區(qū)域，能夠連接于減壓源。
2. 如權(quán)利要求1所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 所述移動擋塊被設(shè)置為粘貼時能夠相對于所述粘貼頭移動。
3. 如權(quán)利要求1所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 所述粘貼頭被設(shè)置為粘貼時能夠相對于所述移動擋塊移動。
4. 如權(quán)利要求3所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 還包括保持被粘貼物的粘貼平臺， 能夠改變所述粘貼頭與所述粘貼平臺的相對位置。
5. 如權(quán)利要求4所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 通過移動粘貼頭或粘貼平臺，改變所述相對位置。
6. 如權(quán)利要求4所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 所述粘貼頭及/或所述粘貼平臺具有彈性。
7. 如權(quán)利要求4所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 還包括輔助件，被設(shè)置為與所述粘貼平臺相對，用于在進(jìn)行粘貼時按壓薄膜。
8. 如權(quán)利要求7所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于， 所述輔助件是能夠旋轉(zhuǎn)的粘貼輥或者桿狀的刮板。
9. 一種薄膜粘貼裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1 8中任一項所述的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置。
10. —種顯示裝置，其特征在于，通過使用權(quán)利要求9所述的薄膜粘貼裝置在被粘貼物上粘貼薄膜而制造出所述顯示裝置。
11. 如權(quán)利要求10所述的顯示裝置，其特征在于， 所述薄膜具有撓性。
12. 如權(quán)利要求10所述的顯示裝置，其特征在于， 所述薄膜是光學(xué)薄膜， 所述被粘貼物是可見光能夠透射的基板。
13. 如權(quán)利要求12所述的顯示裝置，其特征在于， 所述光學(xué)薄膜是偏光膜，所述顯示裝置是液晶顯示裝置。
14. 如權(quán)利要求12所述的顯示裝置，其特征在于， 所述被粘貼物是玻璃。
15. —種薄膜粘貼方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求9所述的薄膜粘貼裝置。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單并且能夠高精度地將薄膜粘貼于被粘貼物上的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置。本發(fā)明的真空吸附控制機(jī)構(gòu)裝置，其特征在于，包括粘貼頭，在內(nèi)部具有空間；多個吸附孔，被設(shè)置為從所述粘貼頭的表面貫通至內(nèi)部的所述空間，吸附薄膜；移動擋塊，被設(shè)置為在所述空間的內(nèi)部與所述吸附孔接觸并相對于所述粘貼頭進(jìn)行相對移動，將所述空間劃分為2個區(qū)域；以及連接部，設(shè)置于作為2個所述區(qū)域中的1個區(qū)域的第一區(qū)域，能夠連接于減壓源。
文檔編號B29C65/78GK101795849SQ20088010502
公開日2010年8月4日 申請日期2008年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月4日
發(fā)明者小寺秀樹 申請人:Nec液晶技術(shù)株式會社