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介質(zhì)薄膜用流延裝置的制作方法

文檔序號:4413198閱讀:205來源:國知局
專利名稱:介質(zhì)薄膜用流延裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及電子元器件的制造領(lǐng)域,更具體地說,本實(shí)用新型涉及疊層型片式電子元器件的一種介質(zhì)薄膜裝置。
背景技術(shù)
疊層型片式電子元器件的制造過程主要包括流延、絲印、疊層等工序。其中,流延作為必不可少的工序在電子元器件的制造過程中起著重要的作用,流延出來的介質(zhì)薄膜的均勻性、致密性、厚度等因素將直接影響到元器件的最終產(chǎn)品性能。
在現(xiàn)有的薄膜流延技術(shù)中,主要有以下幾種方法1)漿料盒平面間隙法采用塑料載膜置于水平的平臺上,在載膜上安放一塊流延漿料盒,漿料從上面進(jìn)入流延漿料盒內(nèi),通過流延漿料盒與載膜之間的間隙流出,在載膜上形成一層薄膜;該方法缺點(diǎn)在于由于流延漿料盒與塑料載膜之間所形成的間隙在流延過程中是相對固定的,因此對于相同的漿料要流延出不同厚度的介質(zhì)薄膜需要加工多種不同間隙的流延漿料盒才能滿足要求;同時(shí),由于流延漿料盒是靠自身重量接觸施壓在塑料載膜上,因此,塑料載膜與漿料盒之間的摩擦、塑料載膜本身的變形都會影響流延出來的介質(zhì)薄膜的質(zhì)量。
2)輥?zhàn)愉搸Я餮臃餮虞佔(zhàn)铀椒胖茫搸ㄟ^導(dǎo)向棍子饒過流延輥?zhàn)铀较蚯斑\(yùn)動,流延頭安裝在流延輥?zhàn)拥纳戏剑餮宇^與流延輥?zhàn)有纬梢欢ǖ拈g隙,在流延過程中流延輥?zhàn)与S著鋼帶而運(yùn)動,漿料通過流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙在鋼帶上形成一層薄膜,該方法缺點(diǎn)在于這種鋼帶流延方法只適合10μm以上的介質(zhì)薄膜流延;而且不適合電子元器件的放卷到收卷式(roller to roller)的制造工藝。
3)輥?zhàn)铀苣ち餮臃餮虞佔(zhàn)铀椒胖?,塑料載膜通過導(dǎo)向棍子饒過流延輥?zhàn)铀较蚯斑\(yùn)動,流延頭安裝在流延輥?zhàn)拥南路?,流延頭與流延輥?zhàn)有纬梢欢ǖ拈g隙,漿料通過流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙在載膜上形成一層薄膜。該方法的缺點(diǎn)在于因?yàn)榱餮宇^安裝的位置在流延輥?zhàn)酉路剑诹餮舆^程中流延輥?zhàn)邮请S著塑料載膜而運(yùn)動。當(dāng)在加工開始前的靜止?fàn)顟B(tài)下,為了控制流延出來的介質(zhì)薄膜的厚度,必須事先對流延頭刀口與流延輥?zhàn)又g的間隙做出調(diào)整,但是由于流延輥?zhàn)蛹庸ぎa(chǎn)生的圓度誤差以及流延輥?zhàn)优c軸承之間的裝配公差,在實(shí)際流延過程中,這些誤差都將影響流延出來的介質(zhì)薄膜的質(zhì)量;另外,這種方法制造精度要求高、成本高、維護(hù)復(fù)雜,不適合小批量、多品種產(chǎn)品的使用。

發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn),本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是要提供一種在流延過程中能使流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙保持不變,從而減少乃至完全消除由流延輥?zhàn)影惭b/加工誤差對流延膜質(zhì)量的影響,且能方便靈活地調(diào)整流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙以達(dá)到最佳間隙和位置、以適應(yīng)不同規(guī)格厚度的流延膜生產(chǎn)的介質(zhì)薄膜用流延裝置。
為此,本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種介質(zhì)薄膜用流延裝置,包括流延頭、流延輥?zhàn)蛹捌漭S承和支座、載膜上料和/或收料棍子系統(tǒng),而所述的流延輥?zhàn)优c其軸承支座間設(shè)置有制止所述的流延輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動的鎖定裝置;在所述的流延輥?zhàn)优c所述的流延頭之間設(shè)有調(diào)節(jié)和設(shè)定二者間相對位置以及間隙距離的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)。所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)是沿所述的流延頭軸線的一或多處上設(shè)置的、能調(diào)節(jié)所述的流延頭與所述的流延輥?zhàn)幽妇€之間的垂直間距、和/或水平間距、和/或相互夾角的機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的這種結(jié)構(gòu)安排,首先,在于其設(shè)計(jì)通過鎖定裝置如鎖緊環(huán)將流延輥?zhàn)渔i緊在其本身的軸承或支撐體上,從而保證在流延過程中流延輥?zhàn)邮庆o止的,不會轉(zhuǎn)動或其它位移,流延輥?zhàn)釉诹餮舆^程中保持靜止的工作狀態(tài)可以減少由于流延輥?zhàn)訄A度誤差以及流延輥?zhàn)友b配誤差對流延膜產(chǎn)品的厚度均勻性、表面光潔度等質(zhì)量指標(biāo)帶來的不良影響,同時(shí),流延輥?zhàn)釉诹餮舆^程中靜止,可以保證流延漿料盒與流延輥?zhàn)由系妮d膜之間沒有接觸,不會由于摩擦產(chǎn)生振動,也會相應(yīng)地提高流延出來的介質(zhì)薄膜的質(zhì)量。再者,因?yàn)榱餮宇^與流延輥?zhàn)拥拈g距、角度都可以方便靈活地調(diào)整,既能保證得到最佳的流延位置和合理間隙,從而提高流延膜質(zhì)量,而且通過對流延輥?zhàn)拥拈g距、角度調(diào)整能相應(yīng)地改變流延漿料盒與流延輥?zhàn)又g的間隙,以生產(chǎn)出不同規(guī)格厚度的流延膜;此外,由于可以在調(diào)整過程中轉(zhuǎn)動流延輥?zhàn)?,?dāng)流延輥?zhàn)颖蝗缢芰陷d膜長期磨擦而產(chǎn)生了一定的磨損后,可以松開鎖定裝置如鎖緊環(huán)來改變流延輥?zhàn)拥奈恢?,轉(zhuǎn)換角度選擇未磨損面再鎖緊后進(jìn)行流延,從而大大延長流延輥?zhàn)拥氖褂媚晗藓凸ぷ鲏勖?br> 本實(shí)用新型的流延頭是由流延刀與流延漿料盒組成;相應(yīng)地所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)包括固定在所述的流延輥?zhàn)由系闹误w、和滑動配合在該支撐體上的流延漿料盒、以及能驅(qū)動該流延漿料盒作水平移動和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的水平調(diào)節(jié)螺釘、能驅(qū)動該流延漿料盒作垂直移動和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的垂直調(diào)節(jié)螺釘、和鎖緊螺釘。所述的支撐體包括水平支撐板、以及連接在水平支撐板兩端的垂直支撐板,而所述的垂直支撐板分為上/下兩半,上/下支撐板間通過螺釘連接、緊密配合在所述的流延輥?zhàn)佣瞬亢?或所述的鎖定裝置之上。實(shí)際中,所述的流延漿料盒可以是整體固定在定位塊上,而所述的定位塊再通過所述的水平調(diào)節(jié)螺釘、垂直調(diào)節(jié)螺釘和鎖緊螺釘配合連接在水平支撐板上。
本實(shí)用新型的流延輥?zhàn)拥妮S線為水平方向安裝定位,如前所述,流延輥?zhàn)涌梢员绘i緊環(huán)鎖緊在其軸承和支座上,保證在流延過程中流延輥?zhàn)邮庆o止的。而流延漿料盒安裝在水平支撐板上,流延漿料盒在水平支撐板上可以進(jìn)行上下、前后和旋轉(zhuǎn)調(diào)整,保證流延漿料盒與流延輥?zhàn)又g的合理間隙和位置;間距調(diào)整完后,流延漿料盒被鎖緊螺釘設(shè)定在水平支撐板上,既方便靈活,又穩(wěn)定牢固。
而水平支撐板又是通過垂直支撐板安裝在流延輥?zhàn)拥纳斐鲚S上,并通過螺釘鎖緊在伸出軸上,在流延操作前的調(diào)整工序中,既可如上述那樣以水平支撐板為基礎(chǔ)來驅(qū)動流延漿料盒相對流延輥?zhàn)幼飨鄬σ苿诱{(diào)整,也可以松開上/下垂直支撐板間的螺釘讓流延漿料盒跟隨水平支撐板一塊相對流延輥?zhàn)幼鬓D(zhuǎn)動來調(diào)整角度,調(diào)整手段多樣靈活,以便更快更好地調(diào)整流延刀的位置和間隙,充分保證流延介質(zhì)薄膜質(zhì)量。當(dāng)本實(shí)用新型流延機(jī)的流延漿料盒帶有密封蓋后,流延漿料不會泄漏,而所述的流延頭通過上述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)可在所述的流延輥?zhàn)拥闹芙欠秶鷥?nèi)設(shè)定,所以實(shí)際中,整個(gè)流延頭可以繞流延輥?zhàn)舆M(jìn)行360°的旋轉(zhuǎn)并可以根據(jù)需要在流延輥?zhàn)拥娜我馕恢眠M(jìn)行流延。
所述的流延漿料盒帶有密封蓋,并與漿料輸送系統(tǒng)直接連通,這樣除了使整個(gè)流延頭可以繞流延輥?zhàn)舆M(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)而可以根據(jù)需要在流延輥?zhàn)拥娜我馕恢眠M(jìn)行流延,還可以避免了大氣污染和雜質(zhì)的影響,實(shí)現(xiàn)漿料輸送自動化。
所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括將所述的流延刀與所述的流延漿料盒連接起來并能調(diào)節(jié)所述流延刀與所述流延輥?zhàn)佣咝纬傻臐{料出口的間距和/或位置的調(diào)節(jié)螺釘。流延刀安裝在流延漿料盒上,流延刀在流延漿料盒的位置也可以通過相應(yīng)的調(diào)節(jié)螺釘例如垂直或水平調(diào)節(jié)螺釘進(jìn)行調(diào)整,既可以進(jìn)行水平或上下調(diào)整,使刀口處于合理的位置,又可以調(diào)整流延間距,從而保證流延出不同厚度的介質(zhì)薄膜;所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在所述的流延漿料盒與所述的水平支撐板之間以及所述的流延漿料盒與所述的流延刀之間的精密測距儀表例如千分測距表,可以保證流延頭間距調(diào)整達(dá)到很高的精密程度,以生產(chǎn)出精確尺寸的流延膜產(chǎn)品。
所述的載膜是塑料載膜,該塑料載膜緊貼在所述的流延輥?zhàn)颖砻嫔?、而與所述的流延頭之間保持所設(shè)定的間距。這克服了輥?zhàn)愉搸Я餮臃ú荒苤苯訌姆啪淼绞站淼谋撞?,而且能保證流延漿料盒及流延刀與流延輥?zhàn)由系妮d膜之間沒有接觸,不會產(chǎn)生摩擦振動,從而提高流延介質(zhì)薄膜的質(zhì)量。
所述的上料棍子系統(tǒng)包括上料張緊棍子、流延包角調(diào)節(jié)棍子、流延走向糾偏棍子。通過適當(dāng)改變上述的輥?zhàn)酉到y(tǒng)的安裝、導(dǎo)向位置,可以減少流延輥?zhàn)颖砻媾c塑料載膜之間的流延包角和摩擦,減少塑料載膜向前運(yùn)動時(shí)的阻力和塑料載膜本身的變形。
此外本實(shí)用新型的裝置還具有清洗、維護(hù)、調(diào)試靈活方便,具有較高的生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說明。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的載膜流程示意圖。
圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的裝置結(jié)構(gòu)主示意圖。
圖3為圖2的右視示意圖。
圖4為圖2的俯視示意圖。
圖5為圖2的A-A局部剖視放大示意圖。
具體實(shí)施方式如圖1、2、3、4、5所示一種介質(zhì)薄膜用流延裝置,包括如下主要部件由流延刀1-1與流延漿料盒1-2組成的流延頭1,水平方向安裝定位的流延輥?zhàn)?及其滑動軸承3和支座4,載膜上料棍子系統(tǒng)5和收料棍子系統(tǒng)6,在載膜上料棍子系統(tǒng)5和收料棍子系統(tǒng)6之間還有烘干流延膜的烘箱12,其中上料棍子系統(tǒng)5包括上料張緊棍子5-1、流延包角調(diào)節(jié)棍子5-2、流延走向糾偏棍子5-3,所述的載膜是塑料載膜7,該塑料載膜7緊貼在所述的流延輥?zhàn)?表面上、而與所述的流延頭1之間保持設(shè)定的間距,而所述的流延輥?zhàn)?與其軸承支座4間設(shè)置有制止流延輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動的鎖緊環(huán)8,該鎖緊環(huán)8上設(shè)有能銷鎖在軸承支座4的銷孔(未詳示出)中的銷釘8-1(未逐一示出);在所述的流延輥?zhàn)?與所述的流延頭1之間設(shè)有調(diào)節(jié)和設(shè)定二者間相對位置以及間隙距離的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)。
該間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)是沿所述的流延頭1軸線的兩端上設(shè)置,具體包括固定在所述的流延輥?zhàn)觾啥松系闹误w9、和通過固定塊9-0滑動配合在該支撐體9上的流延漿料盒1-2、以及能驅(qū)動該流延漿料盒1-2作水平移動、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的水平調(diào)節(jié)螺釘10-1、能驅(qū)動該流延漿料盒作垂直移動、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的垂直調(diào)節(jié)螺釘10-2、和鎖緊螺釘10-3。
而所述的支撐體9包括水平支撐板9-1、以及連接在水平支撐板9-1兩端的垂直支撐板9-2,而所述的垂直支撐板9-2分為上支撐板9-21、下支撐板9-22,上支撐板9-21、下支撐板9-22間通過螺釘9-3連接、緊密配合在所述的流延輥?zhàn)?的兩端部之上,松開或緊固上支撐板9-21、下支撐板9-22的螺釘9-3可以較大幅度地調(diào)節(jié)流延漿料盒1-2相對流延輥?zhàn)?間相對位置和角度。而當(dāng)所述的流延漿料盒1-2帶有密封蓋(未詳示出)情況下,所述的流延頭1通過上述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)可在所述的流延輥?zhàn)?的360°周角范圍內(nèi)設(shè)定,以便整個(gè)流延頭1可以繞流延輥?zhàn)?進(jìn)行360°的旋轉(zhuǎn)和在流延輥?zhàn)?的任意位置進(jìn)行流延。
所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括將所述的流延刀1-1與所述的流延漿料盒1-2連接起來并能調(diào)節(jié)所述流延刀1-1與所述流延輥?zhàn)?二者形成的漿料出口的間距和位置的垂直連接螺釘1-3,以及設(shè)在所述的流延漿料盒1-2與所述的水平支撐板9-1之間以及所述的流延漿料盒1-2與所述的流延刀1-1之間的精密測距前分表11。
帶有密封蓋的流延漿料盒1-2,除了能使整個(gè)流延頭1繞流延輥?zhàn)?進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)并可根據(jù)需要在流延輥?zhàn)?的任意位置進(jìn)行流延外,其與漿料輸送系統(tǒng)(未詳示出)再實(shí)現(xiàn)直接連通,還可以避免了大氣污染和雜質(zhì)的影響,實(shí)現(xiàn)漿料輸送自動化。
權(quán)利要求1.一種介質(zhì)薄膜用流延裝置,包括流延頭、流延輥?zhàn)蛹捌漭S承和支座、載膜上料和/或收料棍子系統(tǒng),其特征在于所述的流延輥?zhàn)优c其軸承支座間設(shè)置有制止所述的流延輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動的鎖定裝置;在所述的流延輥?zhàn)优c所述的流延頭之間設(shè)有調(diào)節(jié)和設(shè)定二者間相對位置以及間隙距離的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu),該間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)是沿所述的流延頭軸線的一或多處上設(shè)置的、能調(diào)節(jié)所述的流延頭與所述的流延輥?zhàn)幽妇€之間的垂直間距、和/或水平間距、和/或相互夾角的機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的流延頭包括流延刀與流延漿料盒。
3.如權(quán)利要求1或2所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)包括固定在所述的流延輥?zhàn)由系闹误w、和滑動配合在該支撐體上的流延漿料盒、以及能驅(qū)動該流延漿料盒作水平移動和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的水平調(diào)節(jié)螺釘、能驅(qū)動該流延漿料盒作垂直移動和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的垂直調(diào)節(jié)螺釘、和鎖緊螺釘。
4.如權(quán)利要求3所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的支撐體包括水平支撐板、以及連接在水平支撐板兩端的垂直支撐板,而所述的垂直支撐板分為上/下兩半,上/下支撐板間通過螺釘連接、緊密配合在所述的流延輥?zhàn)佣瞬亢?或所述的鎖定裝置之上。
5.如權(quán)利要求4所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的流延漿料盒帶有密封蓋;所述的流延頭通過所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)可在所述的流延輥?zhàn)拥闹芙欠秶鷥?nèi)設(shè)定。
6.如權(quán)利要求5中所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括將所述的流延刀與所述的流延漿料盒連接起來并能調(diào)節(jié)所述流延刀與所述流延輥?zhàn)佣咝纬傻臐{料出口的間距和/或位置的調(diào)節(jié)螺釘。
7.如權(quán)利要求6所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在所述的流延漿料盒與所述的水平支撐板之間、以及設(shè)置在所述的流延漿料盒與所述的流延刀之間的精密測距儀表。
8.如權(quán)利要求7所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的載膜是塑料載膜,該塑料載膜緊貼在所述的流延輥?zhàn)颖砻嫔稀⒍c所述的流延頭之間保持所設(shè)定的間距。
9.如權(quán)利要求8所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的流延漿料盒與漿料輸送系統(tǒng)直接連通。
10.如權(quán)利要求9所述的介質(zhì)薄膜用流延裝置,其特征在于所述的上料棍子系統(tǒng)包括上料張緊棍子、流延包角調(diào)節(jié)棍子、流延走向糾偏棍子。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種介質(zhì)薄膜用流延裝置,包括流延頭、流延輥?zhàn)蛹捌漭S承和支座、載膜上料和/或收料棍子系統(tǒng),而所述的流延輥?zhàn)优c其軸承支座間設(shè)置有制止所述的流延輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動的鎖定裝置;在所述的流延輥?zhàn)优c所述的流延頭之間設(shè)有調(diào)節(jié)和設(shè)定二者間相對位置以及間隙距離的間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型提供一種在流延過程中能使流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙保持不變,從而減少乃至完全消除由流延輥?zhàn)影惭b/加工誤差對流延膜質(zhì)量的影響,且能方便靈活地調(diào)整流延頭與流延輥?zhàn)又g的間隙以達(dá)到最佳間隙和位置、以適應(yīng)不同規(guī)格厚度的流延膜生產(chǎn)的介質(zhì)薄膜用流延裝置。
文檔編號B29C41/28GK2644137SQ03267630
公開日2004年9月29日 申請日期2003年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月16日
發(fā)明者王建明, 黃浩, 陳非, 陳裕錦, 司留啟, 楊成銳, 姚卿敏 申請人:廣東風(fēng)華高新科技集團(tuán)有限公司
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