一種高速氣浮板及其使用方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種高速氣浮板，所述高速氣浮板具有三個(gè)互相獨(dú)立的儲氣腔，所述儲氣腔沿縱向分布，且所述高速氣浮板的上表面沿縱向具有兩條泄壓槽，所述兩條泄壓槽分別位于中間的儲氣腔與兩側(cè)的儲氣腔之間，從而將所述高速氣浮板分成三個(gè)獨(dú)立的氣浮模塊。下料時(shí)，只開啟中間氣浮模塊進(jìn)行低壓供氣，防止玻璃基板與高速氣浮板快速分離出現(xiàn)的吸附現(xiàn)象，且保證玻璃基板不飄移；上料時(shí)，只開啟中間氣浮模塊進(jìn)行負(fù)壓供氣，防止玻璃基板撞擊高速氣浮板，且保證玻璃基板不飄移；夾持時(shí)，同時(shí)再開啟兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊進(jìn)行供氣，玻璃基板與高速氣浮板可快速充分分離；檢測時(shí)，通氣并使得中間氣浮模塊壓力比兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊壓力小，保證玻璃基板的平整度。
【專利說明】
一種高速氣浮板及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明具體涉及一種高速氣浮板及其使用方法，屬于LCD屏檢測工具領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著LCD屏、OLED屏制作工藝不斷提高，玻璃基板越做越大，測量、檢測設(shè)備大多采用氣浮平臺來保證其測量、檢測精度。氣浮平臺一般會分為兩個(gè)區(qū)域:高速氣浮區(qū)域和精密氣浮區(qū)域，高速氣浮區(qū)域使用高速氣浮板，上、下料、夾持在此區(qū)域進(jìn)行，玻璃基板飄浮高度控制在+/-25um以內(nèi)；精密氣浮區(qū)域使用精密氣浮板，測量、檢測在精密氣浮區(qū)域進(jìn)行，玻璃基板飄浮高度控制在+/_5um以內(nèi)。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中氣浮平臺的布局圖，其中高速氣浮板沿著玻璃基板運(yùn)動(dòng)方向緊密排列，保證玻璃基板平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，垂直于玻璃基板運(yùn)動(dòng)方向間隔排列，給予上、下料機(jī)構(gòu)空間；精密氣浮板垂直于玻璃基板運(yùn)動(dòng)方向緊密排列，保證玻璃基板平整度滿足高精度測量、檢測要求。
[0003]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中高速氣浮板結(jié)構(gòu)主視圖，可見氣孔均勻分布在一塊長條形的平板上，由一路氣路供氣。
[0004]上、下料時(shí)，氣路停止向高速氣浮板供氣，玻璃基板落于高速氣浮平臺上，上、下料機(jī)構(gòu)從高速氣浮板間隔空間將玻璃基板放入、取出。
[0005]夾持時(shí)，氣路向高速氣浮板供氣，玻璃基板飄浮于高速氣浮平臺上，夾持機(jī)構(gòu)夾持住玻璃基板。
[0006]測量、檢測時(shí)，氣路向高速氣浮板供氣，玻璃基板飄浮于高速氣浮平臺上，玻璃基板由夾持機(jī)構(gòu)牽引從高速氣浮區(qū)域向精密氣浮區(qū)域運(yùn)動(dòng)。
[0007]以上現(xiàn)有高速氣浮板的缺點(diǎn)是:
1、整個(gè)表面是一個(gè)平面:
下料時(shí)，玻璃基板與高速氣浮板快速分離會出現(xiàn)吸附現(xiàn)象，造成玻璃基板在下料機(jī)構(gòu)上劇烈振蕩導(dǎo)致碎片;測量、檢測時(shí)，玻璃基板在高速氣浮板上因壓力分布不均會出現(xiàn)中間突起現(xiàn)象，影響玻璃基板在精密氣浮區(qū)域的平整度。
[0008]2:所有氣孔由一路氣路供氣:
上料時(shí)，高速氣浮板供氣氣路關(guān)閉，玻璃基板在上料機(jī)構(gòu)上振蕩，撞擊高速氣浮板造成碎片;夾持時(shí)，高速氣浮板供氣氣路開啟，玻璃基板與高速氣浮板分離不充分造成夾持不到位。
[0009]特別的，隨著LCD屏、OLED屏制作工藝不斷提高，玻璃基板越做越薄，剛性越來越小，變形越來越嚴(yán)重，現(xiàn)有高速氣浮板缺點(diǎn)越發(fā)突出。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]為解決以上問題，本發(fā)明的目的是提供一種高速氣浮板及其使用方法。本發(fā)明的關(guān)鍵點(diǎn)是，將高速氣浮板氣孔的儲氣腔沿縱向獨(dú)立成三個(gè)，并在高速氣浮板表面沿縱向開兩條泄壓槽，這樣就將一塊高速氣浮板分成三個(gè)獨(dú)立的氣浮模塊。
[0011]具體的，本發(fā)明提供一種高速氣浮板，所述高速氣浮板具有三個(gè)互相獨(dú)立的儲氣腔(I)，所述儲氣腔(I)沿縱向分布，且所述高速氣浮板的上表面沿縱向具有兩條泄壓槽
(2)，所述兩條泄壓槽(2)分別位于中間的儲氣腔(I)與兩側(cè)的儲氣腔(I)之間，從而將所述高速氣浮板分成三個(gè)獨(dú)立的氣浮模塊。
[0012]進(jìn)一步，如上所述的高速氣浮板，每個(gè)所述儲氣腔(I)的兩端具有對應(yīng)的氣孔。
[0013]另外，本發(fā)明還公開了一種上述的高速氣浮板的使用方法，包括以下步驟:
下料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊進(jìn)行低壓供氣，防止玻璃基板與高速氣浮板快速分離出現(xiàn)的吸附現(xiàn)象，且保證玻璃基板不飄移；
上料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊進(jìn)行負(fù)壓供氣，防止玻璃基板撞擊高速氣浮板，且保證玻璃基板不飄移；
夾持時(shí)，同時(shí)再開啟兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊進(jìn)行供氣，玻璃基板與高速氣浮板可快速充分分離；
測量或檢測時(shí)，通氣并使得中間一個(gè)氣浮模塊壓力比兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊壓力小，保證玻璃基板在高速氣浮板上的平整度。
【附圖說明】
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中氣浮平臺的布局圖。
[0015]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中高速氣浮板結(jié)構(gòu)主視圖。
[0016]圖3為本發(fā)明的高速氣浮板結(jié)構(gòu)主視圖。
[0017]圖4為本發(fā)明的高速氣浮板結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0019]如圖3、4所示，本發(fā)明所提供的高速氣浮板，將高速氣浮板氣孔的儲氣腔(I)沿縱向獨(dú)立成三個(gè)，并在高速氣浮板表面沿縱向開兩條泄壓槽(2)，這樣就將一塊高速氣浮板分成三個(gè)獨(dú)立的氣浮模塊。
[0020]上述高速氣浮板的工作原理如下:
下料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊(B路供氣)進(jìn)行低壓供氣，解決玻璃基板與高速氣浮板快速分離出現(xiàn)的吸附現(xiàn)象，且保證玻璃基板不飄移。
[0021 ]上料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊(B路供氣)進(jìn)行負(fù)壓供氣，防止玻璃基板撞擊高速氣浮板，且保證玻璃基板不飄移。
[0022]夾持時(shí)，只需再開啟兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊(A路供氣)，玻璃基板與高速氣浮板可快速充分分尚。
[0023]測量、檢測時(shí)，中間一個(gè)氣浮模塊壓力(B路供氣)比兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊(A路供氣)壓力小，保證玻璃基板在高速氣浮板上的平整度。
[0024]高速氣浮板由A、B兩路氣路供氣，其中B路氣路供氣有三種壓力。所利用的原理是利用A、B氣路開關(guān)及壓力的各種組合實(shí)現(xiàn)各種需求。典型的幾種組合是:
A路供氣氣路關(guān)閉，B路低壓供氣氣路開啟； A路供氣氣路關(guān)閉，B路負(fù)壓供氣氣路開啟；
A路供氣氣路開啟，B路高壓供氣氣路開啟；
A路供氣氣路開啟，B路低壓供氣氣路開啟；
A路供氣氣路開啟，B路負(fù)壓供氣氣路開啟。
[0025]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若對本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其同等技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高速氣浮板，其特征在于: 所述高速氣浮板具有三個(gè)互相獨(dú)立的儲氣腔(I)，所述儲氣腔(I)沿縱向分布，且所述高速氣浮板的上表面沿縱向具有兩條泄壓槽(2)，所述兩條泄壓槽(2)分別位于中間的儲氣腔(I)與兩側(cè)的儲氣腔(I)之間，從而將所述高速氣浮板分成三個(gè)獨(dú)立的氣浮模塊。2.如權(quán)利要求1所述的高速氣浮板，其特征在于: 每個(gè)所述儲氣腔(I)的兩端具有對應(yīng)的氣孔。3.—種根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高速氣浮板的使用方法，其特征在于: 下料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊進(jìn)行低壓供氣，防止玻璃基板與高速氣浮板快速分離出現(xiàn)的吸附現(xiàn)象，且保證玻璃基板不飄移； 上料時(shí)，只開啟中間一個(gè)氣浮模塊進(jìn)行負(fù)壓供氣，防止玻璃基板撞擊高速氣浮板，且保證玻璃基板不飄移； 夾持時(shí)，同時(shí)再開啟兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊進(jìn)行供氣，玻璃基板與高速氣浮板可快速充分分離； 測量或檢測時(shí)，通氣并使得中間一個(gè)氣浮模塊壓力比兩側(cè)兩個(gè)氣浮模塊壓力小，保證玻璃基板在高速氣浮板上的平整度。
【文檔編號】B65G49/06GK106081627SQ201610590597
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年7月26日 公開號201610590597.9, CN 106081627 A, CN 106081627A, CN 201610590597, CN-A-106081627, CN106081627 A, CN106081627A, CN201610590597, CN201610590597.9
【發(fā)明人】張梁, 李波, 溫曄, 陳焜, 何建華, 鄧懷波
【申請人】中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司