本技術(shù)涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動生產(chǎn)，尤其是涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品的緩存設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著技術(shù)的發(fā)展，自動化生產(chǎn)系統(tǒng)逐步應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)，在將待加工的物料從上一加工工序轉(zhuǎn)移至下一加工工序的過程中，物料需要先被轉(zhuǎn)移至緩存設(shè)備內(nèi)進(jìn)行緩存，自動化生產(chǎn)系統(tǒng)根據(jù)待加工設(shè)備的生產(chǎn)節(jié)拍將緩存設(shè)備內(nèi)的物料持續(xù)地轉(zhuǎn)移至加工設(shè)備，從而實(shí)現(xiàn)加工設(shè)備的連續(xù)加工。相關(guān)技術(shù)中，當(dāng)緩存設(shè)備內(nèi)存儲物料的存儲位與第二開口位于相對側(cè)時(shí)，通常通過緩存設(shè)備的驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動物料繞水平軸線旋轉(zhuǎn)，以使得存儲位內(nèi)的物料從一側(cè)轉(zhuǎn)動至另一側(cè)，然而這種驅(qū)動方式存在控制要求高、占用空間大等缺點(diǎn)，難以滿足實(shí)際的生產(chǎn)需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體產(chǎn)品的緩存設(shè)備，能夠降低控制要求、減少空間占用。

2、根據(jù)本實(shí)用新型第一實(shí)施例的半導(dǎo)體產(chǎn)品的緩存設(shè)備，用于存儲容納所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的料盒，包括：

3、機(jī)架，具有第一開口與第二開口，所述第一開口用于供所述料盒進(jìn)入所述機(jī)架內(nèi)，所述第二開口用于供所述料盒從所述機(jī)架內(nèi)移出；

4、第一貨架，設(shè)置于所述機(jī)架內(nèi)，具有多個(gè)用于存儲所述料盒的第一存儲位；

5、第一轉(zhuǎn)移模塊，包括驅(qū)動組件與物料獲取裝置，所述驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動裝置，所述物料獲取裝置連接于所述第一驅(qū)動裝置，且所述物料獲取裝置能夠獲取或者釋放所述料盒；

6、其中，沿第一水平方向，所述第一貨架與所述第二開口位于所述第一轉(zhuǎn)移模塊的相對兩側(cè)，當(dāng)所述物料獲取裝置獲取所述料盒后，所述第一驅(qū)動裝置被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿朝向所述第二開口的所述第一水平方向平移，以使所述物料獲取裝置向所述第二開口轉(zhuǎn)移所述料盒。

7、根據(jù)本實(shí)用新型第一實(shí)施例的半導(dǎo)體產(chǎn)品的緩存設(shè)備，至少具有如下有益效果：

8、本實(shí)施例中，第一驅(qū)動裝置驅(qū)動物料獲取裝置沿第一水平方向平移以將料盒從一側(cè)轉(zhuǎn)移至另一側(cè)，與通過旋轉(zhuǎn)的方式轉(zhuǎn)移料盒相比，其整體的運(yùn)動幅度較小，一方面能夠減少占用的空間，另一方面，物料獲取裝置沿直線移動也便于控制其位置，能夠降低控制需求。

9、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述物料獲取裝置包括第一夾持動力件與兩組第一夾持件，兩組所述第一夾持件沿第二水平方向分布，所述第二水平方向與所述第一水平方向垂直，所述第一夾持動力件被配置為驅(qū)動兩組所述第一夾持件沿所述第二水平方向相向移動，以夾持所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒，以及驅(qū)動兩組所述第一夾持件沿所述第二水平方向反向移動，以釋放所述料盒。

10、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述第一驅(qū)動裝置還被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿朝向所述第一貨架的所述第一水平方向平移，以使兩組所述第一夾持件進(jìn)入所述第一存儲位以夾持所述料盒；

11、和/或，所述第一驅(qū)動裝置還被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿朝向所述第一貨架的所述第一水平方向平移，以使兩組所述第一夾持件進(jìn)入所述第一存儲位以釋放所述料盒；

12、和/或，所述機(jī)架具有與所述第二開口對應(yīng)設(shè)置的出料位，所述第一驅(qū)動裝置還被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿朝向所述第二開口的所述第一水平方向平移，以使兩組所述第一夾持件進(jìn)入所述出料位以釋放所述料盒。

13、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述物料獲取裝置具有沿朝向所述第一貨架的所述第一水平方向平移的第一平移動作與第三平移動作，以及沿朝向所述第二開口方向平移的第二平移動作，所述物料獲取裝置還被配置為：進(jìn)行所述第一平移動作并在所述第一存儲位內(nèi)獲取所述料盒，獲取所述料盒后進(jìn)行所述第二平移動作以使所述料盒部分伸出所述第一存儲位，進(jìn)行所述第二平移動作后釋放所述料盒，釋放所述料盒后進(jìn)行所述第三平移動作并再次獲取所述料盒，再次獲取所述料盒后沿朝向所述第二開口的所述第一水平方向平移，以使所述料盒完全脫離所述第一存儲位；

14、和/或，所述機(jī)架具有與所述第二開口對應(yīng)設(shè)置的出料位，所述物料獲取裝置具有沿朝向所述第二開口的所述第一水平方向平移的第四平移動作與第六平移動作，以及沿朝向所述第一貨架方向平移的第五平移動作，當(dāng)所述物料獲取裝置獲取有所述料盒時(shí)，所述物料獲取裝置還被配置為：進(jìn)行所述第四平移動作以使部分所述料盒進(jìn)入所述出料位，進(jìn)行所述第四平移動作后釋放所述料盒，以使部分所述料盒進(jìn)入所述出料位，釋放所述料盒后進(jìn)行所述第五平移動作并再次獲取所述料盒，再次獲取所述料盒后進(jìn)行所述第六平移動作以使所述料盒完全進(jìn)入所述出料位，進(jìn)行所述第六平移動作后再次釋放所述料盒。

15、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述機(jī)架還具有與所述第一開口對應(yīng)設(shè)置的第一入料位，所述緩存設(shè)備還包括入料轉(zhuǎn)向模塊，所述入料轉(zhuǎn)向模塊設(shè)置于所述第一入料位，所述入料轉(zhuǎn)向模塊被配置為承接由所述第一開口進(jìn)入且處于第一姿態(tài)的所述料盒，并帶動處于所述第一姿態(tài)的所述料盒繞豎直軸心旋轉(zhuǎn)直至處于第二姿態(tài)，其中，處于所述第一姿態(tài)的所述料盒的長度方向與所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒的長度方向垂直，處于所述第二姿態(tài)的所述料盒的長度方向與所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒的長度方向平行；

16、所述第一轉(zhuǎn)移模塊被配置為將處于所述第二姿態(tài)的所述料盒從所述入料轉(zhuǎn)向模塊轉(zhuǎn)移至所述第一存儲位。

17、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述機(jī)架還具有第三開口，所述第三開口用于供所述料盒進(jìn)入所述機(jī)架內(nèi)，其中，所述第三開口分別延伸至所述機(jī)架的相鄰兩側(cè)。

18、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述第三開口的一部分與所述第一開口位于所述機(jī)架的同一側(cè)。

19、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述機(jī)架具有與所述第三開口對應(yīng)設(shè)置的第二入料位，所述第二入料位被配置為存儲處于第二姿態(tài)的所述料盒，其中，處于所述第二姿態(tài)的所述料盒的長度方向與所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒的長度方向平行；

20、所述第一轉(zhuǎn)移模塊被配置為將處于所述第二姿態(tài)的所述料盒從所述第二入料位轉(zhuǎn)移至所述第一存儲位。

21、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述機(jī)架具有與所述第二開口對應(yīng)設(shè)置的出料位，所述緩存設(shè)備還包括出料轉(zhuǎn)向模塊與第二轉(zhuǎn)移模塊，所述出料轉(zhuǎn)向模塊與第二轉(zhuǎn)移模塊均設(shè)置于所述出料位，所述出料轉(zhuǎn)向模塊被配置為承接由所述第一轉(zhuǎn)移模塊轉(zhuǎn)移且處于第二姿態(tài)的所述料盒，并帶動處于所述第二姿態(tài)的所述料盒繞豎直軸心旋轉(zhuǎn)直至處于第一姿態(tài)，其中，處于所述第一姿態(tài)的所述料盒的長度方向與所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒的長度方向垂直，處于所述第二姿態(tài)的所述料盒的長度方向與所述第一存儲位內(nèi)的所述料盒的長度方向平行；

22、所述第二轉(zhuǎn)移模塊被配置為將處于所述第一姿態(tài)的所述料盒從所述出料轉(zhuǎn)向模塊轉(zhuǎn)移至所述第二開口。

23、在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，多個(gè)所述第一存儲位沿第二水平方向分布，所述第二水平方向與所述第一水平方向垂直，所述第一轉(zhuǎn)移模塊還包括第二驅(qū)動裝置，所述第二驅(qū)動裝置被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿所述第二水平方向移動，以將從所述第一開口進(jìn)入的所述料盒轉(zhuǎn)移至沿所述第一水平方向分布的多個(gè)所述第一存儲位中的一個(gè)；

24、和/或，多個(gè)所述第一存儲位沿豎直方向分布，所述第一轉(zhuǎn)移模塊還包括第三驅(qū)動裝置，所述第三驅(qū)動裝置被配置為驅(qū)動所述物料獲取裝置沿所述豎直方向移動，以將從所述第一開口進(jìn)入的所述料盒轉(zhuǎn)移至沿所述豎直方向分布的多個(gè)所述第一存儲位中的一個(gè)。

25、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。