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一種用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置的制作方法

文檔序號:40468359發(fā)布日期:2024-12-27 09:33閱讀:6來源:國知局
一種用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置的制作方法

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,尤其涉及一種用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置。


背景技術(shù):

1、硅片是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵原材料,其表面質(zhì)量直接影響到芯片的性能和可靠性。傳統(tǒng)的硅片花籃在運輸和存儲過程中容易受到外界環(huán)境的污染,尤其是支撐鋼管部分,一旦受到污染或損傷,將直接影響硅片的質(zhì)量。

2、目前對硅片花籃支撐鋼管套裝保護套均是由人工操作完成的,自動化程度低,這就使得目前的硅片花籃支撐鋼管套裝保護套的效率低下,長時間的套裝操作會造成工作人員手部疲勞,從而進一步的降低硅片花籃支撐鋼管套裝保護套的套裝效率,因此急需改進。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置,旨在解決上述技術(shù)問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案:

3、一種用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置,包括框體和控制裝置,所述控制裝置與所述框體固定連接,所述框體上設(shè)置有用于放置保護套卷的收卷部,用于硅片花籃支撐鋼管的保護套套裝裝置還包括:

4、拉套機構(gòu),設(shè)置于所述框體上,并與所述控制裝置電連接,所述拉套機構(gòu)用于拉動保護套;

5、套管機構(gòu),設(shè)置于所述框體上,并與所述控制裝置電連接,所述套管機構(gòu)用于推動支撐鋼管向拉套機構(gòu)的方向移動以完成保護套的套裝;

6、切斷機構(gòu),設(shè)置于所述框體上,并與所述控制裝置電連接,所述切斷機構(gòu)用于將套裝完畢的保護套切斷。

7、優(yōu)選地,所述收卷部包括:

8、連板,具有兩個,且兩個連板對稱設(shè)置于所述框體上,所述連板與所述框體固定連接,所述連板上開設(shè)有u形槽;

9、轉(zhuǎn)動桿,轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述u形槽上,所述轉(zhuǎn)動桿用于放置保護套卷;

10、旋鈕,具有兩個,且兩個旋鈕分別設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動桿的兩端,所述旋鈕與所述轉(zhuǎn)動桿螺紋連接,所述旋鈕用于防止轉(zhuǎn)動桿在軸向上移動。

11、優(yōu)選地,所述拉套機構(gòu)包括:

12、固定板,具有兩個,且兩個固定板對稱設(shè)置于所述框體上,所述固定板與所述框體固定連接;

13、限位塊,位于兩個固定板之間,且限位塊與兩側(cè)的固定板固定連接,所述限位塊中部開設(shè)有貫穿設(shè)置的限位槽,所述限位槽內(nèi)表面設(shè)置有兩組對稱分布的第一輥槽,兩組第一輥槽之間設(shè)置有第二輥槽,所述第一輥槽靠近限位塊軸線的表面與所述第二輥槽靠近限位塊軸線的表面垂直;

14、電動滾輪,具有三組,所述電動滾輪與所述控制裝置電連接,且三組電動滾輪分別轉(zhuǎn)動設(shè)置于第一輥槽和第二輥槽內(nèi),所述第一輥槽內(nèi)電動滾輪和第二輥槽內(nèi)的電動滾輪配合以實現(xiàn)對保護套的限位和輸送;

15、驅(qū)動部,具有兩組,且兩組驅(qū)動部對稱設(shè)置于所述框體上,所述驅(qū)動部與所述控制裝置電連接;

16、夾套部,設(shè)置于所述驅(qū)動部上,并與所述控制裝置電連接,所述夾套部用于夾持保護套。

17、優(yōu)選地,所述驅(qū)動部包括:

18、驅(qū)動電機,設(shè)置于所述框體上,并與所述框體可拆卸式固定連接,所述驅(qū)動電機與所述控制裝置電連接;

19、橫槽,開設(shè)于所述框體內(nèi)表面;

20、驅(qū)動螺桿,位于所述橫槽內(nèi),并與所述框體轉(zhuǎn)動連接,所述驅(qū)動螺桿靠近驅(qū)動電機的一端與所述驅(qū)動電機的輸出端固定連接;

21、滑動板,滑動設(shè)置于所述框體上,所述滑動板與所述驅(qū)動螺桿螺紋連接。

22、優(yōu)選地,所述夾套部包括:

23、夾套推桿,固定設(shè)置于所述滑動板上,并與所述控制裝置電連接;

24、夾套塊,固定設(shè)置于所述夾套推桿上,所述夾套塊上開設(shè)有適配保護套的弧形槽。

25、優(yōu)選地,所述套管機構(gòu)包括:

26、推進槽,具有兩個,且兩個推進槽分別對稱開設(shè)在框體的內(nèi)表面;

27、第一液壓推桿,位于所述推進槽內(nèi),并與所述框體可拆卸式固定連接,所述第一液壓推桿與所述控制裝置電連接;

28、滑動塊,滑動設(shè)置于所述推進槽內(nèi),且滑動塊與所述第一液壓推桿固定連接;

29、推動塊,位于兩個推進槽之間,且推動塊與所述滑動塊固定連接,所述推動塊上開設(shè)有貫穿的通槽;

30、導(dǎo)向部,設(shè)置于所述框體上,用于在支撐鋼管向保護套的方向移動時提供導(dǎo)向作用;

31、調(diào)節(jié)部,設(shè)置于所述推動塊上,并與所述控制裝置電連接。

32、優(yōu)選地,所述導(dǎo)向部包括:

33、固定塊,具有兩個,且兩個固定塊對稱設(shè)置于所述框體上,所述固定塊與所述框體固定連接;

34、導(dǎo)向塊,位于兩個固定塊之間,并與兩個固定塊固定連接,所述導(dǎo)向塊中部開設(shè)有貫穿設(shè)置的導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽的軸線與所述限位槽的軸線重合;

35、輪槽,開設(shè)于所述導(dǎo)向槽內(nèi),且輪槽具有多組,多組所述輪槽分別均勻分布在導(dǎo)向槽內(nèi),所述輪槽為傾斜設(shè)置;

36、導(dǎo)向輪,轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述輪槽內(nèi),所述導(dǎo)向輪軸線與導(dǎo)向塊軸線間的夾角為45度;

37、承載塊,固定設(shè)置于所述導(dǎo)向塊遠離拉套機構(gòu)的表面,所述承載塊上設(shè)置有兩個對稱分布的側(cè)板,所述承載塊上開設(shè)有放置槽;

38、擋板,固定設(shè)置于所述承載塊遠離拉套機構(gòu)的表面。

39、優(yōu)選地,所述調(diào)節(jié)部包括:

40、內(nèi)置槽,開設(shè)于所述推動塊上;

41、第一電動推桿,位于所述內(nèi)置槽內(nèi),并與所述推動塊固定連接,所述第一電動推桿與所述控制裝置電連接;

42、調(diào)節(jié)板,滑動設(shè)置于所述側(cè)板上,且調(diào)節(jié)板與所述第一電動推桿固定連接;

43、推動桿,固定設(shè)置于調(diào)節(jié)板靠近導(dǎo)向塊的表面,所述推動桿與所述放置槽滑動連接,所述推動桿的長度與導(dǎo)向塊的厚度相等。

44、優(yōu)選地,所述切斷機構(gòu)包括:

45、切斷槽,具有兩個,且兩個切斷槽對稱開設(shè)于所述框體上;

46、第二液壓推桿,設(shè)置于所述切斷槽內(nèi),并與所述框體可拆卸式固定連接,所述第二液壓推桿與所述控制裝置電連接;

47、支撐塊,與所述切斷槽滑動連接,所述支撐塊與所述第二液壓推桿固定連接;

48、第二電動推桿,固定設(shè)置于所述支撐塊上,并與所述控制裝置電連接;

49、切刀,固定連接設(shè)置于所述第二電動推桿上,用于切斷套裝完畢的保護套;

50、輸出部,設(shè)置于所述框體上,用于將套裝完畢的支撐鋼管運離框體。

51、優(yōu)選地,所述輸出部包括:

52、梯形臺,設(shè)置于所述框體上;

53、輸出口,開設(shè)于所述框體上,用于將套裝完畢的支撐鋼管運離框體。

54、綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明的有益效果是:

55、本裝置通過設(shè)置有導(dǎo)向部,從而使得硅片花籃支撐鋼管在穿過導(dǎo)向槽向保護套中伸入的過程中能夠持續(xù)地與輪槽內(nèi)的導(dǎo)向輪相接觸,通過將導(dǎo)向輪傾斜設(shè)置,從而使得硅片花籃支撐鋼管在穿過導(dǎo)向槽向保護套中伸入的過程中硅片花籃支撐鋼管與導(dǎo)向輪接觸的區(qū)域能夠受到導(dǎo)向輪對其施加的作用力,一方面,該作用力在硅片花籃支撐鋼管軸向上的分力能夠輔助硅片花籃支撐鋼管向保護套中伸入,另一方面,該作用力使得硅片花籃支撐鋼管在向保護套中伸入的同時還能夠轉(zhuǎn)動,從而極大地提高了硅片花籃支撐鋼管進入保護套中的流暢性,從而提高了本裝置對硅片花籃支撐鋼管套裝保護套的套裝效率以及套裝的自動化程度。

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