周轉箱的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種周轉箱，包括：箱體和至少一個卡合單元；所述箱體具有一用于取放物料的開口；所述卡合單元的兩端均設置有彈性部件，所述卡合單元靠近所述開口并通過所述彈性部件與所述箱體連接。在本實用新型提供的周轉箱中，在箱體靠近開口的位置處增設至少一個卡合單元，通過所述卡合單元卡住所述周轉箱內的晶圓，能夠避免晶圓在運輸或操作過程中從所述周轉箱的開口中滑出。
【專利說明】周轉箱
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造領域，特別涉及一種周轉箱。
【背景技術】
[0002]在集成電路制造過程中通常使用周轉箱(cassette，也稱卡匣)進行物料如晶圓的存儲和運輸。為了便于取放，現(xiàn)有的周轉箱通常采用開放式結構。
[0003]圖1為現(xiàn)有技術的周轉箱的結構示意圖。如圖1所示,現(xiàn)有的周轉箱100包括底板Iio和側板120，所述側板120圍繞于所述底板110的四周并與所述底板110固定形成箱體，所述側板120中相對的兩面分別設置有多個插槽122，所述多個插槽122相互配合用以放置多個晶圓，所述底板110相對的一側為開口 130，所述開口 130用于取放晶圓。通常的，所述開口 130比所述底板110略寬。
[0004]使用所述晶圓周轉箱100時，將晶圓放置于所述側板120與底板110配合形成的箱體內部，并插入所述插槽122中以避免相互碰撞。但是由于所述晶圓周轉箱100不是封閉式結構，其在運輸和操作過程中一旦出現(xiàn)傾斜，晶圓容易從所述開口 130中滑出，造成晶圓損傷或破片。
[0005]基此，亟需提供一種可防止所存放的晶圓滑出而造成晶圓破損的周轉箱。
實用新型內容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種周轉箱，以解決現(xiàn)有技術中晶圓容易從晶圓周轉箱中滑出而造成晶圓破損的問題。
[0007]為解決上述問題，本實用新型提供一種周轉箱，所述周轉箱包括:箱體和至少一個卡合單元；所述箱體具有一用于取放物料的開口 ；所述卡合單元的兩端均設置有彈性部件，所述卡合單元靠近所述開口并通過所述彈性部件與所述箱體連接。
[0008]可選的，在所述的周轉箱中，所述卡合單元包括卡合桿、第一控制桿和第二控制桿；所述第一控制桿和第二控制桿垂直設置且分別與所述卡合桿固定。
[0009]可選的，在所述的周轉箱中，所述第一控制桿位于所述卡合桿的中部，所述第二控制桿位于所述卡合桿的一端。
[0010]可選的，在所述的周轉箱中，所述箱體包括矩形底板和側板，所述側板圍繞于所述矩形底板的四周并與所述矩形底板固定；所述側板上設置有至少一個第一滑槽和至少一個第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分別位于相鄰的面，所述第一控制桿和第二控制桿分別沿著所述第一滑槽和第二滑槽移動。
[0011 ] 可選的，在所述的周轉箱中，所述側板中相對的兩面分別設置有多個插槽，所述多個插槽相互配合用于放置多個晶圓。
[0012]可選的，在所述的周轉箱中，所述卡合桿具有多個V型卡槽，所述多個V型卡槽的間距和寬度與所述多個插槽的間距和寬度相等。
[0013]可選的，在所述的周轉箱中，所述多個插槽位于所述第一滑槽的同一面和相對面。[0014]可選的，在所述的周轉箱中，所述第一滑槽和第二滑槽的數(shù)量均與所述卡合單元的數(shù)量均為2N個，N為正整數(shù)。
[0015]可選的，在所述的周轉箱中，所述卡合單元的數(shù)量為兩個，所述第二滑槽的數(shù)量為兩個且均設置于同一面上，所述第一滑槽的數(shù)量為兩個且分別設置于相對的面上。
[0016]可選的，在所述的周轉箱中，所述第一滑槽與其相鄰的第一滑槽和第二滑槽均連為一體。
[0017]綜上所述，在本實用新型提供的周轉箱中，在箱體靠近開口的位置處增設至少一個卡合單元，通過所述卡合單元卡住所述周轉箱內的晶圓，能夠避免晶圓在運輸或操作過程中從所述周轉箱的開口中滑出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是現(xiàn)有技術的晶圓周轉箱的結構示意圖；
[0019]圖2是本實用新型實施例一的周轉箱的結構示意圖；
[0020]圖3是本實用新型實施例一的卡合單元的結構示意圖
[0021]圖4是本實用新型實施例二的箱體的結構示意圖；
[0022]圖5是本實用新型實施例二的周轉箱的結構示意圖； [0023]圖6是本實用新型實施例三的周轉箱的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0024]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的周轉箱作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0025]【實施例一】
[0026]請結合參考圖2和圖3，其為本實用新型實施例的周轉箱的結構示意圖。如圖2所示，所述周轉箱200包括:箱體210和至少一個卡合單元220 ;所述箱體210具有一用于取放物料的開口 213 ;所述卡合單元220的兩端均設置有彈性部件230，所述卡合單元220靠近所述開口 213并通過所述彈性部件230與所述箱體210連接。
[0027]具體的，所述卡合單元220包括卡合桿221、第一控制桿222和第二控制桿223，所述卡合桿221的形狀為長條狀，所述第一控制桿222和第二控制桿223垂直設置且分別與所述卡合桿221固定。其中，所述第一控制桿222位于所述卡合桿221的中部，所述第二控制桿223位于所述卡合桿221的一端。如此，通過所述第一控制桿222和第二控制桿223分別對所述卡合桿22施加作用力，可以使得所述卡合桿22前后左右移動。
[0028]為了方便操作，所述第一控制桿222靠近所述第二控制桿223，操作人員的一個手可以同時握住所述第一控制桿222和第二控制桿223，通過單手可以推動第一控制桿222和所述第二控制桿223。
[0029]本實施例中，所述第一控制桿222的長度dl為15mm，所述第二控制桿223的長度d2為20mm,所述卡合桿221的長度d3為160mm。
[0030]請繼續(xù)參考圖2，所述箱體210包括矩形底板211和側板212，所述側板212圍繞于所述矩形底板211的四周并與所述矩形底板211固定，所述矩形底板211相對的一側為開口 213，所述開口 213用于取放晶圓。所述開口 213比所述形底板211略寬，這樣便于存放圓形的晶圓。
[0031]具體地說，所述側板212包括依次連接的四個面，所述側板212上具有至少一個第一滑槽212a和至少一個第二滑槽212b，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b分別位于所述側板212相鄰的面上，且均靠近所述開口 213。推動所述第一控制桿222和第二控制桿223時，所述卡合單元220的卡合桿221能夠分別沿著所述第一滑槽212a和第二滑槽212b移動。
[0032]優(yōu)選的，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b的寬度相等，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b與所述底板210的距離相同。所述第一滑槽212a和第二滑槽212b的數(shù)量均與所述卡合單元220的數(shù)量相等。所述第一滑槽212a和第二滑槽212b連為一體。
[0033]所述側板212中相對的兩面分別設置有多個插槽212c，所述多個插槽212c通常位于所述第一滑槽212a的同一面和相對面，所述多個插槽212c相互配合用于放置多個晶圓。所述卡合單元220的卡合桿221具有多個V型卡槽，所述多個V型卡槽的深度d5和間距d4與所述多個插槽212c的深度和間距相同。
[0034]請繼續(xù)參考圖2，所述卡合單元220的兩端設置有彈性部件230，所述卡合單元220通過所述彈性部件230與所述側板212實現(xiàn)彈性連接，所述卡合單元220的卡合桿221位于所述箱體210的內部，所述卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223分別設置于所述第一滑槽212a和第二滑槽212b中，從所述箱體210的外部推動所述第一控制桿222和第二控制桿223，能 夠使得所述卡合桿221前后左右移動，其中，所述第一控制桿222沿著所述第一滑槽212a來回移動，所述第二控制桿223沿著所述第二滑槽212b來回移動，所述第一控制桿222的長度dl和所述第二控制桿223的長度d2決定了所述卡合桿221的移動范圍。本實施例中，所述彈性部件230為彈簧。
[0035]使用所述周轉箱200時，通過所述開口 213將多個晶圓分別插入多個相對而設的插槽212c中。為了防止晶圓在運輸和操作過程中從所述周轉箱200的開口 213中滑出，作業(yè)人員同時按壓所述第一控制桿222和第二控制桿223，使得所述卡合桿221的多個V型卡槽與晶圓接觸并卡住晶圓。不需要對晶圓進行運輸和操作時，作業(yè)人員松開所述第一控制桿222和第二控制桿223，所述卡合桿221在彈性部件230的作用下自動回到原始位置，不與晶圓接觸。
[0036]本實施例中,所述周轉箱200包括一個卡合單元220,相應的,所述箱體210上包括一個第一滑槽212a和一個第二滑槽212b。
[0037]【實施例二】
[0038]請結合參考圖4和圖5，其為本實用新型實施例二的周轉箱的結構示意圖。如圖4和圖5所示，本實施例與實施例一區(qū)別在于，所述卡合單元220的數(shù)量為兩個，所述箱體210上設置有兩個第一滑槽212a和兩個第二滑槽212b，兩個第二滑槽212b均設置于側板212的同一面上，兩個第一滑槽212a分別設置于側板212的兩個相對的面上。兩個卡合單元220相對設置且均通過彈性部件230與所述箱體210固定，所述卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223分別設置于所述第一滑槽212a和第二滑槽212b中，從所述箱體210的外部推動所述第一控制桿222和第二控制桿223，能夠使得所述卡合桿221前后左右移動，不對所述卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223施加壓力時，兩個卡合單元220的卡合桿221均處于原始位置，不與所述周轉箱200內的晶圓接觸，分別對兩個卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223施加壓力時，兩個卡合桿221分別沿著所述第一滑槽212a和第二滑槽212b移動并靠近晶圓。
[0039]為了防止晶圓在運輸和操作過程中從所述周轉箱200的開口 213中滑出，作業(yè)人員推動兩個卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223，使得兩個卡合桿221的多個V型卡槽分別從晶圓的兩側卡住晶圓。
[0040]本實施例中，采用兩個相對設置的卡合單元220，其可靠性更高。
[0041]【實施例三】 [0042]請參考圖6，其為本實用新型實施例三的周轉箱的部分結構示意圖。
[0043]如圖6所示，本實施例與實施例一區(qū)別在于，所述卡合單元220的數(shù)量為四個，所述箱體210上設置有四個第一滑槽212a和四個第二滑槽212b。四個第一滑槽212a分成兩組，每組兩個，分別設置于側板的相對的面上。同樣的，四個第二滑槽212b也分成兩組，每組兩個，分別設置于側板的相對的面上。并且，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b設置于不同的面。四個卡合單元220均通過彈簧與所述箱體210固定，每個卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223均設置于相鄰的第一滑槽212a和第二滑槽212b中，從所述箱體210的外部推動所述第一控制桿222和第二控制桿223，能夠使得所述卡合單元220的卡合桿221前后左右移動。
[0044]為了防止晶圓在運輸和操作過程中從所述周轉箱200的開口 213中滑出，作業(yè)人員推動四個卡合單元220的第一控制桿222和第二控制桿223，使得四個卡合桿221上的V型卡槽分別從晶圓的兩側卡住晶圓，進一步提高可靠性。
[0045]綜上可見，在本實用新型實施例提供的周轉箱中，在箱體靠近開口的位置處增設至少一個卡合單元，通過所述卡合單元卡住周轉箱內的晶圓，能夠避免晶圓在運輸或操作過程中從周轉箱的開口中滑出，從而降低晶圓破損的風險。
[0046]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領域的普通技術人員根據(jù)上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。
【權利要求】
1.一種周轉箱，其特征在于，包括:箱體和至少一個卡合單元；所述箱體具有一用于取放物料的開口 ；所述卡合單元的兩端均設置有彈性部件，所述卡合單元靠近所述開口并通過所述彈性部件與所述箱體連接。
2.如權利要求1所述的周轉箱，其特征在于，所述卡合單元包括卡合桿、第一控制桿和第二控制桿，所述第一控制桿和第二控制桿垂直設置且分別與所述卡合桿固定。
3.如權利要求2所述的周轉箱，其特征在于，所述第一控制桿位于所述卡合桿的中部，所述第二控制桿位于所述卡合桿的一端。
4.如權利要求2所述的周轉箱，其特征在于，所述箱體包括矩形底板和側板，所述側板圍繞于所述矩形底板的四周并與所述矩形底板固定；所述側板上設置有至少一個第一滑槽和至少一個第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分別位于相鄰的面，所述第一控制桿和第二控制桿分別沿著所述第一滑槽和第二滑槽移動。
5.如權利要求4所述的周轉箱，其特征在于，所述側板中相對的兩面分別設置有多個插槽，所述多個插槽相互配合用于放置多個晶圓。
6.如權利要求5所述的周轉箱，其特征在于，所述卡合桿具有多個V型卡槽，所述多個V型卡槽的間距和寬度與所述多個插槽的間距和寬度相等。
7.如權利要求5所述的周轉箱，其特征在于，所述多個插槽位于所述第一滑槽的同一面和相對面。
8.如權利要求4所述的周轉箱，其特征在于，所述第一滑槽和第二滑槽的數(shù)量均與所述卡合單元的數(shù)量均為2N個，N為正整數(shù)。
9.如權利要求8所述的周轉箱，其特征在于，所述卡合單元的數(shù)量為兩個，所述第二滑槽的數(shù)量為兩個且均設置于同一面上，所述第一滑槽的數(shù)量為兩個且分別設置于相對的面上。
10.如權利要求8所述的周轉箱，其特征在于，所述第一滑槽與其相鄰的第一滑槽和第二滑槽均連為一體。
【文檔編號】B65D25/10GK203806313SQ201420234673
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年5月8日 優(yōu)先權日:2014年5月8日
【發(fā)明者】張學良, 高海林 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司