用于裝載基片的具有線繩的盒體的制作方法
【專利摘要】所公開的是一種用于裝載基片的盒體，并且更具體地，涉及一種用于裝載基片的具有線繩的盒體，該盒體可將多個基片豎直地裝載成以預(yù)定距離間隔開，在不使用單獨的夾持裝置的情況下，豎直地保持并支承該基片以使其不掉落，并且即使基片是更薄且更大的，也可使基片由于加工期間的破裂所造成的損壞最小化。
【專利說明】用于裝載基片的具有線繩的盒體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于裝載基片的盒體，更具體地，涉及一種用于裝載基片的具有 線繩的盒體，該盒體可將多個基片堅直地裝載成以預(yù)定距離間隔開，在不使用單獨的夾持 裝置的情況下堅直地保持并支承該基片以使其不掉落，并且即使該基片是更薄且更大的， 也可使基片因加工期間的破裂而造成的損壞最小化。

【背景技術(shù)】
[0002] 為了將多種工藝應(yīng)用于基片，需要一種用于保持或裝載基片的裝置。這種被保持 或被裝載的基片在腔室中經(jīng)歷諸如清潔、刻蝕等之類的多種表面處理工藝。
[0003] 與清潔或刻蝕相關(guān)的加工效率主要取決于在預(yù)定時間內(nèi)處理的基片的數(shù)量。也就 是說，為了改進該加工效率，增加在預(yù)定時間內(nèi)經(jīng)歷清潔或刻蝕的基片的數(shù)量是重要的。
[0004] 因此，需要在一個加工過程期間同時處理多個基片。為此，也需要一種能夠裝載多 個基片的盒體。
[0005] 這種用于裝載基片的盒體需要具有一種能夠裝載多個基片的結(jié)構(gòu)，從而使造支承 或保持基片時對基片造成損壞的可能性最小化，且與多種基片的尺寸相對應(yīng)。
[0006] -種用于裝載基片的相關(guān)盒體先前已經(jīng)由本 申請人:于2010年8月17日在名稱為 "用于玻璃的刻蝕的盒體"的文獻(韓國專利申請No. 10-2010-0079158)中提出申請。在先 申請的用于刻蝕玻璃基片的盒體具有很大的自主效應(yīng)，但具有一種在支承堅直裝載的基片 的底部的同時夾持該基片的相對側(cè)的結(jié)構(gòu)。
[0007] 然而，前述的用于裝載基片的盒體具有下列缺點，即，用于夾持基片的相對側(cè)的結(jié) 構(gòu)是略為復(fù)雜的，并且當轉(zhuǎn)移堅直地裝載在盒體中的基片以進行加工時，由該基片是更薄 且更大的，因此，該基片受到振動和搖晃。由此，在加工過程期間，該大且薄的基片易于破 裂。
[0008] 因此，對于大且薄的基片來說，需要一種用于使基片在加工過程期間的振動和搖 晃最小化的結(jié)構(gòu)。此外，這種附加結(jié)構(gòu)不應(yīng)當妨礙將基片裝載到盒體中或?qū)⒒瑥暮畜w中 取出。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 因此，本發(fā)明設(shè)想解決前述問題，并且本發(fā)明的一方面是提供一種用于裝載基片 的具有線繩的盒體，該盒體可將多個基片堅直地裝載成以預(yù)定距離間隔開，在不使用單獨 的夾持裝置的情況下，堅直地保持并支承基片以使其不掉落，并且即使基片是更薄且更大 的，也可使基片由加工過程期間的破裂所造成的損壞最小化。
[0010] 根據(jù)本發(fā)明的一種示例性實施方式，提供了一種用于裝載基片的具有線繩的盒 體，該盒體包括：裝載框架，其通過沿堅直方向連接多個單元矩形框架而形成；橫向支承單 元，其防止在裝載框架中從頂部至底部堅直地裝載的各個基片掉落；以及底部支承單元，其 設(shè)置在裝載框架的內(nèi)下部中并支承堅直裝載的各基片的底部，該橫向支承單元包括：多個 張緊保持支承件，這多個張緊保持支承件在第一連接框架和第二連接框架上設(shè)置成一排， 第一連接框架和第二連接框架在構(gòu)成單元矩形框架的四個連接框架之中垂直于堅直裝載 的基片設(shè)置；以及該線繩，該線繩在纏繞在設(shè)置在第一連接框架上的每個張緊保持支承件 及設(shè)置在第二連接框架上的每個張緊保持支承件上時保持張緊，并與每個堅直裝載的基片 的兩側(cè)相鄰。
[0011] 橫向支承單元可進一步包括聯(lián)接板，每個聯(lián)接板在其上都設(shè)有成一排的張緊保持 支承件，并且分別可拆卸地聯(lián)接至第一連接框架和第二連接框架。
[0012] 橫向支承單元可設(shè)置在每個單元矩形框架中。
[0013] 纏繞在設(shè)置在第一連接框架中的每個張緊保持支承件及設(shè)置在第二連接框架中 的每個張緊保持支承件上的線繩可包括單根線繩或至少兩個沿堅直方向間隔開的線繩。
[0014] 底部支承單元可包括保持支承件和接觸支承件，該保持支承件水平地設(shè)置在裝載 框架的內(nèi)下側(cè)中，該接觸支承件聯(lián)接至保持支承件并接觸支承堅直裝載的基片的底部，其 中，接觸支承件設(shè)置成沿基片的底部的縱向方向是長的并在待與基片相接觸的部分中形成 有長的接觸凹槽，并且該接觸凹槽形成有沿深度方向的多個排水孔。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 通過下面結(jié)合附圖對示例性實施方式做出的描述，本發(fā)明的上述和/或其它方面 將變得明顯并是易于理解的，其中：
[0016] 圖1是根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體的立體圖；
[0017] 圖2示出了在根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體中 所使用的橫向支承單元的視圖；
[0018] 圖3示出了在根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體中 所使用的橫向支承單元的另一視圖；
[0019] 圖4是在根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體中所使 用的底部支承單元的立體圖；以及
[0020] 圖5是在根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體中所使 用的高度調(diào)整單元的分解立體圖。

【具體實施方式】
[0021] 關(guān)于上述問題、目的及效果，下面將參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的用于裝載基片的具 有線繩的盒體的示例性實施方式進行描述。
[0022] 此外，為了清楚和方便，附圖中所示的元件的大小、形狀等可被夸大。此外，在考慮 本發(fā)明的構(gòu)型及操作時所具體限定的術(shù)語可根據(jù)使用者和操作者的意圖或習(xí)慣加以改變。 這些術(shù)語的定義必須基于本說明書中所述的內(nèi)容。
[0023] 圖1是根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的具有線繩的盒體的立體圖。 如圖1中所示，根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式的用于裝載基片的盒體包括裝載框架1〇 ;橫向 支承單元20,其用于防止從頂部至底部堅直裝載的各個基片1掉落；以及底部支承單元30， 其設(shè)置在裝載框架10的內(nèi)下部并支承堅直裝載的基片1的各個底部。
[0024] 如圖1中所示，該裝載框架10通過在堅直方向上連接多個單元矩形框架11而形 成。具體地，這多個單元矩形框架11在堅直方向上設(shè)置為間隔開預(yù)定距離，并通過堅直連 接框架13連接，從而形成該裝載框架10。
[0025] 構(gòu)成裝載框架10的每個單元矩形框架11通過連接四個連接框架而形成。具體地， 每個單元矩形框架11包括兩個垂直地設(shè)置于從頂部至底部堅直裝載的各個基片1設(shè)置的 連接框架，以及兩個與各個基片1平行地設(shè)置的連接框架。
[0026] 在下文中，垂直地設(shè)置于堅直地裝載到裝載框架10中的各個基片1的兩個連接框 架將被稱之為第一連接框架1 la和第二連接框架1 lb，并且與各個基片1平行地設(shè)置的兩個 連接框架將被稱之為第三連接框架11c和第四連接框架lid。此時，第一連接框架11a和第 二連接框架lib平行地設(shè)置為彼此面對，并且第三連接框架11c和第四連接框架lid也平 行地設(shè)置為彼此面對。
[0027] 在如上構(gòu)造的裝載框架10中，橫向支承單元20形成為防止堅直裝載的基片1掉 落。也就是說，該橫向支承單元20防止從頂部至底部堅直地裝載在裝載框架10中的各個 基片1掉落。
[0028] 同時，通過橫向支承單元20而保持直立的基片1的底部由底部支承單元30支承。 也就是說，該底部支承單元30設(shè)置在裝載框架10的內(nèi)下部中并且支承堅直裝載的基片1 的各個底部。
[0029] 如上所述，基片1于其底部處由底部支承單元30支承，并且通過橫向支承單元20 防止其掉落，使得可使基片1在裝載框架10中保持直立。
[0030] 防止從裝載框架10的頂部至底部堅直裝載的各個基片1掉落的橫向支承單元20 并不夾持且不固定基片1，而是使基片1保持直立。
[0031] 如上起作用的橫向支承單元20包括分別設(shè)置在第一連接框架11a和第二連接框 架lib中并且彼此對應(yīng)的張緊保持支承件21，并且線繩23纏繞在對應(yīng)的張緊保持支承件 21上并保持張緊(參照圖1)。
[0032] 具體地，構(gòu)成橫向支承單元20的多個張緊保持支承件21在第一連接框架11a和 第二連接框架lib上設(shè)置成一排，該第一連接框架11a和該第二連接框架lib在構(gòu)成單元 矩形框架11的四個連接框架之中垂直于堅直裝載的基片1設(shè)置。
[0033] 也就是說，多個張緊保持支承件21在彼此面對的第一連接框架11a和第二連接框 架lib上設(shè)置成一排。此外，在第一連接框架11a和第二連接框架lib中的每一個上設(shè)置 成一排的張緊保持支承件21彼此以預(yù)定距離間隔開。
[0034] 此外，在第一連接框架11a上設(shè)置成一排的各個張緊保持支承件21和在第二連接 框架lib上設(shè)置成一排的各個張緊保持支承件21設(shè)置成彼此面對并且彼此一一對應(yīng)。
[0035] 此時，在第一連接框架11a和第二連接框架lib中的每一個上設(shè)置成一排的張緊 保持支承件21之間的距離可等于堅直裝載在裝載框架10中的基片1之間的距離，并且在 第一連接框架11a和第二連接框架lib中的每一個上設(shè)置成一排的張緊保持支承件21的 數(shù)量可等于堅直裝載在裝載框架10中的基片1的數(shù)量。
[0036] 因此，堅直裝載在裝載框架10中的基片1的數(shù)量、設(shè)置在第一連接框架11a上的 張緊保持支承件21的數(shù)量、以及設(shè)置在第二連接框架lib上的張緊保持支承件21的數(shù)量 全都是相同的。
[0037] 同時，線繩23纏繞在設(shè)置在第一連接框架11a上的張緊保持支承件21上以及設(shè) 置在第二連接框架11上的對應(yīng)的張緊保持支承件21上，并保持張緊。
[0038] 具體地，構(gòu)成橫向支承單元20的線繩23既纏繞在設(shè)置在第一連接框架11a上的 張緊保持支承件21上又纏繞在設(shè)置在第二連接框架lib上、且與設(shè)置在第一連接框架11a 上的張緊保持支承件21相對應(yīng)的張緊保持支承件21上，并由此保持張緊。
[0039] 也就是說，構(gòu)成橫向支承單元20的線繩23在既被纏繞在設(shè)置在第一連接框架11a 上的張緊保持支承件21上又被纏繞在設(shè)置在第二連接框架lib上且與設(shè)置在第一連接框 架11a上的張緊保持支承件21相對應(yīng)的張緊保持支承件21上時保持張緊。
[0040] 如此一來，既纏繞在設(shè)置在第一連接框架11a上的張緊保持支承件21上又纏繞在 設(shè)置在第二連接框架lib上的張緊保持支承件21上的線繩23與堅直裝載在裝載框架10 中的每個基片1的兩側(cè)相鄰。
[0041] 線繩23成形為類似于從第一連接框架11a上的張緊保持支承件21開始，沿基片 1的一側(cè)纏繞在第二連接框架lib上的張緊保持支承件21上，并沿基片1的另一側(cè)再次連 接至第一連接框架11a上的張緊保持支承件21的環(huán)。
[0042] 換言之，堅直裝載的基片1放置在由線繩23形成的區(qū)段內(nèi)。因此，線繩1與堅直 裝載的基片1的兩側(cè)相鄰。
[0043] 由環(huán)繞基片1的兩側(cè)的線繩23限定的區(qū)段取決于第一連接框架11a和第二連接 框架lib的其上纏繞有線繩23的張緊保持支承件21的直徑。也就是說，如果該張緊保持 支承件21具有相對大的直徑，那么線繩23的環(huán)繞基片1的兩側(cè)的區(qū)段會變得較寬。另一 方面，如果該張緊保持支承件21具有相對小的直徑，那么線繩23的環(huán)繞該基片1的兩側(cè)的 區(qū)段會變得較窄。
[0044] 基片1穿過由線繩23限定的區(qū)段堅直地裝載。因此，由環(huán)繞基片1的兩側(cè)的線繩 23限定的內(nèi)部區(qū)段必須寬至可易于在堅直方向上裝載該基片1 (例如，比基片1的厚度寬 約1.5至3倍)。
[0045] 然而，如果由環(huán)繞基片1的兩側(cè)的線繩23限定的內(nèi)部區(qū)段過寬，那么使得環(huán)繞有 線繩23的基片1在橫向方向上大幅地移動，并且由此可能由于搖晃而受損。由此，可適當 地保持設(shè)置在每個基片1的兩側(cè)上的線繩23之間的間隙(例如，比基片1的厚度寬約1. 5 至3倍)。
[0046] 上述橫向支承單元20防止裝載到裝載框架10中的基片1掉落，使得可使基片1 保持直立。
[0047] 此外，前述的不夾持且不固定基片1的兩個邊緣而是支承其兩側(cè)的結(jié)構(gòu)對于使基 片1將由于振動而受損的可能性最小化是有利的。
[0048] 同時，參照圖1所述的構(gòu)成橫向支承單元20的張緊保持支承件21被緊固住并被 設(shè)置在構(gòu)成單元矩形框架11的第一連接框架11a和第二連接框架lib上。
[0049] 然而，隨著改變裝載在裝載框架10中的基片1的數(shù)量和基片之間的空間，可同樣 改變張緊保持支承件21的數(shù)量及它們之間的空間。
[0050] 因此，在調(diào)整張緊保持支承件21之間的空間的狀態(tài)下，可將張緊保持支承件21附 接至構(gòu)成單元矩形框架11的第一連接框架11a和第二連接框架11b，并可將張緊保持支承 件21從其上卸下。
[0051] 例如，可將張緊保持支承件21直接附接至構(gòu)成單元矩形框架11的第一連接框架 11a和第二連接框架lib并可將張緊保持支承件21從其上卸下，并且隨后可調(diào)整張緊保持 支承件之間的空間及張緊保持支承件的數(shù)量。
[0052] 此外，如圖2中所示，其上以預(yù)定間隔設(shè)置有預(yù)定數(shù)量的張緊保持支承件21的聯(lián) 接板25聯(lián)接至構(gòu)成單元矩形框架11的第一連接框架11a和第二連接框架11b，從而為改變 待裝載在裝載框架10中的基片1的數(shù)量和改變基片之間的空間做準備。
[0053] 具體地，如圖2中所示，該橫向支承單元20可進一步包括聯(lián)接板25,該聯(lián)接板25 設(shè)置有設(shè)置成一排的張緊保持支承件21并且可拆卸地聯(lián)接至第一連接框架11a和第二連 接框架lib。
[0054] 設(shè)置在聯(lián)接板25上的張緊保持支承件21的數(shù)量和張緊保持支承件21之間的空 間可分別對應(yīng)于裝載在裝載框架10中的基片1的數(shù)量及基片1之間的空間。
[0055] 參照圖1及圖2描述的橫向支承單元20設(shè)置在構(gòu)成裝載框架10的單元矩形框架 11中的至少一個上。
[0056] 為了使基片1因裝載在裝載框架10中的基片1的振動所造成的損壞最小化，可將 橫向支承單元20設(shè)置在單元矩形框架11中的至少兩個上，或可將橫向支承單元20分別設(shè) 置在所有單元矩形框架11上。
[0057] 由此，橫向支承單元20分別地設(shè)置在沿堅直方向連接的單元矩形框架11中，使得 裝載在裝載框架10中的基片1可被堅直地支承于多個位置處。結(jié)果，使基片1的搖晃最小 化，并且使得由于振動而造成損壞的可能性最小化。
[0058] 同時，圖1和圖2示出了將所述僅一根構(gòu)成橫向支承單元20的線繩23纏繞在第 一連接框架11a的張緊保持支承件21及第二連接框架lib的張緊保持支承件21上。
[0059] 作為選擇，如圖3中所示，可將堅直地彼此間隔開的兩根或多根線繩23纏繞在第 一連接框架11a的張緊保持支承件21及第二連接框架lib的張緊保持支承件21上。如此 一來，如果使用兩根或多根線繩，那么可使得基片1的搖晃及振動進一步減小。
[0060] 簡單來說，纏繞在第一連接框架11a的每個張緊保持支承件21及第二連接框架 lib的每個張緊保持支承件21上的線繩23可通過如圖1和圖2中所示的一根線繩23來實 現(xiàn)或通過如圖3中所示的堅直地彼此間隔開的至少兩根線繩23來實現(xiàn)。
[0061] 參照圖1至圖3,橫向支承單元20的張緊保持支承件21大體上成形為類似于圓柱 形，并形成有用以防止線繩23移動的凹槽21a。也就是說，張緊保持支承件21形成有沿其 上纏繞有線繩23的部分凹陷的凹槽21a，使得纏繞在張緊保持支承件21上的線繩23可被 穩(wěn)定地保持住而不會脫離。
[0062] 通過前述橫向支承單元20,裝載在裝載框架10中的基片1可保持直立而不會掉 落，并且使基片1將由于搖晃或振動而受損的可能性最小化。
[0063] 同時，即使前述橫向支承單元20防止基片1掉落，也需要支承基片1的底部以便 保持裝載好的基片1在堅直方向上直立。
[0064] 如圖1中所示，底部支承單元30設(shè)置在裝載框架10的內(nèi)下部中，并支承沿堅直方 向從頂部至底部裝載的基片1的底部。
[0065] 如圖4中所示，底部支承單元30包括水平設(shè)置在裝載框架10的內(nèi)下側(cè)中的保持 支承件31，以及聯(lián)接至該保持支承件31并接觸支承堅直裝載的基片1的底部的接觸支承件 33。該接觸支承件33設(shè)置成沿基片1的底部的縱向方向是長的，并在待與基片相接觸的部 分中形成有長的接觸凹槽33a。該接觸凹槽33a形成有沿深度方向的多個排水孔。
[0066] 保持支承件31可被緊固至并設(shè)置在裝載框架10內(nèi)，并且可以是可上下移動的。也 就是說，保持支承件31的高度可通過稍后待述的高度調(diào)整單元50進行調(diào)整。因此，保持支 承件31可被固定并設(shè)置成不在該框架內(nèi)移動，或者可被固定至該高度調(diào)整單元50并通過 該高度調(diào)整單元50調(diào)整高度。
[0067] 接觸支承件33聯(lián)接至保持支承件31并具有能夠穩(wěn)定地支承沿堅直方向裝載的基 片的底部的結(jié)構(gòu)。因此，如圖5中所示，接觸支承件33設(shè)置成沿基片1的縱向方向是長的， 以便接觸并支承基片1的底部。
[0068] 接觸支承件33在接觸基片1的底部的部分中形成有長的接觸凹槽33a，以便穩(wěn)定 且牢固地接觸支承該基片1的底部。因此，該基片的底部設(shè)置成與該接觸凹槽相接觸，使得 可牢固且穩(wěn)定地支承該基片。
[0069]同時，當執(zhí)行向裝載在盒體中的基片噴射刻蝕液體的特定工藝時，該刻蝕液體會 殘留在該接觸凹槽33a中。因此，基片的底部會被過度刻蝕，并且由于刻蝕所導(dǎo)致的副產(chǎn)品 會殘留在該接觸凹槽中。
[0070] 因此，如圖4中所示，接觸凹槽33a形成有沿深度方向的多個排水孔33b。這多個 排水孔33b彼此以預(yù)定距離間隔開。由于所有的刻蝕液體或副產(chǎn)品都通過該排水孔33b向 下排出，因此，防止殘留不希望得到的刻蝕液體或副產(chǎn)品是可能的。
[0071] 同時，底部支承單元30可被固定至并設(shè)置在裝載框架10內(nèi)，或可被固定至高度調(diào) 整單元50并設(shè)置成是可沿堅直方向調(diào)整高度的。該高度調(diào)整單元50放置在底部支承單元 30的下方并使得能夠調(diào)整該底部支承單元30的高度。
[0072] 圖5是高度調(diào)整單元的分解立體圖。如圖5中所示，該高度調(diào)整單元包括堅直基 座51及高度調(diào)整器，該高度調(diào)整器具有可滑動地聯(lián)接至該堅直基座51的一端和聯(lián)接至底 部支承單元30的另一端。
[0073] 如圖5中所示，多個堅直基座51沿長度方向或?qū)挾确较蛐纬稍诳蚣艿膬?nèi)底部上， 并且每一個堅直基座51均成形為類似于沿堅直方向伸出的堅直板。在成形為類似于堅直 板的堅直基座51的橫向側(cè)面上，沿堅直方向形成有多個第一高度調(diào)整孔51a。
[0074] 該高度調(diào)整器的一端具有可在堅直基座51上滑動的結(jié)構(gòu)。也就是說，如圖5中所 示，該高度調(diào)整器的下端被插入在該堅直基座中并且是可上下移動的。此外，形成有一個通 孔53b，該通孔53b具有與第一高度調(diào)整孔51a類似的形狀。
[0075] 因此，當將第一緊固件51b聯(lián)接至通孔53b和第一高度調(diào)整孔51a時，該高度調(diào)整 器的下端可被穩(wěn)定地聯(lián)接至該堅直基座51。此外，與通孔53b聯(lián)接的多個第一高度調(diào)整孔 51a由第一緊固件51b作出不同地選擇，使得可調(diào)整該高度調(diào)整器的位置。結(jié)果，調(diào)整聯(lián)接 至該高度調(diào)整器的上端(另一端）的底部支承單元30的高度是可能的。
[0076] 如圖5中所示，高度調(diào)整器的具體結(jié)構(gòu)包括第一高度調(diào)整器53和第二高度調(diào)整器 55,該第一高度調(diào)整器53是可在堅直基座51上上下滑動的并且是可通過第一緊固件51b 調(diào)整高度的，該第二高度調(diào)整器55具有聯(lián)接至第一高度調(diào)整器53的上端的一端和聯(lián)接至 底部支承單兀30的另一端。
[0077] 第一高度調(diào)整器53具有沿堅直方向可滑動地插入在基座板中的下端，并且由此 是可調(diào)整其高度的。為此，如上所述，第一高度調(diào)整器53形成有通孔53b，并且第一緊固件 51b將通孔53b與多個第一高度調(diào)整孔51a中的一個螺紋聯(lián)接。
[0078] 在第一高度調(diào)整器53的上端中，沿堅直方向形成了多個第二高度調(diào)整凹槽53a。 第二高度調(diào)整器55的下端通過第二緊固件55a聯(lián)接至第二高度調(diào)整凹槽53a。第二高度調(diào) 整器55的下端形成有一個聯(lián)接孔55b。結(jié)果，第二緊固件55a將聯(lián)接孔55b與多個第二高 度調(diào)整凹槽53a中的一個相聯(lián)接，使得可調(diào)整第二高度調(diào)整器55的高度并將該第二高度調(diào) 整器55聯(lián)接至第一高度調(diào)整器53的上端。
[0079] 如果第二高度調(diào)整器55的上端利用多種緊固方法而被聯(lián)接至底部支承單元30， 并且第一高度調(diào)整器53和底部支承單元30通過第二高度調(diào)整器55而被聯(lián)接于預(yù)定高度 處，就調(diào)整連接第一調(diào)整器的上端和底部支承單元的底部的支承件57的高度，從而防止底 部支承單元30下陷。
[0080] 如上所述，底部支承單元30的高度通過高度調(diào)整單元進行調(diào)整，從而使得即使改 變待裝載在盒體中的基片的大小，也易于對應(yīng)地改變尺寸。
[0081] 同時，前述用于裝載基片的具有線繩的盒體可被單獨地用于執(zhí)行盒體的功能，或 者可將多個盒體彼此連接并用作用于裝載大尺寸基片的盒體。也就是說，圖1的利用線繩 的用于裝載基片的盒體被串聯(lián)或并聯(lián)地連接，并由此重新構(gòu)成大尺寸的盒體。這種情況下， 不僅許多基片而且具有不同尺寸的基片均可被裝載在盒體中。
[0082] 根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式，前述的用于裝載基片的具有線繩的盒體可將多個基 片堅直地裝載成以預(yù)定距離間隔開，在不使用單獨的夾持裝置的情況下，堅直地保持并支 承基片以使其不掉落，并且即使基片變得更薄且更大，也使基片由于加工期間的破裂所造 成的損壞最小化。
[0083] 此外，用于支承堅直裝載的基片的底部的底部支承單元接觸支承該基片的整個底 部，從而即使振動盒體，也穩(wěn)定地支承該基片。此外，該底部支承單元于接觸部分處設(shè)置有 多個孔，從而防止刻蝕液體殘留在該接觸部分中并防止在該基片的下端處過度地進行刻 蝕。
[0084] 盡管已經(jīng)示出并描述了本發(fā)明的幾個示例性實施方式，但是所屬領(lǐng)域技術(shù)人員將 會理解，在不偏離本發(fā)明的原理和精神的情況下，可對這些實施方式作出改變，其中，本發(fā) 明的范圍被限定于所附權(quán)利要求及它們的等效實施方式中。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于裝載基片的具有線繩的盒體，包括： 裝載框架，所述裝載框架通過沿堅直方向連接多個單元矩形框架而形成； 橫向支承單元，所述橫向支承單元防止在所述裝載框架中從頂部至底部堅直地裝載的 各個基片掉落；以及 底部支承單元，所述底部支承單元設(shè)置在所述裝載框架的內(nèi)下部中并支承堅直裝載的 各所述基片的底部， 所述橫向支承單元包括： 多個張緊保持支承件，所述多個張緊保持支承件在第一連接框架和第二連接框架上被 設(shè)置成一排，所述第一連接框架和所述第二連接框架在構(gòu)成所述單元矩形框架的四個連接 框架之中垂直于堅直裝載的所述基片設(shè)置；以及 所述線繩，所述線繩在被纏繞在設(shè)置在所述第一連接框架上的每個張緊保持支承件及 設(shè)置在所述第二連接框架上的每個張緊保持支承件上時保持張緊，并與每個堅直裝載的所 述基片的兩側(cè)相鄰。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于裝載基片的具有線繩的盒體，其中，所述橫向支承單元 進一步包括聯(lián)接板，每個聯(lián)接板上設(shè)置有成一排的所述張緊保持支承件并且分別可拆卸地 聯(lián)接至所述第一連接框架和所述第二連接框架。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于裝載基片的具有線繩的盒體，其中，所述橫向支承單 元設(shè)置在每個單元矩形框架中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于裝載基片的具有線繩的盒體，其中，纏繞在設(shè)置在所 述第一連接框架中的每個張緊保持支承件及設(shè)置在所述第二連接框架中的每個張緊保持 支承件上的所述線繩包括單根線繩或至少兩根沿堅直方向間隔開的線繩。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于裝載基片的具有線繩的盒體，其中，所述底部支承單元 包括保持支承件和接觸支承件，所述保持支承件水平地設(shè)置在所述裝載框架的內(nèi)下側(cè)中， 所述接觸支承件聯(lián)接至所述保持支承件并接觸支承堅直裝載的所述基片的底部，其中，所 述接觸支承件設(shè)置成沿所述基片的底部的縱向方向是長的并在待與所述基片相接觸的部 分中形成有長的接觸凹槽，并且所述接觸凹槽形成有沿深度方向的多個排水孔。
【文檔編號】B65D81/05GK104118658SQ201310148394
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2013年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月25日
【發(fā)明者】金佐謙 申請人:株式會社Gse