專利名稱：物品運送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種物品運送設(shè)備，具有:頂板運送車，具有能夠升降的支承部，設(shè)置在頂板側(cè)；物品交接部，設(shè)置在地面?zhèn)?；以及地面?zhèn)冗\送裝置，在物品交接部和物品處理裝置之間運送物品。
背景技術(shù)：
在日本特開2008-244416號公報中，公開了一種物品運送設(shè)備，其構(gòu)成為，在沿頂板運送車的行進方向排列的狀態(tài)下在物品接受部中設(shè)定第I支承位置和第2支承位置，頂板運送車在停止于與第I支承位置對應(yīng)的位置的狀態(tài)下，向第I支承位置交付物品，頂板運送車在停止于與第2支承位置對應(yīng)的位置的狀態(tài)下，從第2支承位置接收物品。在該物品運送設(shè)備中，在物品交接部中，以沿著頂板運送車的行進路徑排列的狀態(tài)設(shè)置有第I支承位置和第2支承位置。并且，在使頂板運送車停止于與第I支承位置對應(yīng)的位置的狀態(tài)下交付物品，之后，使頂板運送車行進至與第2支承位置對應(yīng)的位置，并使其在停止于該位置的狀態(tài)下接收物品。這樣一來，在以往的物品運送設(shè)備中，構(gòu)成為能夠由頂板運送車向物品交接部交付物品之后，由該頂板運送車從物品交接部接收物品。但是，若在沿著頂板運送車的行進路徑排列的狀態(tài)下設(shè)置第I支承位置和第2支承位置，則存在物品交接部在沿著頂板運送車的行進路徑的路徑長度方向上變長的傾向。例如，在對于沿路徑長度方向并排設(shè)置的物品處理裝置的各自設(shè)置物品交接部時等，也需要在路徑長度方向上并排設(shè)置多個物品交接部。此時，若物品交接部在路徑長度方向上變長，則難以確保設(shè)置空間
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述實際情況，希望提供一種物品運送設(shè)備，能夠在由頂板運送車向物品交接部交付物品之后，由該頂板運送車從物品交接部接收物品，同時能夠確保物品交接部的設(shè)置空間。鑒于上述背景的本發(fā)明的物品運送設(shè)備的特征結(jié)構(gòu)在于，具備:
頂板運送車，能夠在由配設(shè)在頂板側(cè)的行進軌道導(dǎo)向支承的狀態(tài)下沿行進路徑行進，并且具有能夠支承物品而升降的支承部；
物品交接部，以與對物品進行預(yù)先規(guī)定的處理的物品處理裝置鄰接的狀態(tài)，設(shè)置在地板側(cè)，
上述頂板運送車的上述行進路徑在上述物品交接部的上方沿與上述物品處理裝置和上述物品交接部排列的并列方向交叉的路徑長度方向設(shè)定，
上述頂板運送車構(gòu)成為，借助上述支承部的升降向上述物品交接部的第I支承位置交付物品，且借助上述支承部的升降從上述物品交接部的第2支承位置接收物品，
還具備地面?zhèn)冗\送裝置，在上述物品處理裝置對物品進行上述處理的處理位置和上述第I支承位置之間、及上述處理位置和上述第2支承位置之間運送物品，上述第I支承位置、上述第2支承位置和上述處理位置以沿著上述并列方向并排的狀態(tài)被設(shè)定于上述物品交接部，
上述頂板運送車還具備移動操作機構(gòu)，向上述第I支承位置的稍上方和上述第2支承位置的稍上方，沿著上述并列方向移動操作上述支承部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在使頂板運送車在與物品交接部對應(yīng)的位置處停止的狀態(tài)、且使支承部由移動操作機構(gòu)移動至第I支承位置的稍上方的狀態(tài)下，通過使支承部升降能夠向物品交接部的第I支承位置交付物品。并且，在使頂板運送車在與物品交接部對應(yīng)的位置處停止的狀態(tài)、且使支承部由移動操作機構(gòu)移動至第2支承位置的正上方移動的狀態(tài)下，通過使支承部升降能夠從物品交接部的第2支承位置接收物品。這樣地，能夠由頂板運送車向物品交接部交付物品后，再由該頂板運送車從物品交接部接收物品。并且，在沿著物品處理裝置和物品交接部排列的并列方向排列的狀態(tài)下，在物品交接部中設(shè)定第I支承位置、第2支承位置、處理位置。該并列方向是與路徑長度方向交叉的路徑寬度方向，因此能夠縮短物品交接部的路徑長度方向中的長度。例如，在對沿路徑長度方向并排設(shè)置的物品處理裝置的各自設(shè)置物品交接部時等，需要在路徑長度方向上也并排設(shè)置多個物品交接部。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，此時，能夠?qū)⑽锲方唤硬吭诼窂介L度方向中縮短地構(gòu)成，因此易于確保物品交接部的設(shè)置空間。以下舉例表示本發(fā)明的各種實施方式。作為一個實施方式，優(yōu)選沿著上述路徑長度方向并排設(shè)置多個本發(fā)明的物品運送設(shè)備的上述物品交接部。例如，在沿著路徑長度方向并排設(shè)置多個物品處理裝置、對該多個物品處理裝置的各自設(shè)置物品交接部時，或者，在對物品處理裝置設(shè)置多個物品交接部時，需要沿路徑長度方向并排設(shè)置多個物品交接部。根據(jù)本實施方式，此時，由于物品交接部能夠在路徑長度方向上縮短，因此易于確保物品交接部的設(shè)置空間。本發(fā)明的物品運送設(shè)備中，作為一個實施方式，優(yōu)選還具備控制部，控制上述頂板運送車及上述地面?zhèn)冗\ 送裝置的動作，在上述并列方向中，在上述處理位置和上述第2支承位置之間設(shè)定上述第I支承位置，上述控制部控制上述頂板運送車及上述地面?zhèn)冗\送裝置的動作，使得由上述頂板運送車向上述第I支承位置交付物品，然后由上述地面?zhèn)冗\送裝置將該物品從上述第I支承位置運送至上述處理位置，并由上述頂板運送車接收上述第2支承位置的物品，此后，由上述地面?zhèn)冗\送裝置將在上述處理位置的處理結(jié)束后的物品從上述處理位置運送至上述第2支承位置。S卩，在并列方向中，在處理位置和第2支承位置之間設(shè)置有第I支承位置，因此即使在第2支承位置處具有物品，也能夠由地面?zhèn)冗\送裝置將物品從第I支承位置運送至處理位置。即，頂板運送車向第I支承位置交付物品之后，頂板運送車從第2支承位置接收物品之前，地面?zhèn)冗\送裝置能夠?qū)⒌贗支承位置的物品向著處理位置開始運送。由此，能夠高效地進行借助頂板運送車的物品的交接和借助地面?zhèn)冗\送裝置的物品的運送。本發(fā)明的物品運送設(shè)備中，作為一個實施方式，優(yōu)選構(gòu)成為，上述地面?zhèn)冗\送裝置具備:處理側(cè)運送臺，載置支承物品的底面中的一部分，并沿上述并列方向移動，從而在上述處理位置和上述第I支承位置之間運送物品；以及交接側(cè)運送臺，載置支承物品的底面中的未被上述處理側(cè)運送臺載置支承的部分，沿上述并列方向移動，從而在上述第I支承位置和上述第2支承位置之間運送物品，上述處理側(cè)運送臺和上述交接側(cè)運送臺相對升降移動，從而在上述處理側(cè)運送臺和上述交接側(cè)運送臺之間交接物品。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在由交接側(cè)運送臺載置支承物品而使該物品位于第2支承位置的狀態(tài)下，能夠由處理側(cè)運送臺載置支承從頂板運送車向第I支承位置交付的物品，并且，能夠由處理側(cè)運送臺將該物品向處理位置運送。并且，在頂板運送車接收了第2位置的物品后，由處理側(cè)運送臺將物品從處理位置運送至第I支承位置，在使處理側(cè)運送臺及交接側(cè)運送臺位于第I支承位置的狀態(tài)下使交接側(cè)運送臺對于處理側(cè)運送臺相對地上升移動，從而能夠?qū)⑽锲窂奶幚韨?cè)運送臺向交接側(cè)運送臺交付，能夠由交接側(cè)運送臺將物品從第I支承位置運送至第2支承位置。從而，作為支承物品的臺，只要設(shè)置處理側(cè)運送臺和交接側(cè)運送臺即可，與例如在第I支承位置及第2支承位置的各自上設(shè)置支承物品的固定支承臺、進而設(shè)置從第I支承位置的固定支承臺向處理位置運送物品的運送臺、及從處理位置向第2支承位置的固定支承臺運送物品的運送臺的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)地面?zhèn)冗\送裝置的結(jié)構(gòu)的簡化。本發(fā)明的物品運送設(shè)備中，作為一個實施方式，優(yōu)選物品是能夠收納多張基板、且拆裝自如地具備封住基板的進出口的蓋的基板收納容器，上述處理位置是進行上述基板收納容器的蓋的開閉處理、及使基板相對于上述基板收納容器進出的進出處理的位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在由頂板運送車向物品交接部交付基板收納容器后，由該頂板運送車從物品交接部接收物品，并且，能夠縮短物品交接部的路徑長度方向中的長度。因此，即使在例如在路徑長度方向上并排設(shè)置進行蓋的開閉處理或基板的進出處理的物品處理裝置，對該物品處理裝置的各自設(shè)置物品 交接部時等，也能夠在路徑長度方向上縮短物品交接部，因此易于確保物品交接部的設(shè)置空間。


圖1是物品運送設(shè)備的橫側(cè)視圖。圖2是表示頂板運送車向第I支承位置交付物品的狀態(tài)的主視圖。圖3是表示頂板運送車從第2支承位置接收物品的狀態(tài)的主視圖。圖4是表示頂板運送車在與保管架之間交接物品的狀態(tài)的主視圖。圖5A 是物品的運送作用側(cè)視圖。圖6A 6D是物品的運送作用俯視圖。圖7是表示其他實施方式中的頂板運送車在與保管架之間交接物品的狀態(tài)的主視圖。附圖標記說明:
I…頂板運送車 2…行進軌道
3…處理裝置(物品處理裝置)
4…容器交接部(物品交接部)
8…基板
9…基板收納容器 11…蓋
18…支承機構(gòu)(支承部)20…滑動操作機構(gòu)(移動操作機構(gòu))
23…處理側(cè)運送臺 24…交接側(cè)運送臺 Pl…第I支承位置 P2…第2支承位置 P3…處理位置 W…物品
X…路徑寬度方向 Y…路徑長度方向。
具體實施例方式以下根據(jù)

本發(fā)明的實施方式。如圖1 圖4所示，在物品運送設(shè)備上設(shè)置有:頂板運送車1，以被配設(shè)在頂板側(cè)的行進軌道2引導(dǎo)支承的狀態(tài)沿著行進路徑行進自如；作為物品交接部的容器交接部4，在與作為對物品進行預(yù)先規(guī)定的處理(規(guī)定處理)的物品處置裝置的處理裝置3鄰接的狀態(tài)下，設(shè)置在地板側(cè)；以及保管架5，被垂吊支承于頂板，能夠保管多個物品W。此外，有時將沿著行進路徑的方向稱為路徑長度方向，將與前后方向(路徑長度方向Y)垂直的水平方向稱為路徑寬度方向X。如圖2所示，物品W是能夠收納多張基板8且拆裝自如地配備有由封住基板8的進出口的蓋11的基板收納容器9，在本實施方式中，基板8是半導(dǎo)體晶片，收容該半導(dǎo)體晶片的FOUP (Front Opening Unified Pod)為基板收納容器9。處理裝置3例如是進行作為物品W的基板收納容器9中所收納的基板8 (半導(dǎo)體晶片)的檢查、加工等處理的裝置，規(guī)定處理是指例如檢查處理或加工處理?；迨占{容器9構(gòu)成為具備:具有用于使基板8進出的開口的外殼10、以及關(guān)閉外殼10的開口的拆裝自如的 蓋11。并且，在外殼10的上表面形成有由頂板運送車I的支承機構(gòu)18 (支承部)支承的上凸緣12，在外殼10的底面具備被卡合部13，其與設(shè)置在容器交接部4上的地面?zhèn)冗\送裝置6的定位突起25卡合(參照圖6A等)。處理裝置3構(gòu)成為進行基板收納容器9的蓋11的開閉處理、對基板收納容器9的基板8的進出處理、以及對于取出的基板8的加工及清洗等的各種處理，構(gòu)成為對于基板收納容器9及從其中取出的基板8進行處理。在該處理裝置3中，如圖1所示，在沿著路徑長度方向Y排列的狀態(tài)下，設(shè)置有多個在使基板收納容器9密接的狀態(tài)下將蓋11開閉、且令基板8進出的處理口 7。對于處理口 7的各自設(shè)置容器交接部4，沿著路徑長度方向Y并排設(shè)置多個容器交接部4。[頂板運送車]
如圖2 圖4所示，頂板運送車I升降自如地具備支承物品W的支承機構(gòu)18(支承部)，構(gòu)成為借助支承機構(gòu)18的升降將基板收納容器9向容器交接部4的第I支承位置Pl交付自如，且借助支承機構(gòu)18將基板收納容器9從容器交接部4的第2支承位置P2接收自如。此外，有時將沿著支承機構(gòu)18升降方向的方向稱為升降方向Z。升降方向Z是與上述路徑長度方向Y及路徑寬度方向X大致垂直的方向。如圖1所示，頂板運送車I構(gòu)成為具備:行進部15，在行進軌道2上沿著行進路徑行進；以及本體部16，以位于行進軌道2的下方的方式被垂吊支承于行進部15，且能夠升降移動地支承基板收納容器9。該本體部16構(gòu)成為具備:支承機構(gòu)18，作為支承物品W的支承部；升降操作機構(gòu)19，使支承機構(gòu)18升降移動；作為移動操作機構(gòu)的滑動操作機構(gòu)20，使升降操作機構(gòu)19及支承機構(gòu)18向行進部15的正下方的引退位置、及相對于行進部15在路徑寬度方向X上偏移的突出位置滑動移動；以及罩體21，覆蓋由支承機構(gòu)18支承的基板收納容器9的上方側(cè)及路徑前后側(cè)。在支承機構(gòu)18上，具備繞橫軸心擺動自如的一對把持爪18a。一對把持爪18a構(gòu)成為使把持爪18a的姿態(tài)在把持基板收納容器9的上凸緣12的把持姿態(tài)、和解除對于上凸緣12的把持的解除姿態(tài)之間姿態(tài)變更自如。升降操作機構(gòu)19將在尖端部連結(jié)支承著支承機構(gòu)18的卷收帶19a構(gòu)成為卷收及放出自如,通過對卷收帶19a進行卷收及放出操作而使支承機構(gòu)18及被其支承的基板收納容器9升降移動。如圖2 圖4所示，滑動操作機構(gòu)20構(gòu)成為連結(jié)支承升降操作機構(gòu)19的支承體20a沿著路徑寬度方向X滑動移動自如。通過使支承體20a在路徑寬度方向X上滑動移動，支承機構(gòu)18及被其支承的基板收納容器9能夠移動至位于行進軌道2的稍下方且第I支承位置Pl的稍上方的引退位置(參照圖2)、和令支承機構(gòu)18及被其支承的基板收納容器9相對于行進軌道2位于路徑寬度方向X的一方側(cè)且位于第2支承位置P2的稍上方的突出位置(參照圖3及圖4)。這樣地，滑動操作機構(gòu)20構(gòu)成為，沿著路徑寬度方向X將支承機構(gòu)18移動操作至第I支承位置Pl的稍上方和第2支承位置P2的稍上方。在容器交接部4的上方，沿著與處理裝置3和容器交接部4排列的路徑寬度方向X (并列方向)交叉的路徑長度方向Y設(shè)定頂板運送車I的行進路徑。頂板運送車I的行進路徑(行進軌道2)位于容器交接部4的第I支承位置Pl的正上方。另外，頂板運送車I行進移動時，為卷收帶19a被卷收且使支承體20a滑動移動至引退位置的行進用狀態(tài)。并且，在行進用狀態(tài)中，運送基板收納容器9時，用于把持基板收納容器9的把持爪18a成為把持姿態(tài)，不運送基 板收納容器9時，把持爪18a成為解除姿態(tài)。如圖2所示，頂板運送車I的動作由作為控制部的控制裝置H控制，控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行向第I支承位置Pl交付基板收納容器9的交付處理、和從第2支承位置P2接收基板收納容器9的接受處理，控制頂板運送車I的動作。在交付處理中，如圖2所示，在使支承基板收納容器9的頂板運送車I停止在與容器交接部4對應(yīng)的停止位置的狀態(tài)下，放出卷收帶19a，然后使把持爪18a姿態(tài)變更為解除姿態(tài)，向第I支承位置Pl交付基板收納容器9，然后將卷收帶19a卷收。并且，在接收處理中，如圖3所示，在使未支承基板收納容器9的頂板運送車I停止在與容器交接部4對應(yīng)的停止位置的狀態(tài)下，使支承體20a滑動移動至突出位置，放出卷收帶19a，然后使把持爪18a姿態(tài)變更為把持姿態(tài)，從第2支承位置P2接收基板收納容器9，之后，將卷收帶19a卷收，使支承體20a滑動移動至引退位置。并且，控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行將基板收納容器9放入保管架5中的保管處理、和將基板收納容器9從保管架5取出的取出處理，控制頂板運送車I的動作。如圖4所示，取出處理除了在使頂板運送車I停止在與保管架5的收納位置對應(yīng)的停止位置的狀態(tài)下進行這一點、及卷收帶19a的放出及卷收量不同這一點以外，與接收處理是一樣的。并且，保管處理通過按相反的順序執(zhí)行取出處理而進行。另外，容器交接部4和保管架5在路徑長度方向Y中設(shè)置于不同的位置。此外，對于行進軌道2在路徑寬度方向X中在相同一側(cè)且以相同距離設(shè)定容器交接部4中的第2支承位置P2和保管架5中的支承基板收納容器9的位置。[容器交接部]
如圖2 圖4所示，容器交接部4在與處理裝置3鄰接的狀態(tài)下設(shè)置在地板側(cè)。在容器交接部4中，設(shè)定有從頂板運送車I接收基板收納容器9的第I支承位置P1、向頂板運送車I交付基板收納容器9的第2支承位置P2、及處理裝置3對于基板收納容器9進行預(yù)先規(guī)定的處理(規(guī)定處理)的處理位置P3。這些第I支承位置P1、第2支承位置P2、及處理位置P3沿著路徑寬度方向X以在一條直線上排列的狀態(tài)設(shè)定在容器交接部4中，第I支承位置Pl設(shè)定在處理位置P3和第2支承位置P2之間。并且，在使基板收納容器9位于處理位置P3的狀態(tài)下，處理裝置3將該基板收納容器9的蓋11開閉、且使基板8相對于基板收納容器9進出，處理位置P3成為進行開閉處理和進出處理的位置。并且，第I支承位置Pl和處理位置P3以下述方式設(shè)定:在將基板收納容器9配置于第I支承位置Pl及處理位置P3時，在路徑寬度方向X中(在沿著升降方向Z及路徑長度方向Y的方向看)，基板收納容器9重疊。在此，所謂“重疊”，是指在沿著升降方向Z (路徑長度方向Y)的方向看，配置在該位置(Pl及P3)的基板收納容器9的一部分或整體重合的狀態(tài)。通過這樣地設(shè)定第I支承位置Pl和處理位置P3，實現(xiàn)容器交接部4的在路徑寬度方向X中的大小的緊湊化。此外，在此，表示了在沿著升降方向Z及路徑長度方向Y的方向看重疊的例子，但只要是以至少沿著升降方向Z的方向看重疊的方式設(shè)定兩位置(P1、P3)，就能夠抑制各器交接部4的在路徑覽度方向X中的大小。并且，第I支承位置Pl和第2支承位置P2如下地設(shè)定:在將基板收納容器9配置于第I支承位置Pl及第2支承位置P2時，在路徑寬度方向X中(在沿著升降方向Z及路徑長度方向Y的方向看)，基板收納容器9不重疊。在此，所謂“不重疊”，是指在沿著升降方向Z (路徑長度方向Y)的方向看，配置于該位置(Pl及P2)的基板收納容器9 一部分也不重合的狀態(tài)。由此，構(gòu)成為在第2支承位置P2上載置支承有其他基板收納容器9的狀態(tài)下，從頂板運送車I將基板收納 容器9向第I支承位置Pl接收自如。此外，在此表示了在沿著升降方向Z及路徑長度方向Y的方向看不重疊的例子，但只要是以至少在沿著升降方向Z的方向看不重疊的方式設(shè)定兩位置(P1、P2)，就能夠在第2支承位置P2上載置支承有一個基板收納容器9的狀態(tài)下在第I支承位置Pl中從頂板運送車I接收與該基板收納容器9不同的容器。在容器交接部4中具備在第I支承位置P1、第2支承位置P2、及處理位置P3之間運送基板收納容器9的地面?zhèn)冗\送裝置6。該地面?zhèn)冗\送裝置6構(gòu)成為具備:處理側(cè)運送臺23，載置支承基板收納容器9的底面中的一部分，沿路徑寬度方向X移動，從而在處理位置P3和第I支承位置Pl之間運送基板收納容器9 ；以及交接側(cè)運送臺24，載置支承基板收納容器9的底面中的未被處理側(cè)運送臺23載置支承的部分，沿路徑寬度方向X移動，從而在第I支承位置Pl和第2支承位置P2之間運送基板收納容器9，通過處理側(cè)運送臺23和交接側(cè)運送臺24相對地升降移動而能夠在處理側(cè)運送臺23和交接側(cè)運送臺24之間交接基板收納容器9。若對地面?zhèn)冗\送裝置6加以說明，則如圖6A等所示，處理側(cè)運送臺23形成為從矩形切下一部分而成的形狀，交接側(cè)運送臺24形成為在處理側(cè)運送臺23及交接側(cè)運送臺24位于第I支承位置Pl的狀態(tài)下收入在處理側(cè)運送臺23的缺口中的形狀。由此，交接側(cè)運送臺24構(gòu)成為能夠載置支承基板收納容器9的底面中未由處理側(cè)運送臺23載置支承的部分。并且，在處理側(cè)運送臺23中的缺口的周圍部、及交接側(cè)運送臺24的外周緣部的各自上，在三處設(shè)置有作為與基板收納容器9的被卡合部13卡合的活動銷的定位突起25。構(gòu)成為三處的定位突起25與基板收納容器9的被卡合部13卡合,從而基板收納容器9被定位在各運送臺23、24上的規(guī)定位置。如圖5A 圖及圖6A 圖6D所示，地面?zhèn)冗\送裝置6向第I支承位置Pl和處理位置P3水平移動自如地配備處理側(cè)運送臺23。通過使處理側(cè)運送臺23從第I支承位置Pl移動至處理位置P3，將載置支承在處理側(cè)運送臺23上的基板收納容器9從第I支承位置Pl運送至處理位置P3。并且，通過使處理側(cè)運送臺23從處理位置P3移動至第I支承位置Pl，將載置支承在處理側(cè)運送臺23上的基板收納容器9從處理位置P3運送至第I支承位置P1。并且，地面?zhèn)冗\送裝置6向第I支承位置Pl和第2支承位置P2水平移動自如地配備交接側(cè)運送臺24。通過使交接側(cè)運送臺24從第I支承位置Pl移動至第2支承位置P2，將載置支承在交接側(cè)運送臺24上的基板收納容器9從第I支承位置Pl運送至第2支承位置P2。

并且，交接側(cè)運送臺24構(gòu)成為升降移動自如。在處理側(cè)運送臺23及交接側(cè)運送臺24位于第I支承位置Pl的狀態(tài)下，通過使交接側(cè)運送臺24相對于處理側(cè)運送臺23上升移動，能夠從處理側(cè)運送臺23向交接側(cè)運送臺24交付基板收納容器9。S卩，地面?zhèn)冗\送裝置6構(gòu)成為由處理側(cè)運送臺23將基板收納容器9從處理位置P3運送至第I支承位置Pl，然后使交接側(cè)運送臺24上升移動，從處理側(cè)運送臺23向交接側(cè)運送臺24交付基板收納容器9，然后由交接側(cè)運送臺24將基板收納容器9從第I支承位置Pl運送至第2支承位置P2，將基板收納容器9從處理位置P3運送至第2支承位置P2。如圖2所示，控制裝置H構(gòu)成為除了控制頂板運送車I的動作還控制地面?zhèn)冗\送裝置6的動作。如圖5A 圖所示，控制裝置H構(gòu)成為控制頂板運送車I及地面?zhèn)冗\送裝置6的動作，使得由頂板運送車I向第I支承位置Pl交付基板收納容器9，然后將該基板收納容器9由地面?zhèn)冗\送裝置6從第I支承位置Pl運送至處理位置P3，且由頂板運送車I接收第2支承位置P2的基板收納容器9，然后將處理位置P3中的處理結(jié)束了的基板收納容器9由地面?zhèn)冗\送裝置6從處理位置P3運送至第2支承位置P2。接著，對在基板收納容器9被支承于位于容器交接部4的第2支承位置P2的交接側(cè)運送臺24的狀態(tài)下頂板運送車I與容器交接部4之間交接基板收納容器9時的、借助控制裝置H的頂板運送車I及地面?zhèn)冗\送裝置6的動作的控制加以說明。首先，如圖5A所示，執(zhí)行交付處理，從頂板運送車I向位于第I支承位置Pl的處理側(cè)運送臺23上交付基板收納容器9。然后如圖5B所示，接著執(zhí)行接收處理，頂板運送車I接收位于第2支承位置P2的交接側(cè)運送臺24上的基板收納容器9。并且，在向處理側(cè)運送臺23上交付基板收納容器9后的交付處理的執(zhí)行中(卷收帶19a的卷收中)、或之后的接收處理的執(zhí)行中，如圖5B及圖6B所示，使處理側(cè)運送臺23移動，使基板收納容器9從第I支承位置Pl移動至處理位置P3。在基于處理裝置3的對基板收納容器9的處理(規(guī)定處理)結(jié)束之后，如圖5C、圖及圖6C、圖6D所示，使處理側(cè)運送臺23及交接側(cè)運送臺24移動，將基板收納容器9從處理位置P3移動至第2支承位置P2。這樣地，在頂板運送車I上具備滑動操作機構(gòu)20，該滑動操作機構(gòu)沿著路徑寬度方向X移動操作支承機構(gòu)18以使支承機構(gòu)18位于第I支承位置Pl的稍上方、及第2支承位置P2的稍上方，并且，第I支承位置P1、第2支承位置P2、及處理位置P3以沿著路徑寬度方向X排列的狀態(tài)設(shè)定于容器交接部4。由此，在由頂板運送車I向容器交接部4交付基板收納容器9后，能夠由該頂板運送車I從容器交接部4接收基板收納容器9，同時，即使處理裝置3的在路徑長度方向Y中的大小小時，也易于確保容器交接部4的設(shè)置空間。[其他實施方式]
(I)在上述實施方式中，表示了在路徑寬度方向X中將保管架5相對于行進軌道2設(shè)置在與第2支承位置P2相同一側(cè)的實例。但是，也可以如圖7所示，在路徑寬度方向X中，將保管架5相對于行進軌道2設(shè)置在與第2支承位置P2不同的一側(cè)。并且，保管架5也可以在路徑寬度方向X中，設(shè)置在與第2支承位置P2相同側(cè)和不同側(cè)兩側(cè)。這種情況下，滑動操作機構(gòu)20優(yōu)選構(gòu)成為能夠?qū)⒅С畜w20a在除了引退位置和突出位置處，還能夠向另一方側(cè)突出位置移動。所謂另一方側(cè)突出位置，是支承機構(gòu)18及被其支承的基板收納容器9相對于行進軌道2位于路徑寬度方向X的另一方側(cè)的位置。并且，也可以將保管架5設(shè)置在行進軌道2的稍下方且物品交接部的稍上方，以便不成為基于頂板運送車I的物品W的運送、及基于地面?zhèn)冗\送裝置6的物品W的運送的阻礙的方式，。(2)在上述實施方式中，表示了地面?zhèn)冗\送裝置6的實例，其構(gòu)成為具備:處理側(cè)運送臺23，向第I支承位置Pl和處理位置P3移動自如；以及交接側(cè)運送臺24，向第I支承位置Pl和第2支承位置P2移動自如。但是，地面?zhèn)冗\送裝置6也可以具備:支承臺(上述實施方式中交接側(cè)運送臺24)，構(gòu)成為，支承位于第2支承位置P2的物品W ;以及運送機構(gòu)(上述實施方式中由處理側(cè)運送臺23和交接側(cè)運送臺24構(gòu)成)，在物品W存在于第2支承位置P2的狀態(tài)下，將物品W從第 I支承位置Pl向處理位置P3運送自如地，且在第I支承位置Pl及第2支承位置P2的任意一個上都不存在物品W的狀態(tài)下，將物品W從處理位置P3向第2支承位置P2運送自如。若舉出具體實例，則也可以例如將地面?zhèn)冗\送裝置6構(gòu)成為，將載置支承物品W的固定支承臺設(shè)置在第2支承位置P2，并設(shè)置將物品W從第I支承位置Pl向處理位置P3運送自如、且從處理位置P3向固定支承臺上交付自如的運送臺。(3)在上述實施方式中，將行進軌道2設(shè)置在第I支承位置Pl的稍上方，但行進軌道2也可以被設(shè)置在第2支承位置P2稍上方。并且，行進軌道2也可以分別被設(shè)置在第I支承位置Pl的稍上方和第2支承位置P2的稍上方的各自上，平行地設(shè)置兩個路徑。(4)在上述實施方式中，在處理位置P3和第2支承位置P2之間設(shè)定了第I支承位置Pl，但也可以將處理位置P3和第I支承位置Pl在沿路徑寬度方向X離開的狀態(tài)下設(shè)定，在這些處理位置P3和第I支承位置Pl之間設(shè)定第2支承位置P2。(5)在上述實施方式中，對于處理裝置3 (物品處理裝置)設(shè)置多個物品交接部，從而沿著路徑長度方向Y并排設(shè)置多個物品交接部，但也可以沿著路徑長度方向Y并排設(shè)置多個物品處理裝置，并對于該多個物品處理裝置的各自設(shè)置物品交接部，從而沿著路徑長度方向Y設(shè)置多個物品交接部。并且，沿著路徑長度方向Y并排設(shè)置多個物品交接部，但也可以在使其在路徑長度方向Y上分散的狀態(tài)下設(shè)置多個物品交接部。此外，在設(shè)置單個物品交接部的情況中，即使物品交接部的設(shè)置被限于物品處理裝置的路徑長度方向的寬度內(nèi)的情況下，也易于確保物品 交接部的設(shè)置空間。
權(quán)利要求
1.一種物品運送設(shè)備，具備: 頂板運送車，能夠以被配設(shè)在頂板側(cè)的行進軌道引導(dǎo)支承的狀態(tài)沿行進路徑行進，且具有能夠支承物品而升降的支承部； 物品交接部，以與對物品進行預(yù)先規(guī)定的處理的物品處理裝置鄰接的狀態(tài)設(shè)置在地板偵U， 上述頂板運送車的上述行進路徑在上述物品交接部的上方被沿下述路徑長度方向設(shè)定，所述路徑長度方向與上述物品處理裝置和上述物品交接部排列的并列方向交叉， 上述頂板運送車構(gòu)成為借助上述支承部的升降向上述物品交接部的第I支承位置交付物品，且借助上述支承部的升降從上述物品交接部的第2支承位置接收物品， 還具備地面?zhèn)冗\送裝置，在上述物品處理裝置對物品進行上述處理的處理位置和上述第I支承位置之間、及上述處理位置和上述第2支承位置之間運送物品， 上述第I支承位置、上述第2支承位置、上述處理位置以沿上述排列方向并排的狀態(tài)被設(shè)定于上述物品交接部， 上述頂板運送車具備移動操作機構(gòu)，向上述第I支承位置的稍上方和上述第2支承位置的稍上方沿上述并列方向移動操作上述支承部。
2.如權(quán)利要求1所述的物品運送設(shè)備，其特征在于，沿著上述路徑長度方向并排設(shè)置多個上述物品交接部。
3.如權(quán)利要求1或2所述的物品運送設(shè)備，其特征在于， 還具備控制部，控制上述頂板運送車及上述地面?zhèn)冗\送裝置的動作， 在上述并列方向中，在上述處理位置和上述第2支承位置之間設(shè)定上述第I支承位置， 上述控制部如下所述地控制上述頂板運送車及上述地面?zhèn)冗\送裝置的動作: 上述頂板運送車在上述第I支承位置處交付物品； 之后，上述地面?zhèn)冗\送裝置將該物品從上述第I支承位置運送至上述處理位置，并且上述頂板運送車在上述第2支承位置處接收物品； 之后，上述地面?zhèn)冗\送裝置將在上述處理位置處的處理結(jié)束了的物品從上述處理位置運送至上述第2支承位置。
4.如權(quán)利要求3所述的物品運送設(shè)備，其特征在于， 上述地面?zhèn)冗\送裝置構(gòu)成為具備:處理側(cè)運送臺，載置支承物品的底面中的一部分，在上述并列方向上移動，從而在上述處理位置和上述第I支承位置之間運送物品；以及交接側(cè)運送臺，載置支承物品的底面中未被上述處理側(cè)運送臺載置支承的部分，在上述并列方向上移動，從而在上述第I支承位置和上述第2支承位置之間運送物品，上述處理側(cè)運送臺和上述交接側(cè)運送臺相對地升降移動，從而在上述處理側(cè)運送臺和上述交接側(cè)運送臺之間交接物品。
5.如權(quán)利要求1或2所述的物品運送設(shè)備，其特征在于， 物品是能夠收納多張基板且拆裝自如地具備封住基板的進出口的蓋的基板收納容器，上述處理位置是進行上述基板收納容器的蓋的開閉處理、及使基板相對于上述基板收納容器進出的進出處理的位置。
6.如權(quán)利要求3所述的物品運送設(shè)備，其特征在于， 物品是能夠收納多張基板且拆裝自如地具備塞住基板的進出口的蓋的基板收納容器，上述處理位置是進行上述基板收納容器的蓋的開閉處理、及使基板相對于上述基板收納容器進出的進出處理的位置。
7.如權(quán)利要求4所述的物品運送設(shè)備，其特征在于， 物品是能夠收納多張基板且拆裝自如地具備塞住基板的進出口的蓋的基板收納容器，上述處理位置是進行上述基板收納容器的蓋的開閉處理、及使基板相對于上述基板收納容器進出的進出 處理的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種物品運送設(shè)備，由一臺頂板運送車進行物品的交接，并且易于確保物品交接部的設(shè)置空間。頂板運送車(1)借助支承部(18)的升降向物品交接部(4)的第1支承位置(P1)交付物品(W)，從第2支承位置(P2)接收物品(W)。地面?zhèn)冗\送裝置(6)在兩位置(P1、P2)與物品處理裝置(3)對物品(W)進行處理的處理位置(P3)各自之間運送物品。在沿著物品處理裝置(3)和物品交接部(4)排列的并列方向排列的狀態(tài)下，在物品交接部4中設(shè)定各位置(P1、P2、P3)。頂板運送車(1)具有在第1支承位置(P1)的稍上方和第2支承位置(P2)的稍上方中沿著并列方向移動操作支承部(18)的移動操作機構(gòu)(20)。
文檔編號B65G1/00GK103224106SQ20131002818
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月27日
發(fā)明者瀨邊高弘, 馬場祐志 申請人:株式會社大福