專利名稱：膜分離裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種膜分離裝置，且更具體地，涉及一種通過由加熱塊和加熱刀片 (blade)構成的加熱單元來分離留在襯底上的聚酯膜的膜分離裝置。
背景技術：
用于在制造印刷電路板(PCB)的過程中改善曝光性能并防止由于外來物質所造成的污染的聚酯膜應在完成曝光之后通過剝離而進行分離。但是，由于生產率和剝離成功率低，對目前所使用的自動化系統(tǒng)的利用較低。因此，工人手工地剝離聚酯膜，并轉而供給至顯影工藝。存在的問題在于，由于上述手工作業(yè)所導致的勞動力需求及工人疲勞和肌肉骨骼患病的風險已增加。目前所使用的剝離系統(tǒng)具有這樣一種結構，S卩，在進行剝離之前，對聚酯膜和光致抗蝕層施加主要的外力，這成為產生對產品的質量具有影響的外來物質的一個因素。因此， 迫切地需要一種能夠解決相關技術的問題的剝離技術。已知的是，日本專利特許公開No. 2002-211836公開了根據相關技術的一種膜分離技術。相關技術具有這樣一種結構，即，在通過載體輥承載襯底的同時，通過提起通過滾花輥而形成有凹凸不平之處的表面的膜端而部分地形成剝離部件并通過粘附輥執(zhí)行剝離。 但是，由于布線襯底的厚度減小，粘附輥的粘附不均勻，從而使得襯底的端部可能在剝離膜的工藝過程中彎曲，并可能卷入到膜分離裝置中。

發(fā)明內容
本發(fā)明的一個目的在于，提供一種能夠通過使用加熱刀片來容易地分離留在襯底上的膜的膜分離裝置。根據本發(fā)明的一個示例性實施例，提供了一種膜分離裝置，包括襯底支撐部件， 支撐襯底；固定軸，設置在襯底支撐部件的上部上；移動軸，設置成可在固定軸中豎直地移動；以及加熱單元，與移動軸相結合，其中，加熱單元包括加熱塊，與移動軸的下部相結合；以及加熱刀片，通過使用由加熱塊產生的熱對支撐在襯底支撐部件上的襯底的堆疊件加壓。可通過使用設置在移動軸的一側處的壓力控制裝置來使移動軸在固定軸中上下移動。壓力控制裝置可通過使用氣壓來使移動軸移動。
膜分離裝置可進一步包括設置在移動軸的外側處的彈性件，所述彈性件由卷簧構成。加熱塊可包括不斷地(constantly)控制溫度的熱控制器。被傳遞有由加熱塊產生的熱的加熱刀片可以對堆疊件加壓的倒三角形橫截面形成。對襯底上的堆疊件加壓的加熱刀片可僅使襯底上的堆疊件中的聚酯膜熔化。對襯底上的堆疊件加壓的加熱刀片可切割襯底上的堆疊件。在通過傳遞導向部件的導向部件使加熱刀片水平地移動的同時，加熱刀片對襯底上的堆疊件水平地加壓。加熱刀片可在襯底上的沒有形成電路的部分處對干膜和聚酯膜加壓。堆疊件上的聚酯膜可通過加熱刀片加壓，且然后通過使用膠帶分離。堆疊件可為順序地堆疊在襯底上的干膜和聚酯膜。面向加熱刀片的襯底支撐部件可定位在襯底的下部上，并且襯底支撐部件上可安裝有輥。


圖1和圖2是根據本發(fā)明一示例性實施例的膜分離裝置的橫截面圖；以及圖3至圖6是示出了根據本發(fā)明的該示例性實施例的分離膜的工藝的示意圖。
具體實施例方式通過以下參照附圖對本發(fā)明的示例性實施例進行描述的描述，將清楚地理解關于根據本發(fā)明的膜分離裝置的目的的作用效果和技術構造。但是，本發(fā)明可以許多不同的形式進行修改，且不應理解為限于本文中所闡述的實施例。反而，可提供這些實施例，以使本公開將是詳盡且完整的，并將本發(fā)明的范圍完全傳達給本領域技術人員。將參照圖1和圖2對根據本發(fā)明的一示例性實施例的膜分離裝置進行詳細描述。根據本發(fā)明的該示例性實施例的膜分離裝置構造成包括固定軸10，設置在襯底支撐部件的頂部上；移動軸20，設置成可在固定軸中豎直地移動；彈性件30，防止襯底100 受損；加熱單元40，構造成包括加熱塊42和加熱刀片44，所述加熱塊包括能夠控制溫度的控制器，所述加熱刀片用于不斷地傳導來自加熱塊42的溫度；以及襯底支撐部件50，在面向加熱單元40的加熱刀片44的同時支撐襯底100。固定軸10連接至固定軸支撐部件15，且固定軸支撐部件15連接至支撐件60。移動軸20設置在固定軸10的下側處，且等于或小于固定軸10的內徑。通過將移動軸20的頂端部插入到固定軸中，可使移動軸20上下移動。另外，根據襯底100的厚度， 通過使用單獨設置在移動軸20的一側處的壓力控制裝置(未未出)，可使移動軸20在固定軸10中自由移動。所述壓力控制裝置為控制氣壓的裝置，并與固定軸20相連接。本發(fā)明通過使用氣壓而使移動軸20在固定軸10中豎直地移動；但是，使移動軸20豎直地移動的方法并不限于氣壓。
另外，移動軸20與固定軸10之間設置有彈性件30，從而防止襯底100受損。彈性件30可以卷簧類型設置在移動軸20的外側處。但是，除了移動軸20的外側以外，彈性件30可設置在施加有彈力的所有位置。另外，當加熱刀片44如下所述地將要接觸襯底100 時，通過使用與移動軸20相連接的壓力控制裝置，彈性件30可防止襯底100由于加熱刀片 44而受損。加熱單元40可構造成包括加熱塊42和加熱刀片。加熱塊42設置在移動軸20的底端處，并且加熱塊42單獨包括能夠不斷地控制溫度的熱控制器(未示出)，并可將熱傳遞至加熱刀片44。傳遞至加熱刀片44的熱的溫度可為200°C至400°C，這能使存在于襯底100上的干膜120和聚酯膜103熔化。加熱塊42的遠端可安裝有加熱刀片44，并且加熱刀片44被傳遞有來自加熱塊42 的熱。加熱刀片44可以倒三角形橫截面形狀設置在加熱塊的底端處，從而按照預定的部分來切割和刮去(scratch)順序地堆疊在襯底100上的干膜102和聚酯膜103。但是，如果加熱刀片具有使其能線性地接觸存在于襯底100上的干膜102和聚酯膜103的形狀，則可允許加熱刀片44的這種形狀。此外，接觸干膜102和聚酯膜103的加熱刀片44的數量并不限于此。襯底支撐部件50定位在襯底100的底端上，并通過襯底支撐部件50固定至支撐件60。襯底支撐部件50定位在襯底100的底面處，以支撐襯底100。此外，襯底支撐部件 50的頂面設置有輥(roller)，從而易于移動襯底100。支撐件60可固定襯底支撐部件50和固定該固定軸10的固定軸支撐部件15。此外，可經由形成在傳遞導向部件70中的導向部件75使支撐件60左右移動，從而使得襯底支撐部件50和固定至支撐件60的固定軸支撐部件15左右移動?？赏ㄟ^氣壓使支撐件60沿著傳遞導向部件70移動，但并不限于此。因此，可通過電、油壓等使支撐件60左右移動。傳遞導向部件70附接至固定部件80?？赏ㄟ^傳送帶(未示出)使襯底100在加熱部件40與襯底支撐部件50之間移動， 并可通過加熱單元40的加熱刀片44切割和刮去襯底100上的干膜102和聚酯膜103。將參照圖3至圖6對使用根據本發(fā)明的該示例性實施例的膜分離裝置的膜分離方法和固定順序進行詳細描述。按照根據本發(fā)明的該示例性實施例的膜分離的固定順序，通過圖3中的傳送帶 (未示出)使襯底100在附接至移動軸20的底端的加熱單元40的加熱刀片與襯底支撐部件50之間移動。在加熱刀片44與襯底支撐部件50之間移動的襯底100可以是襯底100 的沒有形成電路的端部。但是，即使襯底100不是襯底100的上述端部，其也可以是沒有形成電路的部分，而并不限于此。在這種情況下，加熱部件40與襯底支撐部件50可分開得寬于襯底100的厚度，從而使得襯底100可插入其中。在這種構造中，固定襯底支撐部件50，并且移動軸20移動到固定軸10中。另外，可通過傳送帶(未示出)使襯底100在加熱單元40與襯底支撐部件50之間前進(progress)，但并不限于此。根據使用者之便，使襯底100在支撐件60的前進方向或之相反的方向上移動，從而使得可前進至沒有形成電路的襯底100。支撐件60可沿著形成在傳遞導向部件70中的導向部件75移動。在圖4中，通過移動軸20加熱刀片44可接觸襯底100。在這種情況下，移動軸20 可朝著襯底100移動，直至加熱刀片44線性地接觸干膜102和聚酯膜103。在一些情況下， 加熱刀片44可接近襯底100的頂面。電路可沒有形成在加熱刀片44所接近的襯底100上。另外，能將來自加熱塊42的熱傳遞至加熱刀片44。在圖5中，可通過加熱刀片44來切割順序地堆疊在襯底100上的干膜102和聚酯膜 103。作為另一個示例性實施例，將來自加熱塊的210°C至250°C的熱傳遞至加熱刀片 44，以對順序地堆疊在襯底100上的干膜102和聚酯膜103加壓。在這種情況下，由于干膜 102的熔點為約200°C，而聚酯膜103的熔點為260°C或更高，因此通過加熱刀片44僅使通過加熱刀片44加壓的干膜102和聚酯膜103中的干膜102熔化。在這種構造下，支撐件60沿著傳遞導向部件70的導向部件75左右移動，從而使得加熱刀片44左右移動，由此切割形成在襯底100上的干膜102和聚酯膜103，或僅使聚酯膜103熔化。作為另一個示例性實施例，在通過傳送帶使襯底100左右移動的同時，可通過加熱刀片44切割干膜102和聚酯膜103，或者可僅使聚酯膜103熔化。在一些情況下，即使加熱刀片44接近襯底100以刮去襯底100，但由于上述襯底為沒有形成電路的空(dummy)部分，因此能在任何時候使用上述襯底。在圖6中，通過干膜102使聚酯膜103的底面與襯底100彼此分隔開，并且切割和左右分離聚酯膜103，并使空氣進入其間。將膠帶(未示出)附接至進入有空氣的聚酯膜103的頂面，從而使得可易于以預定的角度和速度剝離聚酯膜103。在另一個示例性實施例中，加熱刀片44僅使存在于襯底100上的堆疊件中的干膜 102熔化，從而使得聚酯膜103和襯底100彼此分隔開，由此使得易于剝離聚酯膜103。在這種情況下，剝離聚酯膜103的方法可使用粘附輥等，但并不限于此。根據本發(fā)明，包括加熱塊和加熱刀片的膜分離裝置能防止在通過現(xiàn)有的滾花工藝的剝離工藝過程中出現(xiàn)外來物質產生現(xiàn)象，并通過使用加熱單元的壓力控制裝置來防止襯底受損。以上詳細描述對本發(fā)明進行了舉例說明。此外，以上內容僅對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行了例示和描述，而本發(fā)明能在各種組合、更改、及環(huán)境下使用。也就是說，本領域技術人員應理解的是，在不背離總的發(fā)明構思的原理和精神的情況下，可對這些實施例進行替換、修改及更改，總的發(fā)明構思的范圍在所附權利要求及其等同物中限定。盡管已出于說明的目的公開了本發(fā)明的示例性實施例，但本領域技術人員應理解的是，在不背離如所附權利要求中公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可進行各種修改、添加及替換。因此，對本發(fā)明的詳細描述并非旨在將本發(fā)明限制于所公開的實施例。此外，應理解的是，所附權利要求甚至包括其他實施例。
權利要求
1.一種膜分離裝置，包括襯底支撐部件，支撐襯底；固定軸，設置在所述襯底支撐部件的上部上；移動軸，設置成可在所述固定軸中豎直地移動；以及加熱單元，與所述移動軸相結合，其中，所述加熱單元包括加熱塊，與所述移動軸的下部相結合；以及加熱刀片，通過使用從所述加熱塊產生的熱對支撐在所述襯底支撐部件上的所述襯底的堆疊件加壓。
2.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，通過使用設置在所述移動軸的一側處的壓力控制裝置來使所述移動軸在所述固定軸中上下移動。
3.根據權利要求2所述的膜分離裝置，其中，所述壓力控制裝置通過使用氣壓來使所述移動軸移動。
4.根據權利要求1所述的膜分離裝置，進一步包括以卷簧類型設置在所述移動軸的外側處的彈性件。
5.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，所述加熱塊包括不斷地控制溫度的熱控制器。
6.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，被傳遞有從所述加熱塊產生的熱的所述加熱刀片以對所述堆疊件加壓的倒三角形橫截面形成。
7.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，對所述襯底上的所述堆疊件加壓的所述加熱刀片僅使所述襯底上的所述堆疊件中的聚酯膜熔化。
8.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，對所述襯底上的所述堆疊件加壓的所述加熱刀片切割所述襯底上的所述堆疊件。
9.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，在通過傳遞導向部件的導向部件使所述加熱刀片水平地移動的同時，所述加熱刀片對所述襯底上的所述堆疊件水平地加壓。
10.根據權利要求9所述的膜分離裝置，其中，所述加熱刀片在所述襯底上的沒有形成電路的部分處對干膜和聚酯膜加壓。
11.根據權利要求10所述的膜分離裝置，其中，所述堆疊件的所述聚酯膜通過所述加熱刀片加壓，且然后通過使用膠帶分離。
12.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，所述堆疊件為順序地堆疊在所述襯底上的干膜和聚酯膜。
13.根據權利要求1所述的膜分離裝置，其中，面向所述加熱刀片的所述襯底支撐部件定位在所述襯底的下部上，并且所述襯底支撐部件上安裝有輥。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種膜分離裝置。本膜分離裝置通過使用由加熱塊和加熱刀片構成的加熱單元來分離留在襯底上的聚酯膜，并包括襯底支撐部件，用于支撐襯底；固定軸，設置在襯底支撐部件的上部上；移動軸，設置成可在固定軸中豎直地移動；以及加熱單元，與移動軸相結合；其中，所述加熱單元包括加熱塊，與移動軸的下部相結合；以及加熱刀片，通過使用由加熱塊產生的熱對支撐在襯底支撐部件上的襯底的堆疊件加壓。
文檔編號B65H41/00GK102452574SQ201110238430
公開日2012年5月16日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權日2010年10月25日
發(fā)明者李鐘仟, 白廷基, 金浦哲 申請人:三星電機株式會社