專利名稱：載體移載促進(jìn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于縮短向裝載部(load port)輸送載體的輸送等待時(shí)間的載體移載促進(jìn)裝置。
背景技術(shù)：
關(guān)于這種技術(shù)，例如存在有專利文獻(xiàn)1所述的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1所述的輸送系統(tǒng)具有裝載部、與裝載部相鄰配置的中繼單元以及組裝入裝載部及中繼單元中的載體移載裝置。載體移載裝置具有設(shè)置在裝載部及中繼單元的載置臺(tái)的下方的載體的移動(dòng)裝置和升降裝置。另外，載體向裝載部(裝載部組)的輸送是利用OHT(Overhead Hoist Transfer=S 中懸吊式自動(dòng)搬運(yùn)車(天井走行式無(wú)人搬送車))等輸送車來(lái)進(jìn)行的。采用該輸送系統(tǒng)，通過(guò)一次OHT的移動(dòng)，就能夠進(jìn)行載體的放置(載體的載置)及拾起(載體的接收)，不采用裝載部數(shù)量較多的裝置就能夠縮短載體的輸送等待時(shí)間。專利文獻(xiàn)1 日本特開2008-244416號(hào)公報(bào)。但是，在專利文件1所述的輸送系統(tǒng)中，由于將載體移載裝置組裝入裝載部及中繼單元自身(內(nèi)部)，因此在將該輸送系統(tǒng)應(yīng)用于現(xiàn)有的裝載部(不具有載體移載裝置的裝載部)時(shí)，不能直接使用現(xiàn)有的裝載部。即，存在有需要對(duì)現(xiàn)有的裝載部進(jìn)行改造或?qū)φ籽b載部進(jìn)行更新(更換)這樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而完成的，其目的在于提供一種無(wú)需對(duì)現(xiàn)有的裝載部進(jìn)行更新(更換)等的載體移載促進(jìn)裝置。本發(fā)明是一種載體移載促進(jìn)裝置，其相對(duì)于用于載置由載體輸送部件輸送的載體的裝載部設(shè)置，其特征在于，該載體移載促進(jìn)裝置具有臨時(shí)載置臺(tái)，其用于臨時(shí)載置載體； 載體移載臺(tái)車，其在上述裝載部的載置臺(tái)的上方及上述臨時(shí)載置臺(tái)的上方沿水平方向行進(jìn)并且使載體升降，從而在該載置臺(tái)與該臨時(shí)載置臺(tái)之間進(jìn)行載體的移載；支承構(gòu)件，其用于支承上述臨時(shí)載置臺(tái)及上述載體移載臺(tái)車；移載臺(tái)車控制部，在上述載置臺(tái)與上述載體輸送部件之間或上述臨時(shí)載置臺(tái)與上述載體輸送部件之間交接載體的過(guò)程中，該移載臺(tái)車控制部控制上述載體移載臺(tái)車的動(dòng)作，以避免上述載體移載臺(tái)車與載體接觸。在本發(fā)明中，使載體移載臺(tái)車在裝載部的載置臺(tái)的上方沿水平方向行進(jìn)，在裝載部的載置臺(tái)與臨時(shí)載置臺(tái)之間進(jìn)行載體的移載。另外，臨時(shí)載置臺(tái)及載體移載臺(tái)車被支承構(gòu)件支承。而且，在裝載部的載置臺(tái)與載體輸送部件之間或臨時(shí)載置臺(tái)與載體輸送部件之間交接載體的過(guò)程中，利用移載臺(tái)車控制部控制載體移載臺(tái)車的動(dòng)作，以避免載體移載臺(tái)車與載體接觸。由此，能夠利用裝載部的載置臺(tái)的上方空間來(lái)進(jìn)行載體的移載。其結(jié)果，無(wú)需像以往技術(shù)那樣將載體移載裝置組裝入裝載部自身(內(nèi)部)，能夠后安裝(相對(duì)于現(xiàn)有的裝載部的添加)載體移載促進(jìn)裝置(載體移載裝置)。即，能夠直接使用現(xiàn)有的裝載部。
另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選上述載體輸送部件是在比上述載體移載臺(tái)車靠上方的位置行進(jìn)的輸送部件，上述移載臺(tái)車控制部在上述交接過(guò)程中使上述載體移載臺(tái)車退避到避開了上述載置臺(tái)的上方位置或上述臨時(shí)載置臺(tái)的上方位置的位置。而且，優(yōu)選載體移載臺(tái)車的退避位置是能夠立刻進(jìn)行后續(xù)作業(yè)的位置。采用該結(jié)構(gòu)，載體移載臺(tái)車及載體輸送部件均在裝載部的載置臺(tái)的上方行進(jìn)。由此，能夠更有效地利用載置臺(tái)的上方空間，能夠謀求節(jié)省載體輸送系統(tǒng)整體的空間。而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選上述載體輸送部件是沿一個(gè)方向輸送載體的輸送部件，上述臨時(shí)載置臺(tái)配置在比上述載置臺(tái)靠載體的輸送方向下游側(cè)的位置，上述移載臺(tái)車控制部在載體的處理完成時(shí)將上述載置臺(tái)上的處理完畢的載體立即移載到上述臨時(shí)載置臺(tái)上。采用該結(jié)構(gòu)，能夠縮短處理完畢的載體滯留在裝載部的載置臺(tái)上的時(shí)間。其結(jié)果， 能夠進(jìn)一步縮短載體向裝載部輸送的輸送等待時(shí)間。而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選利用上述載體移載臺(tái)車提起載體時(shí)的該載體的底面高度高于被放置在上述載置臺(tái)及上述臨時(shí)載置臺(tái)上的狀態(tài)的載體的上表面高度。采用該結(jié)構(gòu)，能夠使載體越過(guò)位于裝載部的載置臺(tái)上或臨時(shí)載置臺(tái)上的另一載體的上方地橫向移動(dòng)。其結(jié)果，即使現(xiàn)有的多個(gè)裝載部相鄰地配置，也能夠在所有的裝載部與臨時(shí)載置臺(tái)之間進(jìn)行載體的移載，能夠進(jìn)一步縮短載體向裝載部輸送的輸送等待時(shí)間。而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選上述裝載部與上述臨時(shí)載置臺(tái)相鄰配置，利用上述載體移載臺(tái)車提起載體時(shí)的該載體的底面高度低于被放置在上述載置臺(tái)及上述臨時(shí)載置臺(tái)上的狀態(tài)的載體的上表面高度。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⑤d體移載臺(tái)車行進(jìn)的高度抑制得極其低。其結(jié)果，能夠?qū)⑤d體移載促進(jìn)裝置的高度整體抑制得較低，能夠獲得緊湊的載體移載促進(jìn)裝置。另外，由于載體的升降量較少，因此能夠縮短載體移載臺(tái)車的動(dòng)作時(shí)間，其結(jié)果，能夠進(jìn)一步縮短載體向裝載部輸送的輸送等待時(shí)間。而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選上述支承構(gòu)件具有行進(jìn)軌道，其沿水平方向配置，供上述載體移載臺(tái)車行進(jìn)；至少兩個(gè)腿構(gòu)件，其以從上述行進(jìn)軌道向下方延伸的方式設(shè)置；滾動(dòng)輪，其安裝在上述腿構(gòu)件的下端。采用該結(jié)構(gòu)，成為了能夠行進(jìn)的獨(dú)立式的載體移載促進(jìn)裝置，更容易應(yīng)用于現(xiàn)有的裝載部。其結(jié)果，能夠縮短載體移載促進(jìn)裝置的設(shè)置作業(yè)時(shí)間，能夠縮短現(xiàn)有工廠設(shè)備的停止時(shí)間。另外，向其他處理裝置的移設(shè)(載體移載促進(jìn)裝置的移設(shè))也變得更容易。采用本發(fā)明，能夠利用裝載部的載置臺(tái)的上方空間來(lái)進(jìn)行載體的移載，其結(jié)果，能夠后安裝載體移載促進(jìn)裝置(載體移載裝置)。由此，能夠提供一種無(wú)需對(duì)現(xiàn)有的裝載部進(jìn)行更新(更換)等的載體移載促進(jìn)裝置。而且，也能夠進(jìn)行向其他處理裝置的移設(shè)(載體移載促進(jìn)裝置的移設(shè))，因此擴(kuò)展性優(yōu)異。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置的概略主視圖。圖2是圖1所示的載體移載促進(jìn)裝置的概略俯視圖(A-A向視圖)。圖3是表示傳送盒的輸送流程的圖。圖4是表示傳送盒的輸送流程的圖。
圖5是表示傳送盒的輸送流程的圖。圖6是表示傳送盒的輸送流程的圖。圖7是表示第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置的變形例的概略立體圖。圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置的概略主視圖。圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置的概略主視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明用于實(shí)施本發(fā)明的方式。載體輸送系統(tǒng)參照?qǐng)D1、圖2來(lái)說(shuō)明載體輸送系統(tǒng)50及載體移載促進(jìn)裝置1的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，載體輸送系統(tǒng)50具有在工廠內(nèi)的頂棚側(cè)行進(jìn)的0HT7 (Overhead Hoist Transfer 空中懸吊式自動(dòng)搬運(yùn)車)、供0HT7行進(jìn)的軌道9 (rail)、設(shè)置在軌道9下方的裝載部6、相對(duì)于裝載部6設(shè)置的載體移載促進(jìn)裝置1。OHT0HT7是在比后述的載體移載臺(tái)車3靠上方的位置行進(jìn)的載體輸送部件(載體輸送車)，具有利用帶驅(qū)動(dòng)而上下移動(dòng)的吊運(yùn)部71。0HT7利用吊運(yùn)部71吊起傳送盒38(8) (FOUP (Front Opening Unified Pod))并朝一個(gè)方向行進(jìn)來(lái)輸送傳送盒38 (8)。使用傳送盒(FOUP)作為載體的一個(gè)例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。另外，載體輸送部件也可以不是0HT7而是OHS (Over Head Shuttle:空中懸吊式輸送車(天井走行式卜> ))、RGV(Rail Guided Vehicle 有軌式無(wú)人輸送車)、 AGV(Automated Guided Vehicle 自動(dòng)引導(dǎo)車)等。RGV及AGV是在工廠內(nèi)的地面?zhèn)刃羞M(jìn)的載體輸送部件。傳送盒38(8)具有主體81和安裝在主體81的上表面的凸緣部82。在主體81內(nèi)容納多片例如半導(dǎo)體基板。傳送盒38 (8)利用其凸緣部82被0HT7吊起而被輸送。傳送盒 38(8)相當(dāng)于本發(fā)明中的載體。另外，載體并不限于傳送盒38(8)。軌道(rail)軌道9通過(guò)從工廠的頂棚懸掛等而設(shè)置。在載體輸送部件是RGA的情況下，軌道 (rail)設(shè)置在工廠的地面等上。裝載部裝載部6是用于對(duì)載置在其載置臺(tái)61上的傳送盒8的蓋83 (參照?qǐng)D2)進(jìn)行開閉的裝置。在裝載部6的前面?zhèn)仍O(shè)有載置臺(tái)61。在裝載部6的后面?zhèn)扰渲糜杏糜趯?duì)半導(dǎo)體基板等進(jìn)行處理的處理裝置(未圖示)。第ι ^mTfMmimmimMW載體移載促進(jìn)裝置1具有臨時(shí)載置臺(tái)2、載體移載臺(tái)車3、用于支承臨時(shí)載置臺(tái)2 及載體移載臺(tái)車3的支承構(gòu)件4、用于控制載體移載臺(tái)車3的動(dòng)作的控制器5 (移載臺(tái)車控制裝置)。臨時(shí)載置臺(tái)臨時(shí)載置臺(tái)2是在其上臨時(shí)載置傳送盒8的臺(tái)。臨時(shí)載置臺(tái)2具有安裝在支承構(gòu)件4的腿構(gòu)件42的側(cè)面的托架21和固定在托架21的上表面的底座22。在本實(shí)施方式中，臨時(shí)載置臺(tái)2配置在比載置臺(tái)61 (裝載部6)靠傳送盒8的輸送方向下游側(cè)的位置。載體移載臺(tái)車載體移載臺(tái)車3是用于在裝載部6的載置臺(tái)61的上方及臨時(shí)載置臺(tái)2的上方沿水平方向行進(jìn)并且使傳送盒8升降而在載置臺(tái)61與臨時(shí)載置臺(tái)2之間進(jìn)行傳送盒8的移載的構(gòu)件。載體移載臺(tái)車3具有安裝有車輪的臺(tái)車31和安裝在臺(tái)車31上的升降裝置32。升降裝置32例如為帶驅(qū)動(dòng)。載體移載臺(tái)車3利用臺(tái)車31在裝載部6的載置臺(tái)61的上方及臨時(shí)載置臺(tái)2的上方沿水平方向行進(jìn)，利用升降裝置32使傳送盒8升降。也可以具有多臺(tái)載體移載臺(tái)車3。支承構(gòu)件支承構(gòu)件4具有沿水平方向配置且其上表面供載體移載臺(tái)車3行進(jìn)的行進(jìn)軌道41 和以從行進(jìn)軌道41的一端垂直向下延伸的方式設(shè)置的4個(gè)腿構(gòu)件42。如圖2所示，行進(jìn)軌道41由并行配置的兩個(gè)軌道構(gòu)件41a和用于將軌道構(gòu)件41a彼此連結(jié)的兩個(gè)連結(jié)構(gòu)件41b 構(gòu)成。兩個(gè)軌道構(gòu)件41a彼此間的間隔為在軌道構(gòu)件41a彼此之間進(jìn)行升降的傳動(dòng)盒8與軌道構(gòu)件41a不相干涉的尺寸。同樣地，連結(jié)構(gòu)件41b的位置為避開了傳動(dòng)盒8的鉛垂上方的位置，以避免在傳送盒8的升降過(guò)程中傳動(dòng)盒8與連結(jié)構(gòu)件41b相接觸。在本實(shí)施方式中，支承構(gòu)件4利用其4個(gè)腿構(gòu)件42豎立設(shè)置在工廠內(nèi)的地面上， 未與裝載部6相接觸。另外，也可以在裝載部6上安裝托架(未圖示，支承構(gòu)件的一個(gè)構(gòu)成構(gòu)件)等，做成從裝載構(gòu)件6獲得支承的形式的支承構(gòu)件。另外，也可以將處理裝置側(cè)的軌道構(gòu)件41a安裝在處理裝置上。控制器控制器5在內(nèi)部具有移載臺(tái)車控制部，該移載臺(tái)車控制部用于在載置臺(tái)61與0HT7 之間或臨時(shí)載置臺(tái)2與0HT7之間交接傳送盒8的過(guò)程中對(duì)載體移載臺(tái)車3的動(dòng)作進(jìn)行控制，以避免載體移載臺(tái)車3與傳送盒8接觸。在此，移載臺(tái)車控制部例如是指組裝入控制器中的微型計(jì)算機(jī)的程序部?？刂破?配置在臨時(shí)載置臺(tái)2的下方空間，安裝在支承構(gòu)件4 的腿構(gòu)件42的側(cè)面。載體移載促講裝置的動(dòng)作接著，基于圖3 圖6來(lái)說(shuō)明利用了載體移載促進(jìn)裝置1的、傳送盒8的輸送流程的一個(gè)例子，并說(shuō)明由控制器5 (在內(nèi)部具有移載臺(tái)車控制部的控制裝置)進(jìn)行的載體移載臺(tái)車3的控制。另外，以下所說(shuō)明的載體移載臺(tái)車3的動(dòng)作是利用組裝入控制器5的移載臺(tái)車控制部來(lái)實(shí)現(xiàn)的。載體移載臺(tái)車的退避在0HT7欲將傳送盒8載置在裝載部6的載置臺(tái)61上的情況下，載體移載臺(tái)車3 利用來(lái)自控制器5的信號(hào)退避到避開了載置臺(tái)61的上方位置的位置(步驟(1))。在本實(shí)施方式中，使載體移載臺(tái)車3退避到臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置。另外，在圖3中如虛線(兩點(diǎn)劃線)所示，也可以使行進(jìn)軌道41延長(zhǎng)到比臨時(shí)載置臺(tái)2靠輸送方向下游側(cè)的位置。而且，也可以使載體移載臺(tái)車3退避到在下方?jīng)]有臨時(shí)載置臺(tái)2的位置(步驟(1)-2)。由此，載體移載臺(tái)車3不會(huì)妨礙在臨時(shí)載置臺(tái)2與另一 OHT 之間交接傳送盒。
另外，在0HT7欲將傳送盒8載置在裝載部6的載置臺(tái)61上的情況下，當(dāng)載體移載臺(tái)車3未位于載置臺(tái)61的上方位置時(shí)，利用控制器5來(lái)確認(rèn)載體移載臺(tái)車3未位于載置臺(tái) 61的上方位置。由OHT講行的傳送盒的載置保持有傳送盒8的狀態(tài)的0HT7行進(jìn)至裝載部6的載置臺(tái)61的上方位置(步驟 O))。當(dāng)0HT7到達(dá)裝載部6的載置臺(tái)61的上方位置時(shí)，0HT7將傳送盒8放下到載置臺(tái)61 上(步驟⑶)。由OHT講行的另一傳送盒的交接接著，如圖4所示，0HT7在提起其吊運(yùn)部71之后，開始行進(jìn)直至臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置(步驟G))。另一方面，在0HT7開始行進(jìn)或者在載置臺(tái)61的上方的載體移載臺(tái)車3的行進(jìn)空間內(nèi)沒(méi)有吊運(yùn)部71的條件下，利用控制器5控制載體移載臺(tái)車3，使載體移載臺(tái)車3從臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置朝向載置臺(tái)61的上方位置進(jìn)行移動(dòng)(步驟(5))。另外，如圖4等所示，在臨時(shí)載置臺(tái)2上臨時(shí)載置有容納了利用配置在裝載部6的后面?zhèn)鹊奶幚硌b置(未圖示)處理過(guò)的半導(dǎo)體基板等的處理完畢的傳送盒18 (該傳送盒18 是利用載體移載臺(tái)車3被從載置臺(tái)61向臨時(shí)載置臺(tái)2移載的)。此時(shí)，如圖5所示，當(dāng)未保持有傳送盒8的空的0HT7到達(dá)臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置時(shí)，0HT7提起臨時(shí)載置臺(tái)2上的處理完畢的傳送盒18(步驟(6))。之后，0HT7將傳送盒 18輸送至規(guī)定位置(步驟(7))。采用該輸送系統(tǒng)50，通過(guò)利用0HT7進(jìn)行的單向輸送，能夠進(jìn)行傳送盒的放置(傳送盒的載置(步驟( ))及拾起(傳送盒的接收(步驟(6)))(放置與拾起)，不采用裝載部數(shù)量較多的裝置就能夠縮短傳送盒的輸送等待時(shí)間。換言之，能夠提高載體輸送系統(tǒng)50 的輸送效率。當(dāng)載體移載臺(tái)車3到達(dá)載置臺(tái)61的上方位置時(shí)，利用控制器5使載體移載臺(tái)車3 在載置臺(tái)61的上方位置待機(jī)，直至傳送盒8成為利用處理裝置等對(duì)半導(dǎo)體基板等進(jìn)行了處理且容納了處理完畢的半導(dǎo)體基板等的狀態(tài)(處理完畢的傳送盒8)。在此，控制器5控制載體移載臺(tái)車3使其在傳送盒8的處理完成時(shí)、將載置臺(tái)61 上的處理完畢的傳送盒8立即移載到臨時(shí)載置臺(tái)2上。具體而言，如圖6所示，當(dāng)載置臺(tái)61 上的傳送盒8成為容納了處理完畢的半導(dǎo)體基板的狀態(tài)時(shí)，載體移載臺(tái)車3立即吊起傳送盒8(步驟(8))，并使其橫向移動(dòng)(步驟(9))，然后將傳送盒8放下到臨時(shí)載置臺(tái)2上(步驟(10))。通過(guò)將臨時(shí)載置臺(tái)2配置在比載置臺(tái)61 (裝載部6)靠傳送盒8的輸送方向下游側(cè)的位置，并進(jìn)行上述控制，能夠縮短處理完畢的傳送盒滯留在裝載部6的載置臺(tái)61上的時(shí)間。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步縮短傳送盒向裝載部6輸送的輸送等待時(shí)間。另外，傳送盒8的處理完成時(shí)是指?jìng)魉秃?成為利用處理裝置等對(duì)半導(dǎo)體基板等進(jìn)行了處理且將處理完畢的半導(dǎo)體基板等容納在其主體81內(nèi)的狀態(tài)時(shí)。另外，在本實(shí)施方式中，利用載體移載臺(tái)車3提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8 (傳送盒8 的主體81)的底面高度Hl低于被放置在載置臺(tái)61及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8 (傳送盒8的凸緣部82)的上表面高度hi。
另外，存在具有多個(gè)裝載部6 (載置臺(tái)61)、多個(gè)臨時(shí)載置臺(tái)2的情況。在此，提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8的底面高度Hl低于被放置在載置臺(tái)61及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8的上表面高度hi是指，上述底面高度Hl低于被放置在各個(gè)載置臺(tái)61及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8的上表面高度hi中的、最高水平的上表面高度hi。利用行進(jìn)軌道41的設(shè)置高度、載體移載臺(tái)車3的升降裝置32的升降量等來(lái)確定提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8的底面高度HI。另外，在本實(shí)施方式中，載置臺(tái)61的上表面高度與臨時(shí)載置臺(tái)2的上表面高度相等，但載置臺(tái)61的上表面高度與臨時(shí)載置臺(tái)2的上表面高度也可以不同。另外，如圖6所示，從載置臺(tái)61 (或臨時(shí)載置臺(tái)2)提起傳送盒8的提起高度(利用載體移載臺(tái)車3提起傳送盒8時(shí)的、載置臺(tái)61 (或臨時(shí)載置臺(tái)2、的上表面與傳送盒8的底面之間的距離)優(yōu)選盡可能地小。如上所述，采用載體移載促進(jìn)裝置1，能夠利用裝載部6的載置臺(tái)61的上方空間來(lái)進(jìn)行傳送盒8的移載。其結(jié)果，無(wú)需像以往技術(shù)那樣將載體移載裝置組裝入裝載部自身(內(nèi)部)，能夠后安裝載體移載促進(jìn)裝置(載體移載裝置)。即，能夠直接使用現(xiàn)有的裝載部。在此，在專利文獻(xiàn)1所述的由OHT進(jìn)行的單向輸送的輸送系統(tǒng)中，1個(gè)裝載部與1 個(gè)中繼單元相鄰配置。另一方面，裝載部及中繼單元的前表面?zhèn)?用于載置載體的一側(cè)) 是被確定的。因此，1組輸送系統(tǒng)(由1個(gè)裝載部、1個(gè)中繼單元及1個(gè)載體移載裝置構(gòu)成的系統(tǒng))存在左右適用的問(wèn)題。但是，如上所述，載體移載促進(jìn)裝置1能夠相對(duì)于現(xiàn)有的裝載部后安裝。即，在由 OHT進(jìn)行的單向輸送的輸送系統(tǒng)中，既能夠?qū)⑤d體移載促進(jìn)裝置1的臨時(shí)載置臺(tái)2適當(dāng)?shù)嘏渲迷诂F(xiàn)有的裝載部的上游側(cè)，也能夠?qū)⑤d體移載促進(jìn)裝置1的臨時(shí)載置臺(tái)2適當(dāng)?shù)嘏渲迷诂F(xiàn)有的裝載部的下游側(cè)(移設(shè)較容易)，不存在左右適用這樣的問(wèn)題(擴(kuò)展性優(yōu)異)。另外，在上述實(shí)施方式中，示出了首先利用0HT7將未處理的傳送盒8載置在裝載部6的載置臺(tái)61上、之后利用載體移載臺(tái)車3將處理完畢的傳送盒8從載置臺(tái)61移載到臨時(shí)載置臺(tái)2上的例子，但是也可以首先利用0HT7將未處理的傳送盒8臨時(shí)載置在臨時(shí)載置臺(tái)2上，之后利用載體移載臺(tái)車3將未處理的傳送盒8從臨時(shí)載置臺(tái)2移載到載置臺(tái)61 上。在該情況下，在0HT7欲將傳送盒8載置到臨時(shí)載置臺(tái)2上時(shí)，載體移載臺(tái)車3利用來(lái)自控制器5的信號(hào)退避到避開了臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置的位置(在上述實(shí)施方式中為載置臺(tái)61的上方位置)。另外，未處理的傳送盒8是指容納了未處理的半導(dǎo)體基板等的狀態(tài)的傳送盒8。另外，在上述實(shí)施方式中，示出了將臨時(shí)載置臺(tái)2配置在比載置臺(tái)61 (裝載部6) 靠傳送盒8的輸送方向下流側(cè)的位置的例子，但是也可以將臨時(shí)載置臺(tái)2配置在比載置臺(tái) 61 (裝載部6)靠傳送盒8的輸送方向上流側(cè)的位置。在該情況下，既可以首先利用0HT7將未處理的傳送盒8臨時(shí)載置在臨時(shí)載置臺(tái)2 上、之后利用載體移載臺(tái)車3將未處理的傳送盒8從臨時(shí)載置臺(tái)2移載到載置臺(tái)61上，也可以相反地首先利用0HT7將未處理的傳送盒8載置在裝載部6的載置臺(tái)61上、之后利用載體移載臺(tái)車3將處理完畢的傳送盒8從載置臺(tái)61移載到臨時(shí)載置臺(tái)2上。相同點(diǎn)是，在載置臺(tái)61與0HT7之間或臨時(shí)載置臺(tái)2與0HT7之間交接傳送盒的過(guò)程中，利用控制器5控制載體移載臺(tái)車3的動(dòng)作，以使載體移載臺(tái)車3退避到避開了載置臺(tái) 61的上方位置或臨時(shí)載置臺(tái)2的上方位置的位置，避免載體移載臺(tái)車3與傳送盒接觸。載體移載促講裝置的變形例參照?qǐng)D7來(lái)說(shuō)明第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置1的變形例。另外，在本變形例的載體移載促進(jìn)裝置101的說(shuō)明中，主要說(shuō)明與第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置1的不同點(diǎn)。另外，在圖7中，省略了臨時(shí)載置臺(tái)2及控制器5的圖示。如圖7所示，本變形例的載體移載促進(jìn)裝置101還具有滾動(dòng)輪43及區(qū)域傳感器 44。本變形例中，4個(gè)滾動(dòng)輪43分別安裝在4個(gè)腿構(gòu)件42的下端。另外，在相對(duì)于裝載部6固定的狀態(tài)下，在沿傳送盒的輸送方向相對(duì)的2個(gè)腿構(gòu)件42上安裝有區(qū)域傳感器 44。通過(guò)在腿構(gòu)件42的下端安裝滾動(dòng)輪43，成為能夠行進(jìn)的獨(dú)立式的載體移載促進(jìn)裝置101，更容易應(yīng)用于現(xiàn)有的裝載部。另外，通過(guò)設(shè)置區(qū)域傳感器44，能夠檢測(cè)操作者向由0HT7進(jìn)行傳送盒的升降、由載體移載臺(tái)車3進(jìn)行傳送盒的橫向移動(dòng)的載體移載促進(jìn)裝置 101的內(nèi)側(cè)空間的進(jìn)入，能夠防止操作者受傷等事故于未然。另外，通過(guò)將支承構(gòu)件4設(shè)置為框體構(gòu)造，易于安裝區(qū)域傳感器44。另外，在專利文獻(xiàn)1所述的載體移載裝置中，存在有難以安裝用于發(fā)出從載體移載裝置的一端到另一端的射線的區(qū)域傳感器這樣的問(wèn)題。第2實(shí)施方式接著，參照?qǐng)D8說(shuō)明第2實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置201。另外，在本實(shí)施方式的說(shuō)明中，主要說(shuō)明與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)。如圖8所示，本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置201構(gòu)成為臨時(shí)載置臺(tái)2a、2b分別位于相鄰的兩個(gè)裝載部6a、6b的兩側(cè)。另外，臨時(shí)載置臺(tái)加及臨時(shí)載置臺(tái)2b分別配置為與裝載部6a及裝載部6b相鄰。另外，與第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置1 一樣，利用載體移載臺(tái)車3提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8 (傳送盒8的主體)的底面高度低于被放置在裝載部6的載置臺(tái)及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8 (傳送盒8的凸緣部)的上表面高度。以下，概略說(shuō)明利用了載體移載促進(jìn)裝置201的傳送盒8的輸送流程的一個(gè)例子。首先，0HT7將傳送盒8臨時(shí)載置在臨時(shí)載置臺(tái)加上(步驟⑴)，向輸送方向下游側(cè)移動(dòng)(步驟O))(向輸送方向下游側(cè)的相鄰的裝載部6a的載置臺(tái)的上方移動(dòng))。在此， 設(shè)為了在裝載部6a的載置臺(tái)上已經(jīng)載置有處理完畢的另一傳送盒18的狀態(tài)。另外，在0HT7欲將傳送盒8臨時(shí)載置在臨時(shí)載置臺(tái)加上的情況下，載體移載臺(tái)車 3利用來(lái)自控制器5的信號(hào)退避到避開了臨時(shí)載置臺(tái)加的上方位置的位置。在本實(shí)施方式中，使載體移載臺(tái)車3退避到裝載部6b的載置臺(tái)的上方位置。接著，移動(dòng)到裝載部6a的載置臺(tái)的上方的0HT7提起載置臺(tái)上的傳送盒18，之后， 將傳送盒18輸送至規(guī)定位置(步驟(3))。在該例子中，也能夠利用一次OHT的移動(dòng)來(lái)進(jìn)行傳送盒的放置(傳送盒的載置(步驟(1)))及拾起(傳送盒的接收(步驟(3)))，不采用裝載部數(shù)量較多的裝置就能夠縮短傳送盒的輸送等待時(shí)間(后述的第3實(shí)施方式也相同)。另一方面，控制器5控制載體移載臺(tái)車3使其將臨時(shí)載置臺(tái)加上的未處理的傳送盒8移載到裝載部6a的載置臺(tái)上(步驟0))。由此，進(jìn)行傳送盒8的移載。采用本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置201，能夠?qū)⑤d體移載臺(tái)車3行進(jìn)的高度(換言之，行進(jìn)軌道41的高度)抑制得較低。其結(jié)果，能夠?qū)⑤d體移載促進(jìn)裝置201的高度整體抑制得較低，能夠獲得緊湊的載體移載促進(jìn)裝置。另外，由于傳送盒的升降量較少，因此能夠縮短載體移載臺(tái)車3的動(dòng)作時(shí)間，其結(jié)果，能夠進(jìn)一步縮短將傳送盒向裝載部6輸送的輸送等待時(shí)間。第3實(shí)施方式接著，參照?qǐng)D9說(shuō)明第3實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置301。另外，在本實(shí)施方式的說(shuō)明中，主要說(shuō)明與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)。如圖9所示，本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置301設(shè)為包圍所有彼此相鄰地配置的多個(gè)(5個(gè))裝載部6a 6e。用于臨時(shí)載置傳送盒8的臨時(shí)載置臺(tái)2配置為與最下游側(cè)的裝載部6e相鄰地位于該裝載部6e的下游側(cè)。另外，既可以在裝載部6a 6e中的任意的裝載部彼此之間配置臨時(shí)載置臺(tái)2 (可以在裝載部之間具有臨時(shí)載置臺(tái))，也可以將臨時(shí)載置臺(tái)2配置成與最上游側(cè)的裝載部6a 相鄰地位于該裝載部6a的上游側(cè)。第1實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置1與本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置301的不同點(diǎn)不僅在于由裝載部數(shù)量的不同引起的行進(jìn)軌道41的長(zhǎng)度的不同，還在于由載體移載臺(tái)車3提起傳送盒8的提起高度的不同。在本實(shí)施方式中，利用載體移載臺(tái)車3提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8 (傳送盒8的主體81)的底面高度H2高于被放置在裝載部6的載置臺(tái)及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8 (傳送盒8的凸緣部82)的上表面高度hi。而且，提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8的底面高度H2高于被放置在裝載部6的載置臺(tái)及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8的上表面高度hi是指，上述底面高度H2高于被放置在各個(gè)裝載部6a 6e的載置臺(tái)及臨時(shí)載置臺(tái)2上的狀態(tài)的傳送盒8的上表面高度hi中的、最高水平的上表面高度hi。另外，在本實(shí)施方式中，各個(gè)裝載部6a 6e的載置臺(tái)的上表面高度與臨時(shí)載置臺(tái)2的上表面高度相等。另外，利用行進(jìn)軌道41的設(shè)置高度、載體移載臺(tái)車3的升降裝置32的升降量等來(lái)確定提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8的底面高度HI。采用本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置301，能夠使傳送盒8越過(guò)位于裝載部6的載置臺(tái)上的另一傳送盒的上方地橫向移動(dòng)。其結(jié)果，即使現(xiàn)有的多個(gè)裝載部相鄰地配置，也能夠在所有的裝載部與臨時(shí)載置臺(tái)之間進(jìn)行載體的移載，能夠進(jìn)一步縮短載體向裝載部輸送的輸送等待時(shí)間。另外，本實(shí)施方式的載體移載促進(jìn)裝置301由于提起傳送盒8時(shí)的傳送盒8的底面高度H2高于放置狀態(tài)的傳送盒8的上表面高度hl，因此易于應(yīng)用于相鄰配置的現(xiàn)有的裝載部組。以上，說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但是本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，只要是在權(quán)利要求的范圍內(nèi)就能夠進(jìn)行各種變更來(lái)實(shí)施。附圖標(biāo)記說(shuō)明1、載體移載促進(jìn)裝置；2、臨時(shí)載置臺(tái)；3、載體移載臺(tái)車；4、支承構(gòu)件；5、控制器； 6、裝載部；7、OHT(載體輸送部件)；8、傳送盒(載體)；61、載置臺(tái)。
權(quán)利要求
1.一種載體移載促進(jìn)裝置，其相對(duì)于用于載置由載體輸送部件輸送的載體的裝載部設(shè)置，其特征在于，該載體移載促進(jìn)裝置具有 臨時(shí)載置臺(tái)，其用于臨時(shí)載置載體；載體移載臺(tái)車，其在上述裝載部的載置臺(tái)的上方及上述臨時(shí)載置臺(tái)的上方沿水平方向行進(jìn)并且使載體升降，從而在該載置臺(tái)與該臨時(shí)載置臺(tái)之間進(jìn)行載體的移載； 支承構(gòu)件，其用于支承上述臨時(shí)載置臺(tái)及上述載體移載臺(tái)車； 移載臺(tái)車控制部，在上述載置臺(tái)與上述載體輸送部件之間或上述臨時(shí)載置臺(tái)與上述載體輸送部件之間交接載體的過(guò)程中，該移載臺(tái)車控制部控制上述載體移載臺(tái)車的動(dòng)作，以避免上述載體移載臺(tái)車與載體接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載體移載促進(jìn)裝置，其特征在于，上述載體輸送部件是在比上述載體移載臺(tái)車靠上方的位置行進(jìn)的輸送部件， 上述移載臺(tái)車控制部在上述交接過(guò)程中使上述載體移載臺(tái)車退避到避開了上述載置臺(tái)的上方位置或上述臨時(shí)載置臺(tái)的上方位置的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的載體移載促進(jìn)裝置，其特征在于， 上述載體輸送部件是沿一個(gè)方向輸送載體的輸送部件，上述臨時(shí)載置臺(tái)配置在比上述載置臺(tái)靠載體的輸送方向下游側(cè)的位置， 上述移載臺(tái)車控制部在載體的處理完成時(shí)將上述載置臺(tái)上的處理完畢的載體立即移載到上述臨時(shí)載置臺(tái)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的載體移載促進(jìn)裝置，其特征在于，利用上述載體移載臺(tái)車提起載體時(shí)的該載體的底面高度高于被放置在上述載置臺(tái)及上述臨時(shí)載置臺(tái)上的狀態(tài)的載體的上表面高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的載體移載促進(jìn)裝置，其特征在于， 上述裝載部與上述臨時(shí)載置臺(tái)相鄰配置，利用上述載體移載臺(tái)車提起載體時(shí)的該載體的底面高度低于被放置在上述載置臺(tái)及上述臨時(shí)載置臺(tái)上的狀態(tài)的載體的上表面高度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的載體移載促進(jìn)裝置，其特征在于， 上述支承構(gòu)件具有行進(jìn)軌道，其沿水平方向配置，供上述載體移載臺(tái)車行進(jìn)； 至少兩個(gè)腿構(gòu)件，其以從上述行進(jìn)軌道向下方延伸的方式設(shè)置； 滾動(dòng)輪，其安裝在上述腿構(gòu)件的下端。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種無(wú)需對(duì)現(xiàn)有的裝載部進(jìn)行更新(更換)等的載體移載促進(jìn)裝置。載體移載促進(jìn)裝置(1)相對(duì)于用于載置傳送盒(8)的裝載部(6)進(jìn)行設(shè)置。該載體移載促進(jìn)裝置(1)具有臨時(shí)載置臺(tái)(2)，其用于臨時(shí)載置傳送盒(8)；載體移載臺(tái)車(3)，其在裝載部(6)的載置臺(tái)(61)與臨時(shí)載置臺(tái)(2)的上方沿水平方向行進(jìn)并且使傳送盒(8)升降，從而在載置臺(tái)(61)與臨時(shí)載置臺(tái)(2)之間進(jìn)行傳送盒(8)的移載；支承構(gòu)件(4)，其用于支承臨時(shí)載置臺(tái)(2)及載體移載臺(tái)車(3)；控制器(5)，在載置臺(tái)(61)或臨時(shí)載置臺(tái)(2)與OHT(7)之間交接傳送盒(8)的過(guò)程中，該控制器控制載體移載臺(tái)車(3)的動(dòng)作，以避免載體移載臺(tái)車(3)與傳送盒(8)接觸。
文檔編號(hào)B65G49/07GK102576688SQ20108004232
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月14日
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