專利名稱：儲(chǔ)料器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的各方面涉及一種儲(chǔ)料器(Stocker)。更具體而言，本發(fā)明涉及一種接納各 種基板的儲(chǔ)料器。
背景技術(shù)：
儲(chǔ)料器臨時(shí)容納或存儲(chǔ)用在顯示器面板制造過(guò)程中的各種基板。該顯示器面板制 造過(guò)程需要高精度，并且在顯示器面板中由于微粒而容易發(fā)生缺陷。因此，儲(chǔ)料器的內(nèi)部空 間應(yīng)該被保持清潔。特別地，儲(chǔ)料器的擱板直接接觸基板，因此，擱板上的微粒能夠容易地 移動(dòng)到基板上。作為一種用于保持儲(chǔ)料器的內(nèi)部清潔的一般方法，人直接進(jìn)入到儲(chǔ)料器中進(jìn)行清 潔。然而，微粒隨著進(jìn)入儲(chǔ)料器中的人一起被攜帶到儲(chǔ)料器內(nèi)，并且，儲(chǔ)料器的操作在儲(chǔ)料 器進(jìn)行清潔時(shí)必須被中止。在該背景技術(shù)部分中公開(kāi)的上述信息只是用來(lái)增進(jìn)對(duì)本發(fā)明的背景的理解，因 此，上述信息可能包含不構(gòu)成在該國(guó)家中本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的各方面已致力于提供一種儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器具有有效地保持該儲(chǔ)料器的 內(nèi)部環(huán)境清潔的優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的各方面提供一種儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器包括具有多個(gè)接納擱板的主體單元； 將待移動(dòng)的接納材料傳遞到所述主體單元的傳遞單元；將通過(guò)所述傳遞單元傳遞的接納材 料堆疊在所述主體單元的所述多個(gè)接納擱板中的其中一個(gè)上的機(jī)械臂；以及和所述機(jī)械臂 一起移動(dòng)從而將微粒從所述主體單元內(nèi)除去的集塵單元。根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述集塵單元可包括和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)的集塵管； 以及布置在所述傳遞單元上從而通過(guò)所述集塵管抽吸所述主體單元的內(nèi)部空氣的真空泵。根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述機(jī)械臂可通過(guò)所述機(jī)械臂的一個(gè)端部移動(dòng)所述接納材 料，并且，所述集塵管可以具有形成在所述機(jī)械臂的所述一個(gè)端部處的第一開(kāi)口以及連接 到所述真空泵的第二開(kāi)口。根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述集塵單元可以進(jìn)一步包括布置在所述集塵管與所述真 空泵之間的凈化過(guò)濾器。根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述儲(chǔ)料器可以包括清潔墊，該清潔墊具有底基板和形成 在該底基板的邊緣處的吸收單元，其中所述清潔墊被堆疊在所述主體單元上，使得所述吸 收單元接觸所述主體單元的所述多個(gè)接納擱板中的另一個(gè)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種具有主體單元的儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器包括將接納 材料堆疊到所述主體單元中的機(jī)械臂以及將微粒從所述主體單元內(nèi)除去的集塵單元，其中 所述集塵單元和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種具有機(jī)械臂的儲(chǔ)料器的集塵單元，該集塵單元具有布置在所述機(jī)械臂上的集塵管；布置在所述機(jī)械臂的第一端處的真空泵；以及布置 在所述集塵管與所述真空泵之間的凈化過(guò)濾器。本發(fā)明的另外的方面和/或優(yōu)點(diǎn)部分地將陳述在下述描述中，部分地根據(jù)該描述 變得明顯，或通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而獲悉。


本發(fā)明的這些和/或其它方面和優(yōu)點(diǎn)將根據(jù)結(jié)合附圖的各實(shí)施例的以下描述變 得明顯并更易于理解，其中圖1為根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器的示意圖。圖2為圖1的主體部分的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的放大示意圖。圖3為根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的當(dāng)前實(shí)施例，其實(shí)例圖示在附圖中，其中相似的附圖標(biāo) 記自始至終表示相似的元件。各實(shí)施例在下文中進(jìn)行描述，以通過(guò)參照附圖解釋本發(fā)明。并且，對(duì)于本發(fā)明的示例性實(shí)施例，通過(guò)對(duì)相同的構(gòu)成元件使用相同的附圖標(biāo)記， 結(jié)合相關(guān)附圖，對(duì)于第一示例性實(shí)施例中的構(gòu)成元件給出詳細(xì)描述，而在其它示例性實(shí)施 例中只描述與第一示例性實(shí)施例相關(guān)的構(gòu)成元件不同的構(gòu)成元件。為了清楚地描述本發(fā)明，與描述無(wú)關(guān)的部分被省去，并且相似的附圖標(biāo)記在整個(gè) 申請(qǐng)文件中指代相似的元件。而且，由于附圖中所示的各個(gè)結(jié)構(gòu)部件的尺寸和厚度為了解釋方便而被隨意示 出，因此本發(fā)明并非必須限于所提供的圖示。在附圖中，層、膜、面板、區(qū)域等的厚度為了清楚和解釋方便被夸大。應(yīng)理解，當(dāng)諸 如層、膜、區(qū)域或基板等元件被提及為在另一元件“上”或“形成于”另一元件“上”時(shí)，其能 夠直接位于另一元件上，或者也可存在中間元件。相反，當(dāng)元件被提及為“直接位于”或“直 接形成于”另一元件“上”時(shí)，不存在中間元件。本發(fā)明的各方面提供一種儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器具有主體單元以將基板存儲(chǔ)到多個(gè)接 納擱板上。鄰近所述主體單元布置的傳遞單元通過(guò)機(jī)械臂從所述傳遞單元帶走基板并將該 基板堆疊到所述主體單元的所述接納擱板上，從而將基板傳遞到所述主體單元。另外，所述 儲(chǔ)料器具有和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)從而將微粒從所述主體單元內(nèi)除去的集塵單元。該集塵 單元具有將灰塵從所述主體單元內(nèi)傳遞到所述主體單元外的集塵管、經(jīng)由所述集塵管將 空氣抽吸到所述主體單元外的真空泵以及對(duì)從所述主體單元抽吸的空氣進(jìn)行過(guò)濾的凈化 過(guò)濾器ο在下文中，將結(jié)合圖1和圖2描述根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器101。參見(jiàn)圖1和圖2，儲(chǔ)料器101包括主體單元20、傳遞單元30、機(jī)械臂40以及具有集 塵管50、凈化過(guò)濾器55和真空泵60的集塵單元。主體單元20包括多個(gè)接納擱板，每個(gè)接納擱板均用于接納材料MS。在此，接納材 料MS可以是用在顯示器面板制造過(guò)程中的各種基板。傳遞單元30將接納材料MS從外部移動(dòng)到主體單元20的前部用于運(yùn)輸。更詳細(xì)地，傳遞單元30能夠通過(guò)使用形成在其下部的滾筒移動(dòng)接納材料MS，并能夠通過(guò)與滾筒形 成在一起的升降機(jī)上下移動(dòng)接納材料MS。然而，傳遞單元30的結(jié)構(gòu)并不限于上述結(jié)構(gòu)。也 就是，用于傳遞接納材料MS的傳遞單元30的結(jié)構(gòu)可以在能夠由本領(lǐng)域技術(shù)人員容易實(shí)現(xiàn) 的范圍內(nèi)進(jìn)行各種改進(jìn)。機(jī)械臂40將傳遞單元30傳遞到主體單元20前面的接納材料MS堆疊在主體單元 20的接納擱板22上。機(jī)械臂40可以將堆疊在接納擱板22上的接納材料MS移回到傳遞單 元30。在此情況下，機(jī)械臂40使用其一個(gè)端部來(lái)移動(dòng)接納材料MS。集塵單元包括集塵管50、真空泵60和凈化過(guò)濾器55。集塵管50隨著機(jī)械臂40 移動(dòng)。也就是，集塵管50與機(jī)械臂40整體形成，或緊密附接到機(jī)械臂40并隨著機(jī)械臂40 一起移動(dòng)。在此，集塵管50具有布置在使接納材料MS移動(dòng)的機(jī)械臂40的一個(gè)端部處的第 一開(kāi)口 51，以及連接到真空泵60的第二開(kāi)口 52。真空泵60與集塵管50的第二開(kāi)口 52連接在一起，用于通過(guò)集塵管50的第一開(kāi) 口 51抽吸主體單元20的內(nèi)部空氣。如所述，當(dāng)真空泵60抽吸空氣時(shí)，主體單元20內(nèi)的微 粒也被抽吸然后被除去。凈化過(guò)濾器55被布置在集塵管50與真空泵60之間，用于過(guò)濾通過(guò)集塵管50抽 出的微粒?，F(xiàn)更詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器101的操作效果。集塵管50隨著機(jī)械臂40移動(dòng)。因此，在臨時(shí)中止接納材料MS的堆疊之后，通過(guò) 使機(jī)械臂40四處移動(dòng)，主體單元20內(nèi)的微粒能夠被集塵管50被有效地除去。因此，集中在主體單元20的一部分中的微粒能夠被有效地除去。特別地，接納擱 板22是直接接觸接納材料MS的部分，因此，接納擱板22上的微粒能夠被容易地移動(dòng)到放 置在接納擱板22上的接納材料MS上。然而，抽吸微粒和空氣的集塵管50的第一開(kāi)口 51 位于機(jī)械臂40的一個(gè)端部，該機(jī)械臂40將接納材料MS堆疊在主體單元20的接納擱板22 上，因而，接納擱板22周圍的微粒能夠被有效地除去。進(jìn)一步，在通過(guò)移動(dòng)機(jī)械臂40將接納材料MS堆疊到主體單元20的接納擱板22上 的同時(shí)，主體單元20內(nèi)的微粒能夠通過(guò)集塵管50被除去，而不用臨時(shí)中止接納材料MS的堆疊。采用這種構(gòu)造，通過(guò)有效地除去儲(chǔ)料器101中的微粒，儲(chǔ)料器101能夠保持用于接 納接納材料MS的主體單元20的內(nèi)部環(huán)境。在下文中，將參見(jiàn)圖1和圖3描述本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例。如圖1和圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器102進(jìn)一步包括清 潔墊80。該清潔墊80包括底基板81和形成在該底基板81的邊緣處的吸收單元82。類似于接納材料MS，清潔墊80由機(jī)械臂40移動(dòng)。清潔墊80被堆疊在主體單元 20中，使得吸收單元82接觸主體單元20的接納擱板22。因而，清潔墊80的吸收單元82 通過(guò)吸收能夠除去通過(guò)具有集塵管50、凈化過(guò)濾器55和真空泵60的集塵單元而未被除去 并因而該停留在接納擱板22上的微粒。也就是，清潔墊80除去被牢固地附著在接納擱板 22上并且不能通過(guò)集塵管50、凈化過(guò)濾器55和真空泵60除去的微粒，從而防止微粒移動(dòng) 到接納材料MS并將其污染。另外，機(jī)械臂40將清潔墊80放置到接納擱板22上的同時(shí)，空氣通過(guò)集塵管50被
5抽吸，使得主體單元20內(nèi)的微粒能夠被除去。更詳細(xì)地，根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的儲(chǔ)料器102相繼將清潔墊80放下到 相應(yīng)接納擱板22上并將其提升。同時(shí)，主體單元20內(nèi)的微粒通過(guò)集塵管50被抽吸并然后 被除去。通過(guò)以上過(guò)程，不能被集塵管50、凈化過(guò)濾器55和真空泵60除去的微粒能夠被除去。一旦附著到接納擱板22的微粒通過(guò)清潔墊80被充分地除去，則機(jī)械臂40將清潔 墊80從主體單元20向外移出，并將接納材料MS堆疊在接納擱板22上。在接納材料MS的 堆疊期間，主體單元20內(nèi)的微粒能夠被持續(xù)地除去。采用上述構(gòu)造，儲(chǔ)料器102進(jìn)一步有效地除去接納接納材料MS的主體單元20內(nèi) 的微粒，從而保持主體單元20的清潔內(nèi)部環(huán)境。盡管已顯示和描述了本發(fā)明的一些實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，在不脫 離本發(fā)明的原理和精神的情況下，可以在該實(shí)施例中進(jìn)行改變，其中本發(fā)明的范圍由權(quán)利 要求及其等同設(shè)置所限定。
權(quán)利要求
1. 一種儲(chǔ)料器，包括具有多個(gè)接納擱板的主體單元；將待移動(dòng)的接納材料傳遞到所述主體單元的傳遞單元；機(jī)械臂，將通過(guò)所述傳遞單元傳遞的所述接納材料堆疊在所述主體單元的所述多個(gè)接 納擱板中的其中一個(gè)上；以及和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)從而將微粒從所述主體單元內(nèi)除去的集塵單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器，其中所述集塵單元包括和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)的集塵管；以及布置在所述傳遞單元上從而通過(guò)所述集塵管抽吸所述主體單元的內(nèi)部空氣的真空泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的儲(chǔ)料器，其中所述機(jī)械臂通過(guò)所述機(jī)械臂的一個(gè)端部移動(dòng)所 述接納材料，并且，所述集塵管具有形成在所述機(jī)械臂的所述一個(gè)端部處的第一開(kāi)口以及 連接到所述真空泵的第二開(kāi)口。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的儲(chǔ)料器，其中所述集塵單元進(jìn)一步包括布置在所述集塵管與 所述真空泵之間的凈化過(guò)濾器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器，進(jìn)一步包括清潔墊，該清潔墊具有底基板和形成在 該底基板的邊緣處的吸收單元，其中所述清潔墊被堆疊在所述主體單元上，使得所述吸收單元接觸所述主體單元的所 述多個(gè)接納擱板中的另一個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器，其中所述集塵單元包括提供將微粒從所述主體單元內(nèi)移動(dòng)到所述主體單元外的路徑的集塵管，和經(jīng)由所述集塵管將空氣從所述主體單元內(nèi)抽吸到所述主體單元外的真空泵。
7. 一種具有機(jī)械臂的儲(chǔ)料器的集塵單元，該集塵單元包括布置在所述機(jī)械臂的第一端處的真空泵；其中所述機(jī)械臂的所述第一端是與所述機(jī)械臂的第二端相對(duì)的端部。
8.如權(quán)利要求7所述的具有機(jī)械臂的儲(chǔ)料器的集塵單元，進(jìn)一步包括和所述機(jī)械臂一 起移動(dòng)的集塵管。
9.如權(quán)利要求8所述的具有機(jī)械臂的儲(chǔ)料器的集塵單元，進(jìn)一步包括布置在所述集塵 管與所述真空泵之間的凈化過(guò)濾器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種儲(chǔ)料器和一種具有機(jī)械臂的儲(chǔ)料器的集塵單元。該儲(chǔ)料器包括具有多個(gè)接納擱板的主體單元；將待移動(dòng)的接納材料傳遞到所述主體單元的傳遞單元；將通過(guò)所述傳遞單元傳遞的接納材料堆疊在所述主體單元的所述多個(gè)接納擱板中的其中一個(gè)上的機(jī)械臂；以及和所述機(jī)械臂一起移動(dòng)從而將微粒從所述主體單元內(nèi)除去的集塵單元。
文檔編號(hào)B65G1/04GK101992924SQ20101025493
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2010年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月13日
發(fā)明者鄭基菜 申請(qǐng)人:三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社