專(zhuān)利名稱(chēng)：真空同步傳送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種基片的傳送機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種適用于在真空密封系統(tǒng)中傳
送基片的真空同步傳送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對(duì)工業(yè)工藝要求日益增高，真空技術(shù)在高科技產(chǎn)業(yè) 化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景，尤其體現(xiàn)在對(duì)真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼顯示面板產(chǎn) 業(yè)中。玻璃基片材料等薄板廣泛應(yīng)用于薄膜晶體管顯示屏(LCD-TFT， Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有機(jī)發(fā)光顯不器件饑ED， Organic Light-Emitting Diode)面板、薄膜太陽(yáng)能面板應(yīng)用及其他類(lèi)似者的制程中，其中化學(xué)氣相沉積制程(CVD， Chemical Vapor D印osition)、物理氣相沉積制程滬(PVD，Physical Vapor D印osition)、 有機(jī)物質(zhì)蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程均需要在真空密封環(huán)境下進(jìn)行。由于此類(lèi)制程的 工藝要求比較嚴(yán)格，即必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的空間環(huán)境中進(jìn)行，如有機(jī)發(fā)光二 極管的蒸鍍制程，其沉積物為呈蒸汽狀的有機(jī)物質(zhì)，如有空氣、水汽等存在的話(huà)極易與有機(jī) 蒸鍍材料發(fā)生反應(yīng)進(jìn)而改變基片上的沉積物成分，影響其發(fā)光效應(yīng)；再如，磁控濺射沉積制 程過(guò)程中，等離子體輝光放電后相互撞擊空間內(nèi)惰性氣體使離子化程度達(dá)到雪崩狀態(tài)，從 而大面積、大范圍的撞擊金屬靶材，金屬原子或/和原子團(tuán)脫離靶材在磁力引導(dǎo)下沉積到 基底上，然此過(guò)程如密封不好、真空環(huán)境不足將嚴(yán)重影響輝光放電的程度，同時(shí)空氣中的氧 氣和水汽也會(huì)將靶材侵蝕，導(dǎo)致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄膜受到影響；類(lèi)此種種玻 璃等基片的鍍膜、覆膜制程，都必須要保證整個(gè)制程的真空系統(tǒng)的絕對(duì)可靠性。在此類(lèi)制程 中，真空基片的同步傳送就凸顯了重要意義，真空基片同步傳送的設(shè)計(jì)往往考驗(yàn)著用于整 個(gè)制程的真空系統(tǒng)的可靠性。現(xiàn)有的真空同步傳送系統(tǒng)，如在薄膜太陽(yáng)能電池板的生產(chǎn)線(xiàn) 中，傳送基片的真空腔室內(nèi)采用大量的滾輪、滾珠頂桿和吸盤(pán)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)復(fù)雜，為了保證整 個(gè)傳送系統(tǒng)的同步運(yùn)行，一般采用一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)腔室內(nèi)部的所有傳送滾輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)， 利用摩擦力勻速傳送玻璃等基片。其中采用的同步機(jī)構(gòu)一般為在腔室內(nèi)用鏈輪、鏈條或同 步帶輪、同步帶將所有的傳送部件聯(lián)系在一起。在傳送和加工過(guò)程中，很容易使基片出現(xiàn)刮 傷、污染和變形等缺陷，此種腔室內(nèi)部的同步聯(lián)系方式，由于鏈輪與鏈條或/和同步帶輪與 同步帶間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)以及直接的物理接觸會(huì)使來(lái)自驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的污染源增多，給真空環(huán)境帶 來(lái)污染。 因此，有必要提供一種高清潔度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、能夠平穩(wěn)、快速有效地同 步傳送基片以及具有較高可靠性的真空同步傳送系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種高清潔度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單同時(shí)能夠平穩(wěn)、快速有
效地同步傳送基片以及能最大限度的確保真空系統(tǒng)的可靠性的真空同步傳送系統(tǒng)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供了一種真空同步傳送系統(tǒng)，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、形成真空環(huán)境的密閉腔室，所述腔室內(nèi)設(shè)有固定座，其中，所述傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)包括外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、多組密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，多組所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述 腔室底部平行并對(duì)稱(chēng)分布在所述腔室內(nèi)兩側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述 腔室外，所述腔室兩側(cè)壁對(duì)應(yīng)所述多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)開(kāi)設(shè)有密封孔，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝 在所述密封孔中，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所 述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一端相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和承載基片的傳送輪，所述傳 動(dòng)軸樞接地穿過(guò)所述固定座，所述傳送輪固定在所述傳動(dòng)軸的一端，所述傳動(dòng)軸的另一端 連接所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述腔室內(nèi)兩側(cè)的所述傳送輪之間形成基片承載區(qū)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳送動(dòng)力給所述傳動(dòng) 軸，所述傳動(dòng)軸帶動(dòng)所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)。 較佳地，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括密封傳動(dòng)齒輪、密封蓋、外磁環(huán)套以及內(nèi)磁環(huán)套，
所述密封蓋密封的安裝于所述密封孔中，所述密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，所述外磁環(huán)套
固定套設(shè)在所述密封蓋的凸起上，所述密封傳動(dòng)齒輪固定在所述外磁環(huán)套上，所述內(nèi)磁環(huán)
套固定套設(shè)在所述傳動(dòng)軸上并容置于所述密封蓋的凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套與所
述內(nèi)磁環(huán)套均設(shè)有永磁體。所述外磁環(huán)套和所述內(nèi)磁環(huán)套時(shí)刻保持磁聯(lián)系，能夠維持相對(duì)
的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，形成無(wú)接觸式永磁聯(lián)軸結(jié)構(gòu)，在密封的同時(shí)，通過(guò)磁力傳動(dòng)把來(lái)自腔室外的動(dòng)
力同步傳送給腔室內(nèi)的內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有效保證了密封性能，解決了腔室內(nèi)外動(dòng)力傳動(dòng)過(guò)程
中的密封泄露問(wèn)題。 較佳地，所述真空同步傳送系統(tǒng)還包括密封圈，所述密封圈連接于所述腔室側(cè)壁 與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)之間，使所述腔室保持靜密封狀態(tài)，能有效防止灰塵進(jìn)入真空腔室內(nèi)， 提高密封性能。 較佳地，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括外傳動(dòng)齒輪、主動(dòng)鏈輪、從動(dòng)鏈輪以及鏈條，所述外 傳動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)鏈輪同軸樞接在所述腔室外壁上，所述外傳動(dòng)齒輪與所述密封傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)相連，所述主動(dòng)鏈輪與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸固定連接，所述鏈條纏繞于所述主動(dòng)鏈輪 與所述從動(dòng)鏈輪上。利用鏈輪、鏈條、齒輪的配合協(xié)作將動(dòng)力平穩(wěn)傳送給所述密封傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)。更具體地，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括聯(lián)動(dòng)軸和多個(gè)外傳動(dòng)齒輪，各所述外傳動(dòng)齒輪與所述 密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)相連，各所述外傳動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)鏈輪均固定在所述聯(lián)動(dòng)軸上， 所述腔室外壁設(shè)有軸承座，所述聯(lián)動(dòng)軸樞接在所述軸承座上。通過(guò)同軸設(shè)計(jì)，所述外傳動(dòng)齒 輪能同時(shí)驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的多組密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使 得基片傳送更連續(xù)平穩(wěn)可靠。 較佳地，所述腔室外設(shè)有兩所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述兩外傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 任一相連，所述主動(dòng)鏈輪為雙排鏈輪，兩雙排鏈輪之間通過(guò)同步鏈條相連。通過(guò)同一驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述腔室內(nèi)的內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)充分有效地實(shí)現(xiàn)同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而 能更有效平穩(wěn)地傳送基片，增強(qiáng)所述真空傳動(dòng)系統(tǒng)同步傳送的可靠性。 較佳地，所述傳送輪呈階梯狀，具有高階面和低階面。所述基片承載于所述傳送輪 上，一方面，所述傳送輪的低臺(tái)階面能有效支撐所述基片，另一方面，所述傳送輪的高臺(tái)階 面與所述低臺(tái)階面之間形成的壁面能對(duì)所述基片起限位作用，能有效防止基片在傳送過(guò)程 中發(fā)生偏移，使基片傳送更加平穩(wěn)可靠。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)。伺服電機(jī)響應(yīng)速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號(hào)平穩(wěn)快速轉(zhuǎn)換為電機(jī)軸上的機(jī)械輸出量，使得基片在同步傳送的過(guò)程中快速有 效、精確且平穩(wěn)可靠。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型的真空同步傳送系統(tǒng)中用于提供動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)和用于傳遞驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出動(dòng)力的外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)均設(shè)置在所述真空腔室外，所述密封傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)密封容置在所述腔室側(cè)壁的密封孔中，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述腔室內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳送動(dòng)力給所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)，用于同步帶動(dòng)密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在腔室外部，方便維修和保養(yǎng)；所述內(nèi)傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和傳送輪，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，通過(guò)傳送輪來(lái)傳送基片，使真空腔室內(nèi)的傳動(dòng) 部件達(dá)到最少，最大限度地避免因傳動(dòng)部件的直接物理接觸或傳動(dòng)部件的潤(rùn)滑而給潔凈真 空腔室?guī)?lái)污染，解決了傳動(dòng)機(jī)構(gòu)本身引入真空系統(tǒng)污染的問(wèn)題，大大的提高了清潔度。由 于本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)高清潔度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，能夠平穩(wěn)、快速有效地 同步傳送基片，以及最大限度的確保真空系統(tǒng)的可靠性。因此比較適用于對(duì)真空環(huán)境要求 高的傳送線(xiàn)上，尤其適合于LCD-TFT顯示屏、有機(jī)發(fā)光顯示器件(0LED)面板、薄膜太陽(yáng)能面 板等大尺寸玻璃基材的真空鍍膜、覆膜制程。

圖1為本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)的立體示意圖。 圖2為圖1所示真空同步傳送系統(tǒng)的截面圖。 圖3為圖2中A部分的放大示意圖。
具體實(shí)施方式為了詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖 作進(jìn)一步說(shuō)明，其中不同圖中相同的標(biāo)號(hào)代表相同的部件。如圖l-3所示，本實(shí)用新型公開(kāi) 了一種真空同步傳送系統(tǒng)，包括用于形成真空環(huán)境的密閉腔室100、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200、外傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)300、密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400以及內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200與外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300均 設(shè)置在真空腔室100外，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400設(shè)置在所述腔室100側(cè)壁上，通過(guò)所述密封 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400把來(lái)自所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300的動(dòng)力傳送給所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500，用于傳送基 片600的內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500設(shè)置在腔室100內(nèi)，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500包括傳動(dòng)軸502和傳送 輪504，通過(guò)傳送輪504來(lái)傳送基片600，使真空腔室100內(nèi)的傳動(dòng)部件達(dá)到最少，解決了傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)本身引入真空系統(tǒng)污染的問(wèn)題，大大的提高了清潔度。本實(shí)用新型真空同步傳送系 統(tǒng)高清潔度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，能夠平穩(wěn)、快速有效地同步傳送基片600，以及最大限 度的確保真空系統(tǒng)的可靠性，因此比較適用于對(duì)真空環(huán)境要求高的傳送線(xiàn)上，尤其適合于 LCD-TFT顯示屏、有機(jī)發(fā)光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽(yáng)能面板等大尺寸玻璃基片的真 空鍍膜、覆膜制程。 參考圖l-2，所述真空同步傳送系統(tǒng)的密閉腔室100為任何直線(xiàn)型生產(chǎn)設(shè)備的傳 送腔室100或任何包括線(xiàn)型傳送裝置的覆膜、鍍膜腔室，腔室100形狀和大小不固定，所述 腔室100由主體102和腔蓋104配合形成，所述腔室100內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有固定座106，所述腔 室IOO外對(duì)應(yīng)固定座106的兩側(cè)設(shè)置有軸承座108，所述腔室100的位于所述固定座106與 所述軸承座108之間的兩側(cè)壁開(kāi)設(shè)有兩排分別一一對(duì)應(yīng)的密封孔110。所述真空同步傳送
5系統(tǒng)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300、多組密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400以及多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500，多 組所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500與所述腔室100底部平行并對(duì)稱(chēng)分布在所述腔室100內(nèi)兩側(cè)，所述 腔室100兩側(cè)壁對(duì)應(yīng)多組所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500開(kāi)設(shè)有密封孔110，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400安 裝在所述密封孔110中，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400的一端相連，所述內(nèi) 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400的另一端相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500包括傳動(dòng)軸502 和承載基片600的傳送輪504，所述傳動(dòng)軸502樞接地穿過(guò)所述固定座106，所述傳送輪504 固定在傳動(dòng)軸502的一端，傳動(dòng)軸502另一端連接所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400，所述腔室100內(nèi) 兩側(cè)的所述傳送輪504之間形成基片承載區(qū)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200同步驅(qū)動(dòng)外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300，外傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)300通過(guò)密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400傳送動(dòng)力給傳動(dòng)軸502，傳動(dòng)軸502帶動(dòng)傳送輪504轉(zhuǎn) 動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)承載于所述傳送輪504上的基片600的傳送。 較佳地，所述傳送輪504呈階梯狀，具有高階面和低階面?；?00承載于所述傳 送輪504上，一方面，所述傳送輪504的低臺(tái)階面能有效支撐所述基片600，另一方面，傳送 輪504的高臺(tái)階面與所述低臺(tái)階面之間形成的壁面能對(duì)基片600起限位作用，能有效防止 基片600在傳送過(guò)程中發(fā)生偏移，使基片600傳送更加平穩(wěn)可靠。 較佳地，參考圖3，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400包括密封傳動(dòng)齒輪402、密封蓋404、外磁 環(huán)套406以及內(nèi)磁環(huán)套408，所述密封蓋404密封的安裝于密封孔110中，所述密封蓋404 具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，該中空部分與所述腔室100相通，所述外磁環(huán)套406固定套設(shè)在密封 蓋404的凸起上，所述密封傳動(dòng)齒輪402固定在所述外磁環(huán)套406上，所述內(nèi)磁環(huán)套408固 定套設(shè)在所述傳動(dòng)軸502上并容置于密封蓋404中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套406與所述內(nèi) 磁環(huán)套408均設(shè)有永磁體410。由于永磁體410相互之間的引力和斥力的作用，使外磁環(huán) 套406和內(nèi)磁環(huán)套408時(shí)刻保持磁聯(lián)系，能夠維持相對(duì)的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，形成無(wú)接觸式永磁聯(lián)軸 結(jié)構(gòu)，在密封的同時(shí)，通過(guò)磁力傳動(dòng)把來(lái)自腔室100外的動(dòng)力同步傳送給腔室100內(nèi)的內(nèi)傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)500，有效保證了密封性能，解決了腔室內(nèi)外動(dòng)力傳動(dòng)過(guò)程中的密封泄露問(wèn)題。較佳 地，所述真空同步傳送系統(tǒng)還包括密封圈412，所述密封圈412為0型密封圈，設(shè)置在密封蓋 404與腔室100側(cè)壁之間，通過(guò)螺釘將所述密封蓋404與0型密封圈412壓在腔室100上， 使腔室100保持靜密封狀態(tài)，從而有效防止灰塵進(jìn)入真空腔室100內(nèi)，提高密封性能。 較佳地，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300包括多個(gè)外傳動(dòng)齒輪302、主動(dòng)鏈輪304、從動(dòng)鏈輪 306、鏈條308以及聯(lián)動(dòng)軸310，多個(gè)所述外傳動(dòng)齒輪302分別與多個(gè)所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400 的密封傳動(dòng)齒輪402 —一對(duì)應(yīng)嚙合，所述聯(lián)動(dòng)軸310樞接在腔室100外壁軸承座108中，多 個(gè)所述外傳動(dòng)齒輪302與所述從動(dòng)鏈輪306同軸固定在聯(lián)動(dòng)軸310上，所述主動(dòng)鏈輪304位 于從動(dòng)鏈輪306的下方，且兩者之間通過(guò)鏈條308連接，所述鏈條308纏繞于從動(dòng)鏈輪306 和主動(dòng)鏈輪304上，所述主動(dòng)鏈輪304與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的輸出軸固定連接，所述主動(dòng)鏈 輪304由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)，并通過(guò)所述鏈條308帶動(dòng)從動(dòng)鏈輪306轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)利用鏈輪、 鏈條、齒輪的配合協(xié)作將動(dòng)力平穩(wěn)傳送給所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)同軸設(shè)計(jì)，多個(gè)所述外傳 動(dòng)齒輪302能同時(shí)驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的多組密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400，從而實(shí)現(xiàn)腔室100內(nèi)多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 500的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使得基片600傳送更連續(xù)平穩(wěn)可靠。 在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，所述腔室100外兩側(cè)設(shè)有兩所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300，所述 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200與兩所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300任一相連，兩所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300之間通過(guò)同步鏈 條312連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)兩外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300同步運(yùn)動(dòng)，其中，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300的主動(dòng)鏈輪304為雙排鏈輪，所述主動(dòng)鏈輪304的一鏈輪通過(guò)鏈條308與從動(dòng)鏈輪306相連， 另一鏈輪通過(guò)同步鏈條312與腔室100另一側(cè)的主動(dòng)鏈輪304的其一鏈輪相連。通過(guò)同一 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200同步驅(qū)動(dòng)所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300，使腔室100內(nèi)的內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500充分有效地 實(shí)現(xiàn)同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能更有效平穩(wěn)地傳送基片600，增強(qiáng)所述真空同步傳送系統(tǒng)同步傳送的 可靠性?？梢岳斫獾兀鐾鈧鲃?dòng)機(jī)構(gòu)300可以采用其他形式的傳動(dòng)，例如帶輪、同步帶或 齒輪組等其他組合，任何可以與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200相連并可以將動(dòng)力傳送給密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 400的傳動(dòng)組均可用于本實(shí)用新型的外傳動(dòng)中。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200為伺服電機(jī)。伺服電機(jī)響應(yīng)速度快、精度高，能將輸入 的控制電壓信號(hào)平穩(wěn)快速轉(zhuǎn)換為電機(jī)軸上的機(jī)械輸出量，使得基片600在同步傳送的過(guò)程 中快速有效、精確且平穩(wěn)可靠。 以下對(duì)本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)的工作原理做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明 在本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)的傳動(dòng)過(guò)程中，通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)位于 所述腔室100 —側(cè)的外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300中的主鏈動(dòng)輪304，同步鏈條312帶動(dòng)腔室100另一 側(cè)的主動(dòng)鏈輪304同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述主動(dòng)鏈輪304通過(guò)鏈條308帶動(dòng)從動(dòng)鏈輪306，從動(dòng)鏈輪 306同軸帶動(dòng)多個(gè)外傳動(dòng)齒輪302轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)分別與多個(gè)密封傳動(dòng)齒輪402的嚙合使所述 密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400中的外磁環(huán)套406以密封蓋404端部為軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述外磁環(huán)套406上的 永磁體410與內(nèi)磁環(huán)套上的永磁體410保持磁力聯(lián)系，通過(guò)磁力作用使內(nèi)磁環(huán)套408相對(duì) 外磁環(huán)套406做同向或反向的同速轉(zhuǎn)動(dòng)，繼而帶動(dòng)內(nèi)傳動(dòng)軸502同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)腔室 100內(nèi)兩側(cè)的傳動(dòng)輪504隨相應(yīng)的傳動(dòng)軸502 —起轉(zhuǎn)動(dòng)，連續(xù)平穩(wěn)地傳送基片600。由于本 實(shí)用新型的真空同步傳送系統(tǒng)中用于提供動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200和用于傳遞驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出 動(dòng)力的外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300均設(shè)置在所述真空腔室100夕卜，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)400設(shè)置在腔室 100側(cè)壁上，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500設(shè)置在腔室100內(nèi)，兩外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300設(shè)置在腔室100外 部，方便維修和保養(yǎng)；所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)500包括傳動(dòng)軸502和傳送輪504，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，通 過(guò)傳送輪504來(lái)傳送基片600，使真空腔室100內(nèi)的傳動(dòng)部件達(dá)到最少，最大限度地避免因 傳動(dòng)部件的直接物理接觸或傳動(dòng)部件的潤(rùn)滑而給潔凈真空腔室100帶來(lái)污染，解決了傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)本身引入真空系統(tǒng)污染的問(wèn)題，大大的提高了清潔度。所述真空同步傳送系統(tǒng)高清潔 度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，能夠保證基片600平穩(wěn)、快速有效的同步傳送，以及最大限度的 確保真空系統(tǒng)的可靠性。 本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)所涉及的密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的磁力工作原理為本領(lǐng)域 普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。 以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型 之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求一種真空同步傳送系統(tǒng)，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、形成真空環(huán)境的密閉腔室，所述腔室內(nèi)設(shè)有固定座，其特征在于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、多組密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，多組所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述腔室底部平行并對(duì)稱(chēng)分布在所述腔室內(nèi)兩側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述腔室外，所述腔室兩側(cè)壁對(duì)應(yīng)所述多組內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)開(kāi)設(shè)有密封孔，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在所述密封孔中，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一端相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和承載基片的傳送輪，所述傳動(dòng)軸樞接地穿過(guò)所述固定座，所述傳送輪固定在所述傳動(dòng)軸的一端，所述傳動(dòng)軸的另一端連接所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述腔室內(nèi)兩側(cè)的所述傳送輪之間形成基片承載區(qū)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳送動(dòng)力給所述傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸帶動(dòng)所述傳送輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括密封 傳動(dòng)齒輪、密封蓋、外磁環(huán)套以及內(nèi)磁環(huán)套，所述密封蓋密封的安裝于所述密封孔中，所述 密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，所述外磁環(huán)套固定套設(shè)在所述密封蓋的凸起上，所述密封傳 動(dòng)齒輪固定在所述外磁環(huán)套上，所述內(nèi)磁環(huán)套固定套設(shè)在所述傳動(dòng)軸上并容置于所述密封 蓋的凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套與所述內(nèi)磁環(huán)套均設(shè)有永磁體。
3. 如權(quán)利要求1所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述真空同步傳送系統(tǒng)還包 括密封圈，所述密封圈連接于所述腔室側(cè)壁與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)之間。
4. 如權(quán)利要求1所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括外傳動(dòng) 齒輪、主動(dòng)鏈輪、從動(dòng)鏈輪以及鏈條，所述外傳動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)鏈輪同軸樞接在所述腔室 外壁上，所述外傳動(dòng)齒輪與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述主動(dòng)鏈輪與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出 軸固定連接，所述鏈條纏繞于所述主動(dòng)鏈輪與所述從動(dòng)鏈輪上。
5. 如權(quán)利要求4所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括聯(lián)動(dòng) 軸和多個(gè)外傳動(dòng)齒輪，各所述外傳動(dòng)齒輪與所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)相連，各所述外傳 動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)鏈輪均固定在所述聯(lián)動(dòng)軸上，所述腔室外壁設(shè)有軸承座，所述聯(lián)動(dòng)軸樞 接在所述軸承座上。
6. 如權(quán)利要求4所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述腔室外設(shè)有兩所述外傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述兩外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)任一相連，所述主動(dòng)鏈輪為雙排鏈輪，兩雙排鏈 輪之間通過(guò)同步鏈條相連。
7. 如權(quán)利要求1所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述傳送輪呈階梯狀。
8. 如權(quán)利要求1所述的真空同步傳送系統(tǒng)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空同步傳送系統(tǒng)，包括真空腔室、腔室外的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、容置在腔室側(cè)壁密封孔中的密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及布設(shè)在腔室內(nèi)兩側(cè)的內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一端與外傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，另一端與內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述內(nèi)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和傳送輪，所述傳動(dòng)軸一端與密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，另一端與傳送輪相連，通過(guò)傳送輪來(lái)傳送基片等薄板材料，使真空腔室內(nèi)的傳動(dòng)部件達(dá)到最少，解決了傳動(dòng)機(jī)構(gòu)本身引入真空系統(tǒng)污染的問(wèn)題，大大提高了清潔度。本實(shí)用新型真空同步傳送系統(tǒng)高清潔度、無(wú)污染、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，能夠平穩(wěn)、快速有效地實(shí)現(xiàn)基片的同步傳送，最大限度的確保真空系統(tǒng)的可靠性。
文檔編號(hào)B65G49/06GK201506633SQ20092019398
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者余超平, 劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司