技術(shù)編號:4331100
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種基片的傳送機構(gòu),尤其涉及一種適用于在真空密封系統(tǒng)中傳送基片的真空同步傳送系統(tǒng)。 背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,對工業(yè)工藝要求日益增高,真空技術(shù)在高科技產(chǎn)業(yè) 化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景,尤其體現(xiàn)在對真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼顯示面板產(chǎn) 業(yè)中。玻璃基片材料等薄板廣泛應(yīng)用于薄膜晶體管顯示屏(LCD-TFT, Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有機發(fā)光顯不器件饑ED, Organic Li...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。