專利名稱：保管庫(kù)、搬運(yùn)系統(tǒng)以及保管庫(kù)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種保管庫(kù)的技術(shù)領(lǐng)域，該保管庫(kù)，其在軌道上搬運(yùn)
例如收容制造半導(dǎo)體元件用的各種基板的FOUP(Front Opening Unified Pod，晶圓盒)等的貨品的搬運(yùn)系統(tǒng)中，將貨品暫時(shí)保管在鄰接軌道的 位置。
背景技術(shù)：
這種保管庫(kù)，鋪設(shè)在鄰接于運(yùn)載工具等的搬運(yùn)車所移動(dòng)的軌道旁， 在保管庫(kù)內(nèi)設(shè)置有多個(gè)貨架部分，以保管多個(gè)經(jīng)由搬運(yùn)車搬運(yùn)的貨品。 并且，設(shè)有用于在使貨品在這種保管庫(kù)內(nèi)與搬運(yùn)車之間進(jìn)行交付或取 出放入(即，出入庫(kù))的"庫(kù)口"與規(guī)定的貨架部分之間進(jìn)行貨品搬 運(yùn)(即，保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn))的、被稱作堆料機(jī)器人或堆料吊車等的保管 庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置。特別是通過堆料機(jī)器人等，可在包括無數(shù)量限制的多 個(gè)貨架部分的保管庫(kù)內(nèi)進(jìn)行搬運(yùn)(參照專利文獻(xiàn)1及2)。
另一方面，在這種保管庫(kù)中，也有比較小型的保管庫(kù)，其可將貨 品從頂部懸吊型的搬運(yùn)車上，直接輸送至可沿鉛直方向多階段排列的 貨架部分的側(cè)面升降的升降臺(tái)上。在這種保管庫(kù)中，在進(jìn)行出庫(kù)時(shí)， 貨品直接從升降臺(tái)上輸送往搬運(yùn)車(參照專利文獻(xiàn)3)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-049454號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2003-182815號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)3:日本特開2004-238191號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1及2，第一，存在下述技術(shù)問題堆料
機(jī)器人等的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置，控制及構(gòu)造基本上日趨復(fù)雜、高成本， 且維護(hù)時(shí)也需花費(fèi)工時(shí)及成本。
此外，根據(jù)上述的專利文獻(xiàn)1及2，第二，為了進(jìn)行保管庫(kù)的維護(hù)， 在保管庫(kù)的周圍必須確保約lm的空間。因此，在沿著軌道配置的各座
保管庫(kù)之間、以及保管庫(kù)與制造裝置之間，空出了進(jìn)行維修時(shí)才會(huì)使 用的多余空間。況且，保管庫(kù)作為工廠內(nèi)的其中一種大型設(shè)備，其必 須在工廠內(nèi)部將各種零件搬入、組裝、安裝。此外，堆料機(jī)器人等的 保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置，存在其控制及構(gòu)造基本上日趨復(fù)雜、高成本、且 維護(hù)時(shí)也需花費(fèi)工時(shí)及成本的問題。
另一方面，根據(jù)上述專利文獻(xiàn)3，升降臺(tái)本身作為用以出入庫(kù)的庫(kù)
口，不論是入庫(kù)時(shí)將貨品從搬運(yùn)車懸吊而至升降臺(tái)上為止定位的同時(shí) 將貨品卸下、或在出庫(kù)時(shí)由搬運(yùn)車從升降臺(tái)吊起，都需要花費(fèi)時(shí)間。 特別當(dāng)升降臺(tái)并非位于上方的交付位置的話，則耗費(fèi)使升降臺(tái)向該位 置移動(dòng)的時(shí)間，而且在位于下方的升降臺(tái)進(jìn)行交付也有困難。此外， 特別因?yàn)樵谶@樣需費(fèi)時(shí)進(jìn)行出入庫(kù)的作業(yè)中獨(dú)占使用升降臺(tái)，因而不 能使用升降臺(tái)將其他貨品搬運(yùn)至保管庫(kù)內(nèi)。另外，在這種使?jié)L輪、輸 送帶、導(dǎo)向器等組合，在升降臺(tái)上進(jìn)行出入庫(kù)的機(jī)構(gòu)中，存在將升降 臺(tái)與貨品對(duì)齊的同時(shí)快速進(jìn)行出入庫(kù)及保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)在根本上困難的 技術(shù)問題。
本發(fā)明是例如鑒于上述問題作出的，其第1課題為提供一種保管 庫(kù)，通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)就能夠效率地進(jìn)行貨品的出入庫(kù)，或有效地在保 管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
此外，本發(fā)明是例如鑒于上述問題作出的，其第2課題為提供一 種保管庫(kù)以及具有這種保管庫(kù)的保管庫(kù)搬運(yùn)系統(tǒng)，該保管庫(kù)，可在沿
著軌道的窄小空間配置，且維護(hù)也較為容易，也可以通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)， 有效地進(jìn)行貨品的出入庫(kù)、或有效地在保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第1保管庫(kù)，包括支撐部，能夠 支撐貨品；水平驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)； 鉛直驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)；以及多個(gè)貨架，
其具有載置面，在能通過上述鉛直驅(qū)動(dòng)部使上述支撐部到達(dá)的上述鉛 直方向上的多個(gè)階段，在能通過上述水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上各 設(shè)置一個(gè)或兩個(gè)以上的貨架，并且分別構(gòu)成為能在上述貨架與上述支
撐部之間相互輸送貨品；上述多個(gè)載置面中至少一個(gè)作為上述貨品的 出入庫(kù)用庫(kù)口發(fā)揮作用。
在該方式中，上述支撐部為具有能從底側(cè)支撐上述貨品的第1載 置面的載置部；上述多個(gè)載置面分別為第2載置面，其構(gòu)成為使上述 貨品能夠相互在上述第1載置面與第2載置面與之間輸送。
根據(jù)本發(fā)明的第1保管庫(kù)，貨架具有在鉛直方向上配置有一列或 多列的多個(gè)載置面(即第2載置面)。例如，在鉛直方向上有m階段 (其中，m是2以上的自然數(shù))、在水平一側(cè)方向有n列(其中，n 是1以上的自然數(shù))，且在與其垂直的剩余的水平一側(cè)方向(以下簡(jiǎn) 稱為"厚度方向")上僅有1列的情況下，貨架整體的骨架構(gòu)成為薄 且呈縱向細(xì)長(zhǎng)的平板形狀。支撐部(即為載置部)構(gòu)成為，例如在該 第1載置面上放置貨品的狀態(tài)下，能夠在該保管庫(kù)內(nèi)，通過鉛直驅(qū)動(dòng) 部及水平驅(qū)動(dòng)部，沿著鉛直方向以及水平一側(cè)方向該兩方向或雙軸方 向移動(dòng)貨品。
入庫(kù)時(shí)，貨品從搬運(yùn)車向作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面上輸送。 接著，輸送至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面上的貨品，被載置在可 沿雙軸方向移動(dòng)的載置部的第1載置面上。例如，第1以及第2載置 面構(gòu)成為支撐著貨品底面的不同的部分(典型的情況下為靠近中央的 部分與靠近周邊的部分)，且可用任意一方支撐貨品。當(dāng)載置部移動(dòng) 至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛直位置及水平位置時(shí)，作
為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面被代替而通過第1載置面支撐，可進(jìn)行 從第2載置面向第1載置面的輸送。在典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)
部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨品被第1載置面支
撐。由此，開始進(jìn)行入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。在這里，通過鉛直驅(qū)動(dòng)
部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作，在貨架的任何一個(gè)第2載置 面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，當(dāng)載置部移動(dòng)至要在保管中使用的第2載置面存在的鉛直 位置及水平位置時(shí)，代替第1載置面而通過第2載置面支撐，進(jìn)行從 第1載置面向第2載置面的輸送。在典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部 將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面低的地方，貨品被第2載置面支撐。 由此，入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束，開始貨架中的保管。
另一方面，在出庫(kù)時(shí)，載置部移動(dòng)至載置有即將出庫(kù)的貨品的第2 載置面存在的鉛直位置及水平位置。接著，代替第2載置面而通過第1 載置面支撐，進(jìn)行從第2載置面向第1載置面的移動(dòng)。在典型的情況 下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨 品被第1載置面支撐。由此，開始出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。接著，載 置部被移動(dòng)至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛直位置及水平 位置。在這里，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作， 在任何一個(gè)第2載置面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，代替第1載置面而通過作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面支 撐，進(jìn)行從第1載置面向作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面的輸送。在 典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面來 低的地方，貨品被第2載置面支撐。由此出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束， 成為可從庫(kù)口向搬運(yùn)車輸送的狀態(tài)。
其后，通過已待機(jī)在面對(duì)庫(kù)口的軌道上位置或是接著將到達(dá)該位 置的搬運(yùn)車，進(jìn)行從庫(kù)口向搬運(yùn)車的輸送。
綜合上述的結(jié)果，由于庫(kù)口為第2載置面中至少一個(gè)，因此即使 在載置部進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)的過程中，只要此作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2 載置面上沒有載置貨品，即可能執(zhí)行從搬運(yùn)車向庫(kù)口的輸送。相反地， 即使在載置部進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)的過程中，也可以能執(zhí)行從庫(kù)口向搬 運(yùn)車的輸送。而且，通過由驅(qū)動(dòng)部向雙軸方向移動(dòng)的載置部的較為簡(jiǎn) 單的構(gòu)成及簡(jiǎn)單的控制，保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)不會(huì)妨礙庫(kù)口與搬運(yùn)車之間的 輸送作業(yè)而執(zhí)行該輸送。此外，此保管庫(kù)在鉛直方向與水平一側(cè)方向 具有廣度，且在厚度方向結(jié)構(gòu)也可以極薄(例如，其厚度薄得與一個(gè) 貨品的寬度加上若干機(jī)構(gòu)用的寬度相同)。因此，即使沿著搬運(yùn)車的 軌道的較小間隙，只要適當(dāng)符合此厚度方向，即可以將此保管庫(kù)插入 的形式進(jìn)行配置。此外，根據(jù)間隙的寬度，在厚度方向配置多個(gè)并列 的薄型保管庫(kù)也是可以的。此外，通過實(shí)現(xiàn)小型化，可以移動(dòng)保管庫(kù) 全體，因而也更易于維護(hù)。
如此一來，即使沿著軌道的較小間隙也可配置，且易于維護(hù)，能 夠通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)有效地進(jìn)行貨品的出入庫(kù)、或有效地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi) 運(yùn)送。
此外，支撐部不限于在輸送時(shí)支撐貨品底部的結(jié)構(gòu)，也可構(gòu)成為 支撐或保持安裝于貨品頂部的凸緣等。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的一個(gè)方式中，貨架在各階段分別具有兩 個(gè)載置面，以能夠使支撐部分別向水平一側(cè)方向的兩側(cè)移動(dòng)時(shí)能夠支 撐上述貨品。
根據(jù)此方式，例如，在鉛直方向上有m階段、在水平一側(cè)方向有 2列、且厚度方向上僅有一列的情況下，貨架整體的骨架構(gòu)成為薄且呈 縱向細(xì)長(zhǎng)的平板形狀。特別是對(duì)于同一階段中存在有2個(gè)的載置面(第 2載置面)之間的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，可以通過水平驅(qū)動(dòng)部的水平移動(dòng)來簡(jiǎn)
單且迅速地進(jìn)行。并且，與在同一階段逐一設(shè)置第2載置面的情況相 比，能夠提高保管容量的同時(shí)也能夠更有效地利用水平驅(qū)動(dòng)部及鉛直 驅(qū)動(dòng)部的作用，因而能夠提高搬運(yùn)效率。
其中，貨架構(gòu)成為在各階段逐一具有第2載置面，以在載置部向 水平一側(cè)方向的一端側(cè)移動(dòng)時(shí)能支撐貨品，也可以得到相應(yīng)于上述本 發(fā)明的效果。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的其它方式中，上述貨架的上述載置面中 位于上述貨架最頂層的至少一個(gè)作為上述庫(kù)口發(fā)揮作用。
根據(jù)此方式，當(dāng)搬運(yùn)車在鋪設(shè)在保管庫(kù)上側(cè)的軌道上移動(dòng)時(shí)，將 貨品從搬運(yùn)車向庫(kù)口輸送的作業(yè)就變得簡(jiǎn)單。同樣地，將貨品從庫(kù)口 向搬運(yùn)車輸送的作業(yè)也變得簡(jiǎn)單。此外，當(dāng)最頂層存在2個(gè)載置面(第
2載置面)的情況下，可以使這二個(gè)分別作為庫(kù)口發(fā)揮作用，也可僅有
一個(gè)作為庫(kù)口發(fā)揮作用。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的其它方式中，第1載置面也可作為庫(kù)口 發(fā)揮作用。
根據(jù)此方式，不僅是第2載置面，第1載置面也作為庫(kù)口發(fā)揮作
用，因而能夠增加進(jìn)行出入庫(kù)的機(jī)會(huì)，便可依據(jù)搬運(yùn)車的狀況進(jìn)行更 迅速的輸送。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的其它方式中，上述載置部向上述一端側(cè)
移動(dòng)時(shí)，上述第1載置面及第2載置面從上述鉛直方向看來相互具有 互補(bǔ)的平面形狀。
根據(jù)此方式，例如由平面觀察時(shí)，若第1載置面為馬蹄形、第2 載置面則為填滿該馬蹄形中央的島形等；或者，相反地第2載置面為
馬蹄形時(shí)、第1載置面則為填滿該馬蹄形中央的島形等，當(dāng)載置部向 一端側(cè)移動(dòng)時(shí)，即在第1載置面與第2載置面之間進(jìn)行輸送時(shí)，由平 面觀察時(shí)具有互補(bǔ)的平面形狀。此外，互補(bǔ)的平面形狀可為不相互接 觸的鋸齒狀，也可為靠近中央的部分與靠近周邊的部分。不論是何種 情況，貨品可由其中一個(gè)載置面來支撐。其結(jié)果，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將 第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨品被第1載置面支撐； 或者是，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部移動(dòng)第1載置面以使第2載置面高于第1載 置面時(shí)，貨品被第2載置面支撐。因此，載置面之間的輸送，可由非 常簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作達(dá)成。
此外，即使第1載置面與第2載置面并不具有這樣的互補(bǔ)的平面 形狀，通過導(dǎo)入其它的補(bǔ)助性保持機(jī)構(gòu)或輸送機(jī)構(gòu)，可在第1以及第2
載置面之間進(jìn)行輸送。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的其它方式中，在上述貨品的底面具有規(guī)
定的凹凸；上述第1載置面及第2載置面各自具有能與上述凹凸扣合
的凹凸。
根據(jù)此方式，因利用貨品底面具有的規(guī)定的凹凸，能夠在位置精
度高的狀態(tài)下執(zhí)行第1及第2載置面之間的輸送。此外，作為這樣的 凹凸，可列舉設(shè)置在收容制造半導(dǎo)體時(shí)的各種基板的FOUP底面的凹 凸。
在本發(fā)明的第1保管庫(kù)的其它方式中，上述保管庫(kù)相對(duì)于上述軌 道進(jìn)行配置，以使上述水平一側(cè)方向的方位相對(duì)于搬運(yùn)車搬運(yùn)上述貨 品的軌道方位平行。
根據(jù)此方式，在工廠內(nèi)沿著墻壁且接近壁面鋪設(shè)軌道，墻壁造成 阻礙無法設(shè)置一般保管庫(kù)的情況下，將本發(fā)明的保管庫(kù)配置成使水平 一側(cè)方向的方位相對(duì)于軌道的方位平行。此時(shí)，軌道距墻壁分離容易
變薄的保管庫(kù)的厚度方向的厚度的量，就能夠毫無問題地配置保管庫(kù)。 換言之，將軌道鋪設(shè)成距墻壁保管庫(kù)的厚度方向的厚度的量即可。
在此方式中，上述保管庫(kù)被配置成使上述貨架位于上述軌道的下 方；上述貨架，在位于上述貨架最頂層而作為上述第2載置面的兩個(gè) 中，位于上述軌道的上游側(cè)的一方作為上述入庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作用， 并且位于上述軌道的下游側(cè)的另一方作為上述出庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作 用。
根據(jù)此結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行下述工序?qū)⒇浧穭倧陌徇\(yùn)車向位于上游 側(cè)的入庫(kù)用的庫(kù)口輸送之后，由該輸送成為空載的搬運(yùn)車，移動(dòng)至位 于下游側(cè)的出庫(kù)用的庫(kù)口，將貨品從此庫(kù)口向搬運(yùn)車輸送。SP，出入 庫(kù)的效率可大幅提高。
如以上說明，根據(jù)本發(fā)明的保管庫(kù)，通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)便能有效地 進(jìn)行貨品的出入庫(kù)、或有效地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)運(yùn)送。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第2保管庫(kù)，其在與在軌道上搬運(yùn) 貨品的搬運(yùn)車之間進(jìn)行上述貨品的出入庫(kù)，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng) 單元，能夠?qū)⑸鲜鲐浧费厮揭粋?cè)方向往復(fù)移動(dòng)，且沿鉛直方向往復(fù) 移動(dòng)；以及貨架，在上述鉛直方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng)每個(gè)階段，在 上述水平一側(cè)方向上具有多個(gè)能夠收容或載置由上述驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)的 貨品的貨架部分；上述保管庫(kù)相對(duì)于上述軌道進(jìn)行配置，以使上述水
平一側(cè)方向的方位相對(duì)于上述軌道的方位正交。
在本發(fā)明的第2保管庫(kù)的一個(gè)方式中，上述搬運(yùn)車為頂部移動(dòng)車， 其沿鋪設(shè)于頂部的上述軌道移動(dòng)；上述貨架相對(duì)于上述軌道進(jìn)行配置， 以使其位于上述軌道的下方。
根據(jù)本發(fā)明的第2保管庫(kù)，在入庫(kù)時(shí)，當(dāng)貨品例如從作為頂部移
動(dòng)車的搬運(yùn)車向保管庫(kù)的出入庫(kù)庫(kù)口輸送時(shí)，該貨品則例如通過具有 鉛直驅(qū)動(dòng)部及水平驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)至所期望的貨架部分。即進(jìn) 行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。在出庫(kù)時(shí)，貨品通過驅(qū)動(dòng)單元從所期望的貨架部分 進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。之后，當(dāng)貨品移動(dòng)至保管庫(kù)的出入庫(kù)庫(kù)口時(shí)，就 進(jìn)行向搬運(yùn)車的輸送。
在本發(fā)明中特別是，貨架，在上述鉛直方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng) 每個(gè)階段，在上述水平一側(cè)方向上具有多個(gè)貨架部分，驅(qū)動(dòng)單元，能 夠與這樣的貨架對(duì)應(yīng)地，將貨品向沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)的同時(shí)沿 鉛直方向往復(fù)移動(dòng)。因此，通過鉛直方向以及水平一側(cè)方向的雙軸運(yùn) 動(dòng)，可將貨品從出入庫(kù)用的庫(kù)口 (或其它貨架部分)向存在多個(gè)的貨 架部分中所期望的貨架部分進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)?；蛘呤?，通過鉛直方 向以及水平一側(cè)方向的雙軸運(yùn)動(dòng)，從存在多個(gè)的貨架部分中所期望的 貨架部分，可將貨品向出入庫(kù)用的庫(kù)口 (或其它貨架部分)進(jìn)行保管 庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
例如，貨架整體的骨架的構(gòu)成為在鉛直方向上有m階段(其中， m是2以上的自然數(shù))、在水平一側(cè)方向有n列(其中，n是2以上的 自然數(shù))、且與其垂直的剩余的水平一側(cè)方向(以下簡(jiǎn)稱為"厚度方 向")上僅有一列的情況下，形成較薄的平板形狀。
在這里，在一般鋪設(shè)有軌道的半導(dǎo)體制造工廠等的工廠內(nèi)，為了 在有限的空間中進(jìn)行各種工序、以及試圖縮短軌道以提高工序間移動(dòng) 的速度等基本需求，可能出現(xiàn)將進(jìn)行各種工序的裝置、以及與此保管 庫(kù)不同的堆料機(jī)等沿著軌道鋪設(shè)在狹窄處的情況。換言之，需沿著軌 道鋪設(shè)的裝置等，有時(shí)需盡可能設(shè)計(jì)得無間隙。另一方面，被稱為堆 料機(jī)等的保管庫(kù)，基本上屬于大型設(shè)備而組裝于工廠內(nèi)部以作為設(shè)備
的一部分，不容易在裝配后變更，若當(dāng)初的設(shè)計(jì)沒有間隙則就更困難 了?；蛘哒f，對(duì)于傳統(tǒng)的大型保管庫(kù)，其周圍需留有例如沿著軌道空 下約lm的維護(hù)用空間。換言之，包括這個(gè)維護(hù)用空間，裝置等沿著軌
道無間隙地配置。此空間除了維護(hù)時(shí)以外可說是無用的空間。
然而，根據(jù)本發(fā)明，貨架相對(duì)于軌道配置成使其位于軌道的下方， 且使水平一側(cè)方向的方位相對(duì)于軌道的方位相交，優(yōu)選正交。因此， 本發(fā)明的保管庫(kù)可通過插入的方式，配置在沿著工廠內(nèi)鋪設(shè)的軌道的 方向上的各種裝置等之間的間隙，因而極為便利。換言之，即使其設(shè) 計(jì)是在沿軌道鋪設(shè)的裝置等之間留下少數(shù)間隙，只要利用本發(fā)明的第2 保管庫(kù)，即可得到充分的容納空間。而且，保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，如上述上 述地沿厚度方向較薄伸展，即相對(duì)于多個(gè)階段且于各階段有多個(gè)貨架 部分的貨架而言，通過雙軸方向的運(yùn)動(dòng)，即可極為有效地進(jìn)行。特別 是，即使厚度方向較薄，在停止鉛直方向移動(dòng)的狀態(tài)下，各階段的多 個(gè)貨架部分間的移動(dòng)可通過水平一側(cè)方向的移動(dòng)來進(jìn)行。此外，與同 一階段分別設(shè)置一個(gè)貨架部分的情況相比，其可提高保管容量，且可 通過雙軸移動(dòng)更加有效地利用，而可提高搬運(yùn)效率。
同時(shí)，即使厚度方向較薄，關(guān)于跨越多個(gè)階段的貨架部分間的移 動(dòng)可以如下進(jìn)行將貨品移動(dòng)至能夠向鉛直方向移動(dòng)的水平一側(cè)方向 位置之后，停止相關(guān)的水平一側(cè)方向的移動(dòng)，在此狀態(tài)下進(jìn)行鉛直方 向移動(dòng)，之后通過水平一側(cè)方向的移動(dòng)來進(jìn)行。
另一方面，進(jìn)行保管庫(kù)的維護(hù)時(shí)，若是將這類薄型的保管庫(kù)，向 與軌道相交的方向拉出，使之離開緊密地配置了各種裝置等的軌道附 近，即可容易構(gòu)筑出維護(hù)用的空間。無需如傳統(tǒng)保管庫(kù)一樣在保管庫(kù)
周圍設(shè)置約lm的維護(hù)用空間。此時(shí)特別是將其構(gòu)成為可移動(dòng)的薄型保
管庫(kù)整體，以其重量上而言具有充分的實(shí)踐意義。
如上所述，即使在沿著搬運(yùn)車軌道的較小間隙，此保管庫(kù)也可以 通過插入的方式進(jìn)行配置。此時(shí)，貨架即使在厚度方向較薄，收容效 率也極高，且搬運(yùn)效率也極高。此外，此薄型保管庫(kù)可根據(jù)間隙的寬 幅在厚度方向并列地配置多個(gè)。并且，為了達(dá)到小型化，既可將保管庫(kù)整體進(jìn)行移動(dòng)，特別使維護(hù)易于進(jìn)行。例如，此保管庫(kù)在鉛直方向 與水平一側(cè)方向具有廣度的同時(shí)關(guān)于厚度方向構(gòu)成得極薄(例如，其 厚度薄得與一個(gè)貨品的寬度加上若干機(jī)構(gòu)用的寬度相同)，因此可插 入此厚度的間隙。
在本發(fā)明的第2保管庫(kù)的其它方式中，上述驅(qū)動(dòng)單元，包括支 撐部，能夠支撐上述貨品；水平驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿水平一 側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)；以及鉛直驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿鉛直方向往 復(fù)移動(dòng)；上述貨架，作為上述貨架部分具有載置面，上述載置面對(duì)應(yīng) 每個(gè)階段在能通過上述水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上設(shè)有多個(gè)，并且 分別構(gòu)成為能在上述貨架與上述支撐部之間相互輸送上述貨品。
在此方式中，上述支撐部為具有能從底側(cè)支撐上述貨品的第1載 置面的載置部；上述載置面為第2載置面，其構(gòu)成為使上述貨品能夠 相互在上述第1載置面與第2載置面與之間輸送。
根據(jù)此方式，在入庫(kù)時(shí)，例如貨品從搬運(yùn)車向作為出入庫(kù)庫(kù)口發(fā) 揮作用的第2載置面上輸送。接著，被輸送至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2 載置面上的貨品，載置于能夠沿雙軸方向移動(dòng)的載置部的第l載置面。 例如，第1以及第2載置面構(gòu)成為支撐著貨品底面的不同的部分(典 型的情況下，靠近中央的部分與靠近周邊的部分)，也可以由任一方 支撐貨品。當(dāng)載置部移動(dòng)至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛 直位置及水平位置時(shí)，代替作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面通過第1 載置面支撐，進(jìn)行從第2載置面向第1載置面的輸送。在典型的情況 下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨 品通過第l載置面支撐。由此，開始入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。在這里， 通過鉛直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作，在貨架的任何 第2載置面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，當(dāng)載置部移動(dòng)至要在保管中使用的第2載置面存在的鉛直
位置及水平位置時(shí)，代替第1載置面而通過第2載置面支撐，進(jìn)行從 第1載置面向第2載置面的輸送。在典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部
將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面低的地方，貨品被第2載置面支撐。
由此，入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束，開始貨架中的保管。
另一方面，在出庫(kù)時(shí)，載置部移動(dòng)至載置有即將出庫(kù)的貨品的第2 載置面存在的鉛直位置及水平位置。接著，代替第2載置面而通過第1 載置面支撐，進(jìn)行從第2載置面向第1載置面的移動(dòng)。在典型的情況 下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨 品被第1載置面支撐。由此，開始出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。接著，載 置部被移動(dòng)至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛直位置及水平 位置。在這里，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作， 在任何一個(gè)第2載置面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，代替第1載置面而通過作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面支 撐，進(jìn)行從第1載置面向作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面的輸送。在 典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面來 低的地方，貨品被第2載置面支撐。由此出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束， 成為可從庫(kù)口向搬運(yùn)車輸送的狀態(tài)。
其后，通過已待機(jī)在面對(duì)庫(kù)口的軌道上位置或是接著將到達(dá)該位 置的搬運(yùn)車，進(jìn)行從庫(kù)口向搬運(yùn)車的輸送。
綜合上述的結(jié)果，可通過由驅(qū)動(dòng)單元向雙軸方向移動(dòng)的載置部的 較為簡(jiǎn)單的構(gòu)成及簡(jiǎn)單的控制，就能夠執(zhí)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。而且，由
于當(dāng)進(jìn)行搬運(yùn)車與庫(kù)口之間的輸送的過程中，還可以通過驅(qū)動(dòng)單元進(jìn) 行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，因而保管庫(kù)內(nèi)的搬運(yùn)效率也大幅提高。
在本發(fā)明的第2保管庫(kù)的其它方式中，上述貨架，使上述貨架部 分中至少一個(gè)作為上述出入庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作用。
在本發(fā)明的第2保管庫(kù)的其它方式中，上述貨架，使上述貨架部 分中位于上述貨架最頂層的至少一個(gè)作為上述出入庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作 用。
根據(jù)此方式，當(dāng)搬運(yùn)車在鋪設(shè)在保管庫(kù)上側(cè)的軌道上移動(dòng)時(shí)，將 貨品從搬運(yùn)車向庫(kù)口輸送的作業(yè)就變得簡(jiǎn)單。同樣地，將貨品從庫(kù)口 向搬運(yùn)車輸送的作業(yè)也變得簡(jiǎn)單。此外，當(dāng)最頂層存在2個(gè)載置面的 情況下，可以使這二個(gè)分別作為庫(kù)口發(fā)揮作用，也可僅有一個(gè)作為庫(kù) 口發(fā)揮作用。
在此方式中，上述軌道，在上述保管庫(kù)的上游側(cè)分支；上述貨架 配置于上述軌道的下方，上述貨架部分中位于上述貨架最上層的兩個(gè)， 相對(duì)于分支后的上述軌道，分別作為上述庫(kù)口發(fā)揮作用。
根據(jù)此結(jié)構(gòu)，因?yàn)槌鋈霂?kù)用的庫(kù)口在保管庫(kù)的最頂層存在有2個(gè)，
因而可在該兩處同時(shí)進(jìn)行入庫(kù)作業(yè)(即，從搬運(yùn)車向庫(kù)口的輸送)、 也可在兩處同時(shí)進(jìn)行出庫(kù)作業(yè)(即，從庫(kù)口向搬運(yùn)車的輸送)、也可 同時(shí)并行入庫(kù)作業(yè)及出庫(kù)作業(yè)，顯著提高輸送效率。而且，此時(shí)厚度 方向較薄的同時(shí)可通過雙軸方向的移動(dòng)進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，不會(huì)犧牲 本發(fā)明的保管庫(kù)的特性。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第1帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，具有上 述的本發(fā)明的保管庫(kù)(其中，包括其各種方式)、上述軌道以及上述 搬運(yùn)車。
根據(jù)本發(fā)明第1帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，由于具有上述的本發(fā)明的 保管庫(kù)，因而在保管庫(kù)中的收容效率極高，且搬運(yùn)效率也極高。此外，
保管庫(kù)整體也可以進(jìn)行移動(dòng)，特別使得維護(hù)更加容易。為了解決上述課題，本發(fā)明的保管庫(kù)組，由多個(gè)分別與在軌道上 搬運(yùn)貨品的搬運(yùn)車之間進(jìn)行上述貨品的出入庫(kù)的保管庫(kù)組成，其特征 在于，上述多個(gè)保管庫(kù)分別包括驅(qū)動(dòng)單元，能夠?qū)⑸鲜鲐浧费厮?一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)，且沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)；以及貨架，在上述鉛直 方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng)每個(gè)階段，在上述水平一側(cè)方向上具有一個(gè) 或多個(gè)能夠收容或載置由上述驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)的貨品的貨架部分；上述
多個(gè)保管庫(kù)排列成與上述水平一側(cè)方向一致，且使上述貨品的上述出 入庫(kù)用的庫(kù)口并排為一列。
根據(jù)本發(fā)明的保管庫(kù)組，當(dāng)貨品在入庫(kù)時(shí)，從搬運(yùn)車向構(gòu)成此保 管庫(kù)組的各個(gè)保管庫(kù)的出入庫(kù)用庫(kù)口輸送時(shí)，此貨品通過例如具有鉛 直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)單元向所期望的貨架部分輸送。艮口， 進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。在出庫(kù)時(shí)，貨品通過驅(qū)動(dòng)單元，從所期望的貨架
部分進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。之后，當(dāng)貨品移動(dòng)至該保管庫(kù)組的庫(kù)口時(shí)， 即進(jìn)行向搬運(yùn)車的輸送。
在本發(fā)明中特別是，貨架，在上述鉛直方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng) 每個(gè)階段，在上述水平一側(cè)方向上具有一個(gè)或多個(gè)貨架部分，驅(qū)動(dòng)單 元，能夠與這樣的貨架對(duì)應(yīng)地，將貨品向沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)的 同時(shí)沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)。因此，通過鉛直方向以及水平一側(cè)方向的 雙軸運(yùn)動(dòng)，可將貨品從出入庫(kù)用的庫(kù)口 (或其它貨架部分)向存在多 個(gè)的貨架部分中所期望的貨架部分進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。或者是，通過 鉛直方向以及水平一側(cè)方向的雙軸運(yùn)動(dòng)，從存在多個(gè)的貨架部分中所 期望的貨架部分，可將貨品向出入庫(kù)用的庫(kù)口(或其它貨架部分)進(jìn) 行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
至于各個(gè)保管庫(kù)而言，例如，貨架整體的骨架的構(gòu)成為在鉛直 方向上有m階段(其中，m是2以上的自然數(shù))、在水平一側(cè)方向有 n列(其中，n是2以上的自然數(shù))、且與其垂直的剩余的水平一側(cè)方 向(以下簡(jiǎn)稱為"厚度方向")上僅有一列的情況下，形成較薄的平板形狀。
在這里，在一般鋪設(shè)有軌道的半導(dǎo)體制造工廠等的工廠內(nèi)，為了 在有限的空間中進(jìn)行各種工序、以及試圖縮短軌道以提高工序間移動(dòng) 的速度等基本需求，可能出現(xiàn)將進(jìn)行各種工序的裝置、以及與此保管 庫(kù)不同的堆料機(jī)等沿著軌道鋪設(shè)在狹窄處的情況。換言之，需沿著軌 道鋪設(shè)的裝置等，有時(shí)需盡可能設(shè)計(jì)得無間隙。另一方面，被稱為堆 料機(jī)等的保管庫(kù)，基本上屬于大型設(shè)備而組裝于工廠內(nèi)部以作為設(shè)備 的一部分，不容易在裝配后變更，若當(dāng)初的設(shè)計(jì)沒有間隙則就更困難 了。或者說，對(duì)于傳統(tǒng)的大型保管庫(kù)，其周圍需留有例如沿著軌道空 下約lm的維護(hù)用空間。換言之，包括這個(gè)維護(hù)用空間，裝置等沿著軌 道無間隙地配置。此空間除了維護(hù)時(shí)以外可說是無用的空間。
然而，根據(jù)本發(fā)明，多個(gè)保管庫(kù)排列成使水平移動(dòng)的水平一側(cè)方 向一致，切出入庫(kù)用的庫(kù)口并排為一列。因此，通過在一條軌道上移 動(dòng)的搬運(yùn)車，使得在任一座保管庫(kù)之間通過庫(kù)口進(jìn)行的出入庫(kù)作業(yè)變 得簡(jiǎn)單。通過在同一條軌道上的多個(gè)搬運(yùn)車，也可以在多個(gè)保管庫(kù)之 間進(jìn)行出入庫(kù)作業(yè)。或者是，剛在一座保管庫(kù)卸下貨品的搬運(yùn)車，可 通過其在另一座保管庫(kù)裝載貨品。
并且，僅使與沿著工廠內(nèi)鋪設(shè)的軌道的方向上的各種裝置等之間 的間隙對(duì)應(yīng)的數(shù)量的保管庫(kù)組合，將本發(fā)明的保管庫(kù)組可通過插入的 方式進(jìn)行配置，在實(shí)用上極為便利。換言之，不論其設(shè)計(jì)成沿著軌道 鋪設(shè)的裝置等之間的間隙較大、或是留下小間隙，只要利用本發(fā)明的 保管庫(kù)組，即可得到充分的容納空間。而且，在各個(gè)保管庫(kù)內(nèi)進(jìn)行的 保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，如上述上述地向厚度方向較薄地伸展，即通過相對(duì)于跨越多個(gè)階段且在各階段具有多個(gè)貨架部分的貨架的雙軸方向的運(yùn) 動(dòng)，極具效率地進(jìn)行。特別是，即使厚度方向較薄，在停止鉛直方向移動(dòng)的狀態(tài)下，各階段的多個(gè)貨架部分間的移動(dòng)可通過水平一側(cè)方向 的移動(dòng)來進(jìn)行。
同時(shí)，即使厚度方向較薄，關(guān)于跨越多個(gè)階段的貨架部分間的移 動(dòng)可以如下進(jìn)行將貨品移動(dòng)至能夠向鉛直方向移動(dòng)的水平一側(cè)方向 位置之后，停止相關(guān)的水平一側(cè)方向的移動(dòng)，在此狀態(tài)下進(jìn)行鉛直方 向移動(dòng)，之后通過水平一側(cè)方向的移動(dòng)來進(jìn)行。
另一方面，進(jìn)行保管庫(kù)的維護(hù)時(shí)，若是將從僅如上所述地組合所 希望數(shù)量的保管庫(kù)組，作為各個(gè)保管庫(kù)將薄型的保管庫(kù)，與其他保管 庫(kù)獨(dú)立地拉出，即可容易構(gòu)筑出維護(hù)用的空間。無需如傳統(tǒng)保管庫(kù)一
樣在保管庫(kù)周圍設(shè)置約lm的維護(hù)用空間。此時(shí)特別是將其構(gòu)成為可移
動(dòng)的薄型的各個(gè)保管庫(kù)整體，以其重量上而言具有充分的實(shí)踐意義。
如上所述，無論是沿著搬運(yùn)車的軌道的較小的間隙，還是較大的 間隙，此保管庫(kù)組都可以通過插入的方式進(jìn)行配置。此時(shí)，關(guān)于各個(gè) 保管庫(kù)，貨架即使在厚度方向較薄，收容效率也極高，且搬運(yùn)效率也 極高。此外，由于此薄型保管庫(kù)可根據(jù)間隙的寬幅在厚度方向并列地 配置多個(gè)，因而實(shí)用上極其便利。并且，將其構(gòu)成為可從保管庫(kù)組中 拉出各個(gè)保管庫(kù)也極為容易，使得對(duì)于各個(gè)保管庫(kù)的維護(hù)也變得容易。 例如，此保管庫(kù)在鉛直方向與水平一側(cè)方向具有廣度的同時(shí)關(guān)于厚度 方向構(gòu)成得極薄(例如，其厚度薄得與一個(gè)貨品的寬度加上若干機(jī)構(gòu) 用的寬度相同)，只要根據(jù)此厚度的整數(shù)倍數(shù)，就可將此保管庫(kù)組適 當(dāng)?shù)夭迦胙刂壍赖拈g隙。
在本發(fā)明的保管庫(kù)組的一個(gè)方式中，上述驅(qū)動(dòng)單元，包括支撐 部，能夠支撐上述貨品；水平驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿水平一側(cè) 方向往復(fù)移動(dòng)；以及鉛直驅(qū)動(dòng)部，能夠使上述支撐部沿鉛直方向往復(fù) 移動(dòng)；上述貨架，作為上述貨架部分具有載置面，上述載置面對(duì)應(yīng)每 個(gè)階段在能通過上述水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上設(shè)有多個(gè)，并且分 別構(gòu)成為能在上述貨架與上述支撐部之間相互輸送上述貨品。
在此方式中，上述支撐部為具有能從底側(cè)支撐上述貨品的第1載 置面的載置部；上述載置面為第2載置面，其構(gòu)成為使上述貨品能夠 相互在上述第1載置面與第2載置面與之間輸送。
根據(jù)此方式，在入庫(kù)時(shí)，例如貨品從搬運(yùn)車向作為出入庫(kù)庫(kù)口發(fā)
揮作用的第2載置面上輸送。接著，被輸送至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2 載置面上的貨品，載置于能夠沿雙軸方向移動(dòng)的載置部的第1載置面。 例如，第1以及第2載置面構(gòu)成為支撐著貨品底面的不同的部分(典 型的情況下，靠近中央的部分與靠近周邊的部分)，也可以由任一方 支撐貨品。當(dāng)載置部移動(dòng)至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛 直位置及水平位置時(shí)，代替作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面通過第1 載置面支撐，進(jìn)行從第2載置面向第1載置面的輸送。在典型的情況 下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨 品通過第l載置面支撐。由此，開始入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。在這里， 通過鉛直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作，在貨架的任何 第2載置面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，當(dāng)載置部移動(dòng)至要在保管中使用的第2載置面存在的鉛直 位置及水平位置時(shí)，代替第1載置面而通過第2載置面支撐，進(jìn)行從 第1載置面向第2載置面的輸送。在典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部 將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面低的地方，貨品被第2載置面支撐。 由此，入庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束，開始貨架中的保管。
另一方面，在出庫(kù)時(shí)，載置部移動(dòng)至載置有即將出庫(kù)的貨品的第2 載置面存在的鉛直位置及水平位置。接著，代替第2載置面而通過第1 載置面支撐，進(jìn)行從第2載置面向第1載置面的移動(dòng)。在典型的情況 下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面高的地方，貨 品被第1載置面支撐。由此，開始出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。接著，載 置部被移動(dòng)至作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面存在的鉛直位置及水平 位置。在這里，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部以及水平驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行簡(jiǎn)單的雙軸動(dòng)作，
在任何一個(gè)第2載置面都能夠迅速地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，代替第l載置面而通過作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面支 撐，進(jìn)行從第1載置面向作為庫(kù)口發(fā)揮作用的第2載置面的輸送。在 典型的情況下，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部將第1載置面移動(dòng)至比第2載置面來
低的地方，貨品被第2載置面支撐。由此出庫(kù)時(shí)的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)結(jié)束，
成為可從庫(kù)口向搬運(yùn)車輸送的狀態(tài)。
其后，通過已待機(jī)在面對(duì)庫(kù)口的軌道上位置或是接著將到達(dá)該位 置的搬運(yùn)車，進(jìn)行從庫(kù)口向搬運(yùn)車的輸送。
綜合上述的結(jié)果，可通過由驅(qū)動(dòng)單元向雙軸方向移動(dòng)的載置部的 較為簡(jiǎn)單的構(gòu)成及簡(jiǎn)單的控制，就能夠執(zhí)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。而且，由 于當(dāng)進(jìn)行搬運(yùn)車與庫(kù)口之間的輸送的過程中，還可以通過驅(qū)動(dòng)單元進(jìn) 行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，因而保管庫(kù)內(nèi)的搬運(yùn)效率也大幅提高。
在本發(fā)明的保管庫(kù)組的其它方式中，上述保管庫(kù)組相對(duì)于上述軌 道進(jìn)行配置，以使上述一列沿上述軌道并排。
在此方式中，上述搬運(yùn)車為頂部移動(dòng)車，其沿鋪設(shè)于頂部的上述
軌道移動(dòng)；上述貨架相對(duì)于上述軌道進(jìn)行配置，以使其位于上述軌道 的下方。
根據(jù)此方式，由于出入庫(kù)用的庫(kù)口沿著軌道并排為一列，因而通 過在一條軌道上移動(dòng)的搬運(yùn)車(即，頂部移動(dòng)車)，可相對(duì)于任一個(gè) 保管庫(kù)的庫(kù)口進(jìn)行入庫(kù)作業(yè)(即，從搬運(yùn)車向庫(kù)口的輸送)，顯著提 高輸送效率。而且，此時(shí)各個(gè)保管庫(kù)在厚度方向較薄的同時(shí)可通過雙 軸方向的移動(dòng)進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)，不會(huì)損害通過將這種保管庫(kù)沿著軌 道并排而能夠得到的上述的利益。
在本發(fā)明的保管庫(kù)組的其它方式中，上述保管庫(kù)組相對(duì)于上述軌 道進(jìn)行配置，以使上述水平一側(cè)方向的方位相對(duì)于上述軌道的方位正 交。
根據(jù)此結(jié)構(gòu)，能夠最有效地利用沿著軌道存在的空間。其中，在 這里所稱的"正交"為在理想狀態(tài)下如字面上述的正交，但只要能夠 有效利用空間，其為還包含視為直交的程度，即實(shí)質(zhì)上直交的含義。 而且，在軌道并非直線的情況下，也包含各軌道上的地點(diǎn)與切線方向 正交的情況。
在本發(fā)明的保管庫(kù)組的其它方式中，上述貨架，使上述貨架部分 中上述貨架最頂層的至少一個(gè)作為上述庫(kù)口發(fā)揮作用。
根據(jù)此方式，當(dāng)搬運(yùn)車在鋪設(shè)在保管庫(kù)上側(cè)的軌道上移動(dòng)時(shí)，將 貨品從該搬運(yùn)車向庫(kù)口輸送的作業(yè)變得簡(jiǎn)單。同樣地，將貨品從庫(kù)口 向搬運(yùn)車輸送的作業(yè)也變得簡(jiǎn)單。此外，當(dāng)最頂層存在2個(gè)貨架部分
的情況下，可以這二個(gè)分別作為庫(kù)口發(fā)揮作用，也可僅有一個(gè)作為庫(kù) 口發(fā)揮作用。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第2帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，具有上 述的本發(fā)明的保管庫(kù)組(其中，包括其各種方式)、上述軌道以及上 述搬運(yùn)車。
根據(jù)本發(fā)明具有保管庫(kù)的第2搬運(yùn)系統(tǒng)，由于具有上述的本發(fā)明
的保管庫(kù)組，因而能夠沿著軌道沒有浪費(fèi)或有效地配置保管庫(kù)，同時(shí) 在各個(gè)保管庫(kù)內(nèi)，收容效率極高，且搬運(yùn)效率也極高。能夠與保管庫(kù) 組的其他保管庫(kù)分離而使各個(gè)保管庫(kù)移動(dòng)，特別使得維護(hù)更加容易。
本發(fā)明的作用及其它優(yōu)點(diǎn)可從在以下說明的實(shí)施方式中了解。


圖1是表示具有第1實(shí)施方式的保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀的透視圖。
圖2是表示第1實(shí)施方式的保管庫(kù)的內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖。 圖3是表示第1實(shí)施方式的第1載置面以及第2載置面的扣合狀 態(tài)的剖視圖。
圖4是表示第1實(shí)施方式的載置部向水平一側(cè)方向的動(dòng)作狀態(tài)的
俯視圖。
圖5是表示具有第2實(shí)施方式的保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀的透視圖。
圖6是表示第l實(shí)施方式的保管庫(kù)在實(shí)用上的配置狀態(tài)的俯視圖。 圖7是表示第3實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)的軌道的俯視圖。 圖8是表示具有第4實(shí)施方式的保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀的透視 圖。 .
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(第1實(shí)施方式)
首先，參照?qǐng)D1至圖3說明第1實(shí)施方式的保管庫(kù)結(jié)構(gòu)。在這里， 圖1是表示具有第1實(shí)施方式的保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀的透視圖、 圖2是示意性地表示圖1的保管庫(kù)內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖、圖3是表示第1 實(shí)施方式的第1載置面以及第2載置面的相對(duì)于貨品的扣合狀態(tài)的剖 視圖。
特別是第1實(shí)施方式為本發(fā)明的"第1保管庫(kù)"的實(shí)施方式。
在圖1中，搬運(yùn)系統(tǒng)IOO具有軌道1、搬運(yùn)車2、堆料機(jī)(保管庫(kù)) 10以及控制器20。搬運(yùn)系統(tǒng)100驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)車2，在軌道1上搬運(yùn)F0UP3。 軌道1作為本發(fā)明的"軌道"的一例，起用于搬運(yùn)車2移動(dòng)的軌道的
作用。
搬運(yùn)車2為例如通過線性電動(dòng)機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的OHT( Overhead Hoist Transport,懸吊式搬運(yùn)車系統(tǒng))，將FOUP3搬運(yùn)至堆料機(jī)10或并未圖 示的制造裝置、OHT緩沖區(qū)、以及大型堆料機(jī)等。在搬運(yùn)車2的內(nèi)部 具有沿鉛直方向移動(dòng)的起重機(jī)2a。
起重機(jī)2a在搬運(yùn)時(shí)，例如通過挾持機(jī)構(gòu)以進(jìn)行保持被搬運(yùn)的 FOUP3的凸緣4。起重機(jī)2a構(gòu)成為通過搬運(yùn)車2的主體上設(shè)置的巻取 皮帶以及巻出皮帶等升降機(jī)構(gòu)，可在軌道1的下方沿鉛直方向進(jìn)行升 降。起重機(jī)2a在與堆料機(jī)10之間進(jìn)行FOUP3的出庫(kù)或入庫(kù)時(shí)，移動(dòng) 至堆料機(jī)IO的出入庫(kù)用庫(kù)口的上方位置，進(jìn)而在下降至庫(kù)口的位置上， 保持或放開凸緣4。在這個(gè)下降位置上，F(xiàn)OUP3的底面接觸于后述的 第2載置面(即，庫(kù)口的底面)。
如圖1及圖2所示，F(xiàn)OUP3作為本發(fā)明的"貨品"的一例，在堆 料機(jī)10內(nèi)，為了進(jìn)行相對(duì)于搬運(yùn)車2進(jìn)行目的為出入庫(kù)以及調(diào)整保管 位置等而被搬運(yùn)(即，保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn))。
如圖3所示，F(xiàn)OUP3在底面具有凹部5、 6。凹部5形成為與設(shè)置 在后述的貨架15上的凸部16相對(duì)應(yīng)的尺寸。另一方面，凹部6形成 為與設(shè)置在后述的承載部11上的凸部12相對(duì)應(yīng)的尺寸。
回至圖l，控制器20例如根據(jù)半導(dǎo)體元件制造的工序計(jì)劃，相對(duì) 于搬運(yùn)車2以及堆料機(jī)10，進(jìn)行FOUP3的搬運(yùn)以及出入庫(kù)(包括保管 庫(kù)內(nèi)搬運(yùn))的指示。響應(yīng)該指示，搬運(yùn)車2以及堆料機(jī)10受到驅(qū)動(dòng)， 通過對(duì)由搬運(yùn)車進(jìn)行搬運(yùn)的FOUP3實(shí)施各種處理，進(jìn)行半導(dǎo)體元件制 造。
(保管庫(kù)單體)
堆料機(jī)10，作為本發(fā)明的"保管庫(kù)"的一例，與軌道1鄰接而進(jìn) 行鋪設(shè)，保管多個(gè)FOUP3。
在圖2中，堆料機(jī)為由載置部(支撐部)11、水平驅(qū)動(dòng)部13以及 鉛直驅(qū)動(dòng)部14構(gòu)成的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置，同時(shí)具有多個(gè)貨架15。保管 庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置在多個(gè)貨架15之間輸送F0UP3。通過該輸送，F(xiàn)0UP3 被載置在多個(gè)貨架15中的特定貨架(即，保管用貨架)，F(xiàn)0UP3保管 在堆料機(jī)10內(nèi)?；蛘?，如在后文詳細(xì)說明，輸送至作為出入庫(kù)用庫(kù)口 發(fā)揮作用的貨架15。
載置部11為了在多個(gè)貨架15之間輸送FOUP3，由水平驅(qū)動(dòng)部13 向水平一側(cè)方向移動(dòng)，且由鉛直驅(qū)動(dòng)部14向鉛直方向移動(dòng)。在載置部 11的上表面具有第1載置面lla。第1載置面lla在輸送時(shí)與F0UP3 的底面接觸，且從其底側(cè)支撐FOUP3。在第l載置面lla上，形成有 凸部以作為支撐部材12。如圖3 (b)所示，凸部12形成為與FOUP3 的凹部6相對(duì)應(yīng)的尺寸，在輸送時(shí)與該凹部6相扣合。
再次在圖2中，水平驅(qū)動(dòng)部13例如通過未圖示的電動(dòng)機(jī)，在沿水 平一側(cè)方向延伸的水平導(dǎo)向器17上被驅(qū)動(dòng)。水平驅(qū)動(dòng)部13與載置部 11相連結(jié)，使載置部11沿著水平導(dǎo)向器17向水平一側(cè)方向Dl往復(fù) 移動(dòng)。
鉛直驅(qū)動(dòng)部14例如通過并未圖示的電動(dòng)機(jī)，在沿鉛直方向延伸的 鉛直導(dǎo)向器18被驅(qū)動(dòng)。在鉛直驅(qū)動(dòng)部14上固定有水平導(dǎo)向器17的中 央部。鉛直驅(qū)動(dòng)部14將水平導(dǎo)向器17沿著鉛直導(dǎo)向器18，向鉛直方 向D2往復(fù)移動(dòng)。由此往復(fù)移動(dòng)時(shí)，載置部11位于水平導(dǎo)向器17的中 央部。如此，載置部11通過水平驅(qū)動(dòng)部13以及鉛直驅(qū)動(dòng)部14，向鉛 直方向以及水平一側(cè)方向的雙軸方向移動(dòng)。
多個(gè)貨架15，作為在鉛直方向7階段、在水平一側(cè)方向2列、且
在厚度方向一列而由合計(jì)14個(gè)貨架構(gòu)成，通過載置部11在所述14個(gè)
貨架15之間的移動(dòng)，進(jìn)行FOUP3的輸送。各個(gè)貨架15在上表面具有 第2載置面15a，將FOUP3載置在該第2載置面15a上。在第2載置 面15a上，形成有作為支撐部材的凸部16。如圖3(a)所示，凸部16 形成為與FOUP3的凹部5相對(duì)應(yīng)的尺寸，在輸送(保管)時(shí)與該凹部 5相扣合。
再次在圖2， 14個(gè)貨架15中的1個(gè)貨架(換言之，其具有的第2 載置面15a)，發(fā)揮在與搬運(yùn)車2之間交付FOUP3的出入庫(kù)用庫(kù)口的 作用。設(shè)定為庫(kù)口的貨架15為位于最頂層的2個(gè)貨架的其中l(wèi)個(gè)貨架 (圖2中，位于用雙點(diǎn)劃線表示的區(qū)域P1的貨架)，位于其上方以及 側(cè)方的堆料機(jī)主體10a，則開放以使FOUP3可出入庫(kù)。
并且，不僅是設(shè)定為庫(kù)口的貨架15，除了該貨架15，可將移動(dòng)至 區(qū)域P1的載置部11作為庫(kù)口，也可以僅將該載置部11作為庫(kù)口。在 這種情況下，若不將貨架15設(shè)置在區(qū)域Pl，而將未載置FOUP3的載 置部11配置在區(qū)域P1，則FOUP3從搬運(yùn)車2直接入庫(kù)。或者，將載 置FOUP3的載置部11配置在區(qū)域Pl時(shí)，F(xiàn)OUP3直接出庫(kù)至搬運(yùn)車2。
關(guān)于堆料機(jī)10的配置，設(shè)定為庫(kù)口的貨架15，配置在軌道l的下 方。具體而言，載置部11移動(dòng)的水平一側(cè)方向的方位，相對(duì)于軌道1 的方位以直角相交。
接著，參照?qǐng)D4 (a)對(duì)本實(shí)施方式的第1以及第2載置面的形狀 進(jìn)行說明。在這里，圖4 (a)是表示本實(shí)施方式的載置部向水平一側(cè) 方向的動(dòng)作狀態(tài)的俯視圖。具體而言，圖4 (a)相當(dāng)于圖2中的A1-A1 剖面，表示設(shè)置于堆料機(jī)10最頂層的2列貨架15 (第2載置面15a)。
如圖4 (a)所示，從堆料機(jī)10的上表面?zhèn)扔^察時(shí)，第2載置面 15a形成為馬蹄般的U字型，而第1載置面lla形成為填滿該U字型
中央的島狀四角形。由此，第1以及第2載置面lla、 15a具有互補(bǔ)的 平面形狀。FOUP3在這樣的第1以及第2載置面lla以及15a之間進(jìn)
行輸送。
并且，在圖3以及圖4 (a)所示的例子中，從俯視圖觀察時(shí)，第 l載置面lla位于第2載置面15a的內(nèi)側(cè)，其外徑較小。然而，也可以 相反地將兩者構(gòu)成為使第l載置面lla位于第2載置面15a的外側(cè)且外 徑變得較大。此時(shí)，作為圖4 (a)所示的第1以及第2載置面的形狀 的變形例，如圖4 (b)所示，例如從堆料機(jī)30的上方側(cè)觀察時(shí)，第l 載置面3a形成為如馬蹄狀的U字型，而第2載置面35a形成為填滿該 U字型中央的島狀四角形。如此，若將向上下左右移動(dòng)的第1載置面 31a變大，則可增加將FOUP3載置于載置部31的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)時(shí)的安 定性，有利于防止FOUP3落下或是偏離。
(保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)動(dòng)作)
接著，參照?qǐng)D2至圖4對(duì)本實(shí)施方式的保管庫(kù)內(nèi)的貨品的輸送、 即保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)的動(dòng)作進(jìn)行說明。
在圖2及圖4中，將通過搬運(yùn)車2進(jìn)行入庫(kù)、且載置在區(qū)域P1的 第2載置面15a的FOUP3，向位于同階段的另一個(gè)第2載置面15a(在 圖2及圖4中，用區(qū)域P2表示)輸送。此時(shí)，首先，已完成將FOUP3 向區(qū)域P3的第2載置面15a的輸送的載置部ll(圖2中以虛線表示)， 移動(dòng)至區(qū)域Pl的第2載置面15a的正下方。此時(shí)，載置部11通過水 平驅(qū)動(dòng)部13移動(dòng)至水平導(dǎo)向器17的約莫中央后，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部14 沿著鉛直導(dǎo)向器18移動(dòng)至規(guī)定的鉛直位置。該規(guī)定的鉛直位置，位于 區(qū)域Pl的第2載置面15a的下方。之后，位于規(guī)定的鉛直位置的載置 部11通過水平驅(qū)動(dòng)部13沿著水平導(dǎo)向器17移動(dòng)至規(guī)定的水平位置(在 圖2中用實(shí)線表示)。如圖3 (a)所示，該規(guī)定的水平位置是在FOUP3 的凹部6的鉛直下方存在載置部11的凸部12的位置。
被移動(dòng)至規(guī)定的鉛直位置且水平位置的載置部11，通過鉛直驅(qū)動(dòng)
部12上升。通過該上升，第1載置面lla通過第2載置部15a的中央， 如圖3 (b)所示，高于第2載置面15a。此時(shí)，在區(qū)域P1的凹部5以 及凸部16的扣合分開，以第1載置面lla代替第2載置面15a支撐 FOUP3，且通過載置部11的凸部12以及FOUP3的凹部6的相互扣合， 將FOUP3從第2載置面15a向第1載置面lla輸送。
輸送FOUP3的載置部11，移動(dòng)至區(qū)域P2的第2載置面15a的正 上方。此時(shí)，載置部11通過水平驅(qū)動(dòng)部13移動(dòng)至水平一側(cè)方向上規(guī) 定的水平位置。該規(guī)定水平位置為在區(qū)域P2的第2載置面15a的凸部 16鉛直上方向上存在FOUP3的凹部5的位置。移動(dòng)至規(guī)定水平位置的 載置部ll，通過鉛直驅(qū)動(dòng)部14下降。通過這個(gè)下降，第l載置面lla 通過區(qū)域P2的第2載置面15a的中央，如圖3 (a)所示，較第2載置 面15a為低。此時(shí)，在區(qū)域P2的凸部12以及凹部6的扣合分開，以 第2載置面15a代替第1載置面lla支撐FOUP3，且通過FOUP3的凹 部5以及第2載置面15a的凸部16相互扣合，將FOUP3從第1載置 面lla，向區(qū)域P2的第2載置面15a輸送。由此，將FOUP3從設(shè)定為 庫(kù)口的區(qū)域P1向區(qū)域P2的輸送動(dòng)作結(jié)束。此外，若將該輸送工序以 相反順序進(jìn)行，即成為從區(qū)域P2向區(qū)域P1的輸送動(dòng)作。由此，通過 上述庫(kù)口進(jìn)行的輸送動(dòng)作，還是FOUP3在搬運(yùn)車2以及堆料機(jī)10之 間的出入庫(kù)動(dòng)作。
如此，根據(jù)本實(shí)施方式的堆料機(jī)10，在鉛直方向及水平一側(cè)方向 具有廣度，且在厚度方向，包括有1個(gè)FOUP3的厚度加上水平驅(qū)動(dòng)部 13以及鉛直驅(qū)動(dòng)部14所需的空間，其結(jié)構(gòu)極薄。因此，即使在沿著軌 道1的較小間隙，也可以進(jìn)行配置。并且，在進(jìn)行庫(kù)口以及搬運(yùn)車2 之間出入庫(kù)時(shí)，并不需沿著雙軸方向移動(dòng)的載置部11，因此其不會(huì)妨 礙該出入庫(kù)作業(yè)，可通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)有效地進(jìn)行FOUP3的出入庫(kù)、或 有效地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
并且，在本實(shí)施方式中，堆料機(jī)10配置為，載置部ll移動(dòng)的水 平一側(cè)方向的方位相對(duì)于軌道1的方位以直角相交，也可以配置為水 平一側(cè)方向的方位與軌道1的方位平行。
(第2實(shí)施方式)
接著，參照?qǐng)D5對(duì)作為本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第1實(shí)施方式的
保管庫(kù)的變形例進(jìn)行說明。在這里，圖5表示具有第2實(shí)施方式的保
管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀，其為與圖1同一目的的透視圖，具體而言，
在圖5所示的保管庫(kù)中，分別設(shè)定了出庫(kù)用庫(kù)口及入庫(kù)用庫(kù)口，且配 置為使載置部移動(dòng)的水平一側(cè)方向與軌道平行。并且，在圖5所示的 搬運(yùn)系統(tǒng)中，關(guān)于與圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100結(jié)構(gòu)相同的要素，以同 一標(biāo)號(hào)標(biāo)示，省略其說明。
特別是第2實(shí)施方式為本發(fā)明的"第l保管庫(kù)"的實(shí)施方式。
在圖5中，搬運(yùn)系統(tǒng)200具有軌道1、搬運(yùn)車2、以及堆料機(jī)40。 搬運(yùn)系統(tǒng)200與圖l所示的搬運(yùn)系統(tǒng)IOO相同，驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)車2，在軌道 1上進(jìn)行FOUP3的搬運(yùn)。搬運(yùn)車2在軌道上進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)，向移動(dòng)方向 D3移動(dòng)。
堆料機(jī)40，具有與第1實(shí)施方式相同的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置(參照?qǐng)D 2至圖5)，以及多個(gè)貨架15。在多個(gè)貨架15中，位于最頂層的2個(gè)貨 架15 (第2載置面15a)，作為出庫(kù)用及入庫(kù)用的庫(kù)口。在最頂層的2 個(gè)貨架15a中，設(shè)定為入庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a，位于移動(dòng)方向 D3的上游側(cè)，而設(shè)定為出庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a，位于移動(dòng)方向 D3的下游側(cè)。在所述第2載置面15a的上方及側(cè)方相對(duì)的堆料機(jī)主體 40，開放以使FOUP3進(jìn)行出入庫(kù)。
堆料機(jī)40中，設(shè)定為出庫(kù)及入庫(kù)用庫(kù)口的2個(gè)第2載置面15a， 配置在軌道l下方且沿著軌道l。并且，該2個(gè)第2載置面15a所排列
的方位(換言之，將2個(gè)第2載置面15a設(shè)置為載置部移動(dòng)的水平一側(cè) 方向的方位)，配置為平行于軌道l的方位。
(使用出庫(kù)用及入庫(kù)用庫(kù)口進(jìn)行的出入庫(kù)動(dòng)作) 接著，對(duì)本實(shí)施方式的保管庫(kù)與搬運(yùn)車之間的出入庫(kù)動(dòng)作進(jìn)行說明。
在圖5中，在保管庫(kù)40中，第lFOUP3a的入庫(kù)以及與該第 lFOUP3a不同的第2FOUP3B的出庫(kù)，在l臺(tái)搬運(yùn)車2之間連續(xù)進(jìn)行。 此時(shí)，首先，保持第lFOUP3a的搬運(yùn)車2，從移動(dòng)方向D3的上游側(cè)到 達(dá)堆料機(jī)40。如此一來，搬運(yùn)車2停止在設(shè)定為入庫(kù)用庫(kù)口的第2載 置面15a的正上方，且保持著第lFOUP3a的起重機(jī)2a移動(dòng)至規(guī)定的鉛 直位置時(shí)，第lFOUP3a從該起重機(jī)2a放下，載置在入庫(kù)用庫(kù)口(設(shè)定 為入庫(kù)用庫(kù)口的貨架15的第2載置面15a)上。通過該載置，第lFOUP3a 向堆料機(jī)40入庫(kù)。在剛進(jìn)行該入庫(kù)之后、或在后述的第2FOUP3b出 庫(kù)之后，與第1實(shí)施方式的堆料機(jī)10相同，開始進(jìn)行已入庫(kù)的第 lFOUP3a的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。
接著，如圖5所示，放下第lFOUP3a的搬運(yùn)車2，向移動(dòng)方向D3 移動(dòng)。搬運(yùn)車2停止在設(shè)定為出庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a的正上方， 且當(dāng)起重機(jī)2a移動(dòng)至規(guī)定的鉛直位置時(shí)，第2FOUP3b由此起重機(jī)2a 進(jìn)行保持。通過該保持，第2FOUP3b進(jìn)行出庫(kù)。在剛進(jìn)行出庫(kù)之前、 或搬運(yùn)車到達(dá)出庫(kù)用庫(kù)口之前，與第1實(shí)施方式的堆料機(jī)10相同，進(jìn) 行預(yù)定出庫(kù)的第2FOUP3b的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。出庫(kù)之后，保持第 2FOUPEb的搬運(yùn)車2向移動(dòng)方向D3移動(dòng)。由此， 一連串的出入動(dòng)作結(jié)束。
如此，根據(jù)第2實(shí)施方式的堆料機(jī)40，因?yàn)槌鰩?kù)及入庫(kù)用的庫(kù)口 分別設(shè)置，剛從搬運(yùn)車2將第lFOUP3a向入庫(kù)用庫(kù)口進(jìn)行入庫(kù)之后， 第2FOUP3b從出庫(kù)用庫(kù)口向成為空載狀態(tài)的搬運(yùn)車2出庫(kù)，因而出入
庫(kù)的效率大幅提高。此外，當(dāng)工廠內(nèi)的墻壁造成阻礙，無法設(shè)置一般 的堆料機(jī)時(shí)，堆料機(jī)40配置為使載置部移動(dòng)的水平一側(cè)方向的方位與 軌道1的方位平行，因此只要軌道離開墻壁的距離為構(gòu)成得較薄的堆 料機(jī)的厚度方向的厚度，即能夠沒有問題地配置堆料機(jī)。
接著，參照?qǐng)D6對(duì)保管庫(kù)的配置進(jìn)行說明。在這里，圖6是表示 第1實(shí)施方式的保管庫(kù)的實(shí)用上配置狀態(tài)的俯視圖。
如圖6所示，保管庫(kù)例如半導(dǎo)體制造工廠等工廠內(nèi)，配置在沿著
軌道設(shè)置的制造裝置等的裝置之間的間隙。堆料機(jī)10的厚度方向尺寸， 設(shè)計(jì)為對(duì)應(yīng)于制造裝置9之間的間隙。在制造裝置9之間，設(shè)有維修 用的空間Sl。通過將堆料機(jī)IO插入在該空間Sl，以有效利用被稱作 除了進(jìn)行維修時(shí)為多余空間的空間Sl。多個(gè)制造裝置9以及配置在這 些制造裝置9之間的堆料機(jī)10，配置為載置部移動(dòng)的水平一側(cè)方向相 對(duì)于軌道1以直角相交。
并且，在第2實(shí)施方式，出庫(kù)用以及入庫(kù)用的2個(gè)庫(kù)口配置在1 條軌道l的下方，但這些2個(gè)庫(kù)口也可以配置在2個(gè)軌道的下方。
(第3實(shí)施方式)
接著，參照?qǐng)D7對(duì)作為本發(fā)明的第3實(shí)施方式的第2實(shí)施方式的 保管庫(kù)的變形例進(jìn)行說明。在這里，圖7是表示第3實(shí)施方式的搬運(yùn) 系統(tǒng)的軌道的俯視圖，具體而言，表示通向第2實(shí)施方式的保管庫(kù)具 有的2個(gè)庫(kù)口的軌道。并且，在圖7所示的搬運(yùn)系統(tǒng)中，關(guān)于與圖5 所示的搬運(yùn)系統(tǒng)200結(jié)構(gòu)相同的要素，以同一標(biāo)號(hào)標(biāo)示，省略其說明。
特別是第3實(shí)施方式為本發(fā)明的"第2保管庫(kù)"的實(shí)施方式。
在圖7中，搬運(yùn)系統(tǒng)300具有軌道1、搬運(yùn)車2、以及堆料機(jī)40。 搬運(yùn)系統(tǒng)300通過未圖示的控制器，控制搬運(yùn)車2以及堆料機(jī)40，在
軌道1上進(jìn)行FOUP3的搬運(yùn)。
軌道1在堆料機(jī)40的上游側(cè)(在圖7中為分支點(diǎn)Pl)分支，在 分支點(diǎn)Pl的下游側(cè)，由第1以及第2分支軌道la、 lb構(gòu)成。第1分 支軌道la為用于將第lFOUP3a向堆料機(jī)40入庫(kù)的軌道，第2分支軌 道lb為用于將第2FOUP3b從堆料機(jī)40出庫(kù)的軌道。
搬運(yùn)車2由入庫(kù)用的搬運(yùn)車2a以及出庫(kù)用的搬運(yùn)車2b構(gòu)成。入 庫(kù)用搬運(yùn)車2a，在分支點(diǎn)P1之后，沿著第1分支軌道la移動(dòng)，從堆 料機(jī)40的上游側(cè)將第lFOUP3a搬運(yùn)至其入庫(kù)用庫(kù)口。入庫(kù)用搬運(yùn)車 2b，在分支點(diǎn)P1之后，沿著第2分支軌道lb移動(dòng)，從堆料機(jī)40的出 庫(kù)用庫(kù)口將第2FOUP3b搬運(yùn)至其下游側(cè)。
關(guān)于堆料機(jī)40，位于最頂層的2個(gè)第2載置面15a，作為出庫(kù)以 及入庫(kù)用的庫(kù)口。設(shè)定為入庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a，位于第1分支 軌道la的下方，設(shè)置為出庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a，位于第2分支 軌道lb的下方。此外，2個(gè)第2載置面15，可不分別作為出庫(kù)用庫(kù)口 以及入庫(kù)用庫(kù)口，而是作為出入庫(kù)用庫(kù)口而發(fā)揮相同的作用。
(以2條軌道對(duì)應(yīng)2個(gè)庫(kù)口的搬運(yùn)系統(tǒng)的出入庫(kù)動(dòng)作) 接著，對(duì)第3實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)的出入庫(kù)動(dòng)作進(jìn)行說明。
在圖7中，在搬運(yùn)系統(tǒng)300中，使用對(duì)應(yīng)2個(gè)庫(kù)口的2條軌道la、 lb，同時(shí)進(jìn)行出入庫(kù)。此時(shí)，首先，當(dāng)搬運(yùn)車2到達(dá)分支點(diǎn)P1時(shí)，搬 運(yùn)車2的分支點(diǎn)Pl之后的移動(dòng)路徑受到控制。當(dāng)搬運(yùn)車2為入庫(kù)用搬 運(yùn)車2a時(shí)，入庫(kù)用搬運(yùn)車2a沿著第1分支軌道la移動(dòng)，到達(dá)堆料機(jī) 40。由此，入庫(kù)用搬運(yùn)車2a停止在設(shè)定為入庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a 的正上方，且由入庫(kù)搬運(yùn)車2a保持的第lFOUP3a，載置在入庫(kù)用庫(kù)口 上。通過該載置，第lFOUP3a向堆料機(jī)40入庫(kù)。其后，入庫(kù)用搬運(yùn) 車2a向第1分支軌道la的下游側(cè)移動(dòng)。
另一方面，當(dāng)搬運(yùn)車2為入庫(kù)用搬運(yùn)車2b時(shí)，出庫(kù)用搬運(yùn)車2b 沿著第2分支軌道lb移動(dòng)，到達(dá)堆料機(jī)40。由此，出庫(kù)用搬運(yùn)車2b 停止在設(shè)定為出庫(kù)用庫(kù)口的第2載置面15a的正上方，且保持載置在出 庫(kù)用庫(kù)口上的第2FOUP3b。通過該保持，第2FOUP3b向出庫(kù)用搬運(yùn)車 2b出庫(kù)。其后，出庫(kù)用搬運(yùn)車2b向第2分支軌道lb的下游側(cè)移動(dòng)。
如此，根據(jù)第3實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)，堆料機(jī)40的最頂層具有2 個(gè)庫(kù)口，同時(shí)多個(gè)搬運(yùn)車2沿著對(duì)應(yīng)這些2個(gè)庫(kù)口的2條軌道la、 lb 移動(dòng)，因而入庫(kù)作業(yè)以及出庫(kù)作業(yè)可同時(shí)進(jìn)行，輸送效率得到顯著提 高。
此外，圖6所示的堆料機(jī)10，雖以單體配置，但也可以根據(jù)制造 裝置之間的間隙，配置由多個(gè)堆料機(jī)組成的堆料機(jī)組。
(第4實(shí)施方式)
接著，參照?qǐng)D8對(duì)作為本發(fā)明的第4實(shí)施方式的由多個(gè)第1實(shí)施 方式的保管庫(kù)組合的保管庫(kù)組進(jìn)行說明。在這里，圖8表示具有本實(shí) 施方式的保管庫(kù)組的搬運(yùn)系統(tǒng)的外觀，其為與圖1同一目的的透視圖。 并且，在圖8所示的搬運(yùn)系統(tǒng)中，關(guān)于與圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100結(jié) 構(gòu)相同的要素，以同一標(biāo)號(hào)標(biāo)示，省略其說明。
特別是第4實(shí)施方式為本發(fā)明的"保管庫(kù)組"的實(shí)施方式。
在圖8中，搬運(yùn)系統(tǒng)500具有軌道1、搬運(yùn)車2、以及多個(gè)堆料機(jī) 組10x。搬運(yùn)系統(tǒng)500與圖l所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100相同，通過未圖示的 控制器，驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)車2，在軌道1上進(jìn)行FOUP3的搬運(yùn)。
堆料機(jī)組10x，由6個(gè)堆料機(jī)10構(gòu)成。各個(gè)堆料機(jī)10與圖1所示 的堆料機(jī)10相同，具有包括未圖示的載置部的保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置19
以及多個(gè)貨架15。保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)裝置19，通過驅(qū)動(dòng)單元將載置部向水 平一側(cè)方向及鉛直方向的雙軸方向移動(dòng)，在多個(gè)貨架15之間輸送
FOUP3。位于多個(gè)貨架15中最頂層的貨架15(在圖8中為載置FOUP3 的貨架)，作為出入庫(kù)用庫(kù)口發(fā)揮作用。
構(gòu)成堆料機(jī)組10x的6個(gè)堆料機(jī)10，其出入庫(kù)用庫(kù)口的貨架15， 在軌道1下方，排列成沿著軌道1并排為一列。并且，各個(gè)堆料機(jī)IO， 其載置部11移動(dòng)的水平一側(cè)方向的方位相對(duì)于軌道1的方位以直角相 交。
(保管庫(kù)組的出入庫(kù)動(dòng)作) 在此簡(jiǎn)單對(duì)第4實(shí)施方式的堆料機(jī)組10x以及搬運(yùn)車2之間的出 入庫(kù)動(dòng)作進(jìn)行說明。
在圖8中，當(dāng)堆料機(jī)組10x的6個(gè)堆料機(jī)10各自保管不同的F0UP3 時(shí)，通過搬運(yùn)車2往復(fù)移動(dòng)，能夠在對(duì)應(yīng)堆料機(jī)組10x的軌道1的狹 小空間以及各個(gè)F0UP3的搬運(yùn)地之間，進(jìn)行不同的6種FOUP3的出 入庫(kù)。并且，此時(shí)通過在配置在軌道1上流側(cè)的堆料機(jī)10完成入庫(kù)的 搬運(yùn)車2，能夠?qū)⑴渲迷诘?堆料機(jī)10的下游側(cè)的第2堆料機(jī)10中的 FOUP3進(jìn)行出庫(kù)。并且，當(dāng)多個(gè)搬運(yùn)車2相對(duì)于該堆料機(jī)組10x移動(dòng) 時(shí)，可同時(shí)對(duì)6個(gè)堆料機(jī)10進(jìn)行6種FOUP3的出入庫(kù)作業(yè)。
如此，根據(jù)第2實(shí)施方式，不論在沿著軌道1的較小間隙還是較 大間隙，可適當(dāng)配置調(diào)整了堆料機(jī)10的數(shù)量的堆料機(jī)組10x，且將構(gòu) 成堆料機(jī)組10x的多個(gè)堆料機(jī)排列成沿著軌道1并排為一列。因此， 通過在軌道1上移動(dòng)的搬運(yùn)車2，對(duì)任一庫(kù)口都能進(jìn)行出入庫(kù)作業(yè)，使 得輸送效率顯著提高。
本發(fā)明不只限于上述的實(shí)施方式，也可以在不違反由專利申請(qǐng)范 圍以及說明書整體內(nèi)容記載的發(fā)明主旨或思想的情況下，進(jìn)行適度的
改變，而隨著這些變更的保管庫(kù)，特別是使多個(gè)這種保管庫(kù)組合的保 管庫(kù)組、以及具有這種保管庫(kù)組的帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，也包括在本 發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。例如在上述實(shí)施方式中，以在輸送時(shí)將FOUP 從底側(cè)進(jìn)行支撐的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但也可以采用相對(duì)于該保管 庫(kù)，支撐或保持住設(shè)置在FOUP頂部的凸緣的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1. 一種保管庫(kù)，其特征在于，包括支撐部，能夠支撐貨品；水平驅(qū)動(dòng)部，能夠使所述支撐部沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)；鉛直驅(qū)動(dòng)部，能夠使所述支撐部沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)；以及多個(gè)貨架，其具有載置面，在能通過所述鉛直驅(qū)動(dòng)部使所述支撐部到達(dá)的所述鉛直方向上的多個(gè)階段，在能通過所述水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上各設(shè)置一個(gè)或兩個(gè)以上的貨架，并且分別構(gòu)成為能在所述貨架與所述支撐部之間相互輸送貨品；所述多個(gè)載置面中至少一個(gè)作為所述貨品的出入庫(kù)用庫(kù)口發(fā)揮作用。
2. 如權(quán)利要求l所述的保管庫(kù)，其特征在于，所述支撐部為具有 能從底側(cè)支撐所述貨品的第1載置面的載置部；所述多個(gè)載置面分別為第2載置面，其構(gòu)成為使所述貨品能夠相 互在所述第1載置面與第2載置面與之間輸送。
3. 如權(quán)利要求l或2所述的保管庫(kù)，其特征在于，所述貨架在各 階段分別具有兩個(gè)所述載置面，以使所述支撐部分別向所述水平一側(cè) 方向的兩側(cè)移動(dòng)時(shí)能夠支撐所述貨品。
4. 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于，所述 貨架的所述載置面中位于所述貨架最頂層的至少一個(gè)作為所述庫(kù)口發(fā) 揮作用。
5. 如權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于，所述 第1載置面也作為所述庫(kù)口發(fā)揮作用。
6. 如權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于，當(dāng)所 述載置部向所述一端側(cè)移動(dòng)時(shí)，所述第1載置面及第2載置面從所述 鉛直方向看來相互具有互補(bǔ)的平面形狀。
7. 如權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于， 在所述貨品的底面具有規(guī)定的凹凸；所述第l載置面及第2載置面各自具有能與所述凹凸扣合的凹凸。
8. 如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述保管庫(kù)相對(duì)于所述軌道進(jìn)行配置，以使所述水平一側(cè)方向的方位相對(duì)于搬運(yùn)車搬運(yùn)所述貨品的軌道方位平行。
9. 如權(quán)利要求8所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述保管庫(kù)被配置成使所述貨架位于所述軌道的下方； 所述貨架，在位于所述貨架最頂層而作為所述第2載置面的兩個(gè)中，位于所述軌道的上游側(cè)的一方作為所述入庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作用，并且位于所述軌道的下游側(cè)的另一方作為所述出庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮作用。
10. —種保管庫(kù)，其在與在軌道上搬運(yùn)貨品的搬運(yùn)車之間進(jìn)行所 述貨品的出入庫(kù)，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)單元，能夠?qū)⑺鲐浧费厮揭粋?cè)方向往復(fù)移動(dòng)，且沿鉛直 方向往復(fù)移動(dòng)；以及貨架，在所述鉛直方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng)每個(gè)階段，在所述水 平一側(cè)方向上具有多個(gè)能夠收容或載置由所述驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)的貨品的 貨架部分；所述保管庫(kù)相對(duì)于所述軌道進(jìn)行配置，以使所述水平一側(cè)方向的 方位相對(duì)于所述軌道的方位正交。
11. 如權(quán)利要求IO所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述搬運(yùn)車為頂部移動(dòng)車，其沿鋪設(shè)于頂部的所述軌道移動(dòng)；所述貨架相對(duì)于所述軌道進(jìn)行配置，以使其位于所述軌道的下方。
12. 如權(quán)利要求10或11所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)單元，包括支撐部，能夠支撐所述貨品；水平驅(qū)動(dòng)部，能夠使所述支撐部沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)；以及 鉛直驅(qū)動(dòng)部，能夠使所述支撐部沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)； 所述貨架，作為所述貨架部分具有載置面，所述載置面對(duì)應(yīng)每個(gè) 階段在能通過所述水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上設(shè)有多個(gè)，并且分別 構(gòu)成為能在所述貨架與所述支撐部之間相互輸送所述貨品。
13. 如權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述貨架，使所述貨架部分中至少一個(gè)作為所述出入庫(kù)用的庫(kù)口發(fā)揮 作用。
14. 如權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)，其特征在于， 所述軌道，在所述保管庫(kù)的上游側(cè)分支；所述貨架配置于所述軌道的下方，所述貨架部分中位于所述貨架 最上層的兩個(gè)，相對(duì)于分支后的所述軌道，分別作為所述出入庫(kù)用的 庫(kù)口發(fā)揮作用。
15. —種帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，包括 如權(quán)利要求10至14中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)； 所述軌道；以及所述搬運(yùn)車。
16. —種保管庫(kù)組，由多個(gè)分別與在軌道上搬運(yùn)貨品的搬運(yùn)車之 間進(jìn)行所述貨品的出入庫(kù)的保管庫(kù)組成，其特征在于，所述多個(gè)保管 庫(kù)分別包括驅(qū)動(dòng)單元，能夠?qū)⑺鲐浧费厮揭粋?cè)方向往復(fù)移動(dòng)，且沿鉛直 方向往復(fù)移動(dòng)；以及貨架，在所述鉛直方向上跨越多個(gè)階段對(duì)應(yīng)每個(gè)階段，在所述水 平一側(cè)方向上具有一個(gè)或多個(gè)能夠收容或載置由所述驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)的 貨品的貨架部分；所述多個(gè)保管庫(kù)排列成與所述水平一側(cè)方向一致，且使所述貨品 的所述出入庫(kù)用的庫(kù)口并排為一列。
17. 如權(quán)利要求16所述的保管庫(kù)組，其特征在于，所述保管庫(kù)組 相對(duì)于所述軌道進(jìn)行配置，以使所述一列沿所述軌道并排。
18. 如權(quán)利要求16或17所述的保管庫(kù)組，其特征在于，所述保 管庫(kù)組相對(duì)于所述軌道進(jìn)行配置，以使所述水平一側(cè)方向的方位相對(duì) 于所述軌道的方位正交。
19. 一種帶保管庫(kù)的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 如權(quán)利要求16至18中任一項(xiàng)所述的保管庫(kù)組； 所述軌道；以及 所述搬運(yùn)車。
全文摘要
一種保管庫(kù)，例如在暫時(shí)保管FOUP等貨品的堆料機(jī)等保管庫(kù)中，收容了用于制造半導(dǎo)體元件的各種基板的FOUP，可通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)有效地對(duì)貨品進(jìn)行出入庫(kù)，或有效地進(jìn)行保管庫(kù)內(nèi)搬運(yùn)。保管庫(kù)(10)包括支撐部(11)，能夠支撐貨品(3)；水平驅(qū)動(dòng)部(13)，能夠使支撐部沿水平一側(cè)方向往復(fù)移動(dòng)；鉛直驅(qū)動(dòng)部(14)，能夠使支撐部沿鉛直方向往復(fù)移動(dòng)；以及多個(gè)貨架(15)，其具有載置面，在能通過鉛直驅(qū)動(dòng)部使支撐部到達(dá)的鉛直方向上的多個(gè)階段，在能通過水平驅(qū)動(dòng)部到達(dá)的水平位置上各設(shè)置一個(gè)或兩個(gè)以上的貨架，并且分別構(gòu)成為能在貨架與支撐部之間相互輸送貨品。多個(gè)載置面中至少一個(gè)作為貨品的出入庫(kù)用庫(kù)口而發(fā)揮作用。
文檔編號(hào)B65G1/04GK101386368SQ20081021347
公開日2009年3月18日 申請(qǐng)日期2008年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月6日
發(fā)明者山路孝, 村田正直 申請(qǐng)人:日本阿西斯特技術(shù)株式會(huì)社