專利名稱：排氣吸盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種吸盤。特別涉及一種排氣吸盤，尤其適用于提取、放置及運送片(薄片)狀物體。
背景技術(shù)：
晶體片的生產(chǎn)、處理和使用中，或生產(chǎn)太陽能電池的過程中，都需要取送片子。而且這些晶體片的厚度通常都在0.5mm以下。比如用作太陽能電池的硅片的厚度通常是0.28mm、0.20mm，甚至是0.09mm。對于這么薄的硅片，而且硅片本身又是粹質(zhì)，在取送過程中非常容易破碎。在先技術(shù)中，取送這些硅片通常使用真空吸盤，(或稱排氣吸盤)。所述的真空吸盤是在吸盤上設(shè)有吸頭(或稱吸氣頭)，通過真氣泵的排氣，使吸頭內(nèi)的空氣排出、形成低氣壓后而吸住晶體片。有的是一個吸頭，有的為了加強吸力的強度和均勻性，設(shè)有四個吸頭。還有的在吸盤上刻有直線凹槽，或螺旋形凹槽。在凹槽內(nèi)均勻分布有多個吸氣孔(或稱排氣孔)。所述的帶有吸頭的吸盤其吸頭高出吸盤表面，帶有凹槽內(nèi)吸氣孔的吸盤其吸氣孔是凹陷的。總之吸盤的表面不是平面，不光滑。這種吸盤在取送薄的晶體片時，經(jīng)常會使片子變形，甚至破損。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是為了克服上述在先技術(shù)中的缺陷，提供一種排氣吸盤。取送大而薄，質(zhì)粹容易碎損的片體時，片體平貼在吸附表面上，不僅吸附力強而均勻，同時不容易使片體變形和破損。
本實用新型為了達到上述的目的，所采取的技術(shù)方案是它包括分布有排氣孔的吸附表面是光滑平面的吸盤，與吸盤上排氣孔相連通的帶有氣閥的連接到真空泵上的排氣管道。
如上述本實用新型的結(jié)構(gòu)，當(dāng)用本實用新型的吸盤取送片體時，被吸附的片體是平貼在吸附表面上。因為，吸附表面是光滑的平面，沒有凹凸不平的突起或棱角，因此，平貼在吸附表面的片體不會變形，而且吸附力強而均勻，對片體不會有損傷。


圖1是本實用新型排氣吸盤的一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型排氣吸盤的另一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例進一步說明本實用新型排氣吸盤的結(jié)構(gòu)。
圖1是本實用新型排氣吸盤的一個實施例的結(jié)構(gòu)。如圖1所示。本實用新型的排氣吸盤包括吸盤1，均勻分布在吸盤1上的排氣孔102，吸盤1上的光滑平面的吸附表面101，連接到真空泵7上的帶有氣閥6的排氣管道5；為了各個排氣孔102的排氣強度和速度均勻，還包括與排氣管道5相連通的均勻分布的排氣支管4和位于排氣支管4與分布在吸盤1上的排氣孔102之間的真空腔2。
如圖1的結(jié)構(gòu)，當(dāng)取送片體時，將吸盤1的吸附表面101貼在片體上，起動真空泵7，打開氣閥6，真空泵7通過排氣管道5和均勻分布的排氣支管4均勻地排出真空腔2內(nèi)的氣體，同時與真空腔2相連通的各個排氣孔102內(nèi)的氣體也同時均勻地被排出。至此使片體被牢牢的吸附在吸盤1的吸附表面101上。這時被吸附的片體就可以隨著吸盤被隨意地拿來拿去。
圖2是本實用新型排氣吸盤的另一個實施例的結(jié)構(gòu)。如圖2所示。吸盤1是由吸附表面101平滑的多孔陶瓷103構(gòu)成的吸盤，或者吸盤1是由吸附表面101平滑的內(nèi)部為蜂窩狀結(jié)構(gòu)的材料103所構(gòu)成的吸盤。
為了使吸附表面101上各部分的排氣速度和吸附力均勻，位于吸盤1與排氣管道5之間有一真空腔2。當(dāng)起動真空泵7，打開氣閥6，通過排氣管道5，將真空腔2內(nèi)的氣體排出，存留在多孔陶瓷內(nèi)部孔里的氣體，或者存留在蜂窩狀結(jié)構(gòu)內(nèi)部里的氣體也隨之被排出。形成吸附表面內(nèi)外的壓差，從而使片體被吸附在吸盤上。片體被均勻的吸附力吸附在這平滑的吸附表面上不會變形，不會被損傷。
權(quán)利要求1.一種排氣吸盤，包括吸盤，分布在吸盤上的排氣孔，與排氣孔連通的帶有氣閥的連接到真空泵上的排氣管道，其特征在于分布有排氣孔的吸盤的吸附表面是光滑的平面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣吸盤，其特征在于所述的分布有排氣孔的吸盤是吸附表面為光滑平面和均勻分布有排氣孔的吸盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣吸盤，其特征在于還包括與排氣管道相連通的均勻分布的排氣支管，位于排氣支管與分布在吸盤上的排氣孔之間的真空腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣吸盤，其特征在于所述的分布有排氣孔的吸盤是由吸附表面為光滑平面的多孔陶瓷構(gòu)成的吸盤，或者是由吸附表面為光滑平面的內(nèi)部為蜂窩狀結(jié)構(gòu)的材料所構(gòu)成的吸盤。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的排氣吸盤，其特征在于包括位于排氣管道與多孔陶瓷構(gòu)成的吸盤之間，或與內(nèi)部為蜂窩狀結(jié)構(gòu)的材料所構(gòu)成的吸盤之間的真空腔。
專利摘要一種排氣吸盤，包括吸附表面是光滑平面的分布有排氣孔的吸盤，與排氣孔連通的帶有氣閥的連接到真空泵上的排氣管道。特別適用于提取、置放和運送薄片狀物體。在取送片體時，被吸附的片體平貼在吸盤的吸附表面上，因為吸附表面為光滑平面，所以片體不會變形，而且吸附力強而均勻，對片體無損傷。
文檔編號B65G47/91GK2892771SQ20052004817
公開日2007年4月25日 申請日期2005年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月29日
發(fā)明者袁建中 申請人:袁建中