專利名稱：板狀物輸送裝置及間隙限制部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及保持并輸送板狀物的板狀物輸送裝置以及安裝在板狀物輸送裝置上的間隙限制部件。
背景技術(shù)：
在加工板狀物的過程中，從一個工序向另一個工序移動時，或在一個工序的中途，需要保持、輸送板狀物。并且輸送例如半導體晶片那樣薄的板狀物的板狀物輸送裝置中，為了在保持時緩和對板狀物的撞擊、防止損傷，使用緩沖部件(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。
專利文獻1特開平8-55896號公報(第3頁、第2圖)專利文獻2特開2000-106390號公報(第5頁、第3圖)例如專利文獻1中的構(gòu)成是，由于軸部外徑形成為比安裝孔的內(nèi)徑要小，軸部轉(zhuǎn)動配合在安裝孔內(nèi)，軸部的外周與安裝孔的內(nèi)周之間形成間隙。由于這樣的構(gòu)成，隨著緩沖部件的伸縮，軸部可以上下運動，緩和了對半導體晶片的撞擊，防止半導體晶片的損傷。
但是，由于構(gòu)成專利文獻1的吸附部的多孔部件通常是由多孔陶瓷形成，覆蓋多孔部件的部分是由陶瓷形成，兩者通過燒結(jié)一體成型，由于陶瓷的熱收縮，軸部與吸附部不能達到所希望的位置關(guān)系，有時產(chǎn)生錯位。
如果產(chǎn)生這樣的錯位，軸部的上下運動不能圓滑地進行，緩沖部件不能發(fā)揮其本來的作用，因此具有可能損傷半導體晶片的問題。
為了可以對應(yīng)這樣的錯位，一方面也可以更大地形成安裝孔的內(nèi)徑，這種情況下，由于軸部與安裝孔之間產(chǎn)生晃蕩，不能將半導體晶片保持在吸附部的規(guī)定位置上，發(fā)生不能輸送到恰當位置的問題。
因此具有以下課題，即使軸部與吸附部產(chǎn)生錯位，通過確保軸部圓滑的上下運動，發(fā)揮緩沖部件本來的作用，來防止板狀物的損傷。

發(fā)明內(nèi)容
作為解決上述課題的具體手段，本發(fā)明提供一種板狀物輸送裝置，至少具有吸附墊、和以垂吊的狀態(tài)支撐該吸附墊的吸附墊支撐機構(gòu)、及與該吸附墊支撐機構(gòu)連接的輸送臂，吸附墊是由具有吸引、保持板狀物的吸附面的吸附板和覆蓋該吸附板的吸附面以外的部位的板罩構(gòu)成，其特征在于，該板罩上形成有螺絲孔，該吸附墊支撐機構(gòu)由以下部件構(gòu)成形成有對應(yīng)于該螺絲孔的螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的螺栓支撐部，轉(zhuǎn)動配合在該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔內(nèi)、以垂吊的狀態(tài)被支撐、與該螺絲孔擰合的螺栓，轉(zhuǎn)動配合在該螺栓的外周，向使該板罩和該螺栓支撐部反向分離的方向賦予勢能的壓縮彈簧，存在于該壓縮彈簧和該螺栓支撐部之間、通過該壓縮彈簧賦予的勢能向該螺栓支撐部擠壓，限制該螺栓與該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的內(nèi)周面之間的間隙的間隙限制部件；該間隙限制部件由以下構(gòu)成可以滑動地圍繞該螺栓外周的滑動筒部，從該滑動筒部一方的內(nèi)周端部到外周端部形成套筒狀、該內(nèi)周端部進入到該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓之間，抑制該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓晃蕩的錐形部，從該滑動筒部另一方的內(nèi)周端部到該錐形部的下部、與該壓縮彈簧的端部接觸、被擠壓的被擠壓部。
并且該板狀物輸送裝置作為附加的必要條件，吸附板由多孔陶瓷形成，板罩由陶瓷形成，板罩上形成有嵌合凹部，該嵌合凹部嵌合有形成著螺絲孔的螺母，通過粘合劑螺母被固定在該嵌合凹部上，構(gòu)成吸附墊；間隙限制部件是由四氟乙烯樹脂形成的。
另外本發(fā)明提供一種間隙限制部件，限制螺栓與使該螺栓轉(zhuǎn)動配合的螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的內(nèi)周面之間的間隙，其特征在于，由以下構(gòu)成可以滑動地圍繞該螺栓外周的滑動筒部，從該滑動筒部一方的內(nèi)周端部到外周端部形成套筒狀、該內(nèi)周端部進入到該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓之間，抑制該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓晃蕩的錐形部，從該滑動筒部另一方的內(nèi)周端部到該錐形部的下部、與該壓縮彈簧的端部接觸、被擠壓的被擠壓部。
根據(jù)這樣構(gòu)成的板狀物輸送裝置及間隙限制部件，即使螺絲孔錯位的情況下，通過間隙限制部件的作用，可以不產(chǎn)生螺栓與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的晃蕩，并且確保螺栓與間隙限制部件的滑動，可以使存在于吸附墊和螺栓支撐部之間的壓縮彈簧作為緩沖部件發(fā)揮作用。


圖1是表示本發(fā)明的板狀物輸送裝置的一例的分解立體圖。
圖2是表示同板狀物輸送裝置的立體圖。
圖3是表示吸附墊的構(gòu)成的分解立體圖。
圖4是表示同吸附墊的剖面圖。
圖5是表示吸附墊的支撐狀態(tài)的剖面圖。
圖6是表示本發(fā)明的間隙限制部件的一例的立體圖。
圖7是表示裝載本發(fā)明的板狀物輸送裝置的磨削裝置的一例的立體圖。
具體實施例方式
作為本發(fā)明實施方式的一例，就圖1所示的板狀物輸送裝置10進行說明。并且，對與現(xiàn)有的例子相同構(gòu)成的部位使用相同的符號進行說明。
如圖1及圖2所示，板狀物輸送裝置10的構(gòu)成是，吸附墊11與輸送臂13通過螺栓18連接。如圖1所示，螺栓18的外周側(cè)上，間隙限制部件21滑動連接的同時，壓縮彈簧22轉(zhuǎn)動配合。
在輸送臂13的頂端部上形成有螺栓支撐部20，在螺栓支撐部20上，至少形成三個貫通垂直方向、轉(zhuǎn)動配合著螺栓的螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19。
如圖3所示，吸附墊11由吸附板14和板罩15組成，該吸附板14具有吸引、保持由多孔質(zhì)的多孔陶瓷形成的板狀物的吸附面，該板罩15是以覆蓋的狀態(tài)支撐由陶瓷形成的吸附板14的吸附面以外的部位。
在板罩15的上面形成有3個凹部16，凹部16上埋入形成有螺絲孔17a的螺母17，通過粘合劑被固定。另外，板罩15的中心部上，形成有連通吸引源的吸引通道15a，如圖4所示，吸引通道18連通吸附板14，通過如圖2所示的軟管15b連通的吸引源向吸附板14供給吸引力。
如圖5所示，螺栓18的軸部18a轉(zhuǎn)動配合在螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19上，螺栓18通過螺栓支撐部20被以垂吊的狀態(tài)支撐。另外，在螺栓18的頂端部形成的公螺紋18b與被埋入凹部16的螺母17的螺絲孔擰合。
螺栓18的軸部18a與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的內(nèi)周面之間形成有間隙，間隙限制部件21存在于該間隙上。另外，螺栓支撐部20與吸附墊11之間，壓縮彈簧22在螺栓18的外周側(cè)轉(zhuǎn)動配合。該壓縮彈簧22向使板罩15和螺栓支撐部20反向分離的方向賦予勢能。
間隙限制部件21是由低摩擦系數(shù)的部件、例如由作為四氟乙烯樹脂的特氟隆(テフロン注冊商標)構(gòu)成，圖示的例子中，剖面形成大致三角形狀，如圖6所示，其構(gòu)成是由可以滑動地圍繞螺栓18外周的滑動筒部23，及從一方的內(nèi)周端部23a到外周端部24a形成套筒狀的錐形部24，及從另一方的內(nèi)周端部23b到錐形部24的下部、與壓縮彈簧22的端部接觸、被壓縮彈簧22的勢能向上方擠壓的被擠壓部25構(gòu)成，如圖5所示，錐形部24，其內(nèi)周端部23a進入到螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的內(nèi)周面和螺栓18的軸部18a之間，抑制螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19和螺栓18的晃蕩。
這樣，通過螺栓支撐部20，螺栓18被以垂吊的狀態(tài)支撐，通過螺栓18的公螺紋部18b與螺母17的螺絲孔擰合，吸附墊11被支撐，由螺栓18、螺栓支撐部20、壓縮彈簧22和間隙限制部件21構(gòu)成了吸附墊支撐機構(gòu)12。吸附墊支撐機構(gòu)12與輸送臂13連接。
吸附板14與板罩15通過燒結(jié)一體成型，如果凹部16的水平方向的位置上產(chǎn)生錯位，隨之螺母17的螺絲孔與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的垂直方向的位置上產(chǎn)生錯位，因此螺栓18處于被垂吊在偏離螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的位置的狀態(tài)。
但是，即使由于螺母17的螺絲孔與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的垂直方向的錯位，螺栓18有一些偏移的情況下，由于間隙限制部件21在錐形部24與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的內(nèi)周面相接，間隙限制部件21也跟著偏移，可以確保螺栓18和滑動筒部23的圓滑的滑動。
另外，由于被擠壓部25被壓縮彈簧22推向上方，如上所述，即使螺栓18偏移的情況下，可以確保被擠壓部25與壓縮彈簧22的接觸，吸附墊11與螺栓支撐部20之間，向相互分離的方向上產(chǎn)生力的作用。因此，這種情況下也可以確保壓縮彈簧22作為緩沖部件的功能，可以防止半導體晶片的損傷。
并且，由于壓縮彈簧22，間隙限制部件21被上推，因此間隙限制部件21上，由于要向螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的中心移動的力起作用，螺栓18和滑動筒部23一面維持可以滑動的狀態(tài)，螺栓18一面趨向螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19的中心，并且吸附墊11對螺栓支撐部20不晃蕩。
如上所述構(gòu)成的板狀物輸送裝置10可以裝載到例如圖7所示的磨削裝置30等上，或單獨使用。
磨削裝置30是磨削半導體晶片等板狀物面的裝置，準備磨削的板狀物，例如半導體晶片被裝入盒子31，通過搬出入機構(gòu)32搬出到臨時放置臺33上后，被其附近設(shè)置的第一板狀物輸送裝置10吸附，輸送到被轉(zhuǎn)動臺34可旋轉(zhuǎn)地支撐的吸盤35上。
在吸附放置在臨時放置臺33上的半導體晶片時和將吸附后的半導體晶片放置在吸盤35上時，通過輸送臂13的水平方向的轉(zhuǎn)動和吸附墊11的下降，如圖1～圖5所示的吸附板14與半導體晶片接觸。此時，通過壓縮彈簧22撞擊被緩和，并且即使螺母17的螺絲孔與螺栓18的位置錯位，由于間隙限制部件21的作用，螺栓18與滑動筒部23的滑動圓滑地進行，壓縮彈簧22作為緩沖部件發(fā)揮作用，因此可以防止半導體晶片的損傷。
保持在吸盤35上的半導體晶片，通過轉(zhuǎn)動臺34的旋轉(zhuǎn)，依次被定位在第一磨削機構(gòu)36和第二磨削機構(gòu)37的正下方，被構(gòu)成各個磨削機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)磨削砂輪38、39磨削、達到所希望的厚度后，通過轉(zhuǎn)動臺34的旋轉(zhuǎn)，被定位在第二板狀物輸送裝置1 0的附近。
并且，通過輸送臂13的水平方向的轉(zhuǎn)動和吸附墊11的下降，如圖1～圖5所示的吸附板14與保持在吸盤35上的磨削后的半導體晶片接觸、吸附，此時，通過壓縮彈簧22撞擊也被緩和，并且即使螺母17與螺栓18的位置錯位，由于間隙限制部件21的作用，螺栓18與滑動筒部23的滑動圓滑地進行，壓縮彈簧22作為緩沖部件發(fā)揮作用，因此可以防止半導體晶片的損傷。
接下來，輸送臂13通過旋轉(zhuǎn)，將半導體晶片W輸送到?jīng)_洗機構(gòu)40，放置在保持臺41上。此時與上述相同地進行，通過壓縮彈簧22撞擊也被緩和，并且即使螺母17與螺栓18的位置錯位，由于間隙限制部件21的作用，螺栓18與滑動筒部23的滑動圓滑地進行，壓縮彈簧22作為緩沖部件發(fā)揮作用，因此可以防止半導體晶片的損傷。
最后，在沖洗機構(gòu)40被沖洗的半導體晶片W通過搬出入機構(gòu)21放入盒子42。
如以上所說明的，本發(fā)明的板狀物輸送裝置及間隙限制部件是，即使螺絲孔的位置錯位，通過間隙限制部件的作用，可以消除螺栓與螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的晃蕩，并且確保螺栓與間隙限制部件的滑動，使吸附墊與螺栓支撐部之間存在的壓縮彈簧起到緩沖部件的作用，因此可以防止半導體晶片的損傷。
權(quán)利要求
1.一種板狀物輸送裝置，至少具有吸附墊、和以垂吊的狀態(tài)支撐該吸附墊的吸附墊支撐機構(gòu)、及與該吸附墊支撐機構(gòu)連接的輸送臂，吸附墊是由具有吸引、保持板狀物的吸附面的吸附板和覆蓋該吸附板的吸附面以外的部位的板罩構(gòu)成，其特征在于，該板罩上形成有螺絲孔，該吸附墊支撐機構(gòu)由以下部件構(gòu)成形成有對應(yīng)于該螺絲孔的螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的螺栓支撐部，轉(zhuǎn)動配合在該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔內(nèi)、以垂吊的狀態(tài)被支撐、與該螺絲孔擰合的螺栓，轉(zhuǎn)動配合在該螺栓的外周，向使該板罩和該螺栓支撐部反向分離的方向賦予勢能的壓縮彈簧，存在于該壓縮彈簧和該螺栓支撐部之間、通過該壓縮彈簧賦予的勢能向該螺栓支撐部擠壓，限制該螺栓與該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的內(nèi)周面之間的間隙的間隙限制部件；該間隙限制部件由以下構(gòu)成可以滑動地圍繞該螺栓外周的滑動筒部，從該滑動筒部一方的內(nèi)周端部到外周端部形成套筒狀、該內(nèi)周端部進入到該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓之間，抑制該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓晃蕩的錐形部，從該滑動筒部另一方的內(nèi)周端部到該錐形部的下部、與該壓縮彈簧的端部接觸、被擠壓的被擠壓部。
2.如權(quán)利要求1所述的板狀物輸送裝置，其特征在于，吸附板由多孔陶瓷形成，板罩由陶瓷形成，該板罩上形成有嵌合凹部，該嵌合凹部嵌合有形成有螺絲孔的螺母，通過粘合劑螺母被固定在該嵌合凹部上，構(gòu)成吸附墊。
3.如權(quán)利要求1或2所述的板狀物輸送裝置，其特征在于，間隙限制部件是由四氟乙烯樹脂形成的。
4.一種間隙限制部件，限制螺栓與使該螺栓轉(zhuǎn)動配合的螺栓轉(zhuǎn)動配合孔的內(nèi)周面之間的間隙，其特征在于，由以下構(gòu)成可以滑動地圍繞該螺栓外周的滑動筒部，從該滑動筒部一方的內(nèi)周端部到外周端部形成套筒狀、該內(nèi)周端部進入到該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓之間，抑制該螺栓轉(zhuǎn)動配合孔和該螺栓晃蕩的錐形部，從該滑動筒部另一方的內(nèi)周端部到該錐形部的下部、與該壓縮彈簧的端部接觸、被擠壓的被擠壓部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種板狀物輸送裝置，即使在螺栓與螺絲孔之間產(chǎn)生位置錯位，也能夠確保螺栓圓滑地上下移動，通過發(fā)揮緩沖部件本來的功能，防止板狀物的損傷。在螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19與螺栓18之間的間隙中，使間隙限制部件21介于其間，該間隙限制部件21由可以滑動地圍繞螺栓外周的滑動筒部23，和從滑動筒部23一方的內(nèi)周端部23a到外周端部24a形成套筒狀、該內(nèi)周端部23a進入到螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19和該螺栓18之間，抑制螺栓轉(zhuǎn)動配合孔19和螺栓18晃蕩的錐形部24，以及從滑動筒部23另一方的內(nèi)周端部23b到該錐形部24的下部、與壓縮彈簧22的端部接觸、被擠壓的被擠壓部25構(gòu)成。
文檔編號B65G47/91GK1500710SQ0315579
公開日2004年6月2日 申請日期2003年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月4日
發(fā)明者山端一郎 申請人:株式會社迪思科