專利名稱：凈室用的物品保管設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在塵埃少的潔凈環(huán)境中，保管例如液晶顯示元件和半導(dǎo)體制品等物品用的保管設(shè)備。更具體地說，是涉及設(shè)在從天花板部向下方吹出空氣的下流式凈室中的物品保管設(shè)備的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
凈室用的物品保管設(shè)備具有輸送物品的輸送機(jī)構(gòu)，該輸送機(jī)構(gòu)用于將液晶顯示元件和半導(dǎo)體制品等物品搬入多個(gè)物品存放部，并且為了將保管在物品存放部內(nèi)的物品輸送到外部，配置了可進(jìn)行物品輸送的物品輸送機(jī)構(gòu)?，F(xiàn)有裝置，為了有效利用所配備的該物品輸送機(jī)構(gòu)，有的將物品處理裝置靠近物品輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置，以便能向物品處理裝置輸送物品，該物品處理裝置用于對物品進(jìn)行預(yù)定的處理。因此，可縮短輸送時(shí)間，提高作業(yè)效率。而且，為了將物品處理裝置的上方空間也作為存放空間利用，還配備有存放空間，該存放空間位于物品處理裝置的物品移送部的上方，使得其與物品移送部在上下方向上重疊。因此，有效利用了設(shè)置空間，提高了存放保管效率(例如，參照特開平10-294351號公報(bào))。
但是，由于需要將物品保管在塵埃少的清潔環(huán)境中，故這種物品保管設(shè)備設(shè)置在下流式的凈室內(nèi)，該凈室通過空氣凈化濾清器從天花板向下方吹出，供給凈化后的清潔空氣。位于存放架上方側(cè)的從天花板吹出所供給的清潔空氣，從上端部空氣進(jìn)入部進(jìn)入，從上述背部側(cè)空氣通風(fēng)路、并通過各存放部的存放空間，在前部側(cè)空氣通風(fēng)路內(nèi)向下方側(cè)流動(dòng)?，F(xiàn)有的物品保管設(shè)備如圖8所示，例如是這樣構(gòu)成的，即，物品保管裝置B的上述重疊裝置部分7的下端部30形成閉塞狀態(tài)，從上端部空氣進(jìn)入部13進(jìn)入的清潔空氣，全部從物品存放部5的存放空間和前部側(cè)空氣通風(fēng)路M中通過后，向下方流動(dòng)。其結(jié)果，位于上述重疊裝置部分下方的物品處理裝置的物品移載部15，成為不從天花板面2供清潔空氣的狀態(tài)。因此，在物品處理裝置A的上部側(cè)配備了具有鼓風(fēng)機(jī)和空氣凈化濾清器的風(fēng)扇濾清器裝置FU，可確保利用物品輸送機(jī)構(gòu)向物品處理裝置搬進(jìn)搬出物品的部位的清潔度。
但是，上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)雖可確保向物品處理裝置搬進(jìn)搬出物品的部位的清潔度，然而，如圖8所示，在物品保管裝置的背面部位向下方流動(dòng)的來自天花板的清潔空氣被風(fēng)扇濾清器裝置吸入，在位于上述物品移載部上方的角部(A部)，清潔空氣流(下流)有可能紊亂而形成紊流，結(jié)果，對保持其他裝置的空氣清潔度帶來不良影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了改進(jìn)這些問題而開發(fā)的，因此，本發(fā)明的主要目的之一是提供一種凈室用的物品保管設(shè)備，這種保管設(shè)備可避免因凈室的清潔空氣流紊亂而給保持其他裝置的空氣清潔度帶來惡劣影響的不利因素。
根據(jù)權(quán)利要求中定義的本發(fā)明，從空氣進(jìn)入部進(jìn)入的凈化空氣，通過導(dǎo)風(fēng)通路從背部側(cè)空氣通風(fēng)路導(dǎo)入其重疊裝置部分的存放部的下方側(cè)。其后，被該導(dǎo)風(fēng)通路導(dǎo)入前述存放部下方側(cè)的空氣，從上述空氣吹出部向下方側(cè)吹出而供給物品處理裝置。因此，利用這樣供給的凈化空氣，可確保物品輸送機(jī)構(gòu)向物品處理裝置搬進(jìn)搬出物品的部位的清潔度。另外，不必從物品保管裝置吹出供給凈化過的空氣，故不必在物品處理裝置一側(cè)設(shè)置特別的風(fēng)扇濾清器裝置，可相應(yīng)簡化其構(gòu)造。而且，又因不必在物品處理裝置一側(cè)設(shè)風(fēng)扇濾清器裝置，故不必像以往那樣，從物品處理裝置的上部位置強(qiáng)制性地吸空氣，因此，可使來自天花板部的清潔空氣流產(chǎn)生紊亂的情況很少。
因此，可提供一種凈室用的物品保管設(shè)備，這種保管設(shè)備可避免因凈室的清潔空氣流紊亂而給保持其他裝置的空氣清潔度帶來惡劣影響的不利因素。
在具體的實(shí)施形式中，最好在上述空氣吹出部配備自由改變、調(diào)整空氣吹出量的風(fēng)量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。即，用風(fēng)量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可改變、調(diào)整從空氣吹出部向下方吹出、供給的空氣吹出量，使得從空氣吹出部吹出的空氣的氣流狀態(tài)，和從天花板部吹出的空氣的氣流狀態(tài)成為極相同的狀態(tài)，這樣，便可盡量減少凈室內(nèi)的氣流紊亂現(xiàn)象。
圖的簡單說明

圖1是表示本發(fā)明的凈室中的物品保管設(shè)備的設(shè)置狀態(tài)的側(cè)視圖。
圖2是從上方看物品保管裝置的俯視圖。
圖3是表示物品保管裝置和物品處理裝置的正視圖。
圖4是表示物品保管裝置的后視圖。
圖5是物品保管裝置的縱剖面?zhèn)纫晥D。
圖6是表示通風(fēng)狀態(tài)的圖。
圖7是另一實(shí)施形式的物品保管裝置的縱剖面?zhèn)纫晥D。
圖8是表示現(xiàn)有的物品保管設(shè)備的通風(fēng)狀態(tài)的圖。
具體實(shí)施形式以下，參照附圖對本發(fā)明的凈室用的物品保管設(shè)備作說明。圖1所示為，例如為了保管半導(dǎo)體制品和液晶顯示元件等而設(shè)置在塵埃少的清潔過的室內(nèi)空間內(nèi)的物品保管設(shè)備，在上述那樣的制品的初期階段和制造過程中，需要在細(xì)粉塵等塵埃少的環(huán)境中保管。該物品保管設(shè)備，以這種物品作為保管對象，在塵埃少的清潔過的空間內(nèi)保管物品。
設(shè)有該物品保管設(shè)備的房間，設(shè)成空氣從天花板向下方吹出的下流式的凈室。具體地說，凈室R1的地板部，設(shè)成形成有許多通氣孔的網(wǎng)眼狀的格子地板1。該格子地板1的下方設(shè)有形成有吸氣用空間Q的吸氣室R2。如圖1所示，凈室R1內(nèi)的空氣通過吸氣室R2內(nèi)的空間和循環(huán)路Q，由通風(fēng)風(fēng)扇F進(jìn)行吸氣。被吸的空氣，經(jīng)過設(shè)在凈室R1的天花板2上方側(cè)的空氣室3，并經(jīng)過設(shè)在凈室R1的天花板2上的，例如由HEPA(高效微?？諝?濾清器等構(gòu)成的空氣濾清器4凈化后，向下吹出、供給凈室R1內(nèi)。因此，凈室R1的空氣經(jīng)過上述路線進(jìn)行循環(huán)，經(jīng)過凈化的空氣經(jīng)常以從天花板2向下方吹出的狀態(tài)供給，故可保持清潔度高的狀態(tài)。
下面，參照圖2～圖6對物品保管設(shè)備的構(gòu)造作說明。該物品保管設(shè)備，大體分為對物品進(jìn)行預(yù)定處理的物品處理裝置，和具有多個(gè)物品存放部5的物品保管裝置B。詳細(xì)地說，上述物品保管裝置B具有一側(cè)的架主體6和另一側(cè)的架主體7，其中架主體6在上下方向和橫向上以多個(gè)并列的狀態(tài)、設(shè)有存放物品C的多個(gè)物品存放部5；架主體7，在上下方向上以排成一列的狀態(tài)、在橫向上以多個(gè)并列的狀態(tài)設(shè)有多個(gè)物品存放部5。架主體6和7，在前后方向上相隔規(guī)定間隔排列配置。在一對架主體6、7之間的間隔內(nèi)，具有多個(gè)物品存放部5，和作為物品輸送機(jī)構(gòu)的塔式起重機(jī)9，該塔式起重機(jī)在后述的物品搬進(jìn)搬出用的輸送機(jī)裝置8之間輸送物品。該塔式起重機(jī)9，也是在一個(gè)物品存放部5和其他物品存放部5之間輸送物品。作為物品輸送機(jī)構(gòu)，也可利用這樣的裝置來取代塔式起重機(jī)，即利用在水平方向上延伸、在上下方向上移動(dòng)的升降機(jī)，和在該升降機(jī)上具有可在水平方向上移動(dòng)的載置裝置。
這里，參照表示從上向下觀察物品保管設(shè)備的狀態(tài)的圖、即作為俯視圖的圖2，對本說明書中所用的方向的表現(xiàn)形式加以說明。架主體6的物品存放部5，在塔式起重機(jī)9一側(cè)開有口。因此，用D6所示的箭頭方向來定義架主體6的前方向。同樣，用D2所示的箭頭方向來定義架主體7的前方向。所以，沿著D1或D2的方向被稱作架主體6、7的前后方向。另外，D3所示的方向被定義為橫方向。
物品保管裝置B的橫向端部側(cè)設(shè)有物品搬進(jìn)搬出部10，用于向外部搬進(jìn)搬出物品。該物品搬進(jìn)搬出部10具有輸送帶裝置8，用于接受來自塔式起重機(jī)9的物品C，并將其輸送到外部，或把從外部接受的物品轉(zhuǎn)移給塔式起重機(jī)9。上述塔式起重機(jī)9設(shè)有移動(dòng)臺車9c，該移動(dòng)臺車9c一面在設(shè)于地板上的行走軌道9a上行走，其上端部，一面沿著設(shè)于天花板上的導(dǎo)軌9b，被其引導(dǎo)在橫向上自由移動(dòng)行走。在該移動(dòng)臺車9c上，升降自如地設(shè)有移載裝置9d，該移載裝置在多個(gè)物品存放部5與上述輸送裝置8之間、和在多個(gè)物品存放部5之間以及在上述輸送帶裝置8之間移載物品。利用該塔式起重機(jī)9，可在多個(gè)物品存放裝置5、上述輸送帶裝置8、以及后面將要說明的物品處理裝置A之間移載物品。
對于上述架主體6、7來說，把與塔式起重機(jī)9一側(cè)，即與前面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)稱作背面?zhèn)?。如圖5所示，在上述架主體6、7各自的背面?zhèn)炔糠?，在架主體6、7和罩體11之間分別形成有背部側(cè)空氣通風(fēng)路L，該罩體以閉塞狀態(tài)覆蓋架主體外周部。另外，在上述架主體6、7各自的前面?zhèn)?，形成有配備了塔式起重機(jī)9的空間即前部側(cè)空氣通風(fēng)路M。又，上述架主體6、7的上端部及前部側(cè)空氣通風(fēng)路M的上端部被通風(fēng)抑制體12覆蓋，成為抑制上下方向的通風(fēng)狀況的結(jié)構(gòu)。各背部側(cè)空氣風(fēng)路L的上端形成有空氣進(jìn)入部13。各物品存放部5的前面?zhèn)?，為了用塔式起重機(jī)9搬進(jìn)搬出物品C而呈敞開狀態(tài)。各物品存放部5的背面?zhèn)确謩e設(shè)有風(fēng)量調(diào)整器14，可調(diào)節(jié)從這里通過的空氣量即通過的風(fēng)量。風(fēng)量調(diào)整器14設(shè)有調(diào)節(jié)開口量的機(jī)構(gòu)，利用一片或數(shù)片閉鎖板部分地或完全地閉鎖開口部，這樣來調(diào)整開口量。該機(jī)構(gòu)也可用使閉鎖板相對于開口部滑移而進(jìn)行閉鎖的結(jié)構(gòu)，還可利用相對于開口部擺動(dòng)而閉鎖開口部的結(jié)構(gòu)。
如圖2、圖3所示，架主體6、7中的一方的架主體7的下方側(cè)，物品處理裝置A配置成和該架主體7在上下方向上重疊的狀態(tài)。即，架主體7的至少一部分位于物品處理裝置A的物品移載部15的上方側(cè)，是在上下方向上重疊于該物品移載部15上的重疊裝置部分。上述物品處理裝置A，沿著物品存放部5的橫向排列方向、在排列成排的狀態(tài)下，多個(gè)并列配置。關(guān)于多個(gè)物品處理裝置A，不對具體的處理內(nèi)容作詳細(xì)說明，例如這些處理裝置是依次對半導(dǎo)體制品和液晶顯示元件進(jìn)行制造用的化學(xué)上的多種處理裝置。
如圖6所示，從凈室R1的天花板2向下吹出的凈化過的空氣，從上部的空氣進(jìn)入部13進(jìn)入，從背部側(cè)空氣通風(fēng)路L、并通過各物品存放部5的存放空間，在前部側(cè)空氣通風(fēng)路M內(nèi)向下方側(cè)流動(dòng)。物品保管裝置B的一側(cè)的架主體7上形成有導(dǎo)風(fēng)通路16，該導(dǎo)風(fēng)通路將從空氣進(jìn)入部13進(jìn)入的空氣，從背部側(cè)空氣通風(fēng)路L導(dǎo)入該架主體7的物品存放部5的下方側(cè)。形成有空氣吹出部17，將從該導(dǎo)風(fēng)通路16導(dǎo)入物品存放部5的下方側(cè)的空氣向下方吹出而供給物品處理裝置A。
下面，對上述構(gòu)造的空氣流進(jìn)一步作詳細(xì)說明。
物品保管裝置B的物品處理裝置A，在上下方向上不重疊配置的架主體6上，物品存放部5在上下方向上分4層排列配置，背部側(cè)空氣通風(fēng)路L，形成從上端部的空氣進(jìn)入部13一直連續(xù)到靠近裝置下端部的位置的狀態(tài)，背部側(cè)空氣通風(fēng)路L的下端部用遮蔽板18閉塞，以使空氣不向下方流出。配備有上述塔式起重機(jī)9的前部側(cè)空氣通風(fēng)路M的下端部，形成有空氣向下方流出的空氣流出部19。因此，從凈室R1的天花板2向下吹出的凈化后的空氣，從上部空氣進(jìn)入部13進(jìn)入后，從背部側(cè)空氣通風(fēng)路L、并通過各物品存放部5的存放空間，在前部側(cè)空氣通風(fēng)路M內(nèi)向下方側(cè)流動(dòng)。這時(shí)，可利用設(shè)在各物品存放部5背面的風(fēng)量調(diào)整器14進(jìn)行調(diào)整，以使通過各物品存放部5的存放空間的空氣通風(fēng)量基本均等。
上述物品處理裝置A，設(shè)成多個(gè)物品存放部5在上下方向上重疊配置的架主體7上，在橫向上排在一列的狀態(tài)，背部側(cè)空氣通風(fēng)路L形成在該一列物品存放部5的背部側(cè)。和另一側(cè)的架主體6一樣，從凈室R1的天花板2向下吹出的凈化過的空氣，從上部空氣進(jìn)入部13進(jìn)入。然后，空氣從背部側(cè)空氣通風(fēng)路L通過各物品存放部5的存放空間，在前部側(cè)空氣通風(fēng)路M內(nèi)向下方側(cè)流動(dòng)。如圖6所示，與背部側(cè)空氣通風(fēng)路L的下端部相連地形成有導(dǎo)風(fēng)通路16，該導(dǎo)風(fēng)通路把從空氣進(jìn)入部13進(jìn)入的空氣從背部側(cè)空氣通風(fēng)路L導(dǎo)向該架主體7的物品存放部5的下方側(cè)。導(dǎo)風(fēng)通路16如圖5、圖6所示，整體水平延伸，由物品存放部5的底部和罩體11的水平部分11a形成。另外，在上述導(dǎo)風(fēng)通路16和前部側(cè)空氣通風(fēng)路M之間設(shè)有壁11b，以使空氣不從上述導(dǎo)風(fēng)通路16逸出到前部側(cè)空氣通風(fēng)路M內(nèi)。另外形成有空氣吹出部17，該吹出部使被該導(dǎo)風(fēng)通路16導(dǎo)向物品存放部5下方側(cè)的空氣向下方側(cè)吹出而供給物品處理裝置A。上述空氣吹出部17，從側(cè)面看，配置在上述重疊裝置部分7的物品存放部5和物品處理裝置A之間。
這樣，便將凈化之后的空氣向下吹出而供給物品處理裝置A的物品移載部15，故可確保物品移載部15的清潔度。而且，上述空氣吹出部17設(shè)有作為風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)的風(fēng)量調(diào)整器20，可自由地變更調(diào)整空氣吹出量。該風(fēng)量調(diào)整器20未詳述，它和設(shè)在各物品存放部5中設(shè)置的風(fēng)量調(diào)整器14一樣，可利用滑動(dòng)操作機(jī)構(gòu)和擺動(dòng)操作機(jī)構(gòu)等一般的開口量調(diào)整機(jī)構(gòu)，對通過這里的空氣的量，即通過的空氣量進(jìn)行變更調(diào)整。用該風(fēng)量調(diào)整器20來變更調(diào)整空氣吹出量，可以和從凈室R1的天花板2向下吹出的空氣吹出量形成基本相同的狀態(tài)，可盡量減少氣流紊流的產(chǎn)生。
以下，列舉另外的實(shí)施形式。
(1)上述實(shí)施形式中，空氣吹出部具有風(fēng)量調(diào)整器20，作為自由變更調(diào)整空氣吹出量的風(fēng)量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，單獨(dú)地自由變更調(diào)整通過的空氣量。但是，作為風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)的風(fēng)量調(diào)整器20和設(shè)在各物品存放部5背面的風(fēng)量調(diào)整器14，不必局限于此種形式。風(fēng)量調(diào)整器14和風(fēng)量調(diào)整器20的功能，是調(diào)節(jié)從這些輸出側(cè)出來的空氣風(fēng)量，為了調(diào)節(jié)該風(fēng)量，也可利用能調(diào)節(jié)送風(fēng)量的電機(jī)驅(qū)動(dòng)式鼓風(fēng)機(jī)來取代所說明的利用閉鎖板調(diào)節(jié)開口量的方法。另外，也可將這兩種方法組合起來利用。還可在鼓風(fēng)機(jī)上安裝空氣凈化濾清器使用。例如，最好設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，其作用是通過改變鼓風(fēng)機(jī)的送風(fēng)量，人為地或自動(dòng)地調(diào)節(jié)來自風(fēng)量調(diào)整器14和風(fēng)量調(diào)整器20的風(fēng)量。設(shè)在各物品存放部5背面的多個(gè)風(fēng)量調(diào)整器14，也可將個(gè)別的調(diào)節(jié)裝置設(shè)在例如架主體6的下部等，以便可獨(dú)立地調(diào)節(jié)各風(fēng)量調(diào)整器14，也可設(shè)1個(gè)調(diào)節(jié)裝置來調(diào)節(jié)全部。在調(diào)節(jié)鼓風(fēng)機(jī)的送風(fēng)量時(shí)，也可設(shè)成例如可按“高速”、“中速”、“低速”等多個(gè)階段操作的結(jié)構(gòu)，也可以利用變換器進(jìn)行無級控制。在可人為操作調(diào)整裝置的場合，也可用旋鈕作為操作工具，也可用具有數(shù)字顯示和輸入按鈕的機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明也可不設(shè)這樣的風(fēng)量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，構(gòu)成經(jīng)常以一定量的吹出量吹出、供給空氣的結(jié)構(gòu)。
(2)上述實(shí)施形式中，在上述物品處理裝置的物品移載部上，作為在上下方向上重疊的重疊裝置部分，例示了多個(gè)物品存放部在橫向上以一列狀態(tài)排列的結(jié)構(gòu)，但不局限于這種結(jié)構(gòu)，也可配置成物品存放部在上下方向上排列為數(shù)層的結(jié)構(gòu)。
(3)上述實(shí)施形式中，各物品存放部的背部側(cè)配備有單純自由變更通過的空氣量的風(fēng)量調(diào)整器，但不局限于這種結(jié)構(gòu)，也可以在各物品存放部的背部側(cè)分別配置具有鼓風(fēng)機(jī)和空氣凈化濾清器的風(fēng)扇濾清器裝置，強(qiáng)制性地使經(jīng)過該風(fēng)扇濾清器裝置凈化后的空氣在物品存放部的存放空間內(nèi)通風(fēng)，在前部側(cè)空氣通風(fēng)路內(nèi)向下方流動(dòng)。
(4)上述實(shí)施形式中，作為上述物品保管裝置，例示了在一對架主體6、7中的任一方上、在上下方向上重疊配置物品處理裝置A的結(jié)構(gòu)，但不局限于這種結(jié)構(gòu)，如圖7所示，也可分別在一對架主體6、7上、在上下方向上重疊配置物品處理裝置A。另外，作為上述物品保管裝置，不局限于設(shè)置前后一對架主體的結(jié)構(gòu)，也可只設(shè)1個(gè)在上下方向上重疊配置物品處理裝置的架主體。
權(quán)利要求
1.一種凈室用的物品保管設(shè)備，從天花板部向下方吹出空氣的凈室(R1)內(nèi)，設(shè)有對物品進(jìn)行預(yù)定處理的物品處理裝置(A)，和具有多個(gè)物品存放部(5)的物品保管裝置，其中，上述物品保管裝置具有物品輸送機(jī)構(gòu)(9)，該機(jī)構(gòu)在配置于物品處理裝置(A)上的對物品進(jìn)行搬進(jìn)搬出的物品移載部(15)和上述各物品存放部(5)之間輸送物品，另外，還具有配置在上述物品處理裝置(A)的上述物品移載部(15)的上方側(cè)、與該物品移載部(15)在上下方向上重疊的重疊裝置部分(7)，在上述各物品存放部(5)的背面?zhèn)炔课恍纬捎斜巢總?cè)空氣通風(fēng)路(L)，而且，還在上述各物品存放部(5)的前面?zhèn)鹊呐鋫溆猩鲜鑫锲份斔蜋C(jī)構(gòu)(9)的空間內(nèi)，形成有前部側(cè)空氣通風(fēng)路(M)，從凈室(R1)的天花板部向下吹出的凈化后的空氣，通過使該空氣進(jìn)入上述背部側(cè)空氣通風(fēng)路(L)的空氣進(jìn)入部(13)、和上述背部側(cè)空氣通風(fēng)路(L)，再通過上述各物品存放部(5)的存放空間，在上述前部側(cè)空氣通風(fēng)路(M)內(nèi)向下方流動(dòng)，這樣構(gòu)成凈室用的物品保管設(shè)備，上述物品保管裝置的所述重疊裝置部分(7)形成有導(dǎo)風(fēng)通路(16)，該導(dǎo)風(fēng)通路將從上述空氣進(jìn)入部(13)進(jìn)入的空氣，從上述背部側(cè)空氣通風(fēng)路(L)導(dǎo)向其重疊裝置部分(7)的物品存放部(5)的下方側(cè)；而且，還形成有空氣吹出部(17)，該空氣吹出部將被該導(dǎo)風(fēng)通路(16)導(dǎo)向上述物品存放部(5)的下方側(cè)的空氣向下方側(cè)吹出，而供給上述物品處理裝置(A)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈室用物品保管設(shè)備，其特征在于，在上述空氣吹出部(17)上配備有變更空氣吹出量用的風(fēng)量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(20)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈室用物品保管設(shè)備，其特征在于，上述導(dǎo)風(fēng)通路(16)整體上是水平的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈室用物品保管設(shè)備，其特征在于，上述空氣吹出部(17)，從側(cè)面看，它配置在上述重疊裝置部分(7)的上述物品存放部(5)和上述物品處理裝置(A)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈室用物品保管設(shè)備，其特征在于，上述導(dǎo)風(fēng)通路(16)由上述重疊裝置部分(7)的物品存放部(5)的底部、和配置有上述空氣吹出部(17)的罩體的一部分(11a)構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的凈室用物品保管設(shè)備，其特征在于，在上述導(dǎo)風(fēng)通路(16)和前部側(cè)空氣通風(fēng)路(M)之間設(shè)有壁(11b)，以使空氣不從上述導(dǎo)風(fēng)通路(16)逸出到上述前部側(cè)空氣通風(fēng)路(M)內(nèi)。
全文摘要
一種凈室用的物品保管設(shè)備，可消除因結(jié)構(gòu)復(fù)雜而引起成本升高的不利因素，而且，還可消除因清潔空氣的氣流紊亂對保持其他裝置的空氣清潔度帶來不良影響的不利因素。下流式的凈室內(nèi)，設(shè)有對物品進(jìn)行規(guī)定處理的物品處理裝置(A)、和具有多個(gè)物品存放部(5)的物品保管裝置(B)，在物品處理裝置(A)的物品移載部(15)的上方側(cè)配備有在上下方向上重疊的重疊裝置部分，還形成有導(dǎo)風(fēng)通路(16)，該導(dǎo)風(fēng)通路將從凈室的天花板部向下吹出的凈化過的空氣，從背部側(cè)空氣通風(fēng)路(L)導(dǎo)向其重疊裝置部分的物品存放部(5)的下方側(cè)，還形成有空氣吹出部(17)，該空氣吹出部將由該導(dǎo)風(fēng)通路(16)導(dǎo)向物品存放部(5)的下方側(cè)的空氣向下方側(cè)吹出而供給物品處理裝置(A)。
文檔編號B65G49/00GK1405072SQ02131589
公開日2003年3月26日 申請日期2002年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月10日
發(fā)明者中尾多通夫 申請人:株式會(huì)社大福