專利名稱：防止foup門不正確地插入該容器內(nèi)的系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及前部開口一體容器(FOUPs)，尤其是涉及這樣的前部開口一體容器，即這種前部開口一體容器具有用于防止FOUP門被不正確地插入到前部開口一體容器內(nèi)的機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在美國(guó)專利US4532970和US4534389中公開了惠普公司提出的SMIF系統(tǒng)。SMIF系統(tǒng)的目的是在儲(chǔ)存晶片期間和在半導(dǎo)體制造過程中傳送晶片期間減少流到半導(dǎo)體晶片上的微粒量。通過以機(jī)械方式來確保在晶片儲(chǔ)存和傳送期間晶片周圍的氣體介質(zhì)(例如空氣或氮?dú)?相對(duì)于晶片基本上靜止不動(dòng)，并且通過確保周圍環(huán)境的微粒不會(huì)進(jìn)入晶片環(huán)境附近，從而部分地實(shí)現(xiàn)了SMIF系統(tǒng)的目的。
一個(gè)SMIF系統(tǒng)具有三個(gè)主要部分(1)小容積且密封的容器，用于儲(chǔ)存和傳送晶片和/或晶片盒；(2)位于半導(dǎo)體加工工具上的一輸入/輸出(I/O)小環(huán)境，用于(被充滿干凈空氣)提供小型的干凈空間，在這個(gè)小型的干凈空間內(nèi)，外露的晶片和/或晶片盒可以從加工工具內(nèi)部來回傳送；(3)一接口，用于在SMIF容器和SMIF小環(huán)境之間傳送晶片和/或晶片盒，并且不會(huì)使晶片或晶片盒暴露于微粒中。Mihir Paridh和Ulrich Kaempf于1984年7月在《固態(tài)技術(shù)》中第111-115頁中登載了標(biāo)題為“SMIF用于在VLSI制造過程中傳送晶片盒的技術(shù)”的文章，在這篇文章中更詳細(xì)地描述了一種SMIF系統(tǒng)。
上述類型的系統(tǒng)涉及范圍在0.02微米以下至200微米以上的微粒尺寸。在半導(dǎo)體設(shè)備的制造過程中，具有這些尺寸的微粒會(huì)對(duì)半導(dǎo)體加工造成危害，這是因?yàn)樵谥圃彀雽?dǎo)體設(shè)備中采用了很小的幾何尺寸。當(dāng)今，典型的先進(jìn)的半導(dǎo)體加工過程采用的幾何尺寸為半(one-half)微米和以下。幾何尺寸大于0.1微米的污染微粒會(huì)顯著影響1微米幾何尺寸的半導(dǎo)體設(shè)備。當(dāng)然，半導(dǎo)體加工的幾何尺寸具有越來越小的趨勢(shì)，當(dāng)今，在研究和開發(fā)實(shí)驗(yàn)室中，幾何尺寸達(dá)到了0.1微米和以下。將來，幾何尺寸將會(huì)變得越來越小，因此，人們所關(guān)注的污染微粒和分子污染物的幾何尺寸越來越小。
FOUPs通常包括一豎直朝向的FOUP門，該FOUP門與前部開口一體容器外殼配合，從而形成一密封的超干凈的內(nèi)部環(huán)境，晶片可以在這個(gè)內(nèi)部環(huán)境中被儲(chǔ)存和傳送。晶片可以被支撐在可被插入到所說外殼內(nèi)的一個(gè)盒內(nèi)，也可以采用安裝到所說外殼的內(nèi)部的擱架。
為了在加工期間能在FOUP和加工工具之間傳送晶片，通常把一容器裝載到位于加工工具前方的一裝載口上，從而使容器門位于加工工具的裝載口的門附近。然后，使裝載口的門內(nèi)的卡鎖鍵與FOUP門內(nèi)的卡鎖裝置接合，以便使FOUP門與FOUP脫開，同時(shí)，把FOUP門與裝載口的門連接。例如，在授予Bonora等人的名稱為“具有改進(jìn)的卡鎖機(jī)構(gòu)的密封地傳送容器”的美國(guó)專利US1995430中，公開了這種設(shè)置在容器門內(nèi)的卡鎖裝置，這項(xiàng)美國(guó)專利已被本申請(qǐng)的受讓人所擁有。在這篇美國(guó)專利文獻(xiàn)中所公開的卡鎖裝置具有兩階段卡鎖操作，以便牢固地把容器門卡鎖到容器外殼上，如表示現(xiàn)有技術(shù)的圖1和圖2A-2B所示。這種卡鎖裝置被安裝在容器門內(nèi)，并且包括一鎖心28，該鎖心28與第一及第二可移動(dòng)的卡卡鎖板30接合。裝載口的門包括一對(duì)卡鎖鍵，這對(duì)卡鎖鍵伸入設(shè)置在鎖心中的槽13內(nèi)，從而可以使鎖心順時(shí)針和逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。每個(gè)鎖心28的轉(zhuǎn)動(dòng)都會(huì)使第一和第二卡鎖板30沿相反的方向移動(dòng)。
圖1是容器門內(nèi)部的前視圖，表示出了卡鎖裝置處于卡鎖門操作的第一階段。當(dāng)容器門從與裝載口的門相接合的狀態(tài)返回到與容器相接合的狀態(tài)時(shí)，位于裝載口的門內(nèi)的卡鎖鍵就轉(zhuǎn)動(dòng)所說的鎖心28，使卡鎖板30向外移動(dòng)，從而使位于卡鎖板30末端的卡鎖指狀物14沿著箭頭A的方向伸入設(shè)置在容器外殼中的槽15內(nèi)。這些槽15通常包括一橫向壁17，該橫向壁被設(shè)置在容器外殼中，并把槽大致分成兩半。所說的指狀物14包括一空間19，當(dāng)所說指狀物14被接收在所說槽15內(nèi)時(shí)，所說空間19就會(huì)對(duì)齊在橫向壁17上。
圖2A是圖1所示的卡鎖裝置通過線2-2的側(cè)視圖。圖2B是類似于圖2A的側(cè)視圖，但表示出的是卡鎖門操作的第二階段。尤其是，鎖心28還包括一對(duì)斜道40，從而，當(dāng)指狀物14接合在容器外殼的槽15內(nèi)之后，進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)鎖心，使得與鎖心接合的卡鎖板的近端32爬上斜道。這樣就使卡鎖板繞著位于每塊卡鎖板的平面內(nèi)并垂直于卡鎖板移動(dòng)方向的軸線沿著箭頭B的方向轉(zhuǎn)動(dòng)。在所說的第二階段期間，轉(zhuǎn)動(dòng)的作用就是拉動(dòng)容器門，使容器門緊緊地抵靠著容器外殼，從而在容器門和外殼之間形成牢固的氣密的密封。
為了把容器門與容器外殼分離開，當(dāng)容器最初被裝載到裝載口接口上以便傳送晶片時(shí)，該裝載口的門內(nèi)的機(jī)構(gòu)就與可轉(zhuǎn)動(dòng)的鎖心28接合，并沿著與卡鎖容器方向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)該鎖心。這種轉(zhuǎn)動(dòng)使得卡鎖指狀物14與容器外殼分離開，并且允許容器門與容器外殼分離開。
關(guān)于FOUP門的國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料(“SEMI”)標(biāo)準(zhǔn)要求門安裝部件的位置，即，可轉(zhuǎn)動(dòng)的鎖心，卡鎖板上的指狀物和FOUP外殼中的槽應(yīng)當(dāng)圍繞一水平軸線對(duì)稱。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的制定者們認(rèn)為這有利于允許FOUP門以正確側(cè)面朝上的位置或以顛倒的位置被插入FOUP內(nèi)。然而，結(jié)果卻是，安裝機(jī)構(gòu)圍繞水平軸線的這種對(duì)稱性具有嚴(yán)重的缺陷，下面將參照?qǐng)D3來描述這種嚴(yán)重的缺陷。
圖3表示出了一FOUP20，該FOUP裝有許多晶片21。FOUP門22通常設(shè)置有許多突起23，在這些突起23之間形成許多凹槽24，突起23和凹槽24的位置被精確地控制，從而一旦FOUP門被插入到FOUP20內(nèi)，且安裝在FOUP內(nèi)的晶片21被插入到凹槽24內(nèi)，就可防止晶片21發(fā)生移位。然而，如果FOUP門被顛倒地插入，那么，這些晶片21就不會(huì)在凹槽24內(nèi)對(duì)齊，而且會(huì)使突起23與這些晶片21接觸。發(fā)生這種情況的原因是，在傳統(tǒng)的FOUP中，頂部晶片和FOUP頂部?jī)?nèi)表面之間的距離X不同于底部晶片和FOUP底部?jī)?nèi)表面之間的距離Y，因此，這些突起和凹槽的位置圍繞水平軸線是不對(duì)稱的。裝載口的門上的這些突起與這些晶片之間的接觸會(huì)對(duì)FOUP內(nèi)的每塊晶片造成損傷和/或破壞。于是，對(duì)于300毫米的半導(dǎo)體晶片來說，F(xiàn)OUP門不正確地安裝到FOUP內(nèi)會(huì)導(dǎo)致重大的經(jīng)濟(jì)損失。
當(dāng)以手動(dòng)方式使FOUP門返回到空的FOUP時(shí)，常常會(huì)犯以顛倒位置把FOUP門裝載到FOUP內(nèi)的錯(cuò)誤。例如，當(dāng)對(duì)FOUP進(jìn)行清潔處理之后，技術(shù)人員常常以手動(dòng)方式把FOUP門拿回到FOUP。目前的FOUP門都用一指示器來作出標(biāo)記，標(biāo)明FOUP門的頂側(cè)和底側(cè)。然而，當(dāng)以手動(dòng)方式把FOUP門插入到FOUP內(nèi)時(shí)，這種標(biāo)記常被忽視掉或不被理解。
隨后，包括被顛倒安裝門的空的FOUP被傳送到裝載口。如上所述，無論門是處于顛倒的位置還是處于正面朝上的位置，傳統(tǒng)的裝載口都會(huì)從FOUP來回地傳送FOUP門。因此，一旦被傳送到裝載口，呈顛倒位置的FOUP門就被照常移去，并且把晶片裝載到FOUP內(nèi)。然而，一旦隨后由裝載口把FOUP門返回到FOUP，這個(gè)顛倒的門就會(huì)與晶片相接觸，從而會(huì)對(duì)這些晶片造成毀壞和/或破壞。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于提供一種用于防止FOUP門被不正確地插入到FOUP內(nèi)的系統(tǒng)。
本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于提供這樣一種機(jī)械系統(tǒng)，該機(jī)械系統(tǒng)以物理方式阻止FOUP門被不正確地插入到FOUP內(nèi)，從而防止對(duì)其內(nèi)部的晶片造成損壞。
本發(fā)明的另外一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于提供這樣一種機(jī)械系統(tǒng)，該機(jī)械系統(tǒng)用于防止FOUP門被不正確地插入到FOUP內(nèi)，而且無需對(duì)密封的FOUP的表面或外邊緣進(jìn)行改變或添加。
本發(fā)明具有上述優(yōu)點(diǎn)以及其它的優(yōu)點(diǎn)，在本發(fā)明中，位于FOUP頂部邊緣處的卡鎖板指狀物和對(duì)應(yīng)的槽的尺寸、形狀和/或位置，不同于位于FOUP底部邊緣的卡鎖板指狀物和對(duì)應(yīng)的槽的尺寸、形狀和/或位置。因此，除非在把所說的門插入到FOUP內(nèi)時(shí)所說的FOUP處于正確的正面朝上的方位，否則，所說門不會(huì)被正確地配合到所說的FOUP內(nèi)。于是，當(dāng)在裝載口處接收到密封的FOUP以便進(jìn)行接收晶片時(shí)，F(xiàn)OUP門會(huì)處于正確的正面朝上，從而消除了因FOUP門呈顛倒位置而對(duì)晶片造成的損害。


下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述，在這些附圖中圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖；圖2A和2B是現(xiàn)有技術(shù)中的FOUP門和外殼內(nèi)部的側(cè)視圖；圖3是現(xiàn)有技術(shù)中的FOUP內(nèi)部的側(cè)視圖，圖中表示出了FOUP內(nèi)的一些凹槽，這些凹槽用于防止當(dāng)FOUP被密封時(shí)半導(dǎo)體晶片發(fā)生移位；圖4是根據(jù)本發(fā)明的具有非對(duì)稱的頂部和底部安裝特征的、FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖；圖5是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了圖4中的安裝特征是怎樣防止以顛倒位置把FOUP門連接到FOUP內(nèi)的；
圖6是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了用于防止把FOUP門不正確地安裝到FOUP內(nèi)的非對(duì)稱安裝特征的另一個(gè)實(shí)施例。
圖7是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了圖6中的安裝特征是怎樣防止以顛倒位置把FOUP門與FOUP相連接的；圖8是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了根據(jù)本發(fā)明另外一個(gè)實(shí)施例的用于防止把FOUP門不正確地安裝到FOUP內(nèi)的非對(duì)稱的安裝特征；圖9是沿圖8中的線9-9的剖面圖；圖10是沿圖8中的線10-10的剖面圖；圖11是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了圖8中的安裝特征是怎樣防止FOUP門以顛倒的位置與FOUP連接；圖12是沿圖11中的線12-12的剖面圖；圖13是沿圖11中的線13-13的剖面圖；圖14是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了根據(jù)本發(fā)明另外一個(gè)實(shí)施例的用于防止FOUP門被不正確地安裝到FOUP內(nèi)的非對(duì)稱的安裝特征；圖15是沿圖14中的線15-15的剖面圖；圖16是沿圖14中的線16-16的剖面圖；圖17是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了圖14中的安裝特征是怎樣防止呈顛倒位置的FOUP門與FOUP相連接；圖18是沿圖17中的線18-18的剖面圖；圖19是沿圖17中的線19-19的剖面圖；圖20是FOUP門和外殼內(nèi)部的側(cè)視圖，圖中表示出了本發(fā)明的用于防止FOUP被不正確地連接到FOUP內(nèi)的另一個(gè)實(shí)施例；圖21是FOUP門和外殼內(nèi)部的側(cè)視圖，圖中表示出了圖20所示實(shí)施例是怎樣防止呈顛倒位置的FOUP門與FOUP相連接的；圖22是FOUP門和外殼內(nèi)部的前視圖，圖中表示出了本發(fā)明的用于防止FOUP門被不正確地連接到FOUP內(nèi)的另外一個(gè)實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式
下面將參照?qǐng)D4-22對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述，圖中表示出了涉及用于防止把FOUP門不正確地插入到FOUP內(nèi)的機(jī)構(gòu)系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施例。盡管通過描述用于容納300mm半導(dǎo)體晶片的FOUP來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述，但是，應(yīng)當(dāng)知道，本發(fā)明可以被用于除FOUP之外且不是用于容納半導(dǎo)體電晶片的一些容器。例如，本發(fā)明可以被用在底部敞開的SMIF容器上。此外，應(yīng)當(dāng)知道，本發(fā)明還可以被用在用于容納諸如標(biāo)準(zhǔn)片和平板顯示器的一些容器上。此外，盡管在本發(fā)明的一些優(yōu)選實(shí)施例中，涉及到用于從物理方面防止以不正確的位置人工地把FOUP門插入到一FOUP內(nèi)，但是，在另外的實(shí)施例中，本發(fā)明可以利用一些傳感器來防止以不正確地位置把FOUP門插入到FOUP內(nèi)，這將在后面描述。
參照?qǐng)D4，圖中表示出了根據(jù)本發(fā)明的FOUP的第一實(shí)施例，它具有非對(duì)稱的頂部和底部安裝特征。在圖中表示出了安裝在一FOUP外殼25內(nèi)部的一FOUP門22(在圖4中只表示出了它的下邊緣)。除了在后面要描述的卡鎖板指狀物和FOUP外殼中的槽以外，用于使所說指狀物前進(jìn)和后退以便于與容器外殼接合或脫開的卡鎖裝置對(duì)于本發(fā)明來說不是關(guān)鍵性的，在其它的一些實(shí)施例中，可以對(duì)這些卡鎖裝置進(jìn)行改變。本發(fā)明中所用的卡鎖裝置是在發(fā)明的背景部分中所描述的卡鎖裝置，這種卡鎖裝置包括兩個(gè)階段的卡鎖操作。在圖中，與在發(fā)明背景部分中具有相同附圖標(biāo)記的那些部件，其操作方式與在發(fā)明背景部分中所描述的操作方式相同。
圖4還表示出了位于頂部卡鎖板30末端的卡鎖指狀物100(在這里，頂部，底部，上部，下部是從圖紙的視角來說的)。這些指狀物100的尺寸和位置被做成當(dāng)鎖心28驅(qū)動(dòng)并且使頂部卡鎖板30前移時(shí)適合于配合在容器外殼頂部邊緣中對(duì)應(yīng)的槽102內(nèi)?？ㄦi裝置在底部卡鎖板30的末端34還包括一些指狀物104。這些指狀物104的尺寸和結(jié)構(gòu)被做成能配合在FOUP外殼的底部邊緣中對(duì)應(yīng)的槽106內(nèi)。指狀物104和槽106可以象在發(fā)明的背景部分中所描述的那樣，其中，槽106包括一橫向壁108，當(dāng)下部卡鎖板30使指狀物104進(jìn)入槽106內(nèi)時(shí)，該橫向壁108與一空間110相對(duì)齊。
參照?qǐng)D5，圖中表示出了一FOUP門22，該FOUP門22正在被顛倒地插入FOUP內(nèi)。如圖所示，當(dāng)試圖把顛倒地FOUP門插入時(shí)，指狀物104被阻擋住并且被阻止進(jìn)入FOUP頂側(cè)的槽102內(nèi)，而且，指狀物100被阻擋住(被壁108阻擋住)，并且被阻止進(jìn)入FOUP底部的槽106內(nèi)。于是，如果如圖5所示那樣試圖把所說的門顛倒地插入到FOUP同內(nèi)，那么，鎖心28就被阻止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得FOUP門不會(huì)與FOUP相連接。
在圖4和圖5所示實(shí)施例中，應(yīng)當(dāng)知道，頂部的指狀物100和槽102的位置與底部的指狀物104和槽106可以被交換。還應(yīng)當(dāng)知道，除了圖4和圖5中所示的形狀之外，也可以采用其它的腳狀形和指狀形，只要滿足這樣的條件，即，當(dāng)FOUP門被正確地安裝在FOUP內(nèi)時(shí)，頂部和底部的指狀物能配合在它們各自對(duì)應(yīng)的槽內(nèi)，并且當(dāng)FOUP門被不正確地插入FOUP內(nèi)時(shí)，至少一個(gè)頂部成對(duì)的指狀物和底部成對(duì)的指狀物不能配合到相鄰的槽內(nèi)。
參照?qǐng)D6和圖7，圖中表示出了本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例。在這個(gè)實(shí)施例中，四個(gè)指狀物112，116的形狀和四條槽114，118的形狀可以相互相同，但是，這些指狀物可以被設(shè)置在卡鎖板30上，從而使得只有當(dāng)所說門位于正面朝上時(shí)，指狀物112才能配合到槽114內(nèi)，所說的指狀物116才能配合在槽118內(nèi)。例如，在FOUP頂部設(shè)置在卡鎖板30上的指狀物112可以被設(shè)置成靠近FOUP的側(cè)面，而在FOUP底部設(shè)置在卡鎖板30上的指狀物116可以更靠?jī)?nèi)的與FOUP的側(cè)面間隔開。同樣，在FOUP頂部在外殼中的槽114可以被靠近所說側(cè)面設(shè)置，并且在FOUP底部在外殼中的槽118被更靠?jī)?nèi)地與所說側(cè)面間隔開。在這一實(shí)施例中，當(dāng)把正面朝上的FOUP門安裝到FOUP內(nèi)時(shí)，位于頂部和底部的這些指狀物就可以正確地對(duì)齊配合在頂部和底部的所說槽內(nèi)。但是，如圖7所示，當(dāng)試圖翻轉(zhuǎn)FOUP門以顛倒的位置把該FOUP門安裝到FOUP內(nèi)時(shí)，指狀物116就不能與FOUP頂部的槽114對(duì)齊，指狀物112也不能與FOUP底部的槽118對(duì)齊。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員都會(huì)知道，指狀物112，116可以被放置在除了圖6和7中所示的位置之外的卡鎖板上的其它位置，只要當(dāng)FOUP門以正面朝上被插入時(shí)，這些指狀物能與所說的槽對(duì)齊，并且當(dāng)以顛倒的位置把FOUP門向FOUP內(nèi)插入時(shí)，所說的這些指狀物就不能與所說的這些槽相對(duì)齊。
至此，已經(jīng)描述了在本發(fā)明中可以改變頂部指狀物/槽與底部指狀物/槽在沿第一方向(即，在圖紙平面中的左右方向)的相對(duì)位置。然而，也可以改變FOUP頂部的指狀物/槽與FOUP底部的指狀物/槽沿第二方向(即，從圖紙進(jìn)出的方向)的相對(duì)位置。圖8-13表示出了這樣一個(gè)實(shí)施例。在這個(gè)實(shí)施例中，頂部卡鎖板可以從卡鎖板的近端到末端(即，進(jìn)入圖紙的方向)向下傾斜，從而使得當(dāng)以正面朝上的方式把FOUP門插入時(shí)，指狀物120能配合到FOUP外殼的外邊緣128的底部處的槽122內(nèi)。同樣，底部卡鎖板可以從卡鎖板的近端至末端(即，從圖紙出來的方向)向上傾斜，從而使得當(dāng)以正面朝上的方式把FOUP插入時(shí)，指狀物124能配合到FOUP中的外邊緣130頂部處的槽126內(nèi)。
另一方面，當(dāng)FOUP門22被顛倒地插入時(shí)，如圖11-13所示，指狀物124不能對(duì)齊配合到上邊緣128中的槽122內(nèi)，指狀物120不能對(duì)齊配合到下邊緣130中的槽126內(nèi)。
圖14-19表示出了另外一個(gè)實(shí)施例，在這個(gè)實(shí)施例中，在頂部邊緣128與在底部邊緣130中，指狀物和槽的形狀可以不同。例如，如圖14-16所示，當(dāng)以正確的位置把FOUP門22安裝到FOUP內(nèi)時(shí)，指狀物132能配合在上邊緣128的槽134內(nèi)，指狀物136能配合在底邊緣130的槽138內(nèi)。但是，如圖17-19所示，當(dāng)以不正確的位置把FOUP門不正確地安裝到FOUP內(nèi)時(shí)，指狀物136就不能配合到FOUP上邊緣128的槽134內(nèi)，指狀物132就不能配合FOUP底邊緣130的槽138內(nèi)。應(yīng)當(dāng)知道，在另外可選的實(shí)施例中，在FOUP的上邊緣和下邊緣可以采用不同于圖14-19所示形狀的指狀物和槽的形狀，只要滿足這樣的條件，即，當(dāng)以正面朝上把FOUP門插入時(shí)，上部和下部的指狀物的形狀與上部和下部的槽的形狀相對(duì)應(yīng)，并且，當(dāng)顛倒地把FOUP門插入到FOUP內(nèi)時(shí)，上部和/或下部的指狀物的形狀不能配合到相鄰的槽內(nèi)。
這樣，通過一些非對(duì)稱的安裝機(jī)構(gòu)就防止了把FOUP門不正確地插入到FOUP內(nèi)。然而，在其它的一些可選實(shí)施例中，可以利用其它的一些機(jī)構(gòu)來阻止FOUP門被不正確地配合在FOUP內(nèi)。圖20和圖21表示出了這樣一個(gè)實(shí)施例。在這個(gè)實(shí)施例中，在FOUP外殼25內(nèi)部上的某個(gè)位置處固定地安裝一銷釘140，使得銷釘在這個(gè)位置時(shí)不會(huì)妨礙晶片的安裝，也不會(huì)妨礙晶片傳入或傳出FOUP。例如，這個(gè)位置可以是FOUP側(cè)面或角落附近。銷釘140可以伸出FOUP的開口端，以便當(dāng)FOUP門22被正確地安裝到FOUP內(nèi)時(shí)，銷釘140能被接收在設(shè)置于FOUP門內(nèi)表面中的一孔142內(nèi)。然而，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，當(dāng)試圖以顛倒的方式把FOUP門插入時(shí)，孔142就會(huì)位于如圖21所示的FOUP的對(duì)置一端，這樣，銷釘140就會(huì)抵靠著FOUP門22的內(nèi)表面，從而可阻止FOUP門22被配合到FOUP內(nèi)。優(yōu)選地是，銷釘是由一種低磨損材料制造的，以便可以減小微粒的產(chǎn)生。
上面所描述的一些優(yōu)選實(shí)施例以機(jī)械的方式來防止FOUP門以顛倒的位置與FOUP手工連接。于是，當(dāng)在一裝載口接收FOUP時(shí)，就可以確保FOUP門處于一種正面朝上的位置，并且不會(huì)存在FOUP門會(huì)與安裝在裝載口內(nèi)的晶片相接觸的危險(xiǎn)。應(yīng)當(dāng)知道，上面所描述的各個(gè)實(shí)施例可以相互組合，以便使上部的指狀物和槽與下部的指狀物和槽進(jìn)一步區(qū)別開。
在另外一個(gè)實(shí)施例中，可以不利用機(jī)械的方式來防止技術(shù)員不正確地把FOUP門插入到FOUP內(nèi)，而是在裝載口設(shè)置各種傳感器，以確保FOUP門被自動(dòng)地回到FOUP之前使FOUP門處于正確的朝向。例如，如圖22所示，在FOUP門內(nèi)的其中一塊卡鎖板30上設(shè)置一個(gè)通孔150。根據(jù)這個(gè)實(shí)施例。在該孔150下面的FOUP門中一表面可以具有大于卡鎖板本身的反射率。這個(gè)實(shí)施例還可包括一光學(xué)傳感器，例如安裝在容器門中的反射傳感器，以便使一光束從容器門發(fā)出到FOUP。反射傳感器被設(shè)置成當(dāng)以正確的正面朝上的位置把FOUP門正確安裝時(shí)，來自反射傳感器的光束穿過FOUP門蓋中的一透明窗口(圖中未示)，該光束從孔150通過，并反射回到傳感器。然而，如果FOUP門被顛倒，那么，光束就不會(huì)被傳回到傳感器，于是，控制器就能鑒定出FOUP門處于顛倒位置，從而不應(yīng)把該FOUP門送回到FOUP。在另一種實(shí)施例中，F(xiàn)OUP門蓋本身可以具有一反射片，該反射片位于該蓋的外表面上，該反射片與上面所描述的位于容器門中的光學(xué)傳感器對(duì)齊。在這個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)FOUP門在正確的正面朝上的位置時(shí)，來自光學(xué)傳感器的信號(hào)將從反射片反射回到傳感器。但是，如果FOUP門被顛倒，那么，來自光學(xué)傳感器的信號(hào)將不被反射去。于是，控制器就能判定FOUP門是處于正確位置還是處于顛倒的位置，并且相應(yīng)決定把FOUP門送回到或不送回到FOUP。
盡管已經(jīng)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明并不局限于在這里所公開的這些實(shí)施例。在不脫離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍的情況下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能對(duì)本發(fā)明可作出各種改變、替換、和變化。
權(quán)利要求
1.一種用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，包括一容器門；一容器外殼，該容器外殼包括一開口和一些卡鎖接合槽，所說開口以兩種或更多種朝向接收所說的容器門；一卡鎖機(jī)構(gòu)，該卡鎖機(jī)構(gòu)被安裝在所說的容器門上，只有當(dāng)所說的容器門在兩種或更多種朝向中以一種選定的朝向被插入到所說容器外殼中的所說開口內(nèi)時(shí)，所說的卡鎖機(jī)構(gòu)才能與所說的卡鎖接合槽接合。
2.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，還包括一卡鎖驅(qū)動(dòng)器，該卡鎖驅(qū)動(dòng)器與所說卡鎖機(jī)構(gòu)相連，用于使所說卡鎖機(jī)構(gòu)在一脫開位置和一接合位置之間移動(dòng)。
3.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中所說的卡鎖機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)卡鎖指狀物；所說的兩個(gè)卡鎖指狀物都被設(shè)置成當(dāng)所說的容器門以所說選定的朝向被插入時(shí)，能與卡鎖接合槽對(duì)齊。
4.一種根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中當(dāng)所說的容器門不是以所說選定的朝向被插入時(shí)，所說的卡鎖接合槽就會(huì)阻止所說卡鎖機(jī)構(gòu)從所說的脫開位置向所說的接合位置過渡。
5.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中至少一條卡鎖接合槽被設(shè)置成距所說容器外殼開口的距離不同于其余的所說卡鎖接合槽距所說容器外殼開口的距離。
6.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中至少一條卡鎖接合槽被設(shè)置成距所說容器外殼開口的一邊緣的距離不同于其余的所說卡鎖接合槽距所說容器外殼開口的一邊緣的距離。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中如果所說的容器門不是以所說選定的朝向被插入到所說的容器外殼內(nèi)，所說的容器外殼就會(huì)阻止所說的卡鎖機(jī)構(gòu)從一脫開位置向一接合位置過渡。
8.一種用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，包括一容器外殼，該容器外殼具有一門開口；一容器門，所說的容器門所具有的結(jié)構(gòu)與所說的門開口的結(jié)構(gòu)相互補(bǔ)，從而使得所說的容器門以一第一種朝向和一第二種朝向與所說門開口接合；一卡鎖機(jī)構(gòu)，位于所說的容器門內(nèi)，所說的卡鎖機(jī)構(gòu)具有卡鎖位置和未卡鎖位置，如果所說的容器門以所說的第一種朝向被插入到所說的容器門開口內(nèi)，那么，所說的卡鎖機(jī)構(gòu)適于移動(dòng)到所說的卡鎖位置。
9.一種根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，還包括一卡鎖驅(qū)動(dòng)器，該卡鎖驅(qū)動(dòng)器與所說卡鎖機(jī)構(gòu)相連，用于使所說卡鎖機(jī)構(gòu)在所說的卡鎖位置和未卡鎖位置之間移動(dòng)。
10.一種根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中所說的容器外殼具有卡鎖接合槽；所說的卡鎖機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)卡鎖指狀物；所說的兩個(gè)卡鎖指狀物中的每個(gè)卡鎖指狀物都被設(shè)置成，當(dāng)所說容器門以所說的第一種朝向被插入到所說的容器內(nèi)時(shí)，就與所說的卡鎖接合槽對(duì)齊。
11.一種根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中如果所說的容器門不是以所說的第一朝向被插入容器內(nèi)，所說的容器外殼就會(huì)阻止所說卡鎖機(jī)構(gòu)從所說脫開位置向所說接合位置過渡。
12.一種根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中至少一條卡鎖接合槽被設(shè)置成距所說門開口的距離不同于其余所說的卡鎖接合槽距所說門開口的距離。
13.一種根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中至少一條所說的卡鎖接合槽被設(shè)置成距所說門開口的一邊緣的距離不同于其余所說的卡鎖接合槽距所說門開口的一邊緣的距離。
14.一種根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于儲(chǔ)存和傳送物品的容器，其中如果所說的容器門不是以所說的第一朝向被插入所說容器外殼內(nèi)，所說的容器外殼就會(huì)阻止所說的卡鎖機(jī)構(gòu)從一脫開位置向一接合位置過渡。
15.一種用于儲(chǔ)存和傳送工件的容器，包括一容器門，該容器門具有一內(nèi)側(cè)，所說的內(nèi)側(cè)具有多個(gè)工件對(duì)齊突起；一容器外殼，該容器外殼具有一開口，以便以第一朝向和第二朝向接收所說容器門，所說的開口包括卡鎖接合槽；一卡鎖機(jī)構(gòu)，該卡鎖機(jī)構(gòu)被安裝在所說的容器門上，只有當(dāng)所說容器門以所說的第一朝向被插入到所說容器外殼中的開口內(nèi)時(shí)，所說的卡鎖機(jī)構(gòu)才與所說的卡鎖接合槽接合。
全文摘要
一種用于防止容器門和容器不正確接合的裝置。具體地說，通過至少一個(gè)與容器門相連的卡鎖指狀物不能與容器中的卡鎖接合槽相對(duì)齊，以防止容器門與容器機(jī)械接合。
文檔編號(hào)B65D45/28GK1500053SQ01822118
公開日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2001年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月13日
發(fā)明者安東尼·C·博諾拉, 安東尼 C 博諾拉, M 加拉格爾, 加里·M·加拉格爾, 恩格, 邁克爾·恩格 申請(qǐng)人:恩特格里斯開曼有限公司