技術(shù)編號：4341365
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及前部開口一體容器(FOUPs)，尤其是涉及這樣的前部開口一體容器，即這種前部開口一體容器具有用于防止FOUP門被不正確地插入到前部開口一體容器內(nèi)的機構(gòu)。背景技術(shù) 在美國專利US4532970和US4534389中公開了惠普公司提出的SMIF系統(tǒng)。SMIF系統(tǒng)的目的是在儲存晶片期間和在半導(dǎo)體制造過程中傳送晶片期間減少流到半導(dǎo)體晶片上的微粒量。通過以機械方式來確保在晶片儲存和傳送期間晶片周圍的氣體介質(zhì)(例如空氣或氮氣)相對于晶片基本上靜止不動，并且通...
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