專利名稱：一種嵌入式foup推車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域，尤其涉及一種嵌入式FOUP推車。
背景技術(shù)：
前端開口娃片片盒(Front Opening Unified Pod,簡稱F0UP),—般用于搬送測量標(biāo)準(zhǔn)片。圖I是本實(shí)用新型背景技術(shù)中傳統(tǒng)FOUP推車的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖I所示，傳統(tǒng)的FOUP推車I 一般采用圍欄式設(shè)計(jì)，以防止FOUP傾倒，但是其圍欄11的高度只有20_，遠(yuǎn)小于FOUP的高度，所以預(yù)防放置的FOUP傾倒效果不佳，且該推車I的放置臺尺寸大于兩個(gè)FOUP的尺寸，易造成放置的FOUP在圍欄內(nèi)進(jìn)行大角度的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得在該推車I搬送測量標(biāo)準(zhǔn)片的運(yùn)送或靜置過程中的安全性不高，易造成測量標(biāo)準(zhǔn)片的損壞，而測量標(biāo)準(zhǔn)片價(jià)格非常高，從而增大生產(chǎn)成本?！?br>
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型公開了一種嵌入式FOUP推車，包括一推車，其中，所述推車的放置臺上嵌入設(shè)置有凹槽，所述凹槽的形狀與FOUP的形狀相匹配。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述放置臺包括相同形狀的第一放置臺和第二放置臺，所述第二放置臺設(shè)置在所述第一放置臺的正下方。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述第一放置臺與所述第二放置臺之間的垂直距離大于所述FOUP的高度。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述第一放置臺上嵌入設(shè)置有第一凹槽，所述第二放置臺上嵌入設(shè)置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形狀相同，且所述第二凹槽設(shè)置在所述第一凹槽的正下方。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長度大于FOUP投影的長度5mm，所述凹槽的寬度大于FOUP投影的寬度5mm。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長為392-412mm，所述凹槽的寬為357-377mm，嵌入深度為 30_120mm。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的嵌入深度為80mm。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述放置臺的長度為650mm，寬度為550mm。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽寬邊距離所述放置臺的一寬邊的距離為130 mm，所述凹槽長邊距離所述放置臺的長邊的距離為95 mm。上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長邊的長度為395mm，圓角的半徑為40mmo綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提出一種嵌入式FOUP推車，通過放置臺上嵌入式設(shè)置FOUP凹槽，從而能有效的防止FOUP在搬送過程的安全性和穩(wěn)定性，從而提高了放置在FOUP中的測量標(biāo)準(zhǔn)片在靜置或移動(dòng)過程中的安全性，能有效避免由于測量標(biāo)準(zhǔn)片在搬送過程中損壞造成的成本損失。

圖I是本實(shí)用新型背景技術(shù)中傳統(tǒng)FOUP推車的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型嵌入式FOUP推車的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型嵌入式FOUP推車的投影示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明圖2是本實(shí)用新型嵌入式FOUP推車的結(jié)構(gòu)示意圖；·圖3是本實(shí)用新型嵌入式FOUP推車的投影示意圖。如圖1-6所示，本實(shí)用新型一種嵌入式FOUP推車，在FOUP推車2上設(shè)置第一放置臺21和第二放置臺23，其中，第二放置臺23設(shè)置在第一放置臺21的正下方，且兩放置臺之間的垂直距離大于放置在其上的FOUP的高度，以使得FOUP能夠放置在第二放置臺23上；第一放置臺21上嵌入設(shè)置有第一凹槽22，第一凹槽22的形狀與FOUP的形狀相匹配，且第一凹槽22具有一定的深度，以使得放置在第一凹槽22中的FOUP不易傾斜或轉(zhuǎn)動(dòng)，設(shè)置在第二放置臺23上的第二凹槽24與第一凹槽22的形狀相同，且第二凹槽24設(shè)在第一凹槽22的正下方。其中，第一、二凹槽22、24的長、寬邊長度均大于FUOP投影的長、寬邊一定冗余長度，以使得FOUP能方便的放入凹槽中且又不會(huì)在移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生較大的轉(zhuǎn)動(dòng)，該冗余長度一般為5mm。而根據(jù)現(xiàn)今FOUP的規(guī)格,第一、二凹槽的長邊長度設(shè)置為392_412mm,寬邊長度為357-377mm，嵌入深度為 30_120mm。具體的，如圖1-2所示，在長度為650mm，寬度為550mm的第一放置臺21上，在距離其長邊距離95mm處設(shè)置長度為395mm、寬度為360mm的第一凹槽22，該第一凹槽22的一寬邊距離第一放置臺21的寬邊距離為130mm,且其嵌入深度為80mm,圓角半徑為40mm,以放置長為390_、寬為355_的FOUP。而設(shè)置在第二放置臺23上的第二凹槽24的設(shè)置位置與形狀均與第一凹槽22 —致，且第一放置臺21與第二放置臺23之間的垂直距離大于放置其上FOUP的高度。當(dāng)進(jìn)行測量標(biāo)準(zhǔn)片的搬送時(shí)，將測量標(biāo)準(zhǔn)片放置在FOUP內(nèi)后，將FOUP放置在與其匹配的推車上放置臺的凹槽內(nèi)，由于凹槽形狀與FOUP形狀匹配，且有一定的深度，當(dāng)FOUP在靜置或移動(dòng)時(shí)能有效的防止其轉(zhuǎn)動(dòng)或傾斜，經(jīng)過實(shí)際測量FOUP在本實(shí)用新型中的推車上水平方向的最大可旋轉(zhuǎn)角度僅為3°，而傳統(tǒng)推車上水平方向的可旋轉(zhuǎn)角度最大為13°，控制旋轉(zhuǎn)角度提高了 77%，防傾斜能力提高了 32%。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提出一種嵌入式FOUP推車，通過放置臺上嵌入式設(shè)置FOUP凹槽，從而能有效的防止FOUP在搬送過程的安全性和穩(wěn)定性，從而提高了放置在FOUP中的測量標(biāo)準(zhǔn)片在靜置或移動(dòng)過程中的安全性，能有效避免由于測量標(biāo)準(zhǔn)片在搬送過程中損壞造成的成本損失。通過說明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本實(shí)用新型精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述實(shí)用新型提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。[0030] 對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本實(shí)用新型的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。 在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本實(shí)用新型的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種嵌入式FOUP推車，包括一推車，其特征在于， 所述推車的放置臺上嵌入設(shè)置有凹槽，所述凹槽的形狀與FOUP的形狀相匹配。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述放置臺包括相同形狀的第一放置臺和第二放置臺，所述第二放置臺設(shè)置在所述第一放置臺的正下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述第一放置臺與所述第二放置臺之間的垂直距離大于所述FOUP的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述第一放置臺上嵌入設(shè)置有第一凹槽，所述第二放置臺上嵌入設(shè)置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形狀相同，且所述第二凹槽設(shè)置在所述第一凹槽的正下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長度大于FOUP投影的長度5mm，所述凹槽的寬度大于FOUP投影的寬度5mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長為392-412mm，所述凹槽的寬為357-377mm，嵌入深度為30_120mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的嵌入深度為80mmo
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述放置臺的長度為650_，寬度為550mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽寬邊距離所述放置臺的一寬邊的距離為130mm，所述凹槽長邊距離所述放置臺的長邊的距離為95 mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長邊的長度為395mm,圓角的半徑為40mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種嵌入式FOUP推車，通過放置臺上嵌入式設(shè)置FOUP凹槽，從而能有效的防止FOUP在搬送過程的安全性和穩(wěn)定性，從而提高了放置在FOUP中的測量標(biāo)準(zhǔn)片在靜置或移動(dòng)過程中的安全性，能有效避免由于測量標(biāo)準(zhǔn)片在搬送過程中損壞造成的成本損失。
文檔編號B62B3/10GK202728293SQ20122022968
公開日2013年2月13日 申請日期2012年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月22日
發(fā)明者張穎, 周菱霖 申請人:上海華力微電子有限公司