技術編號：4045344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種嵌入式FOUP推車。背景技術前端開口娃片片盒(Front Opening Unified Pod,簡稱F0UP),—般用于搬送測量標準片。圖I是本實用新型背景技術中傳統(tǒng)FOUP推車的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖I所示，傳統(tǒng)的FOUP推車I 一般采用圍欄式設計，以防止FOUP傾倒，但是其圍欄11的高度只有20_，遠小于FOUP的高度，所以預防放置的FOUP傾倒效果不佳，且該推車I的放置臺尺寸大于兩個FOUP的尺寸，易...
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