疊層膜的制造方法、疊層膜以及使用該疊層膜的半導(dǎo)體裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種疊層膜的制造方法、疊層膜以及使用該疊層膜的半導(dǎo)體裝置的制 造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在將半導(dǎo)體晶片切割分離（dicing)成各個(gè)芯片時(shí)，使用用以固定半導(dǎo)體晶片的 切割膜、將切割膜與管芯接合膜（diebondingfilm) -體化而成的切割管芯接合膜。
[0003] 這樣的切割膜、切割管芯接合膜為了提高在晶片上的貼附、切割時(shí)在環(huán)狀框（ring frame)上的安裝等的操作性等，有以對應(yīng)于環(huán)狀框的形狀的方式進(jìn)行預(yù)切割加工的情況 (例如參照專利文獻(xiàn)1~專利文獻(xiàn)4)。
[0004] 將實(shí)施了預(yù)切割加工的以往的切割管芯接合膜的例子示于圖13A及圖13B。圖13A 是以往的切割管芯接合膜的平面圖，圖13B是圖13A的線B-B截面圖。切割管芯接合膜60 包含脫模膜61、粘接劑層62、及粘著膜63。粘接劑層62具有與晶片的形狀對應(yīng)的圓形狀。 粘著膜63具有：與切割用環(huán)狀框的形狀對應(yīng)的圓形標(biāo)簽部63a、以包圍其外側(cè)的方式沿著 脫模膜61的長度方向而連續(xù)地設(shè)置的1對側(cè)邊部63b。經(jīng)預(yù)切割加工的切割管芯接合膜 60通常如圖14所示那樣，卷繞成卷狀，并以卷狀制品提供。1對側(cè)邊部63b具有以下功能： 在將切割管芯接合膜60卷成卷狀時(shí)，抑制向柔軟的粘接劑層62的表面轉(zhuǎn)印卷繞褶皺等。
[0005] 這樣的切割管芯接合膜可經(jīng)由以下方式制造。首先，準(zhǔn)備具有脫模膜61、圓形狀的 多個(gè)粘接劑層62、粘著膜63的疊層體（未圖示）（參照圖15A)。然后進(jìn)行將粘著膜63沖 裁成規(guī)定形狀的預(yù)切割工序（參照圖15B)。
[0006] 在預(yù)切割工序中，將表面設(shè)置有與作為不需要的部分而剝離的區(qū)域的形狀對應(yīng)的 刀狀的預(yù)切割用刀具71設(shè)置在磁性料筒（magnetcylinder) 70中，將旋轉(zhuǎn)的磁性料筒70 按壓于以規(guī)定速度送出的粘著膜63上。由此，在磁性料筒70的每1次旋轉(zhuǎn)時(shí)，將1片粘著 膜63沖裁成規(guī)定形狀，并連續(xù)地預(yù)切割粘著膜63。然后，通過將粘著膜63的不需要的部分 剝離除去，而獲得具有多個(gè)圓形標(biāo)簽部63a、和1對側(cè)邊部63b的切割管芯接合膜。
[0007] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-96494號(hào)公報(bào) [0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開2007-2173號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)3:日本特開2010-192856號(hào)公報(bào)
[0012] 專利文獻(xiàn)4 :日本特開2009-188323號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013] 發(fā)明所要解決的課題
[0014] 然而，為了使經(jīng)預(yù)切割加工的粘著膜容易貼附于晶片上，使粘著膜容易從脫模膜 剝離，具體而言，降低脫模膜與粘著膜的粘接性是有效的。然而，如果降低脫模膜與粘著膜 的粘接性，則存在無法精度良好地僅剝離應(yīng)剝離的部分，而預(yù)切割加工性容易降低的問題。
[0015]S卩，如圖16所示那樣，以往的剝離部75包含：島狀粘著膜A的外周部75a與島狀 粘著膜B的外周部75b、以及將它們在脫模膜的長度方向連接的連接部75c(斜線部）。因 此，如圖16所示那樣，如果要沿著脫模膜的長度方向，按照島狀粘著膜A的外周部75a、連接 部75c、及島狀粘著膜B的外周部75b的順序剝離，則存在以下情況：難以對剝離部75的島 狀粘著膜A的剝離方向下游端附近的區(qū)域X的切口部（實(shí)線部分）施加剝離張力，島狀粘 著膜A與剝離部75c-體化而被剝離。
[0016] 對此，本發(fā)明人等經(jīng)由對剝離部的形狀進(jìn)行研究，從而發(fā)現(xiàn)，即使是在脫模膜與粘 著膜的粘接性低的情況下，也可以精度良好地僅剝離應(yīng)剝離的部分。
[0017] 本發(fā)明為鑒于上述情況而提出的發(fā)明，其目的是提供一種精度良好地預(yù)切割加工 成規(guī)定形狀的疊層膜的制造方法。
[0018] [1] -種疊層膜的制造方法，上述疊層膜具有：長條狀脫模膜，及設(shè)置于上述脫模 膜上且包含沿著長度方向而相互鄰接的島狀粘著膜A與島狀粘著膜B的多個(gè)島狀粘著膜， 且上述疊層膜的制造方法包括：獲得具有上述長條狀脫模膜與長條狀粘著膜的長條狀疊層 體的工序；將上述疊層體所包含的粘著膜進(jìn)行預(yù)切割，而獲得由切口線包圍的第一剝離部 的工序；以及將上述第一剝離部從上述脫模膜剝離的工序；上述第一剝離部包含上述島狀 粘著膜A的上述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部A1、上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的 寬度方向另一端側(cè)的周緣部B2、及將上述周緣部A1與上述周緣部B2連接的連接部C，且不 含上述島狀粘著膜A的上述脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部A2與上述島狀粘著膜B 的上述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部B1 ;或者包含上述島狀粘著膜A的上述脫模膜的 寬度方向一端側(cè)的周緣部A1、上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部 B1、及將上述周緣部A1與上述周緣部B1連接的連接部C，且不含上述島狀粘著膜A的上述 脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部A2與上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的寬度方向另 一端側(cè)的周緣部B2。
[0019] [2]如[1]所述的疊層膜的制造方法，上述第一剝離部包含上述島狀粘著膜A的上 述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部A1、上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的寬度方向另一 端側(cè)的周緣部B2、以及將上述周緣部A1與上述周緣部B2連接的連接部C;且不含上述島狀 粘著膜A的上述脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部A2與上述島狀粘著膜B的上述脫模 膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部B1。
[0020] [3]如[2]所述的疊層膜的制造方法，上述第一剝離部是沿著上述脫模膜的長度 方向上述周緣部A1、上述連接部C及上述周緣部B2依次被剝離的剝離部，且構(gòu)成上述第一 剝離部的上述連接部C包含上述島狀粘著膜A的上述剝離方向下端部。
[0021] [4]如[2]或[3]所述的疊層膜的制造方法，上述連接部C相對于上述脫模膜的長 度方向而傾斜地延伸。
[0022] [5]如[1]至[4]中任一所述的疊層膜的制造方法，將上述多個(gè)島狀粘著膜的中心 連接的線與上述脫模膜的長度方向平行。
[0023] [6]如[2]、[3]、或[4]所述的疊層膜的制造方法，其進(jìn)一步包括：將上述疊層體所 包含的粘著膜進(jìn)行預(yù)切割，而獲得由切口線包圍的第二剝離部的工序；以及將上述第二剝 離部從上述脫模膜剝離的工序；上述第二剝離部設(shè)置于上述第一剝離部的上述脫模膜的寬 度方向另一端側(cè)，且包含：上述島狀粘著膜A的上述脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部 A2、與上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部B2的外側(cè)鄰接而設(shè)置 的外周部B2'、以及將上述周緣部A2與上述外周部B2'連接的連接部C2。
[0024] [7]如[2]、[3]、[4]或[6]所述的疊層膜的制造方法，其進(jìn)一步包括：將上述疊層 體所包含的粘著膜進(jìn)行預(yù)切割，獲得由切口線包圍的第三剝離部的工序；以及將上述第三 剝離部從上述脫模膜剝離的工序；上述第三剝離部設(shè)置于上述第一剝離部的上述脫模膜的 寬度方向一端側(cè)，且包含：與上述島狀粘著膜A的上述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部 A1的外側(cè)鄰接而設(shè)置的外周部A1'、上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的寬度方向一端側(cè)的 周緣部B1、以及將上述外周部A1'與上述周緣部B1連接的連接部C1。
[0025] [8]如[1]至[7]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述島狀粘著膜具有圓形狀。
[0026] [9]如[1]至[8]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述疊層膜進(jìn)一步包含包圍多 個(gè)島狀粘著膜的外周、且沿著上述脫模膜的長度方向而連續(xù)地設(shè)置的側(cè)邊部。
[0027] [10]如[1]至[9]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述脫模膜與上述島狀粘著 膜的剝離強(qiáng)度為lg/50mm~35g/50mm。
[0028] [11]如[1]至[10]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述島狀粘著膜貼附于半導(dǎo) 體晶片。
[0029] [12]如[1]至[11]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述島狀粘著膜包含擴(kuò)展性 基材層，并且上述擴(kuò)展性基材層包含：23°C時(shí)的拉伸彈性模量為lOOMPa~500MPa的1- 丁 烯-a-烯烴共聚物（A)、以及含有丙烯-a-烯烴共聚物（bl)且23°C時(shí)的拉伸彈性模量為 8MPa~500MPa的丙烯系彈性體組合物（B)，上述丙烯系彈性體組合物（B)的含量相對于上 述1- 丁烯-a-烯烴共聚物（A)與上述丙烯系彈性體組合物（B)的合計(jì)100重量份為30 重量份~70重量份。
[0030] [13]如[1]至[12]中任一所述的疊層膜的制造方法，上述島狀粘著膜進(jìn)一步包含 設(shè)置于與上述脫模膜接觸的面上的粘著劑層，上述粘著劑層貼附于SUS-304-BA板的表面 并放置60分鐘后，從上述SUS-304-BA板的表面剝離時(shí)的依據(jù)JISZ0237而測定的粘著力 為 0?lN/25mm~10N/25mm〇
[0031] [14] -種疊層膜，其具有：長條狀脫模膜，及設(shè)置于上述脫模膜上且包含沿著長 度方向而相互鄰接的島狀粘著膜A與島狀粘著膜B的多個(gè)島狀粘著膜，且進(jìn)一步具有設(shè)置 于上述島狀粘著膜A與上述島狀粘著膜B之間的上述脫模膜的露出部，上述脫模膜的露出 部相對于上述脫模膜的長度方向而沿著傾斜方向延伸。
[0032] [15]-種疊層膜，其具有：長條狀脫模膜，及設(shè)置于上述脫模膜上且包含沿著長 度方向而相互鄰接的島狀粘著膜A與島狀粘著膜B的多個(gè)島狀粘著膜，且具有設(shè)置于上述 島狀粘著膜A與上述島狀粘著膜B之間的上述脫模膜的露出部，上述露出部的脫模膜的表 面具有相對于上述脫模膜的長度方向而沿著傾斜方向延伸的切口痕跡。
[0033] [16]如[14]或[15]所述的疊層膜，上述露出部至少包含上述島狀粘著膜A的上 述脫模膜的長度方向一端及上述島狀粘著膜B的上述脫模膜的長度方向另一端的一者或 兩者。
[0034] [17]如[14]至[16]中任一所述的疊層膜，將上述多個(gè)島狀粘著膜的中心連接的 線與上述脫模膜的長度方向平行。
[0035] [18]如[14]至[17]中任一所述的疊層膜，上述島狀粘著膜具有圓形狀。
[0036] [19]如[14]至[18]中任一所述的疊層膜，上述脫模膜與上述島狀粘著膜的剝離 強(qiáng)度為lg/50mm~35g/50mm。
[0037] [20]如[14]至[19]中任一所述的疊層膜，上述島狀粘著膜貼附于半導(dǎo)體晶片。
[0038] [21]如[14]至[20]中任一所述的疊層膜，上述島狀粘著膜包含擴(kuò)展性基材層，并 且上述擴(kuò)展性基材層包含：23°C時(shí)的拉伸彈性模量為lOOMPa~500MPa的1- 丁烯-a-烯 烴共聚物（A)、以及含有丙烯-a-烯烴共聚物（bl)且23°C時(shí)的拉伸彈性模量為8MPa~ 500MPa的丙烯系彈性體組合物（B)，上述丙烯系彈性體組合物（B)的含量相對于上述1-丁 烯-a-烯烴共聚物（A)與上述丙烯系彈性體組合物（B)的合計(jì)100重量份為30重量份~ 70重量份。
[0039] [22]如[14]至[21]中任一所述的疊層膜，上述島狀粘著膜在與上述脫模膜接 觸的面上進(jìn)一步包含粘著劑層，上述粘著劑層貼附于SUS-304-BA板的表面并放置60分鐘 后，從上述SUS-304-BA板的表面剝離時(shí)的依據(jù)JISZ0237而測定的粘著力為0.lN/25mm~ 10N/25mm。
[0040] [23] -種半導(dǎo)體裝置的制造方法，其包括：從[14]至[22]中任一所述的疊層膜 剝離至少一部分脫模膜，使島狀粘著膜的至少一部分露出的工序；以及在半導(dǎo)體晶片上貼 附使上述至少一部分露出的島狀粘著膜的工序。
[0041] [24]如[23]所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其包括：將上述半導(dǎo)體晶片進(jìn)行切割 而獲得半導(dǎo)體芯片的工序；以及將上述島狀粘著膜擴(kuò)展而拾取上述半導(dǎo)體芯片的工序。
[0042] 發(fā)明的效果
[0043] 根據(jù)本發(fā)明，可提供一種精度良好地預(yù)切割加工成規(guī)定形狀的疊層膜的制造方 法。
【附圖說明】
[0044]圖1A是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第一實(shí)施方式的平面圖。
[0045] 圖1B是圖1A的A-A線截面圖。
[0046]圖2A是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第一實(shí)施方式的變形例的平面圖。
[0047] 圖2B是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第一實(shí)施方式的另一變形例的平面圖。
[0048]圖2C是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第一實(shí)施方式的另一變形例的平面圖。
[0049]圖3A是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第二實(shí)施方式1的一例的平面圖。
[0050] 圖3B是圖3A的A-A線截面圖。
[0051]圖4A是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第二實(shí)施方式1的變形例的平面圖。
[0052]圖4B是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第二實(shí)施方式2的一例的平面圖。
[0053]圖4C是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第二實(shí)施方式2的變形例的平面圖。
[0054]圖5是表示島狀粘著膜的層構(gòu)成的優(yōu)選例的截面圖。
[0055] 圖6是表示長條狀疊層體的一例的截面圖。
[0056] 圖7是表示預(yù)切割工序的一例的立體圖。
[0057] 圖8是說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的第一剝離部的形狀的一例的平面圖。
[0058] 圖9A是表示第一剝離部的變形例的平面圖。
[0059] 圖9B是表示第一剝離部的另一變形例的平面圖。
[0060] 圖9C是表示第一剝離部的另一變形例的平面圖。
[0061] 圖10是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的第二剝離部及第三剝離部的形狀的一例，是說 明與圖8的第一剝離部對應(yīng)的第二剝離部及第三剝離部的平面圖。
[0062] 圖11A是表示與圖9A的第一剝離部對應(yīng)的第二剝離部及第三剝離部的一例的平 面圖。
[0063] 圖11B是表示與圖9B的第一剝離部對應(yīng)的第二剝離部的一例的平面圖。
[0064] 圖11C是表示與圖9C的第一剝離部對應(yīng)的第二剝離部的一例的平面圖。
[0065]圖12是本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造工序的一部分，是表示將本發(fā)明的疊層膜的 島狀粘著膜貼附于半導(dǎo)體晶片的工序的一例的示意圖。
[0066] 圖13A是實(shí)施了預(yù)切割加工的以往的切割膜的平面圖。
[0067] 圖13B是圖13A的B-B線截面圖。
[0068] 圖14是表示以往的切割膜的卷體的圖。
[0069] 圖15A是表示被預(yù)切割加工的疊層體的圖。
[0070] 圖15B是表示以往的預(yù)切割工序的圖。
[0071] 圖16是表示以往的剝離部的形狀的圖。
[0072] 圖17是表示本發(fā)明的剝離部的形狀的一例的圖。
【具體實(shí)施方式】 [0073] 1.疊層膜
[0074] 本發(fā)明的長條狀疊層膜包含長條狀脫模膜、及設(shè)置于其上的多個(gè)島狀粘著膜，根 據(jù)需要可進(jìn)一步包含設(shè)置于多個(gè)島狀粘著膜的外側(cè)的一對側(cè)邊部。本發(fā)明的長條狀疊層膜 可通過后述的疊層膜的制造方法而獲得。
[0075]多個(gè)島狀粘著膜在脫模膜的長度方向上隔著規(guī)定間隔而設(shè)置，包含相互鄰接的島 狀粘著膜A及島狀粘著膜B。將多個(gè)島狀粘著膜的中心連接的線（將中心彼此連接的線） 優(yōu)選為與脫模膜的長度方向平行。
[0076]島狀粘著膜的形狀沒有特別限制，為圓形狀、矩形狀等，在島狀粘著膜用作半導(dǎo)體 晶片的切割膜時(shí)，優(yōu)選為圓形狀。
[0077](第一實(shí)施方式）
[0078]圖1A是表示本發(fā)明的長條狀疊層膜的第一實(shí)施方式的平面圖。圖1B是圖1A的A-A線截面圖。如圖1A所示那樣，長條狀疊層膜10包含：長條狀脫模膜11、設(shè)置于其上的 多個(gè)島狀粘著膜13A及島狀粘著膜13B、及包圍島狀粘著膜13A和島狀粘著膜13B的外側(cè)、 且沿著脫模膜11的長度方向設(shè)置的一對側(cè)邊部15-1及側(cè)邊部15-2。
[0079] 脫模膜11的材質(zhì)可為紙、聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯等合成樹脂膜 等。脫模膜11的厚度通常為10ym~200ym左右，優(yōu)選為25ym~100ym左右。<