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ITO刻蝕液配制系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12456345閱讀:3596來源:國知局

本發(fā)明涉及一種配制系統(tǒng),尤其是一種ITO刻蝕液配制系統(tǒng),屬于化工設備技術(shù)領域。



背景技術(shù):

銦錫氧化物(ITO)導電膜具有電阻率低、透光性好、高溫穩(wěn)定性好及制備和圖形加工工藝簡單等諸多優(yōu)點,是一種理想的透明電極材料,被廣泛應用于LCD、PDP、FED、OLED/PLED等平板顯示器上作為透明電極。

為制備所需要的電極圖形,就要對ITO導電膜進行蝕刻。蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,其中,濕蝕刻是采用化學試劑,經(jīng)由化學反應達到蝕刻的目的。FeCl3系ITO蝕刻液,為黃褐色液體,有氣味酸性,在現(xiàn)有技術(shù)中,主要由鹽酸或硝酸、FeCl3、純水經(jīng)攪拌混勻過濾制得。在現(xiàn)有的FeCl3系ITO蝕刻液制備過程中,一般就是采用人工進行操作,自動化程度較低,物料混配效果較差,產(chǎn)品配制的精度不夠。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種ITO刻蝕液配制系統(tǒng),自動化程度高,混配效果好,保證產(chǎn)品精度。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述ITO刻蝕液配制系統(tǒng),其特征是:包括混配罐、溶解桶和抽料循環(huán)泵,混配罐的頂部設有第一進料口,溶解桶的出料口通過抽料管連接混配罐頂部的第二進料口,抽料循環(huán)泵的一端通過第一管道連接混配罐的底部,抽料循環(huán)泵的出料端分別連接混配罐的第二進料口和第二管道,第二管道的輸出端連接過濾灌裝設備,在抽料循環(huán)泵的出料端設置取樣支路,在取樣支路上設置取樣閥;在所述混配罐的頂部和第二管道的輸出端之間連接回流管道,回流管道上設置調(diào)節(jié)閥。

進一步的,在所述混配罐的中部連接第三管道,第三管道分別連接抽料循環(huán)泵的出料端管道和溶解桶。

進一步的,在所述溶解桶的底部安裝稱重秤。

進一步的,在所述混配罐上安裝壓力表和液位計。

進一步的,在所述抽料管、第一管道和第二管道上均設有閥體。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點:(1)本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)三氯化鐵ITO刻蝕液的自動化配制;(2)本發(fā)明能夠通過稱重秤對FeCl3、純水進行稱重,保證混配的精度;(3)本發(fā)明通過抽料循環(huán)泵實現(xiàn)混配罐中物料的混配,混配效果好,以保證產(chǎn)品精度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述ITO刻蝕液配制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖對本發(fā)明作進一步說明。

如圖1所示:所述ITO刻蝕液配制系統(tǒng)包括混配罐1、溶解桶2、抽料循環(huán)泵3、稱重秤4、第一進料口5、抽料管6、第二進料口7、第一管道8、第二管道9、取樣閥10、回流管道11、調(diào)節(jié)閥12、壓力表13、液位計14等。

如圖1所示,本發(fā)明所述ITO刻蝕液配制系統(tǒng),包括混配罐1、溶解桶2和抽料循環(huán)泵3,混配罐1的頂部設有第一進料口5,溶解桶2的出料口通過抽料管6連接混配罐1頂部的第二進料口7,抽料循環(huán)泵3的一端通過第一管道8連接混配罐1的底部,抽料循環(huán)泵3的出料端分別連接混配罐1的第二進料口和第二管道9,第二管道9的輸出端連接過濾灌裝設備,在抽料循環(huán)泵3的出料端設置取樣支路,在取樣支路上設置取樣閥10,通過取樣閥10以確定抽料循環(huán)泵3出料口的物料是回混配罐1繼續(xù)攪拌混合還是出樣至過濾灌裝設備。

在所述混配罐1的頂部和第二管道9的輸出端之間連接回流管道11,回流管道11上設置調(diào)節(jié)閥12,調(diào)節(jié)閥12用以調(diào)節(jié)壓力和流量,并且回流管道11能夠?qū)⒌诙艿?中多余的物料回流至混配罐1。

在所述混配罐1的中部連接第三管道13,第三管道13分別連接抽料循環(huán)泵3的出料端管道和溶解桶2,用于對混配罐1內(nèi)的物料進行放液排空。

在所述溶解桶2的底部安裝稱重秤4,用于對FeCl3、純水進行稱重。

在所述混配罐1上安裝壓力表13和液位計14。

在所述抽料管6、第一管道8和第二管道9上均設有閥體。

本發(fā)明的工作過程:FeCl3、純水在溶解桶2中溶解后由抽料管6送入混配罐1中,混配罐1由頂部的第一進料口5加入鹽酸;抽料循環(huán)泵3能夠?qū)⒒炫涔?內(nèi)的物料由底部抽出再由頂部送入,以實現(xiàn)混配罐1中物料的混合均勻;當從抽料循環(huán)泵3的出料口的取樣閥10取樣得到物料混配符合要求時,抽料循環(huán)泵3的出料口由第二管道9將物料排至過濾灌裝設備。

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