硅片涂硼裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型的一種硅片涂硼裝置，包括設置在桌面上的軸承座，所述軸承座內穿有轉軸，所述轉軸頂部設置有圓形的托盤，托盤邊緣向外水平延伸有三個爪部，所述爪部邊緣上方設置有弧形的邊框，三個爪部的邊框均位于托盤的同心圓的圓周上；轉軸下部穿出桌面并且末端驅動連接有電機，所述電機連接有腳踏開關。本實用新型的有益效果是：結構簡單，方便人工操作，能夠較為快速將硼均勻涂抹在硅片上，提高了工作效率。
【專利說明】硅片涂硼裝置

【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種硅片涂硼裝置。

【背景技術】
[0002]目前，在半導體硅片加工過程中，需要將硼涂抹在硅片上，然后進行擴散工藝，這需要一片一片的硅片手工涂抹，但由于硅片比較薄，用手不方便拿氣，而且一只手拿硅片，另一只手涂抹操作不方便，而且涂抹不太均勻，工作效率比較低。


【發(fā)明內容】

[0003]為解決以上技術上的不足，本實用新型提供了一種方便操作，涂抹均勻的硅片涂硼裝置。
[0004]本實用新型是通過以下措施實現的:
[0005]本實用新型的一種硅片涂硼裝置，包括設置在桌面上的軸承座，所述軸承座內穿有轉軸，所述轉軸頂部設置有圓形的托盤，托盤邊緣向外水平延伸有三個爪部，所述爪部邊緣上方設置有弧形的邊框，三個爪部的邊框均位于托盤的同心圓的圓周上；轉軸下部穿出桌面并且末端驅動連接有電機，所述電機連接有腳踏開關。
[0006]上述托盤的直徑小于硅片的直徑。
[0007]上述相鄰兩個爪部之間的夾角相同。
[0008]本實用新型的有益效果是:結構簡單，方便人工操作，能夠較為快速將硼均勻涂抹在硅片上，提高了工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0010]其中:I托盤，2爪部，3邊框，4轉軸，5軸承座，6電機，7腳踏開關。

【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細的描述:
[0012]如圖1所示，本實用新型的一種硅片涂硼裝置，包括設置在桌面上的軸承座5，軸承座5內穿有轉軸4，轉軸4頂部設置有圓形的托盤1，托盤I邊緣向外水平延伸有三個爪部2，爪部2邊緣上方設置有弧形的邊框3，三個爪部2的邊框3均位于托盤I的同心圓的圓周上；轉軸4下部穿出桌面并且末端驅動連接有電機6，電機6連接有腳踏開關7。托盤I的直徑小于硅片的直徑。相鄰兩個爪部2之間的夾角相同。
[0013]使用時，將娃片放在托盤I上，由于娃片的直徑大于托盤I的直徑，所以方便娃片的取放，硅片的邊緣被爪部2上的邊框3卡住，工人用腳踩腳踏開關7，電機6得電并帶動托盤I轉動，硅片也隨之轉動，爪部2的邊框3可以防止硅片飛出。在硅片在旋轉過程中工人手持沾有硼的毛筆在硅片上涂抹即可。
[0014]以上所述僅是本專利的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本專利的保護范圍。
【權利要求】
1.一種硅片涂硼裝置，其特征在于:包括設置在桌面上的軸承座，所述軸承座內穿有轉軸，所述轉軸頂部設置有圓形的托盤，托盤邊緣向外水平延伸有三個爪部，所述爪部邊緣上方設置有弧形的邊框，三個爪部的邊框均位于托盤的同心圓的圓周上；轉軸下部穿出桌面并且末端驅動連接有電機，所述電機連接有腳踏開關。
2.根據權利要求1所述硅片涂硼裝置，其特征在于:所述托盤的直徑小于硅片的直徑。
3.根據權利要求1所述硅片涂硼裝置，其特征在于:相鄰兩個爪部之間的夾角相同。
【文檔編號】B05C13/02GK204018160SQ201420449218
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年8月11日 優(yōu)先權日:2014年8月11日
【發(fā)明者】王天峰 申請人:山東芯諾電子科技有限公司