用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液及其應(yīng)用的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液及其應(yīng)用，該拋光液包括：0.01～40wt％的研磨顆粒；0～10wt％的氧化劑；0.1～10wt％的金屬絡(luò)合劑；0～5wt％的金屬緩蝕劑；以及余量的水，其中，研磨顆粒選自單晶金剛石、聚晶金剛石、三氧化二鋁、二氧化鋯、二氧化鈦、二氧化鈰、煅制二氧化硅和膠體二氧化硅中的至少一種，氧化劑選自高碘酸鹽、碘酸鹽、高氯酸鹽、過硫酸鹽和過氧化氫中的至少一種，金屬絡(luò)合劑選自氨、氨基酸和有機(jī)酸中的至少一種，金屬緩蝕劑選自含氮雜環(huán)衍生物、含硫雜環(huán)衍生物和同時含有氮、硫的雜環(huán)衍生物中的至少一種。使用該拋光液得到的軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此使得該軸承鋼可以應(yīng)用于精密器件中。
【專利說明】用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液及其應(yīng)用

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于材料【技術(shù)領(lǐng)域】，具體而言，本發(fā)明涉及一種用于加工超光滑軸承鋼表 面的拋光液及其應(yīng)用。

【背景技術(shù)】
[0002] 由于軸承鋼（如GCrl5軸承鋼）具有優(yōu)良的機(jī)械性能，并且較易生產(chǎn)，因此被廣泛 應(yīng)用于機(jī)械制造領(lǐng)域。軸承鋼的表面質(zhì)量對工程零部件的功能特性具有至關(guān)重要的影響， 如摩擦系數(shù)和耐磨性。近年來,工業(yè)界對使用軸承鋼作為原材料的精密器件的需求逐漸增 力口。為了實現(xiàn)滿意的器件功能特性，要求軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量。但 是目前的技術(shù)手段很難實現(xiàn)具有納米級表面粗糙度的超光滑軸承鋼表面?；瘜W(xué)機(jī)械拋光技 術(shù)通過拋光液的化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的協(xié)同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)超光滑無損傷表面。因此，可以 采用化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)來實現(xiàn)超光滑軸承鋼表面。拋光液是整個化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的關(guān)鍵 技術(shù)之一，因此，研制能夠?qū)崿F(xiàn)超光滑軸承鋼表面的拋光液至關(guān)重要。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的 一個目的在于提出一種用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液及其應(yīng)用，該拋光液能夠有效 地實現(xiàn)高的軸承鋼材料去除速率，并且在軸承鋼表面形成一層致密的鈍化膜，防止在拋光 過程中出現(xiàn)過腐蝕，從而使得軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性。
[0004] 在本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提出了一種用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液， 包括：
[0005] 0? 01?40wt%的研磨顆粒；
[0006] 0?IOwt %的氧化劑；
[0007] 0? 1?IOwt %的金屬絡(luò)合劑；
[0008] 0?5wt %的金屬緩蝕劑；以及 [0009] 余量的水，
[0010]其中，
[0011] 所述研磨顆粒為選自單晶金剛石、聚晶金剛石、三氧化二鋁、二氧化鋯、二氧化鈦、 二氧化鈰、煅制二氧化硅和膠體二氧化硅中的至少一種，
[0012] 所述氧化劑為選自高碘酸鹽、碘酸鹽、高氯酸鹽、過硫酸鹽和過氧化氫中的至少一 種，
[0013] 所述金屬絡(luò)合劑選自氨、氨基酸和有機(jī)酸中的至少一種，
[0014] 所述金屬緩蝕劑為選自含氮雜環(huán)衍生物、含硫雜環(huán)衍生物和同時含有氮、硫的雜 環(huán)衍生物中的至少一種。
[0015] 根據(jù)本發(fā)明實施例的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液通過化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械 研磨的協(xié)同作用，能夠有效地實現(xiàn)高的軸承鋼材料去除速率，并且在軸承鋼表面形成一層 致密的鈍化膜，防止在拋光過程中出現(xiàn)過腐蝕，從而獲得超光滑軸承鋼表面，同時通過添加 金屬絡(luò)合劑，可以使得金屬絡(luò)合劑與軸承鋼表面形成的氧化物或金屬離子進(jìn)行反應(yīng)形成可 溶性絡(luò)合物，進(jìn)而提高材料去除率，減少金屬氧化物顆粒造成的缺陷，從而使得軸承鋼具有 低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承鋼可以應(yīng)用于精密器件中，如軸 承滾珠，軸承圓柱滾子和密封試驗中的超精密接觸表面。
[0016] 另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液還可以具有 如下附加的技術(shù)特征：
[0017] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述金屬絡(luò)合劑為氨基酸，優(yōu)選氨基乙酸。由此，可以 進(jìn)一步提1?軸承鋼材料去除率。
[0018] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述金屬緩蝕劑選自1，2, 4-三唑、苯并三氮唑、4-甲 基-IH-苯并三氮唑、5-甲基-IH-苯并三氮唑、5, 6-二甲基-IH-苯并三氮唑、咪唑、2-巰基 噻唑啉、2-巰基苯駢噻唑、2-氨基苯并咪唑、2-巰基苯并咪唑和2-甲基苯并咪唑中的至少 一種。由此，可以在軸承鋼表面形成一層鈍化膜，防止在拋光中出現(xiàn)過腐蝕，從而顯著提高 軸承鋼表面質(zhì)量。
[0019] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液包括： 0? 01?40wt %的所述膠體二氧化硅；0?IOwt %的所述過氧化氫；0? 1?IOwt %的所述氨 基乙酸；0?5wt%的所述苯并三氮唑；以及余量的水。由此，可以顯著提高軸承鋼材料去除 速率，獲得超光滑軸承鋼表面。
[0020] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液包括：1? 20wt%的所述膠體二氧化娃；0?5wt%的所述過氧化氫；0. 1?5wt%的氨基乙酸；0? lwt%的所述苯并三氮唑；以及余量的水。由此，可以進(jìn)一步提高軸承鋼材料去除速率，獲得 超光滑軸承鋼表面。
[0021] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液包括：4? 12wt %的所述膠體二氧化硅；0. 01?Iwt %的所述過氧化氫；0. 75wt %的所述氨基乙酸； 0.006?0. 12wt%的所述苯并三氮唑；以及余量的水。由此，可以進(jìn)一步提高軸承鋼材料去 除速率，獲得超光滑軸承鋼表面。
[0022] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述拋光液的pH為2.0?8.0,優(yōu)選3.0?5.0。由此， 既可以保證該拋光液具有較高的軸承鋼材料去除速率，又可以保證較低的軸承鋼表面粗糙 度。
[0023] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述拋光液的pH調(diào)節(jié)劑為選自硝酸、硫酸、鹽酸、磷 酸、醋酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀和碳酸氫鉀中的至少一 種，優(yōu)選硝酸和氫氧化鉀中的至少一種。
[0024] 在本發(fā)明的一些實施例中，所述膠體二氧化硅的粒徑為10?200nm。由此，可以進(jìn) 一步保證該拋光液具有較高的軸承鋼材料去除速率和較低的表面粗糙度。
[0025] 在本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提出了一種對軸承鋼表面進(jìn)行拋光的方法，該方 法采用上述所述的拋光液對所述軸承鋼表面進(jìn)行拋光。由此，可以獲得超光滑軸承鋼表面。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的對軸承鋼表面進(jìn)行拋光的方法技術(shù)示意圖；
[0027] 圖2是拋光前軸承鋼表面形貌圖；
[0028] 圖3是采用本發(fā)明一個實施例的拋光液1對軸承鋼表面進(jìn)行拋光后的軸承鋼表面 形貌圖；
[0029] 圖4是采用本發(fā)明一個實施例的拋光液2對軸承鋼表面進(jìn)行拋光后的軸承鋼表面 形貌圖。

【具體實施方式】
[0030] 下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終 相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附 圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0031] 在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語"中心"、"縱向"、"橫向"、"長度"、"寬度"、 "厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"堅直"、"水平"、"頂"、"底" "內(nèi)"、"外"、"順時 針"、"逆時針"、"軸向"、"徑向"、"周向"等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或 位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必 須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0032] 在本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提出了一種用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液。 根據(jù)本發(fā)明的實施例，該拋光液包括：〇. 01?40wt %的研磨顆粒；0?IOwt %的氧化劑； 0. 1?IOwt %的金屬絡(luò)合劑；0?5wt %的金屬緩蝕劑；以及余量的水,根據(jù)本發(fā)明的具體 實施例，研磨顆?？梢詾檫x自單晶金剛石、聚晶金剛石、三氧化二鋁、二氧化鋯、二氧化鈰、 二氧化鈦、煅制二氧化硅和膠體二氧化硅中的至少一種，氧化劑可以為選自高碘酸鹽、碘酸 鹽、高氯酸鹽、過硫酸鹽和過氧化氫中的至少一種，金屬絡(luò)合劑選自氨、氨基酸和有機(jī)酸中 的至少一種，金屬緩蝕劑為選自含氮雜環(huán)衍生物、含硫雜環(huán)衍生物和同時含有氮、硫的雜環(huán) 衍生物中的至少一種。
[0033] 發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，研磨顆粒通過其機(jī)械研磨作用可以去除與研磨顆粒相接觸的軸承鋼 表面反應(yīng)物，從而實現(xiàn)軸承鋼材料的去除，并且通過添加金屬絡(luò)合物，使得金屬絡(luò)合物可以 與軸承鋼表面形成的氧化物或金屬離子進(jìn)行反應(yīng)形成可溶性絡(luò)合物，進(jìn)而提高材料去除 率，減少金屬氧化物顆粒造成的缺陷，另外，金屬緩蝕劑可以在軸承鋼表面形成一層致密的 鈍化膜，從而可以防止在拋光中出現(xiàn)過腐蝕，因此通過采用化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的協(xié)同作 用，可以獲得超光滑軸承鋼表面，并且發(fā)明人通過大量實驗意外發(fā)現(xiàn)，使用本發(fā)明配方組合 的拋光液，可以使得軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承 鋼可以應(yīng)用于精密器件中，如軸承滾珠，軸承圓柱滾子和密封試驗中的超精密接觸表面。 [0034] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，金屬絡(luò)合劑可以為氨基酸，優(yōu)選氨基乙酸。發(fā)明人通過 大量實驗意外發(fā)現(xiàn)，使用氨基乙酸作為金屬絡(luò)合劑可以明顯優(yōu)于使用其他金屬絡(luò)合劑在大 幅度提高軸承鋼材料去除率的同時，使得軸承鋼表面粗糙度增幅最小。這是因為在酸性條 件下，氨基乙酸通過氨基和羧基絡(luò)合軸承鋼表面的鐵離子，生成可溶性絡(luò)合物，從而提高軸 承鋼材料去除速率。相對于氨基乙酸，絲氨酸對軸承鋼材料去除速率的提升作用有限，這可 能是由于絲氨酸分子中的羥基作用；而草酸會嚴(yán)重惡化軸承鋼的表面質(zhì)量，這主要是由于 草酸分子中兩個羧基的絡(luò)合作用過強(qiáng)。
[0035] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，金屬緩蝕劑可以為選自1，2, 4-三唑、苯并三氮唑、 4-甲基-IH-苯并三氮唑、5-甲基-IH-苯并三氮唑、5, 6-二甲基-IH-苯并三氮唑、咪唑、 2-巰基噻唑啉、2-巰基苯駢噻唑、2-氨基苯并咪唑、2-巰基苯并咪唑、2-甲基苯并咪唑中的 至少一種。由此，可以在軸承鋼表面形成一層鈍化膜，防止在拋光中出現(xiàn)過腐蝕，從而顯著 提1?軸承鋼表面質(zhì)量。
[0036] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液可以包括： 0? 01?40wt %的膠體二氧化硅；0?IOwt %的過氧化氫；0? 1?IOwt %的氨基乙酸；0? 5wt%的苯并三氮唑；以及余量的水。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，隨著過氧化氫質(zhì)量分?jǐn)?shù)增加，軸承鋼靜態(tài) 腐蝕速率逐漸減小，材料去除率先急劇增加后逐漸減小，同時發(fā)明人通過大量實驗意外發(fā) 現(xiàn)，使用氨基乙酸作為金屬絡(luò)合劑可以明顯優(yōu)于使用其他金屬絡(luò)合劑在大幅度提高軸承鋼 材料去除率的同時，使得軸承鋼表面粗糙度增幅最小，由此使用本發(fā)明配方組合的拋光液， 可以使得軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承鋼可以應(yīng)用 于精密器件中。
[0037] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液可以包括：1? 20界1: (%的膠體二氧化娃；0?5￥1:(%的過氧化氫；0.1?5￥1: (%的氨基乙酸；0?1￥1:(%的苯 并三氮唑；以及余量的水。由此，使用本發(fā)明配方組合的拋光液，可以進(jìn)一步使得軸承鋼具 有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承鋼可以應(yīng)用于精密器件中。
[0038] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液可以包括： 4?12￥七％的膠體二氧化硅；0.01?^^%的過氧化氫；0.75￥七％的氨基乙酸；0.006? 0. 12wt%的苯并三氮唑；以及余量的水。由此,使用本發(fā)明配方組合的拋光液,可以進(jìn)一步 使得軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承鋼可以應(yīng)用于精 密器件中。
[0039] 根據(jù)本發(fā)明的具體實施例，該拋光液的pH值并不受特別限制，根據(jù)本發(fā)明的實施 例，該拋光液的pH可以為2. 0?8. 0,優(yōu)選3. 0?5. 0。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，pH較低時，軸承鋼表 面容易形成腐蝕坑，并且拋光設(shè)備容易被腐蝕，而PH過高時，使得在軸承鋼表面形成的氧 化膜較為致密，從而使得材料去除速率顯著降低，由此，選擇本發(fā)明的pH范圍既可以保證 較高的軸承鋼材料去除速率，又可以降低軸承鋼表面粗糙度。
[0040] 根據(jù)本發(fā)明的實施例，拋光液的pH調(diào)節(jié)劑可以為選自硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸、醋 酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀中的至少一種，優(yōu) 選硝酸和氫氧化鉀中的至少一種。由此，可以進(jìn)一步保證較高的軸承鋼材料去除速率和較 低的表面粗糙度。
[0041] 根據(jù)本發(fā)明的實施例，膠體二氧化硅的粒徑并不受特別限制，根據(jù)本發(fā)明的具體 實施例，膠體二氧化硅的粒徑可以為10?200nm。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，膠體二氧化硅的粒徑過低， 使得軸承鋼材料去除率顯著降低，而粒徑過高，研磨過程中導(dǎo)致軸承鋼表面質(zhì)量變差。由 此，選擇膠體二氧化硅的粒徑在10?200nm之間，既可以提高軸承鋼材料去除率，又可以保 證軸承鋼表面質(zhì)量。
[0042] 在本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提出了一種對軸承鋼表面進(jìn)行拋光的方法，該方 法采用上述的拋光液對軸承鋼表面進(jìn)行拋光。由此，該方法能夠有效地實現(xiàn)高的軸承鋼材 料去除速率，并且在軸承鋼表面形成一層致密的鈍化膜，防止在拋光過程中出現(xiàn)過腐蝕，同 時通過添加金屬絡(luò)合劑，可以使得金屬絡(luò)合劑與軸承鋼表面形成的氧化物或金屬離子進(jìn)行 反應(yīng)形成可溶性絡(luò)合物，進(jìn)而提高材料的去除率，減少金屬氧化物顆粒造成的缺陷，從而使 得軸承鋼具有低的表面粗糙度和低的缺陷數(shù)量的功能特性，因此該軸承鋼可以應(yīng)用于精密 器件中，如軸承滾珠，軸承圓柱滾子和密封試驗中的超精密接觸表面。
[0043] 下面參考具體實施例，對本發(fā)明進(jìn)行描述，需要說明的是，這些實施例僅僅是描述 性的，而不以任何方式限制本發(fā)明。
[0044] 實驗例1
[0045] 拋光液配方：4wt%的膠體二氧化硅，0. 75wt%的氨基乙酸，余量為水，采用硝酸和 氫氧化鉀調(diào)節(jié)pH值至2. 0?10. 0 ;
[0046] 拋光步驟：在化學(xué)機(jī)械拋光過程中，如圖1所示，拋光液以一定的流量不斷補(bǔ)充到 拋光墊上，拋光頭上的樣品在所施加壓力的作用下與拋光墊接觸，拋光墊和樣品做同方向 轉(zhuǎn)動不斷將拋光液補(bǔ)充到接觸區(qū)域，樣品表面材料在拋光液的化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的協(xié)同 作用下平整性去除，從而實現(xiàn)局部和全局平坦化。值得注意的是，以上的使用方式是基于傳 統(tǒng)拋光機(jī)而言，對特別的拋光機(jī)系統(tǒng)，可以根據(jù)實際情況合理調(diào)整執(zhí)行方式同樣能夠達(dá)到 化學(xué)機(jī)械拋光目的，所用拋光機(jī)為美國Bruker公司生產(chǎn)的CETR CP-4臺式拋光機(jī)；軸承鋼 為GCrl5軸承鋼，化學(xué)成分如表1所不，樣品尺寸為：直徑50. 8mm，厚度Imm;拋光條件為：力口 載壓力6. Opsi,拋光頭轉(zhuǎn)速150rpm，拋光盤轉(zhuǎn)速150rpm，拋光頭和拋光盤中心間距63mm，拋 光液流量l〇〇mL/min ;所用拋光墊為美國Dow Electronic Materials公司生產(chǎn)的IClOlO/ Suba-IV復(fù)合拋光墊。通過測量軸承鋼樣品拋光前后的重量變化來計算材料去除速率。使 用美國Veeco公司生產(chǎn)的MicroXAM三維白光干涉表面形貌儀測量軸承鋼表面形貌，測量面 積為173 iimX 128 iim。在此基礎(chǔ)上，使用相應(yīng)的圖像處理軟件計算表面粗糙度。測試結(jié)果 如表2所示。

【權(quán)利要求】
1. 一種用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，包括： 0· 01?40wt %的研磨顆粒； 0?10wt%的氧化劑； 0· 1?10wt%的金屬絡(luò)合劑； 0?5wt %的金屬緩蝕劑；以及 余量的水， 其中， 所述研磨顆粒為選自單晶金剛石、聚晶金剛石、三氧化二鋁、二氧化鋯、二氧化鈦、二氧 化鈰、煅制二氧化硅和膠體二氧化硅中的至少一種， 所述氧化劑為選自高碘酸鹽、碘酸鹽、高氯酸鹽、過硫酸鹽和過氧化氫中的至少一種， 所述金屬絡(luò)合劑選自氨、氨基酸和有機(jī)酸中的至少一種， 所述金屬緩蝕劑為選自含氮雜環(huán)衍生物、含硫雜環(huán)衍生物和同時含有氮、硫的雜環(huán)衍 生物中的至少一種。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，所述金 屬絡(luò)合劑為氨基酸，優(yōu)選氨基乙酸。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，所述金 屬緩蝕劑為選自1，2, 4-三唑、苯并三氮唑、4-甲基-1H-苯并三氮唑、5-甲基-1H-苯并三 氮唑、5, 6-二甲基-1H-苯并三氮唑、咪唑、2-巰基噻唑啉、2-巰基苯駢噻唑、2-氨基苯并咪 唑、2-巰基苯并咪唑和2-甲基苯并咪唑中的至少一種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，包括： 0. 01?40wt %的所述膠體二氧化硅； 0?10wt%的所述過氧化氫； 0· 1?10wt%的所述氨基乙酸； 0?5wt %的所述苯并三氮唑；以及 余量的水。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，包括： 1?20wt %的所述膠體二氧化硅； 0?5wt %的所述過氧化氫； 0. 1?5wt%的所述氨基乙酸； 0?lwt %的所述苯并三氮唑；以及 余量的水。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，包括： 4?12wt %的所述膠體二氧化硅； 0. 01?lwt %的所述過氧化氫； 0. 75wt%的所述氨基乙酸； 0· 006?0· 12wt%的所述苯并三氮唑；以及 余量的水。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，所述拋 光液的pH為2. 0?8. 0,優(yōu)選3. 0?5. 0。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，所述拋 光液的pH調(diào)節(jié)劑為選自硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸、醋酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨、碳酸 鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀和碳酸氫鉀中的至少一種，優(yōu)選硝酸和氫氧化鉀中的至少一種。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于加工超光滑軸承鋼表面的拋光液，其特征在于，所述膠 體二氧化硅的粒徑為10?200nm。
10. -種對軸承鋼表面進(jìn)行拋光的方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-9任一項所述的 拋光液對所述軸承鋼表面進(jìn)行拋光。
【文檔編號】C09G1/02GK104293206SQ201410490804
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月23日
【發(fā)明者】江亮, 雒建斌, 何永勇 申請人:清華大學(xué)