一種光刻膠回收系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光刻膠回收系統(tǒng)，用于解決光刻膠涂布機排出的使用過的光刻膠浪費的問題。所述系統(tǒng)包括：接收裝置，接收裝置與光刻膠涂布裝置連接，分別與第一緩沖裝置和第二緩沖裝置連接的輸送裝置，輸送裝置用于將第一緩沖裝置中的光刻膠輸送至第二緩沖裝置；第二緩沖裝置的頂部通過設置有第二控制閥的管道與干潔氣源連接；第二緩沖裝置的底部連接設置有第四控制閥的管道；第二緩沖裝置用于容納輸送裝置輸送的使用過的光刻膠，并在干潔氣源提供的氣壓下，通過所述設置有第四控制閥的管道將所述使用過的光刻膠輸送至膠桶。光刻膠涂布機排出的使用過的光刻膠通過上述各裝置進入膠桶，可以再次利用，從而降低生產成本。
【專利說明】一種光刻膠回收系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示裝置【技術領域】，尤其涉及一種光刻膠回收系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在制作彩膜基板和陣列基板的光刻工藝中，主要是利用光刻膠加上稀釋劑從而將光刻膠稀釋成一定濃度后，再以旋轉涂布方式(Spin coat)或狹縫涂布方式(Slit coat),將稀釋后的光刻膠均勻涂布于基板上。而為了使光刻膠可以均勻地涂布于基板上，旋轉涂布方式通常會先在該基板上涂布大量光刻膠，然后旋轉基板使光刻膠能夠均勻披覆于整個基板上，然而此種涂布方式中光刻膠的利用率較低，大多數的光刻膠都在旋轉涂布的過程中，被排入廢液槽中；而狹縫涂布方式中，是將工作臺上涂布完成的基板取走，再放置新的基板進行涂布，而為了保證涂布的均勻，在等待下一基板到位的時間內，要保持噴嘴出膠的連續(xù)性，即等待時間內噴嘴也一直在出膠，該時間段的出膠也被排入廢液槽中。由此可見，光刻膠的浪費比較嚴重，而且大量排出的光刻膠會對環(huán)境造成污染，尤其對于大規(guī)模生產線而言，光刻膠被大量的浪費，增加了生產成本。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠回收系統(tǒng)，用于解決由于目前彩膜基板和陣列基板生產工藝中涂布光刻膠時的大量浪費的問題，從而降低生產成本。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術方案實現的:
[0005]本發(fā)明實施例提供一種光刻膠回收系統(tǒng)，包括:
[0006]接收裝置，所述接收裝置與光刻膠涂布裝置連接，用于接收所述光刻膠涂布裝置排出的使用過的光刻膠；
[0007]第一緩沖裝置，所述第一緩沖裝置的頂部與所述接收裝置的底部連接；用于容納所述接收裝置接收的所述使用過的光刻膠；
[0008]輸送裝置，通過設置有第一控制閥的管道與所述第一緩沖裝置的底部連接，以及與第二緩沖裝置連接；所述輸送裝置用于將所述第一緩沖裝置中的所述使用過的光刻膠輸送至所述第二緩沖裝置中；
[0009]所述第二緩沖裝置的頂部通過設置有第二控制閥的管道與干潔氣源連接；所述第二緩沖裝置的底部連接設置有第四控制閥的管道；所述第二緩沖裝置用于容納所述輸送裝置輸送的所述使用過的光刻膠，并在干潔氣源提供的氣壓下，通過所述設置有第四控制閥的管道將所述使用過的光刻膠輸送至膠桶。
[0010]本發(fā)明實施例中，通過緩沖裝置和輸送裝置，使回收的光刻膠具有較充分的緩沖時間并能夠具有足夠的動力進入膠桶，從而實現使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費，降低生產成本。
[0011]優(yōu)選的，所述第二緩沖裝置的頂部還通過設置有第三控制閥的管道與廢液桶連接，所述控制裝置控制所述第三控制閥的通斷，所述設置有第三控制閥的管道用于在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出氣體以減少所述第二緩沖裝置內的壓力，或者用于在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出清洗所述第二緩沖裝置的液體。本發(fā)明實施例中，所述設置有第三控制閥的管道在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出氣體以減少所述第二緩沖裝置內的壓力，因此不會影響所述輸送裝置的輸送動作；在清洗該系統(tǒng)時，通過輸送裝置輸送清洗液，所述設置有第三控制閥的管道在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出清洗所述第二緩沖裝置的液體。
[0012]優(yōu)選的，所述系統(tǒng)還包括控制裝置、以及分別與所述控制裝置連接的第一監(jiān)測裝置和第二監(jiān)測裝置；
[0013]所述第一監(jiān)測裝置與所述第一控制閥連接，用于監(jiān)測所述第一緩沖裝置中光刻膠的液位，并向控制裝置發(fā)送第一液位信號；
[0014]所述第二監(jiān)測裝置與所述第二控制閥、所述第三控制閥、所述第四控制閥連接，用于監(jiān)測所述第二緩沖裝置中光刻膠的液位，并向控制裝置發(fā)送第二液位信號；
[0015]所述控制裝置與所述第一控制閥、所述第二控制閥、所述第三控制閥、所述第四控制閥連接和所述輸送裝置連接，用于根據接收的所述第一液位信號控制所述第一控制閥的通斷和控制所述輸送裝置的開啟和停止；還用于根據接收的所述第二液位信號控制所述第二控制閥、所述第三控制閥或所述第四控制閥的通斷，及控制所述輸送裝置的停止。
[0016]本發(fā)明實施例中，通過所述控制裝置、所述第一監(jiān)測裝置和所述第二監(jiān)測裝置，對緩沖裝置中所述使用過的光刻膠的液位的監(jiān)測，并對各控制閥輸送裝置進行控制，實現非人工的所述使用過的光刻膠收集。
[0017]優(yōu)選的，還包括第一過濾裝置，所述第一過濾裝置設置于所述接收裝置的底部，用于過濾所述接收裝置排出的所述使用過的光刻膠。所述第一過濾裝置為過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于I毫米的過濾孔。通過所述第一過濾裝置對收集到的所述使用過的光刻膠進行初步過濾，以減少后續(xù)收集流程中收集的所述使用過的光刻膠中的顆粒。
[0018]優(yōu)選的，還包括第二過濾裝置，所述第二過濾裝置設置于所述第二緩沖裝置的底部，用于過濾所述第二緩沖裝置排出的所述使用過的光刻膠。通過所述第二過濾裝置對收集到的所述使用過的光刻膠進行進一步過濾，以使收集到的所述使用過的光刻膠符合標準。
[0019]優(yōu)選的，所述第二過濾裝置為過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于3微米的過濾孔。
[0020]優(yōu)選的，還包括第二過濾裝置，所述第二過濾裝置設置于所述設置有第四控制閥的管道與所述膠桶之間。所述第二過濾裝置為過濾器，所述過濾器內設置過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于3微米的過濾孔；所述過濾器用于過濾所述設置有第四控制閥的管道排出的所述使用過的光刻膠。通過所述第二過濾裝置對收集到的所述使用過的光刻膠進行進一步過濾，以使收集到的所述使用過的光刻膠符合標準。
[0021]優(yōu)選的，所述第一監(jiān)測裝置和所述第二監(jiān)測裝置為傳感器，所述傳感器包括超聲波傳感器、壓力傳感器、紅外傳感器、激光傳感器和機械浮子中的任意一種或組合。
[0022]本發(fā)明實施例有益效果如下:通過緩沖裝置和輸送裝置，使回收的光刻膠具有較充分的緩沖時間并能夠具有足夠的動力進入膠桶；多個控制閥的配合，能夠使光刻膠按合理的速度過濾并進入膠桶；提供的過濾裝置能夠將回收的光刻膠過濾，使之符合使用要求；通過上述各部分裝置的配合，從而實現使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費，降低生產成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明實施例提供的光刻膠回收系統(tǒng)的結構圖；
[0024]圖2為本發(fā)明實施例提供的包括第一監(jiān)測裝置和第二監(jiān)測裝置的光刻膠回收系統(tǒng)的結構圖；
[0025]圖3為本發(fā)明實施例提供的包括第一監(jiān)測裝置、第二監(jiān)測裝置和控制裝置的光刻膠回收系統(tǒng)的結構圖。
[0026]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0027]接收裝置I，第一緩沖裝置2，輸送裝置3，第二緩沖裝置4，膠桶5，第一控制閥6，第二控制閥7，第三控制閥8，第四控制閥9，第一過濾裝置10，第二過濾裝置11，第一監(jiān)測裝置12，第二監(jiān)測裝置13，控制裝置14。
【具體實施方式】
[0028]下面結合說明書附圖對本發(fā)明實施例的實現過程進行詳細說明。需要注意的是，自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0029]參見圖1，本發(fā)明實施例提供一種光刻膠回收系統(tǒng)，包括:
[0030]接收裝置1，接收裝置I與光刻膠涂布裝置連接，用于接收光刻膠涂布裝置排出的使用過的光刻膠。由于光刻膠涂布裝置分為旋轉涂布方式和狹縫涂布方式，接收裝置I需要根據上述兩種涂布方式的設備進行適應性調整，例如，對于旋轉涂布方式的涂膠設備，通常具有基板旋轉盤，可以將接收裝置I設計成能夠接收較大范圍排膠且適應基板旋轉盤的儲槽；又例如，對于狹縫涂布方式，可以將接收裝置I設計成較小，且接收裝置I的位置對應接收噴嘴在預涂布位置，或者將接收裝置I設計成較大，能夠接收噴嘴在預涂布位置和涂布位置的噴膠和刮膠。需要說明的是，本實施例只是為了對接收裝置I進行說明，本發(fā)明不限于此。本領域技術人員可以根據本發(fā)明的思想，對接收裝置I進行變型，仍然在本發(fā)明的保護范圍內。
[0031]第一緩沖裝置2，第一緩沖裝置2的頂部與接收裝置I的底部連接；用于容納接收裝置I接收的使用過的光刻膠。在接收裝置I的底部設置第一過濾裝置10。當然該第一過濾裝置10也可以設置于接收裝置I和第一緩沖裝置2之間，與在接收裝置I底部設置第一過濾裝置10相似。通過第一過濾裝置10以實現對接收裝置I接收的使用過的光刻膠進行初步的過濾，減少較大的光刻膠顆粒；第一過濾裝置10為初步的過濾，因此其過濾孔的直徑可以較大，例如，第一過濾裝置10的過濾孔的直徑小于I毫米。第一過濾裝置10可以為過濾網、或者可以安裝于接收裝置I底部的過濾器或其他符合生產要求的過濾裝置。
[0032]輸送裝置3，通過設置有第一控制閥6的管道與第一緩沖裝置2的底部連接，以及與第二緩沖裝置4連接；輸送裝置用于將第一緩沖裝置2中的使用過的光刻膠輸送至第二緩沖裝置4中。輸送裝置3可以為輸送泵，輸送泵能夠提供動力將第一緩沖裝置2中的光刻膠泵入第二緩沖裝置4。[0033]第二緩沖裝置4的頂部通過設置有第二控制閥7的管道與干潔氣源連接；第二緩沖裝置4的底部通過設置有第四控制閥9的管道與膠桶5連接；第二緩沖裝置4用于容納輸送裝置3輸送的使用過的光刻膠，并在干潔氣源提供的氣壓下，使使用過的光刻膠流入膠桶5。為了得到更好的過濾效果，在第二緩沖裝置4底部設置第二過濾裝置11，或者在設置有第四控制閥9的管道與膠桶5之間設置第二過濾裝置11，用于進一步過濾光刻膠顆粒，從而使進行膠桶5的光刻膠符合再次使用的要求，相比第一過濾裝置10，第二過濾裝置11需要設置較小直徑的過濾孔，例如過濾孔的直徑小于3微米。第二過濾裝置11可以為安裝于第二緩沖裝置4的底部的過濾網，該過濾網用于過濾第二緩沖裝置4排出的使用過的光刻膠；或者，第二過濾裝置11可以為安裝于設置有第三控制閥8的管道與膠桶5之間的過濾器，過濾器用于過濾設置有第四控制閥9的管道排出的所述使用過的光刻膠；第二過濾裝置11還可以為其他符合生產要求的過濾裝置。第二控制閥7在導通狀態(tài)下，可以根據干潔氣源使第二緩沖裝置4內的氣壓增加，使得在第二緩沖裝置4內的光刻膠可以平穩(wěn)的進行過濾，并流入膠桶5。該干潔氣源提供清潔除濕的氣體，以保證不影響光刻膠的品質。
[0034]本實施例上述的第一緩沖裝置2、輸送裝置3和第二緩沖裝置4使得使用過的光刻膠的回收具有一個緩沖，從而保證整個回收過程的順利實現。
[0035]輸送裝置3將第一緩沖裝置2中的使用過的光刻膠輸送至第二緩沖裝置4的過程，隨著光刻膠的增加，會導致第二緩沖裝置4中的氣壓增加，氣壓的增加將影響輸送裝置3的工作，因此有必要對該情形下的第二緩沖裝置4中的氣壓進行調節(jié)，因此可以使第二緩沖裝置4的頂部通過設置有第三控制閥8的管道與廢液桶連接，第三控制閥8在控制裝置的控制下通斷，用于在導通的狀態(tài)下向廢液桶排出氣體以減少第二緩沖裝置內的壓力。同時，在清洗本實施提供的光刻膠回收系統(tǒng)時，可以使第三控制閥8導通，以便向廢液桶排出清洗第二緩沖裝置4的液體。當然，如果不考慮清洗的情形，可以將設置有第三控制閥8的管道空置，即不連接廢液桶，只需要能夠排出第二緩沖裝置4中的氣體，減小第二緩沖裝置4中氣壓即可。需要說明的是，在第三控制閥8打開時，第二控制閥7必須關閉，相應的，第二控制閥7打開時，第三控制閥8必須關閉。
[0036]本發(fā)明實施例有益效果如下:通過緩沖裝置和輸送裝置，使回收的光刻膠具有較充分的緩沖時間并能夠具有足夠的動力進入膠桶；多個控制閥的配合，能夠使光刻膠按合理的速度過濾并進入膠桶；提供的過濾裝置能夠將回收的光刻膠過濾，使之符合使用要求；通過上述各部分裝置的配合，從而實現使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費，降低生產成本。
[0037]以上各控制閥及輸送裝置可以人工控制，為了減少人工參與、降低成本及提高工作效率，本發(fā)明實施例提供的光刻膠回收系統(tǒng)還包括包括控制裝置14以及與之連接的第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13。當然根據硬件功能可以將控制裝置14集成于第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13。
[0038]參見圖2，示出了包括第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13的光刻膠回收系統(tǒng)，即將控制裝置14集成于第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13的方案。其中，第一監(jiān)測裝置12與第一控制閥和輸送裝置連接，用于監(jiān)測第一緩沖裝置2中光刻膠的液位，并根據第一緩沖裝置2中的液位觸發(fā)第一控制閥6的通斷以及輸送裝置3的開啟和停止；
[0039]第二監(jiān)測裝置13與第二控制閥7、第三控制閥8、第四控制閥9和輸送裝置3連接，用于監(jiān)測第二緩沖裝置4中光刻膠的液位，并根據第二緩沖裝置4中的液位觸發(fā)第二控制閥7、第三控制閥8或第四控制閥9的通斷以及輸送裝置3的停止。
[0040]參見圖3，示出了包括控制裝置14、以及分別與控制裝置14連接的第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13的光刻膠回收系統(tǒng)。其中，第一監(jiān)測裝置12與第一控制閥6連接，用于監(jiān)測第一緩沖裝置2中光刻膠的液位，并向控制裝置14發(fā)送第一液位信號；
[0041]第二監(jiān)測裝置13與第二控制閥7、第三控制閥8、第四控制閥9，用于監(jiān)測第二緩沖裝置4中光刻膠的液位，并向控制裝置14發(fā)送第二液位信號；
[0042]控制裝置14與第一控制閥6、第二控制閥7、第三控制閥8、第四控制閥9連接和輸送裝置3連接，用于根據接收的第一液位信號控制第一控制閥6的通斷和輸送裝置3的開啟和停止；還用于根據接收的第二液位信號控制第二控制閥7、第三控制閥8或第四控制閥9的通斷，及控制輸送裝置3的停止。
[0043]如圖3所示的控制裝置14可以中央處理器(Central processing unit.,CPU)、微處理器MPU、單片機或集成電路。當然該控制裝置14可以集成于第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13中，以實現如圖2所示的第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13。
[0044]第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13可以為能夠實現本發(fā)明方案的傳感器，例如超聲波傳感器、壓力傳感器、紅外傳感器、激光傳感器和機械浮子傳感器，可以應用上述傳感器中的任意一種也可以組合應用。傳感器的設置的數量和位置可以根據實際需求而定。例如，各傳感器可以設置于與第一緩沖裝置2和第二緩沖裝置4連接管道上，該管道內的液位與第一緩沖裝置2和第二緩沖裝置4內的液位同步；又例如，可以設置于第一緩沖裝置2和第二緩沖裝置4的內部。
[0045]同一監(jiān)測裝置包括的傳感器的個數可以為一個或兩個及以上。以第一監(jiān)測裝置12為例進行說明:
[0046]例如，第一監(jiān)測裝置12包括2個傳感器，分別對應第一監(jiān)測裝置12的高位和低位，在高位時控制第一控制閥6開啟，并啟動傳送裝置3，在低位時關閉第一控制閥6，并停止傳送裝置3 ;或者在高位時向控制裝置14發(fā)送液位高的信號，使控制裝置4控制第一控制閥6開始，并啟動傳送裝置3，在低位時向控制裝置14發(fā)送液位低的信號，使控制裝置14關閉第一控制閥6，并停止傳送裝置3。
[0047]又例如，第一監(jiān)測裝置12包括3個傳感器，分別對應第一監(jiān)測裝置12的高位、中位和低位，在高位時控制第一控制閥6開啟，并啟動傳送裝置3向第二緩沖裝置4快速輸送光刻膠，在中位時，控制傳送裝置3向第二緩沖裝置4低速輸送光刻膠，在低位時控制第一控制閥6關閉并停止輸送裝置3 ;或者向控制裝置14發(fā)送信號，由控制裝置14控制第一控制閥6和輸送裝置3。
[0048]需要說明的是，第一監(jiān)測裝置12和第二監(jiān)測裝置13可以包括一個或多個傳感器，上述實施例只是為了舉例說明，本發(fā)明不限于此。
[0049]此外，根據實際應用的情況，需要考慮各控制閥及輸送裝置3的控制邏輯，例如第一緩沖裝置2和第二緩沖裝置4的液位為高高、高低、低高和低低的控制情況；又例如在上述情況的基礎上，第二控制閥在通斷狀態(tài)下及第三控制閥在不同通斷狀態(tài)下的控制情況；又例如只用于清洗時的控制情況。本領域相關技術人員可以根據本發(fā)明的光刻膠回收系統(tǒng)，設計在不同情況下的控制邏輯，以滿足在該情況下的控制要求，在此不一一舉例。[0050]本發(fā)明實施例通過緩沖裝置和輸送裝置，使回收的光刻膠具有較充分的緩沖時間并能夠具有足夠的動力進入膠桶；多個控制閥的配合，能夠使光刻膠按合理的速度過濾并進入膠桶；提供的過濾裝置能夠將回收的光刻膠過濾，使之符合使用要求；通過上述各部分裝置的配合，從而實現使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費，降低生產成本；進一步的采用傳感裝置監(jiān)測各緩沖裝置內的液位，并控制相應控制閥和輸送裝置，以減小人工成本提高工作效率。
[0051]顯然，本領域的技術人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種光刻膠回收系統(tǒng)，其特征在于，包括: 接收裝置，所述接收裝置與光刻膠涂布裝置連接，用于接收所述光刻膠涂布裝置排出的使用過的光刻膠； 第一緩沖裝置，所述第一緩沖裝置的頂部與所述接收裝置的底部連接；用于容納所述接收裝置接收的所述使用過的光刻膠； 輸送裝置，通過設置有第一控制閥的管道與所述第一緩沖裝置的底部連接，以及與第二緩沖裝置連接；所述輸送裝置用于將所述第一緩沖裝置中的所述使用過的光刻膠輸送至所述第二緩沖裝置中； 所述第二緩沖裝置的頂部通過設置有第二控制閥的管道與干潔氣源連接；所述第二緩沖裝置的底部連接設置有第四控制閥的管道；所述第二緩沖裝置用于容納所述輸送裝置輸送的所述使用過的光刻膠，并在干潔氣源提供的氣壓下，通過所述設置有第四控制閥的管道將所述使用過的光刻膠輸送至膠桶。
2.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二緩沖裝置的頂部還通過設置有第三控制閥的管道與廢液桶連接，所述設置有第三控制閥的管道用于在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出氣體以減少所述第二緩沖裝置內的壓力，或者用于在所述第三控制閥導通的狀態(tài)下向廢液桶排出清洗所述第二緩沖裝置的液體。
3.如權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括控制裝置、以及分別與所述控制裝置連接的第一監(jiān)測裝置和第二監(jiān)測裝置； 所述第一監(jiān)測裝置與所述第一控制閥連接，用于監(jiān)測所述第一緩沖裝置中光刻膠的液位，并向控制裝置發(fā)送第一液位信號； 所述第二監(jiān)測裝置與所述第二控制閥、所述第三控制閥、所述第四控制閥連接，用于監(jiān)測所述第二緩沖裝置中光刻膠的液位`，并向控制裝置發(fā)送第二液位信號； 所述控制裝置與所述第一控制閥、所述第二控制閥、所述第三控制閥、所述第四控制閥連接和所述輸送裝置連接，用于根據接收的所述第一液位信號控制所述第一控制閥的通斷和控制所述輸送裝置的開啟和停止；還用于根據接收的所述第二液位信號控制所述第二控制閥、所述第三控制閥或所述第四控制閥的通斷，及控制所述輸送裝置的停止。
4.如權利要求1至3任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一過濾裝置，所述第一過濾裝置設置于所述接收裝置的底部，用于過濾所述接收裝置排出的所述使用過的光刻膠。
5.如權利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一過濾裝置為過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于I毫米的過濾孔。
6.如權利要求1至3任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括第二過濾裝置，所述第二過濾裝置設置于所述第二緩沖裝置的底部，用于過濾所述第二緩沖裝置排出的所述使用過的光刻膠。
7.如權利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二過濾裝置為過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于3微米的過濾孔。
8.如權利要求1至3任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括第二過濾裝置，所述第二過濾裝置設置于所述設置有第四控制閥的管道與所述膠桶之間。
9.如權利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二過濾裝置為過濾器，所述過濾器內設置過濾網，所述過濾網設置有若干直徑小于3微米的過濾孔；所述過濾器用于過濾所述設置有第四控制閥的管道排出的所述使用過的光刻膠。
10.如權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一監(jiān)測裝置和所述第二監(jiān)測裝置為傳感器，所述傳感器包括超聲波傳感器、壓力傳感器、紅外傳感器、激光傳感器和機械浮子中的任意一 種或組合。
【文檔編號】B05C11/10GK103769351SQ201410024900
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月20日 優(yōu)先權日:2014年1月20日
【發(fā)明者】陳鵬, 杜宏偉, 吳凱民, 肖金濤, 齊鵬煜, 孫培會 申請人:北京京東方顯示技術有限公司, 京東方科技集團股份有限公司