一種甩膠方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種甩膠方法，其特征在于，所述工藝步驟如下；將芯片放置真空吸盤上，打開真空吸盤開關；用洗耳球吹掉表面雜物，然后用滴管把光刻膠滴在片子的中心，將甩膠機轉速設至700rpm，甩膠時間設為10秒鐘，按下開始（START）按鈕,甩膠機開始涂膠，離心力把光刻膠甩到表面的所有地方，多余的光刻膠從旋轉中的晶片上被甩掉，光刻膠溶液黏著在晶片上形成一層均勻的薄膜；甩膠完成后，關掉真空吸盤開關，用濾紙將芯片取下，放至盛片盒中；將烤箱溫度設為98℃，把芯片放置烤箱內烘烤20分鐘。本發(fā)明通過對甩膠工藝進行改進，能夠在甩膠時芯片上的膠膜更加的均勻，增加烘烤工藝，保證了膠膜的耐磨性及黏附性。
【專利說明】一種用膠方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種甩膠方法，屬于LED生產領域。
【背景技術】
[0002]目前常用的甩膠工藝為甩膠機轉速為IOOOrpm，雖然甩膠速度較快，但是由于速度過快，容易出現甩膠不均勻、光刻膠黏附性差等現象，導致后工序出現掉電極的現象，降低了廣品的良率。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明針對現有技術存在的不足，提供一種甩膠方法。
[0004]本發(fā)明解決上述技術問題的技術方案如下:一種甩膠方法，其特征在于，所述工藝步驟如下:
(1)將芯片放置真空吸盤上，打開真空吸盤開關；
(2)用洗耳球吹掉表面雜物，然后用滴管把光刻膠滴在片子的中心，將甩膠機轉速設至700rpm，甩膠時間設為10秒鐘，按下開始(START)按鈕，甩膠機開始涂膠，離心力把光刻膠甩到表面的所有地方，多余的光刻膠從旋轉中的晶片上被甩掉，光刻膠溶液黏著在晶片上形成一層均勻的薄膜；
(3)甩膠完成后，關掉真空吸盤開關，用濾紙將芯片取下，放至盛片盒中；
(4)將烤箱溫度設為98°C，把芯片放置烤箱內烘烤20分鐘。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過對甩膠工藝進行改進，能夠在甩膠時芯片上的膠膜更加的均勻，增加烘烤工藝，保證了膠膜的耐磨性及黏附性。
【具體實施方式】
[0006]以下對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0007]一種甩膠方法，其特征在于，所述工藝步驟如下:
(1)將芯片放置真空吸盤上，打開真空吸盤開關；
(2)用洗耳球吹掉表面雜物，然后用滴管把光刻膠滴在片子的中心，將甩膠機轉速設至700rpm，甩膠時間設為10秒鐘，按下開始(START)按鈕，甩膠機開始涂膠，離心力把光刻膠甩到表面的所有地方，多余的光刻膠從旋轉中的晶片上被甩掉，光刻膠溶液黏著在晶片上形成一層均勻的薄膜；
(3)甩膠完成后，關掉真空吸盤開關，用濾紙將芯片取下，放至盛片盒中；
(4)將烤箱溫度設為98°C，把芯片放置烤箱內烘烤20分鐘。
[0008]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種甩膠方法，其特征在于，所述工藝步驟如下: 將芯片放置真空吸盤上，打開真空吸盤開關； 用洗耳球吹掉表面雜物，然后用滴管把光刻膠滴在片子的中心，將甩膠機轉速設至700rpm，甩膠時間設為10秒鐘，按下開始(START)按鈕，甩膠機開始涂膠，離心力把光刻膠甩到表面的所有地方，多余的光刻膠從旋轉中的晶片上被甩掉，光刻膠溶液黏著在晶片上形成一層均勻的薄膜； 甩膠完成后，關掉真空吸盤開關，用濾紙將芯片取下，放至盛片盒中； 將烤箱溫度設為98°C，把芯片放置烤箱內烘烤20分鐘。
【文檔編號】B05D3/12GK103809381SQ201210456754
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月15日 優(yōu)先權日:2012年11月15日
【發(fā)明者】毛華軍 申請人:毛華軍