技術(shù)編號(hào):3780675
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,其特征在于,所述工藝步驟如下;將芯片放置真空吸盤上,打開(kāi)真空吸盤開(kāi)關(guān);用洗耳球吹掉表面雜物,然后用滴管把光刻膠滴在片子的中心,將甩膠機(jī)轉(zhuǎn)速設(shè)至700rpm,甩膠時(shí)間設(shè)為10秒鐘,按下開(kāi)始(START)按鈕,甩膠機(jī)開(kāi)始涂膠,離心力把光刻膠甩到表面的所有地方,多余的光刻膠從旋轉(zhuǎn)中的晶片上被甩掉,光刻膠溶液黏著在晶片上形成一層均勻的薄膜;甩膠完成后,關(guān)掉真空吸盤開(kāi)關(guān),用濾紙將芯片取下,放至盛片盒中;將烤箱溫度設(shè)為98℃,把芯片放置烤箱內(nèi)烘烤20分鐘。...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。