專利名稱：涂膠機(jī)和使用該涂膠機(jī)形成密封膠圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在基板上形成密封膠圖案的涂膠機(jī)以及使用 該涂膠機(jī)形成密封膠圖案的方法。
背景技術(shù)：
涂膠機(jī)是在制造多種平板顯示器(FPDs)的工藝中將密封膠(密封 劑)以預(yù)定圖案施加至基板，以便粘附或密封基板的裝置。
此類涂膠機(jī)包括托臺(tái)，其上安裝有基板；頭單元，其裝配有排出 密封膠的噴嘴；頭支承件，其支承頭單元；以及X軸驅(qū)動(dòng)單元，其置于 頭單元和頭支承件之間，并沿頭支承件延伸的方向(X軸方向)移動(dòng)頭 單元.該涂膠機(jī)設(shè)置有多個(gè)頭單元，這些頭單元在大面積的基板上同時(shí) 形成多個(gè)密封膠圖案，并因此提高了產(chǎn)量。
此類涂膠機(jī)在調(diào)節(jié)噴嘴和基板之間的間隙的同時(shí)，在基板上形成密 封膠圖案。為此，頭單元包括測(cè)量噴嘴和基板之間的間隙的激光位移傳 感器，以及沿Z軸方向、即豎直方向移動(dòng)噴嘴和激光位移傳感器的Z 軸驅(qū)動(dòng)單元。此外，頭單元設(shè)置有截面積傳感器，該截面積傳感器測(cè)量
施加至基板的密封膠圖案的截面積，從而檢查密封膠圖案的有缺陷部 分。
激光位移傳感器包括發(fā)射激光的發(fā)射部，以及與發(fā)射部隔開預(yù)定距 離并接收激光的接收部。激光位移傳感器將對(duì)應(yīng)于從發(fā)射部發(fā)射并在基 板上反射的激光的圖像形成位置而產(chǎn)生的電信號(hào)輸出至控制單元，從而 測(cè)量基板和噴嘴之間的間隙。
截面積傳感器將激光發(fā)射至形成在基板上的密封膠圖案，以掃描密 封膠圖案，并根據(jù)從反射的激光重新得到的數(shù)據(jù)測(cè)量密封膠圖案的截面 積。基于由截面積傳感器測(cè)量到的截面積數(shù)據(jù)確定密封膠圖案是否有缺 陷。然而，常規(guī)涂膠機(jī)的問(wèn)題在于每個(gè)截面積傳感器都具有不同的測(cè)量 基準(zhǔn)，以致當(dāng)每個(gè)截面積傳感器測(cè)量均勻施加的密封膠圖案的截面積 時(shí)，按照截面積傳感器測(cè)量到不同的截面積。同樣，數(shù)值取決于截面積 傳感器而發(fā)生改變的原因是由于外部環(huán)境、諸如基板或玻璃的施加密封 膠的物體的種類、以及將截面積傳感器安裝至頭單元的過(guò)程中的誤差的 變化。
因此，常規(guī)涂膠機(jī)的問(wèn)題在于每個(gè)截面積傳感器的測(cè)量值的差異可
導(dǎo)致生產(chǎn)FPDs的過(guò)程中的誤差。

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問(wèn)題已經(jīng)作出本發(fā)明，且本發(fā) 明的目的是提供一種涂膠機(jī)和使用該涂膠機(jī)形成密封膠圖案的方法，其 中在由涂膠機(jī)施加密封膠之前或之后，使用提供用于密封膠圖案的截面 積的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)單元校準(zhǔn)安裝至頭單元的截面積傳感器，因此提高了截
面積傳感器的測(cè)量精度，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種涂膠機(jī)，包括托臺(tái)，其上安 置有基板；頭單元，其包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測(cè)量形成在基 板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器；以及基準(zhǔn)單元，其提供用 于密封膠圖案的截面積的基準(zhǔn)，以便校準(zhǔn)截面積傳感器。
基準(zhǔn)單元可包括平板，以及施加至該板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一 個(gè)樣本?？蓪⒒鶞?zhǔn)單元的板構(gòu)造成安置在托臺(tái)上。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于使用涂膠機(jī)形成密 封膠圖案的方法，該涂膠機(jī)具有托臺(tái)，其上安置有基板；頭單元，其 包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測(cè)量形成在基板上的密封膠圖案的 截面積的截面積傳感器；以及基準(zhǔn)單元，其提供用于密封膠圖案的截面 積的基準(zhǔn)，以便校準(zhǔn)截面積傳感器，該方法包括第一步驟，將用于基 準(zhǔn)單元的密封膠圖案的截面積的基準(zhǔn)與截面積的測(cè)量值進(jìn)行對(duì)比，并檢 測(cè)測(cè)量誤差；以及第二步驟，使用在第一步驟檢測(cè)到的測(cè)量誤差校準(zhǔn)截 面積傳感器。
基準(zhǔn)單元可包括平板，以及施加至該板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一個(gè)樣本，并且第一步驟可包括(a)使用截面積傳感器測(cè)量樣本的截面 積，以及(b)將在(a)測(cè)量到的樣本的截面積與樣本的預(yù)設(shè)截面積進(jìn) 行對(duì)比。
該方法可包括將樣本施加在其上的板安置在托臺(tái)上，并在執(zhí)行(a) 之前，將板或截面積傳感器中的至少一個(gè)移動(dòng)至可測(cè)量的位置.
該方法可包括通過(guò)在已執(zhí)行笫二步驟之后再次執(zhí)行第一步驟以確 定是否校準(zhǔn)截面積傳感器，以及在檢測(cè)到測(cè)量誤差時(shí)再次執(zhí)行第二步。


通過(guò)以下結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)說(shuō)明，將更清楚地理解本發(fā)明的上述 和其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)的立體圖2是示出圖1的涂膠機(jī)的頭單元的立體圖3是示出圖1的涂膠機(jī)的截面積傳感器的示意圖4是示出圖1的涂膠機(jī)的基準(zhǔn)單元的立體圖；以及
圖5是按順序示出校準(zhǔn)根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)的截面積傳感器的方法 的流程圖。
具體實(shí)施例方式
在下文中，將參照附閨說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)和使用該涂膠機(jī)形 成密封膠圖案的方法。
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)的立體圖，圖2是示出圖1的涂膠 機(jī)的頭單元的立體圖，圖3是示出圖1的涂膠機(jī)的截面積傳感器的示意 圖，以及圖4是示出圖1的涂膠機(jī)的基準(zhǔn)單元的立體圖。
如圖1和圖2中所示，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)包括底架10、托臺(tái)30、 一對(duì)線性(LM)導(dǎo)引件40、頭支承件50、多個(gè)頭單元60、 X軸驅(qū)動(dòng) 單元70和控制單元(未示出)。托臺(tái)30緊固于底架10，并且托臺(tái)30上安置有基板20。 LM導(dǎo)引件40沿Y軸方向安裝在托臺(tái)30的兩側(cè)上。 將頭支承件50安裝成由這對(duì)LM導(dǎo)引件40支承并沿X軸方向延伸。 多個(gè)頭單元60安裝于頭支承件50。每個(gè)X軸驅(qū)動(dòng)單元70的作用是， 除了沿布置有多個(gè)頭單元60的X軸方向水平移動(dòng)頭單元60外，還將相 關(guān)的頭單元60安裝于頭支承件50?？刂茊卧刂祁^單元60和X軸驅(qū) 動(dòng)單元70的操作。
可在底架10上設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)，以在底架10上前后 (Y軸方向，垂直于頭單元60的布置方向的方向)移動(dòng)托臺(tái)30,并且 可在頭支承件50上設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)裝置59，以沿LM導(dǎo)引件40移動(dòng)頭 支承件50。在基板20具有大面積的情況下，可安裝多個(gè)頭支承件50 以增加密封膠圖案形成過(guò)程的效率。
每個(gè)頭單元60包括填充有密封膠的注射器61、與注射器61連通并 排出密封膠的噴嘴62、放置成與噴嘴62相鄰并測(cè)量噴嘴62和基板20 之間的間隙的激光位移傳感器63、沿Y軸方向移動(dòng)噴嘴62和激光位移 傳感器63的Y軸驅(qū)動(dòng)單元64、以及沿Z軸方向移動(dòng)噴嘴62和激光位 移傳感器63的Z軸驅(qū)動(dòng)單元65。
激光位移傳感器63包括發(fā)射激光的發(fā)射部631，以及與發(fā)射部631 隔開預(yù)定距離并接收從基板20反射的激光的接收部632。激光位移傳感 器63將對(duì)應(yīng)于從發(fā)射部631發(fā)射、并在基板20上反射的激光的圖像形 成位置而產(chǎn)生的電信號(hào)輸出至控制單元，從而測(cè)量基板20和噴嘴62之 間的間隙。
此外，在每個(gè)頭單元60上可安裝截面積傳感器66，以測(cè)量施加至 基板20的密封膠圖案P的截面積。如圖3中所示，在截面積傳感器66 中，以在預(yù)定的角范圍內(nèi)上下移動(dòng)并旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置有透鏡661。通過(guò) 將激光經(jīng)透鏡661連續(xù)發(fā)射至基板20，并掃描密封膠圖案P來(lái)測(cè)量密 封膠圖案P的截面積.由截面積傳感器66測(cè)量到的密封膠圖案P的截 面積數(shù)據(jù)用以確定密封膠圖案P是否有缺陷。
此外，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)設(shè)置有基準(zhǔn)單元卯，其提供用于密封膠 圖案P的基準(zhǔn)，以便校準(zhǔn)截面積傳感器66。如圖4中所示，基準(zhǔn)單元 90包括平板91，以及至少一個(gè)樣本92,該樣本92以預(yù)定形式施加至板91，并具有預(yù)設(shè)為基準(zhǔn)值的截面積。
因此，施加至基準(zhǔn)單元卯的板91的樣本92充當(dāng)用于密封膠圖案P 的截面積的基準(zhǔn)。樣本92的截面積由截面積傳感器66測(cè)量，并且將以 此方式測(cè)量到的截面積的數(shù)值與樣本92的預(yù)設(shè)截面積的基準(zhǔn)值進(jìn)行對(duì) 比。通過(guò)該過(guò)程，確定截面積傳感器66正在測(cè)量的截面積是否準(zhǔn)確。 如果由截面積傳感器66測(cè)量到的截面積的數(shù)值與樣本92的預(yù)設(shè)截面積 的基準(zhǔn)值不同，則校準(zhǔn)截面積傳感器66。
優(yōu)選地，基準(zhǔn)單元90的板91安置在托臺(tái)30上，從而不通過(guò)使用 輔助裝置，而是通過(guò)將基準(zhǔn)單元卯直接安裝于涂膠機(jī)來(lái)校準(zhǔn)截面積傳 感器66。但是，本發(fā)明并不限于上述結(jié)構(gòu)，而且可使用本發(fā)明的基準(zhǔn)單 元卯安裝于其上的輔助裝置來(lái)校準(zhǔn)截面積傳感器66。為此，基準(zhǔn)單元 90的板91可具有適用于校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)。同時(shí)，板91的形狀和材料可 與基板20的相同，以便提供與實(shí)際工藝中存在的條件相同的條件.此 外，基準(zhǔn)單元卯可以與涂膠機(jī)以可拆卸方式集成。
優(yōu)選的是，基準(zhǔn)單元卯設(shè)置有多個(gè)樣本92，以便使用一個(gè)基準(zhǔn)單 元90同時(shí)校準(zhǔn)多個(gè)截面積傳感器66。此外，基準(zhǔn)單元90根據(jù)可施加至 基板20的每個(gè)密封膠圖案P的截面積設(shè)置有多個(gè)樣本92,從而不論何 時(shí)改變施加至涂膠機(jī)的密封膠圖案P的截面積，都消除了用另一個(gè)基準(zhǔn) 單元代替基準(zhǔn)單元卯的必要性。當(dāng)然，本發(fā)明并不限制基準(zhǔn)單元90的 樣本92的數(shù)目，并且可按需設(shè)置適當(dāng)數(shù)目的樣本92，即一個(gè)或多個(gè)。 在將樣本92施加至板91后，使用用于測(cè)量截面積的傳感器或其它測(cè)量 裝置來(lái)測(cè)量截面積，并且所測(cè)量的樣本92的截面積充當(dāng)用于基準(zhǔn)單元 卯的截面積的基準(zhǔn)值。同時(shí)，樣本92可由與施加至基板20的密封膠相 同的材料制成，以提供與真實(shí)過(guò)程的條件相同的條件。
同樣，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)使用截面積傳感器66掃描施加至基準(zhǔn) 單元90的樣本92，以測(cè)量樣本92的截面積。將由截面積傳感器66測(cè) 量到的截面積的數(shù)值與基準(zhǔn)值進(jìn)行對(duì)比，該基準(zhǔn)值為樣本92的真實(shí)的 截面積。當(dāng)測(cè)量誤差出現(xiàn)時(shí)，可用該測(cè)量誤差校準(zhǔn)截面積傳感器66，從 而提高截面積傳感器66的精度。
在下文中，將參照?qǐng)D5說(shuō)明如上所述構(gòu)造的根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)的操作和效果。圖5是按順序示出校準(zhǔn)根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)的截面積傳感 器的方法的流程圖。
首先，通過(guò)在沿X軸或Y軸方向水平移動(dòng)每個(gè)頭單元60的同時(shí)， 經(jīng)噴嘴62將注射器61內(nèi)部的密封膠排出至基板20來(lái)執(zhí)行將密封膠施 加至基板20的過(guò)程。此時(shí)，基于通過(guò)激光位移傳感器63測(cè)量到的基板 20和噴嘴62之間的間隙數(shù)據(jù)，沿Z軸方向移動(dòng)噴嘴62，從而保持基板 20和噴嘴62之間的間隙恒定。
此外，截面積傳感器66測(cè)量在基板20上形成的密封膠圖案的截面 積。由截面積傳感器66測(cè)量到的密封膠圖案的截面積數(shù)據(jù)用以確定密 封膠圖案是否有缺陷。
此處，如上所述，截面積傳感器66的測(cè)量值可依賴于密封膠施加 于其上的物體的種類或外部環(huán)境而改變。因此，在將密封膠施加至基板 20之前或之后，可執(zhí)行確定截面積傳感器66是否準(zhǔn)確地進(jìn)行測(cè)量的步 驟。如果測(cè)量值具有測(cè)量誤差，則執(zhí)行校準(zhǔn)截面積傳感器66的步驟。
即，將具有相關(guān)的截面積的數(shù)值的樣本92施加至基準(zhǔn)單元90的板 91，并且使用能夠測(cè)量準(zhǔn)確值的傳感器或其它截面積測(cè)量裝置測(cè)量每個(gè) 樣本92的截面積。以此方式測(cè)量到的樣本92的截面積充當(dāng)用于校準(zhǔn)截 面積傳感器66的基準(zhǔn)。
此外，在將基準(zhǔn)單元卯安置到托臺(tái)30上之后，移動(dòng)頭單元60以 使截面積傳感器66位于基準(zhǔn)單元90的樣本92處，或者移動(dòng)托臺(tái)30或 基準(zhǔn)單元90以使樣本92位于截面積傳感器66處。在此狀態(tài)下，由截 面積傳感器66測(cè)量樣本92的截面積。此時(shí)，在步驟SIO，當(dāng)具有不同 截面積的多個(gè)樣本92設(shè)置在基準(zhǔn)單元90的板91上時(shí)，由截面積傳感 器66測(cè)量具有實(shí)際施加至基板20的尺寸的截面積的樣本92。
接下來(lái)，在步驟S20，致動(dòng)截面積傳感器66以測(cè)量樣本92的截面 積。進(jìn)一步地，在步驟S30，在截面積傳感器66測(cè)量樣本92的截面積 之后，控制單元將由截面積傳感器66測(cè)量到的截面積的數(shù)值與相關(guān)樣 本92的實(shí)際截面積的基準(zhǔn)值進(jìn)行對(duì)比。在步稞S40,確定截面積傳感 器66是否準(zhǔn)確地測(cè)量了樣本92的截面積，即測(cè)量值和基準(zhǔn)值之間是否 存在測(cè)量誤差。在步驟S50，當(dāng)截面積傳感器66并未測(cè)量到樣本92的準(zhǔn)確截面積 時(shí)，即，當(dāng)測(cè)量誤差出現(xiàn)時(shí)，校準(zhǔn)截面積傳感器66。此時(shí)，在步驟S20， 在校準(zhǔn)截面積傳感器66之后，再次測(cè)量樣本92以確定截面積傳感器66 測(cè)量的截面積是否準(zhǔn)確。在步驟S30將測(cè)量值和基準(zhǔn)值互相對(duì)比，并且 在步驟S40確定測(cè)量誤差是否再次出現(xiàn)。
此外，當(dāng)截面積傳感器66測(cè)量到準(zhǔn)確值時(shí)，或者準(zhǔn)確校準(zhǔn)截面積 傳感器66的測(cè)量誤差時(shí)，從托臺(tái)30移除基準(zhǔn)單元卯，并且將基板20 安置在托臺(tái)30上，然后在步驟S60將密封膠圖案施加至基板20。同時(shí)， 如果基準(zhǔn)單元卯固定于涂膠機(jī)，則可省略從托臺(tái)30移除基準(zhǔn)單元90 的步驟.
如上所述構(gòu)造和操作的根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)設(shè)置有基準(zhǔn)單元90，其 校準(zhǔn)截面積傳感器66,因此當(dāng)截面積傳感器66的測(cè)量基準(zhǔn)由于外部環(huán) 境或密封膠施加于其上的物體的種類而改變時(shí)，使截面積傳感器66測(cè) 量到準(zhǔn)確值，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品，并增加了產(chǎn)品的產(chǎn)量。
如上所述，本發(fā)明提供一種涂膠機(jī)，其使用基準(zhǔn)單元校準(zhǔn)每個(gè)截面 積傳感器，因此不論外部環(huán)境或密封膠施加于其上的物體的種類變化如 何，都使得能夠從所有截面積傳感器獲得一致的測(cè)量值。
因此，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機(jī)使得由截面積傳感器測(cè)量到的截面積能 夠?qū)?yīng)于實(shí)際施加至基板的密封膠圖案的截面積，從而防止生產(chǎn)有缺陷 的產(chǎn)品，并增加了產(chǎn)品的產(chǎn)量。
于此說(shuō)明的本發(fā)明的實(shí)施方式可單獨(dú)實(shí)施或互相結(jié)合。盡管已出于 說(shuō)明性的目的而公開本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將 理解，在不背離在所附權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的范圍和精神的前提 下，多種改型、增加和替代是可能的。
權(quán)利要求
1.一種涂膠機(jī)，包括托臺(tái)，所述托臺(tái)上安置有基板；頭單元，其包括用于排出密封膠的噴嘴，以及用于測(cè)量形成在所述基板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器；以及基準(zhǔn)單元，其提供用于所述密封膠圖案的截面積的基準(zhǔn)，以便校準(zhǔn)所述截面積傳感器。
2. 如權(quán)利要求l所述的涂膠機(jī)，其中，所述基準(zhǔn)單元包括 板；以及施加至所述板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少 一個(gè)樣本。
3. 如權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)，其中，將所述基準(zhǔn)單元構(gòu)造成安置 在所述托臺(tái)上。
4. 如權(quán)利要求3所述的涂膠機(jī)，其中，所述基準(zhǔn)單元與所述涂膠機(jī) 以可拆卸方式集成。
5. —種使用涂膠機(jī)形成密封膠圖案的方法，所述涂膠機(jī)具有其上安 置有基板的托臺(tái)、包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測(cè)量形成在所述基 板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器的頭單元、以及提供用于所 述密封膠圖案的截面積的基準(zhǔn)以便校準(zhǔn)所述截面積傳感器的基準(zhǔn)單元， 所述方法包括第一步驟，將用于所述基準(zhǔn)單元的密封膠圖案的截面積的所述基準(zhǔn) 與所述截面積傳感器的測(cè)量值進(jìn)行對(duì)比，并檢測(cè)測(cè)量誤差；以及第二步驟，使用在所述第一步驟檢測(cè)到的所述測(cè)量誤差校準(zhǔn)所述截 面積、傳感器。
6. 如權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述基準(zhǔn)單元包括板，以及施 加至所述板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一個(gè)樣本，并且所述第一步驟包 括(a) 使用所述截面積傳感器測(cè)量所述樣本的截面積；以及(b) 將在(a)測(cè)量到的所述樣本的截面積與所述樣本的預(yù)設(shè)截面 積進(jìn)行對(duì)比。
7. 如權(quán)利要求6所述的方法，包括 將所述樣本施加于其上的所述板安置在所述托臺(tái)上；以及 在執(zhí)行(a)之前，將所述板或所述截面積傳感器中的至少一個(gè)移動(dòng)至可測(cè)量的位置。
8. 如權(quán)利要求6或7所述的方法，包括通過(guò)在已經(jīng)執(zhí)行所述第二步驟之后再次執(zhí)行所述第一步驟以確定 是否校準(zhǔn)所述截面積傳感器，以及在檢測(cè)到測(cè)量誤差時(shí)，再次執(zhí)行所述 第二步驟。
全文摘要
于此公開的是一種涂膠機(jī)。該涂膠機(jī)使用提供用于密封膠圖案的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)單元校準(zhǔn)安裝至頭單元的截面積傳感器，因此提高了截面積傳感器的測(cè)量精度，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品。
文檔編號(hào)B05C5/00GK101642744SQ20091016094
公開日2010年2月10日 申請(qǐng)日期2009年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月8日
發(fā)明者南嬉禎 申請(qǐng)人:塔工程有限公司