專利名稱：雙流體狹縫式噴嘴及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及雙流體狹縫式噴嘴及其制造方法，特別是形成 用于進(jìn)行電子零件的精密沖洗、雙流體沖洗的氣液混合的膜狀 噴霧的雙流體狹縫式噴嘴和制造該雙流體狹縫式噴嘴的方法。
背景技術(shù)：
以往，為了形成膜狀噴霧，將多個(gè)雙流體噴嘴并列設(shè)置成 一列地使用，但是自相鄰的各噴嘴噴出的射流間的干涉部分中 的微粒噴霧的分布不均勻，沖洗效果不均勻。另外，自各噴嘴 噴出的射流具有噴霧角度，為了與噴霧角度相對(duì)應(yīng)地獲得期望 的沖洗效果，與被沖洗體的表面相對(duì)的噴嘴列的位置、高度或 距離受到較大的限制。而且距離噴嘴較近的射流處的噴霧的分 布不均勻，也存在沒(méi)有噴霧的部位，因此無(wú)法在相對(duì)于被沖洗 體的射流速度最高的近距離位置使用該噴嘴列，雖然該噴嘴歹'J 的分布是連續(xù)性的，但也只好在射流速度下降了的離被沖洗體
具有 一 定距離的位置使用。因此，實(shí)際上獲得的射流沖力(i叩act) 和沖洗效果被減弱。
為了形成最佳的膜狀噴霧，提出了一種使多個(gè)細(xì)長(zhǎng)板狀體 互相疊合從而構(gòu)成狹縫式噴嘴的雙流體狹縫式噴嘴(專利文獻(xiàn) 1)。在此，利用氣體供給側(cè)的第1板材和液體供給側(cè)的第2板材 夾持中間隔離件，沿著兩板材的長(zhǎng)度方向的一端面設(shè)置狹縫狀 噴射孔，使設(shè)在中間隔離件的 一表面上的氣體流路和設(shè)在另一 表面上的液體流路在與狹縫狀噴射孔相通的氣液沖擊混合部?jī)?nèi) 以45°~90°的角度進(jìn)行合流。即、通過(guò)在狹縫式噴嘴的內(nèi)部進(jìn) 行氣體與液體的合流，能夠可靠地混合雙流體，因此能夠?qū)娮炜拷粵_洗體地設(shè)置噴嘴，獲得較高的射流沖力。但是，該 噴嘴中的氣液沖擊混合部以微小的距離與狹縫狀噴射孔相連 接，因此作為雙流體的混合空間狹小，在該例中無(wú)法期待形成 高度均勻的射流。
在通過(guò)重疊細(xì)長(zhǎng)板狀體而構(gòu)成的狹縫式的噴嘴基礎(chǔ)上，提 出了雙流體狹縫式噴嘴的另外一種結(jié)構(gòu)，其構(gòu)造簡(jiǎn)單，而且能 夠提高噴嘴的長(zhǎng)度方向上的混合噴霧的噴霧分布的均勻性，并 能夠提高沖洗能力(專利文獻(xiàn)2)。在互相疊合的一對(duì)細(xì)長(zhǎng)板狀 體的相對(duì)表面間i殳置擴(kuò)展成板狀的混合空間，通過(guò)^反狀體而尋皮 供給的氣體和液體分別借助腔室、供給板的多個(gè)噴射孔以相互
成90。的關(guān)系進(jìn)行合流，從而被輸送到混合空間中，在被混合之 后自與混合空間相連通地設(shè)在兩板狀體的長(zhǎng)度方向一端面上的 狹縫狀排出口排出。但是，在該雙流體狹縫式噴嘴中，雙流體 也是自混合空間直接被輸送到狹縫狀排出口中的，因此與上述 情況相同，無(wú)法期待實(shí)現(xiàn)高度均勻的射流。
專利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)2006—192360號(hào)7>才艮
專利文獻(xiàn)2:曰本凈寺開(kāi)2007_98310號(hào)7>才艮
如上述的將多個(gè)雙流體噴嘴配置成 一 列的以往例所述，為 了獲得強(qiáng)射流沖力下的高沖洗效果，射流速度必須充分高，接 近噴嘴的位置的射流噴霧的分布必須均勻。在該意思中，如專 利文獻(xiàn)l所示，具有效果的是采用狹縫式噴嘴的結(jié)構(gòu)，在狹 縫式噴嘴的內(nèi)部進(jìn)行混合，該混合使分別噴出的氣體與液體以 相互成45。~ 90。的角度進(jìn)行沖擊。但是，在該專利文獻(xiàn)l的例 子中，用于使混合后的雙流體更均勻的空間不夠充分。
另一方面，專利文獻(xiàn)2公開(kāi)了這樣一種狹縫式噴嘴沿流 體的流動(dòng)方向在細(xì)長(zhǎng)的混合空間的上游區(qū)的互相離開(kāi)的位置、 雙流體以各流動(dòng)方向成90。的關(guān)系噴出乂人而進(jìn)行合流，或在同一位置雙流體以各流動(dòng)方向成45°的關(guān)系噴出從而進(jìn)行合流，流向 下游的狹縫式排出口中，在流向排出口的期間內(nèi)進(jìn)行該雙流體 的混合。在該例子中，雖然在具有一定長(zhǎng)度的混合空間內(nèi)使噴 出液體與剛噴出的空氣流成直角地直接沖擊，但是氣液混合體 只是在平坦的混合空間中流動(dòng)，未被充分均勻化地自噴射口噴 出。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而做成的，其第一目的在于提 供一種狹縫式噴嘴，該狹縫式噴嘴用于混合雙流體而獲得較佳 的膜狀噴霧，在狹縫式噴嘴的內(nèi)部具有用于混合雙流體的充分 的混合空間，在該混合空間內(nèi)使噴出液體流大致與噴出空氣流 成直角地相沖擊，并能在輸送到噴射狹縫中之前對(duì)混合流體進(jìn) 行積極的均勻化。
另外，本發(fā)明的第2目的在于提供一種雙流體狹縫式噴嘴， 該雙流體狹縫式噴嘴即使在最接近噴射狹縫的位置，也能夠形 成利用高度均勻的雙流體混合所產(chǎn)生的膜狀噴霧，并能達(dá)到最 高射流速度下的最大射流沖力和最佳沖洗效果。
并且，本發(fā)明的第3目的在于提供一種制造方法，該制造 方法能夠容易地制造上述第l以及第2目的中的雙流體狹縫式 噴嘴，因而能便宜地制造該雙流體狹縫式噴嘴。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種雙流體狹縫式噴嘴， 其包括分別為細(xì)長(zhǎng)且被固定螺栓相互緊固的混合板、與混合板 的 一表面相接觸的液體供給板以及與混合才反的另 一表面相接觸 的空氣供給一反；液體供給板包括液體管連接口，其開(kāi)口在液 體供給板的外表面上；初級(jí)液體室，其開(kāi)口在液體供給板的與 混合板相接觸的表面上，并與液體管連接口相連通；空氣供給板包括空氣管連接口，其開(kāi)口在空氣供給板的外表面上；初 級(jí)空氣室，其開(kāi)口在空氣供給板的與混合板相接觸的表面上， 并與空氣管連接口相連通；開(kāi)口在沿著板的長(zhǎng)度方向的一端面 上的噴射狹縫設(shè)在混合板與空氣供給板之間，并且該雙流體狹 縫式噴嘴具有混合室，該混合室位于該噴射狹縫和初級(jí)液體室 以及初級(jí)空氣室之間；其特征在于，上述混合室是由與板的長(zhǎng) 度方向形成直角的多個(gè)縱槽形成的，該混合室在其上游端借助 氣孔與初級(jí)空氣室相連通，上述氣孔分別與各板的長(zhǎng)度方向成 直角地形成為細(xì)槽狀，并且該混合室在其上游端近旁借助細(xì)孔 狀的液體孔與初級(jí)液體室相連通，上述液體孔與各氣孔的方向 成直角地貫穿混合板，混合室的各槽的下游端自噴射狹縫的上 游端離開(kāi)而形成為終端；混合室的下游端與噴射狹縫的上游端 之間由多個(gè)初級(jí)孔、多個(gè)次級(jí)孔以及沖擊室連通，上述初級(jí)孔 在混合室的各槽的下游端貫穿混合板，上述次級(jí)孔在噴射狹縫 的上游端貫穿混合板，上述沖擊室至少由一個(gè)凹部形成，該凹 部以連通初級(jí)孔和次級(jí)孔之間的方式形成在液體供給板的與混 合板相接觸的表面上。
技術(shù)方案2提供 一 種雙流體狹縫式噴嘴，該雙流體狹縫式 噴嘴包括分別為細(xì)長(zhǎng)且互相被固定螺栓緊固的混合板、與混合 板的 一 表面相4妄觸的液體供給才反以及與混合^反的另 一 表面相接 觸的空氣供給板；液體供給板包括液體管連接口，其開(kāi)口在 液體供給板的外表面上；初級(jí)液體室，其沿著板的長(zhǎng)度方向開(kāi) 口在液體供給板的與混合板相接觸的表面上，并與液體管連接 口相連通；空氣供給板包括空氣管連接口，其開(kāi)口在空氣供 給板的外表面上；初級(jí)空氣室，其沿著板的長(zhǎng)度方向開(kāi)口在空 氣供給板的與混合板相接觸的表面上，并與空氣管連接口相連 通；混合板具有混合室，該混合室位于液體供給板的初級(jí)液體室以及空氣供給 一反的初級(jí)空氣室和開(kāi)設(shè)在沿著各 一反的長(zhǎng)度方向
的一端面上的噴射狹縫之間；其特征在于，混合板的混合室是 由與板的長(zhǎng)度方向成直角地形成在混合板的另 一表面上的多個(gè) 縱槽形成的，該混合室在其上游端借助氣孔與初級(jí)空氣室相連 通，上述氣孔分別與板的長(zhǎng)度方向成直角地在混合板的另 一表 面上形成為細(xì)槽狀，且該混合室在其上游端近旁借助細(xì)孔狀的 液體孔與初級(jí)液體室相連通，上述液體孔分別與氣孔的方向成
直角地貫穿混合板，混合室的各槽的下游端自噴射狹縫的上游 端離開(kāi)而形成為終端；混合室的下游端與噴射狹縫的上游端之 間由多個(gè)初級(jí)孔、多個(gè)次級(jí)孔以及沖擊室連通，上述初級(jí)孔在 混合室的各槽的下游端貫穿混合板，上述次級(jí)孔在噴射狹縫的 上游端貫穿混合板，上述沖擊室由凹部形成，該凹部將各初級(jí) 孔和各次級(jí)孔之間連通地形成在液體供給板的與混合板相接觸 的表面上。
并且，技術(shù)方案3是技術(shù)方案1或2所述的一種雙流體狹縫 式噴嘴，其特征在于，利用橫槽將構(gòu)成混合室的每對(duì)相鄰的縱 槽的下游端連結(jié)為U字形，各橫槽利用多個(gè)初級(jí)孔與沖擊室相 連通，噴射狹縫的上游端借助最終室與次級(jí)孔相連通，該最終 室連通所有次級(jí)孔而形成為沿著各板的長(zhǎng)度方向延伸的橫槽形 狀。
技術(shù)方案4是技術(shù)方案3所述的一種雙流體狹縫式噴嘴，其 特征在于，沖擊室在與初級(jí)孔的出口相對(duì)的位置具有臺(tái)階狀深 部，與位于比沖擊室的臺(tái)階狀深部靠下游的淺部相面對(duì)的次級(jí) 孔以小于初級(jí)孔的直徑、且以小于初級(jí)孔的間隔:沒(méi)置多個(gè)，噴 射狹縫由凹面部形成，該凹面部自與空氣供給板的接觸于混合 板的表面上的最終室相面對(duì)的位置一直設(shè)置到的板的開(kāi)設(shè)噴射 狹縫的一端面。另外，本發(fā)明提供一種雙流體狹縫式噴嘴的制造方法，準(zhǔn) 備分別為細(xì)長(zhǎng)板狀的混合板、與混合板的 一表面相接觸的液體
供給板以及與混合板的另 一表面相接觸的空氣供給板；在液體
供給板上形成液體管連接口和初級(jí)液體室，上述液體管連接口 開(kāi)口在液體供給纟反的外表面上，上述初級(jí)液體室開(kāi)口在液體供
給板的與混合板接合的接合面上且與液體管連接口相連通；在 空氣供給板上形成空氣管連接口和初級(jí)空氣室，上述空氣管連 接口開(kāi)口在空氣供給板的外表面上，上述初級(jí)空氣室開(kāi)口在空 氣供給板的與混合板接合的接合面上且與空氣管連接口相連 通；在混合板的另 一表面上形成氣孔、混合室和噴射狹縫，上 述氣孔與空氣供給板的初級(jí)空氣室的開(kāi)口相連通，上述混合室 的上游端與氣孔的下游端相連接，上述噴射狹縫開(kāi)口在沿著混 合板的長(zhǎng)度方向的 一端面上；使液體供給板與混合板的 一表面 相接合而疊合在一起，使空氣供給板與混合板的另 一表面相接 合而疊合在一起，并利用固定螺栓緊固；其特征在于，在混合 板上形成氣孔和混合室的工序含有如下工序利用蝕刻或擴(kuò)散 融合中的一種在混合板的另 一表面上形成與板的長(zhǎng)度方向成直 角的多個(gè)細(xì)槽作為氣孔，利用蝕刻或擴(kuò)散融合中的 一種在混合 板的另 一 表面上形成多個(gè)縱槽作為混合室，該縱槽的上游端與 各細(xì)槽相連接且下游端自噴射狹縫的上游端離開(kāi)；形成多個(gè)液 體孔、多個(gè)初級(jí)孔、多個(gè)次級(jí)孔和最終室，上述液體孔在各縱 槽的上游端與細(xì)槽的方向成直角地貫穿混合板而與液體供給板 的開(kāi)口相連通，上述初級(jí)孔在各縱槽的下游端貫穿混合板，上 述次級(jí)孔在噴射狹縫的上游端貫穿混合板且其直徑小于初級(jí)孔 且間隔小于初級(jí)孔；上述最終室在混合板的另 一表面?zhèn)妊刂?的長(zhǎng)度方向連通所有次級(jí)孔；在液體供給板上形成液體管連接 口和初級(jí)液體室的工序包括在液體供給板的與混合板接合的接合面上形成用于連通混合板的初級(jí)孔和次級(jí)孔的作為沖擊室的 凹部的工序。
并且，技術(shù)方案6是技術(shù)方案5所述的一種雙流體狹縫式噴 嘴的制造方法，其特征在于，在混合板上形成氣孔和混合室的 工序還包括如下工序在混合板的另 一表面上形成橫槽和初級(jí) 孔；上述橫槽將構(gòu)成混合室的每對(duì)相鄰的縱槽的下游端連結(jié)成 U字形；上述初級(jí)孔在多個(gè)位置使各橫槽與沖擊室相連通。
采用本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴，為了混合雙流體而獲得 較佳的膜狀噴霧，首先采用狹縫式噴嘴，液體孔的噴出口與氣 孔的噴出口成直角地配置在設(shè)于狹縫式噴嘴內(nèi)部的混合室的上 游端，在此混合雙流體。從而，能最有效地利用空氣流切斷液 體流，使液體微?；?，從而能夠獲得被可靠地混合的氣液混合 體。雙流體的混合在混合體向混合室流下的期間進(jìn) 一 步進(jìn)行。 除此之外，混合體在混合室的下游端纟皮小徑的初級(jí)孔改變方向 而被輸送到?jīng)_擊室中，在此受到包括擴(kuò)張和壓縮的攪拌作用而 使該混合體均勻化。被均勻化且被壓縮的噴霧在更小徑且更多 個(gè)的次級(jí)孔處被高速化而進(jìn)入到最終室中，在此進(jìn)一步被均勻 化，以高速自噴射狹縫噴出。在最終室中，由于噴霧自直徑最 小且個(gè)數(shù)最多的次級(jí)孔以高速噴出，因此能夠可靠地在狹縫式 噴嘴的長(zhǎng)度方向上獲得均勻且高速的膜狀噴霧。
另外，采用本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴的制造方法，利用
槽來(lái)形成在構(gòu)成該狹縫式噴嘴的零件中最需要精密加工的混合 板的多個(gè)氣孔、U字形混合室以及最終室，上述槽開(kāi)口在混合 版的與空氣供給板相接合的另 一表面上，因此能易于利用蝕刻 或擴(kuò)散融合自該另 一表面?zhèn)刃纬缮鲜鰵饪住⒒旌鲜液妥罱K室， 因而能夠便宜地制造雙流體狹縫式噴嘴。


圖l是本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴的一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)的、
圖2的I-I剖視圖。
圖2是表示圖1的 一 個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)的細(xì)長(zhǎng)的混合板的空氣 供給板接合面的一部分的俯視圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
1、液體供給4反；11、液體管連接口； 12、初級(jí)液體室； 13、沖擊室；2、混合板；21、氣孔；22、混合室；23、液體 孔；24、 4黃槽；25、初級(jí)孔；26、次級(jí)孔；27、最終室；3、 空氣供給板；31、空氣管連接口； 32、初級(jí)空氣室；33、噴射 狹縫；34、 35、固定螺栓。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施例。 實(shí)施例1
圖l以圖2的I-I剖視圖表示本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴的 一個(gè)實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)。
在圖l中，概略而言，雙流體狹縫式噴嘴通過(guò)將分別細(xì)長(zhǎng) 且板狀的液體供給板l、混合板2和空氣供給板3疊合而成。較 厚的液體供給4反1以其側(cè)面1A與混合板2的一表面2A相接合。 液體供給板l包括液體管連接口ll,其開(kāi)口在液體供給板l的 上端面而能連4妻液體供給管；初級(jí)液體室12,其在內(nèi)部與該液 體管連接口ll相連通，開(kāi)口在側(cè)面1A;沖擊室13,其處于接近 液體供給板1的下端面的位置，由開(kāi)口在側(cè)面1A的凹部形成。 初級(jí)液體室12包括臺(tái)階部，其與液體管連接口 ll相對(duì)；凹部， 其自該臺(tái)階部沿著混合板2的一表面2A進(jìn)一步加深，因此流入 液體受到包括擴(kuò)張和壓縮的攪拌作用。以側(cè)面3A與混合板2的另 一表面2B相接合的較厚的空氣 供給板3包括空氣管連接口31,其開(kāi)口在空氣供給板的與側(cè) 面3A相反側(cè)的側(cè)面上；初級(jí)空氣室32,其與該空氣管連接口31 相連通而開(kāi)口在側(cè)面3A上。另外，在本實(shí)施例中，最終噴射膜 狀噴霧的噴射狹縫3 3由空氣供給板3 3上的凹面和混合板2的另 一表面2B的面對(duì)該凹面并延續(xù)到混合板2的下端面2C的部分 構(gòu)成，該凹面從空氣供給板3的沿著其長(zhǎng)度方向的下端面起形 成到一定高度的位置，并沿長(zhǎng)度方向連續(xù)地形成。
夾在上述液體供給板l與空氣供給板3之間的混合板2實(shí)際 上是將初級(jí)液體室12和初級(jí)空氣室32互相分開(kāi)的結(jié)構(gòu)。在該混 合板2上設(shè)有用于在輸送兩室12、 32內(nèi)的液體和空氣到噴射狹 縫33的上游端的期間內(nèi)、高效率地使上述液體和空氣進(jìn)行混合 而形成均勻且高速的噴霧的部件。
首先，將初級(jí)空氣室32的空氣供給板3下端面?zhèn)鹊牡酌嬖O(shè) 定在高于初級(jí)液體室12的凹部的底面的位置，乂人而能進(jìn)行直角 的氣液混合噴射。如圖l所示，混合板2具有許多個(gè)細(xì)槽狀的氣 孑L21，氣孑L21自混合板2的另 一表面2B的與初級(jí)空氣室32的底 面部分相連通的位置直到高于初級(jí)液體室12的凹部底面的位 置，且形成為圖2的混合板2的另 一表面2B側(cè)俯視圖所示的圖 案。并且，混合板2的另 一表面2B具有稍粗的許多個(gè)縱槽狀的 混合室22,該混合室22分別與氣孔21的下游端相連接，各混合 室22的下游端在自噴射狹縫33的上游端稍微離開(kāi)的位置形成 終端。在各混合室22的上游端部分設(shè)有液體孔23,該液體孔23 與氣孔21的方向成直角地貫穿混合板2從而與初級(jí)液體室12的 凹部底面附近相連通。因而，自液體孔23噴射的液體在各混合 室22的上游端內(nèi)、與自氣孔21噴出的空氣以直角關(guān)系進(jìn)行沖 擊，有效地;故噴出空氣流切斷而祐J敖細(xì)?；?，并一邊與空氣流混合， 一邊向混合室22內(nèi)流下。
在混合室2 2的下游端部分大致垂直貫穿混合板2地設(shè)有小 徑的初級(jí)孔2 5,利用該初級(jí)孔2 5連通混合室2 2的下游端部和i殳 在液體供給板1的接合面1A上的上述沖擊室13的上游端部。在 沖擊室13的上游端部設(shè)有深凹部14，該深凹部14是沿來(lái)自初級(jí) 孔2 5的混合噴霧的流動(dòng)方向加深而成的，混合噴霧在此暫時(shí)#皮 擴(kuò)張，之后在下游側(cè)的淺凹部重新被壓縮。沖擊室13的下游端 部配置在與噴射狹縫33的上游端部相對(duì)的位置，上述相對(duì)的端 部由次級(jí)孔26連通，該初級(jí)孔26貫穿混合^反2且直徑小于初級(jí) 孔25。因而，在沖擊室13內(nèi)暫時(shí)被擴(kuò)張、重新-陂壓縮從而可靠 地被均勻化而成的混合噴霧在該系統(tǒng)中，被最小徑的次級(jí)孔26 加速而輸送到噴射狹縫33。
如圖2所示，優(yōu)選利用橫槽24將每對(duì)相鄰的縱槽狀混合室 22的下游端部連通成U字形。沿著各板的長(zhǎng)度方向以一定間隔 設(shè)置相連接的每對(duì)氣孔2l和混合室22,從而使橫槽24具有 一 定 長(zhǎng)度，在該橫槽24上設(shè)有多個(gè)小徑的初級(jí)孔25。并且，在混合 板2的另 一表面2B上設(shè)有最終室27,該最終室27連通所有以比 初級(jí)孔更小的間隔形成最多個(gè)的最小徑的初級(jí)孔26,并形成為 沿著板的長(zhǎng)度方向延伸的橫槽，該最終室27與噴射狹縫33的上 游端部相連接。在由這樣的橫槽24、多個(gè)小徑的初級(jí)孔25、沖 擊室13、最多個(gè)最小徑的次級(jí)孔26以及用于連通所有次級(jí)孔的 最終室27形成的路徑中，反復(fù)進(jìn)行混合體的擴(kuò)散和壓縮。從而， 能積極地形成大致完全均勻化了的膜狀噴霧，并能夠在噴射狹 縫33的整個(gè)長(zhǎng)度上以高速進(jìn)行噴射。
另外，更優(yōu)選不將初級(jí)孔25和次級(jí)孔26配置在垂直的上下 位置，而是錯(cuò)開(kāi)配置。從而，能夠進(jìn)一步促進(jìn)噴霧的均勻化。
另外，在此將噴射狹縫3 3制成設(shè)在空氣供給板3的與混合板接合的接合面3A上的凹面的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并 不限于此，將噴射狹縫33制成在混合板2的另 一表面2B上自最 終室27設(shè)置到混合板2的下端面2C的凹面，也能夠獲得基本相 同的效果。
接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴的制造方法。首 先，準(zhǔn)備分別為細(xì)長(zhǎng)板狀的混合板2、與混合板2的一表面2A相 接觸的液體供給板l以及與混合板2的另 一表面2B相接觸的空 氣供給板3的原材料。
在液體供給々反1上形成多個(gè)液體管連接口 ll和初級(jí)液體室 12;上述多個(gè)液體管連接口 ll在液體供給板l的任意一個(gè)外表 面開(kāi)口 ，在此是在自噴射狹縫33開(kāi)口的端面的相反側(cè)的上端面 開(kāi)口 ，多個(gè)液體管連接口 ll之間沿板的長(zhǎng)度方向空出適當(dāng)間 隔；上述初級(jí)液體室12開(kāi)口在液體供給板1的與混合板2接合的 接合面1A上，并在內(nèi)部與液體管連接口 ll相連通。該初級(jí)液體 室12可以形成為下述任意一種形式分割成一個(gè)一個(gè)與各液體 管連接口 ll相對(duì)應(yīng)的適當(dāng)長(zhǎng)度的室，或形成為在液體供給板l 的大致全長(zhǎng)范圍內(nèi)連續(xù)的1個(gè)室。
另外，當(dāng)在液體供給板l上形成液體管連接口 ll和初級(jí)液 體室12時(shí)，在液體供給板1的與混合板接合的接合面1A上形成 具有附臺(tái)階凹部的沖擊室13，該沖擊室13將混合板上的初級(jí)孔 25與次級(jí)孔26之間連通。
在空氣供給板3上形成多個(gè)空氣管連接口 31和初級(jí)空氣室 32;上述多個(gè)空氣管連接口 31在空氣供給板3的任意一個(gè)外表 面開(kāi)口 ，在此是開(kāi)口在空氣供給板3的同其與混合板接合的接 合面3A相反一側(cè)的表面上，多個(gè)空氣管連接口 31之間沿板的長(zhǎng) 度方向空出適當(dāng)間隔；上述初級(jí)空氣室32開(kāi)口在空氣供給板3 的與混合板2接合的接合面3A上，并在內(nèi)部與空氣管連接口 31相連通。初級(jí)空氣室32可以形成為下述任意一種形式對(duì)應(yīng)于 每個(gè)空氣管連接口 31地分割形成初級(jí)空氣室32，或形成為所有 空氣管連接口所共用的l個(gè)初級(jí)空氣室32。
關(guān)于混合板2，在其另一表面2B上，利用蝕刻或擴(kuò)散融合 在與空氣供給板3的初級(jí)空氣室32的開(kāi)口相連通的位置形成與 混合板的長(zhǎng)度方向成直角的多個(gè)細(xì)槽作為氣孔。另外，利用蝕 刻或擴(kuò)散融合形成稍粗的多個(gè)縱槽作為混合室22，該縱槽的上 游端與各細(xì)槽的下游端相連接，該縱槽的下游端自噴射狹縫33 的上游端離開(kāi)。另外，形成開(kāi)口在沿著混合板的長(zhǎng)度方向的一 端面上的噴射狹縫。并且，在各縱槽的上游端形成多個(gè)液體孔 23,該液體孔23與細(xì)槽的方向成直角地貫穿混合板2，與液體 供給板l的開(kāi)口相連通。另外，在各縱槽的下游端形成貫穿混 合板2的多個(gè)小徑的初級(jí)孔25,在噴射狹縫33的上游端形成貫 穿混合板2的、直徑小于初級(jí)孔且間隔小于初級(jí)孔的多個(gè)次級(jí) 孔26。另外，在混合板2的另 一表面2B側(cè)形成橫槽狀的最終室 27，該最終室27沿混合板的長(zhǎng)度方向連通所有的次級(jí)孔26。
另外，開(kāi)口在沿著板的長(zhǎng)度方向的一端面上的噴射狹縫也 可以形成在空氣供給板3上。
使液體供給板l與遮蓋起來(lái)的混合板2的一表面2A相接合 而疊合在一起，使空氣供給板3與混合板2的另 一表面2B相接合 而疊合在一起，夾著混合板2而將固定螺栓34、 35例如自空氣 供給板3 —側(cè)緊固在液體供給板1上，從而制造出雙流體狹縫式噴嘴。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明的雙流體狹縫式噴嘴能用于例如電子零件等的雙 流體沖洗、精密沖洗。另外，本發(fā)明的制造方法能用于制造上 述用途的雙流體狹縫式噴嘴。
權(quán)利要求
1. 一種雙流體狹縫式噴嘴，其包括分別為細(xì)長(zhǎng)且被固定螺栓相互緊固的混合板、與混合板的一表面相接觸的液體供給板以及與混合板的另一表面相接觸的空氣供給板；液體供給板包括液體管連接口，其開(kāi)口在液體供給板的外表面上；初級(jí)液體室，其開(kāi)口在液體供給板的與混合板相接觸的表面上，并與液體管連接口相連通；空氣供給板包括空氣管連接口，其開(kāi)口在空氣供給板的外表面上；初級(jí)空氣室，其開(kāi)口在空氣供給板的與混合板相接觸的表面上，并與空氣管連接口相連通；開(kāi)口在沿著板的長(zhǎng)度方向的一端面上的噴射狹縫設(shè)在混合板與空氣供給板之間；并且該雙流體狹縫式噴嘴具有混合室，該混合室位于該噴射狹縫和初級(jí)液體室以及初級(jí)空氣室之間；其特征在于，上述混合室是由與各板的長(zhǎng)度方向成直角地設(shè)置的多個(gè)縱槽形成的，該混合室在其上游端借助氣孔與初級(jí)空氣室相連通，上述氣孔分別與各板的長(zhǎng)度方向成直角地形成為細(xì)槽狀，并且該混合室在其上游端近旁借助細(xì)孔狀的液體孔與初級(jí)液體室相連通，上述液體孔與各氣孔的方向成直角地貫穿混合板，混合室的各槽的下游端自噴射狹縫的上游端離開(kāi)而形成為終端；混合室的下游端與噴射狹縫的上游端之間由多個(gè)初級(jí)孔、多個(gè)次級(jí)孔以及沖擊室連通，上述初級(jí)孔在混合室的各槽的下游端貫穿混合板，上述次級(jí)孔在噴射狹縫的上游端貫穿混合板，上述沖擊室至少由一個(gè)凹部形成，該凹部以連通初級(jí)孔和次級(jí)孔之間的方式形成在液體供給板的與混合板相接觸的表面上。
2. —種雙流體狹縫式噴嘴，該雙流體狹縫式噴嘴包括分別 為細(xì)長(zhǎng)且互相被固定螺栓緊固的混合板、與混合板的 一表面相 接觸的液體供給板以及與混合板的另 一 表面相接觸的空氣供給板；液體供給板包括液體管連接口，其開(kāi)口在液體供給板的 外表面上；初級(jí)液體室，其沿著板的長(zhǎng)度方向開(kāi)口在液體供給 板的與混合々反相接觸的表面上，并與液體管連接口相連通；空氣供給板包括空氣管連接口，其開(kāi)口在空氣供給板的 外表面上；初級(jí)空氣室，其沿著板的長(zhǎng)度方向開(kāi)口在空氣供給 板的與混合板相接觸的表面上，并與空氣管連接口相連通；混合板具有混合室，該混合室位于液體供給板的初級(jí)液體 室以及空氣供給板的初級(jí)空氣室和開(kāi)設(shè)在沿著各板的長(zhǎng)度方向 的一端面上的噴射狹縫之間；其特征在于，混合板的混合室是由與板的長(zhǎng)度方向成直角地形成在混合 板的另一表面上的多個(gè)縱槽形成的，該混合室在其上游端借助 氣孔與初級(jí)空氣室相連通，上述氣孔分別與板的長(zhǎng)度方向成直 角地在混合板的另 一表面上形成為細(xì)槽狀，且該混合室在其上 游端近旁借助細(xì)孔狀的液體孔與初級(jí)液體室相連通，上述液體 孔分別與氣孔的方向成直角地貫穿混合板，混合室的各槽的下 游端自噴射狹縫的上游端離開(kāi)而形成為終端；混合室的下游端與噴射狹縫的上游端之間由多個(gè)初級(jí)孔、 多個(gè)次級(jí)孔以及沖擊室連通，上述初級(jí)孔在混合室的各槽的下 游端貫穿混合板，上述次級(jí)孔在噴射狹縫的上游端貫穿混合板， 上述沖擊板由凹部形成，該凹部將各初級(jí)孔和各次級(jí)孔之間連 通地形成在液體供給板的與混合板相接觸的表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙流體狹縫式噴嘴，其特征在于，利用橫槽將構(gòu)成混合室的每對(duì)相鄰的縱槽的下游端連結(jié)為 U字形，各橫槽利用多個(gè)初級(jí)孔與沖擊室相連通，噴射狹縫的 上游端借助最終室與次級(jí)孔相連通，該最終室連通所有次級(jí)孔而形成為沿著各板的長(zhǎng)度方向延伸的橫槽形狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙流體狹縫式噴嘴，其特征在于， 沖擊室在其與初級(jí)孔的出口相對(duì)的位置具有臺(tái)階狀深部，與位于比沖擊室的臺(tái)階狀深部靠下游位置的淺部相面對(duì)的次級(jí) 孔以小于初級(jí)孔的直徑、且以小于初級(jí)孔的間隔i殳置多個(gè)，噴 射狹縫由凹面部形成，該凹面部自與空氣供給板的接觸于混合 板的表面上的最終室相面對(duì)的位置一直設(shè)置到板的開(kāi)設(shè)噴射狹 縫的一端面。
5. —種雙流體狹縫式噴嘴的制造方法，準(zhǔn)備分別為細(xì)長(zhǎng)板 狀的混合板、液體供給板以及空氣供給板；在液體供給板上形成液體管連接口和初級(jí)液體室，上述液 體管連接口開(kāi)口在液體供給板的外表面上，上述初級(jí)液體室開(kāi) 口在液體供給板的與混合板接合的接合面上且與液體管連接口 相連通；在空氣供給板上形成空氣管連接口和初級(jí)空氣室，上述空 氣管連接口開(kāi)口在空氣供給板的外表面上，上述初級(jí)空氣室開(kāi) 口在空氣供給板的與混合板接合的接合面上且與空氣管連接口 相連通；在混合板的另一表面上形成氣孔、混合室和噴射狹縫，上 述氣孔與空氣供給板的初級(jí)空氣室的開(kāi)口相連通，上述混合室 的上游端與氣孔的下游端相連接，上述噴射狹縫開(kāi)口在沿著混 合板的長(zhǎng)度方向的一端面上；使液體供給板與混合板的 一 表面相接合而疊合在 一 起，使 空氣供給板與混合板的另 一表面相接合而疊合在一起，并利用 固定螺栓緊固；其特征在于，在混合板上形成氣孔和混合室的工序含有如下工序利用蝕刻或擴(kuò)散融合中的 一 種在混合板的另 一 表面上形成與板的長(zhǎng)度方向成直角的多個(gè)細(xì)槽作為氣孔，利用蝕刻或擴(kuò)散 融合中的一種在混合板的另一表面上形成多個(gè)縱槽作為混合 室，該縱槽的上游端與各細(xì)槽相連接且下游端自噴射狹縫的上 游端離開(kāi)；形成多個(gè)液體孔、多個(gè)初級(jí)孔、多個(gè)次級(jí)孔和最終室，上 述液體孔在各縱槽的上游端與細(xì)槽的方向成直角地貫穿混合板 而與液體供給々反的開(kāi)口相連通，上述初級(jí)孔在各縱槽的下游端 貫穿混合板，上述次級(jí)孔在噴射狹縫的上游端貫穿混合板且其 直徑小于初級(jí)孔且間隔小于初級(jí)孔，上述最終室在混合板的另一表面?zhèn)妊刂宓拈L(zhǎng)度方向連通所有次級(jí)孔；在液體供給板上形成液體管連接口和初級(jí)液體室的工序包 括在液體供給板的與混合板接合的接合面上形成用于連通混合 板的初級(jí)孔和次級(jí)孔的作為沖擊室的凹部的工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙流體狹縫式噴嘴的制造方法， 其特征在于，在混合板上形成氣孔和混合室的工序還包括如下工序在 混合板上形成橫槽和初級(jí)孔；上述橫槽將構(gòu)成混合室的每對(duì)相 鄰的縱槽的下游端連結(jié)成U字形；上述初級(jí)孔在多個(gè)位置使各 橫槽與沖擊室相連通。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種雙流體狹縫式噴嘴及其制造方法。該雙流體狹縫式噴嘴用于混合液體和氣體而沿長(zhǎng)度方向噴射均勻且高度微?；哪顕婌F。其中，在噴嘴的內(nèi)部設(shè)置用于使雙流體成直角地沖擊的混合空間，使混合流體從進(jìn)一步使其均勻化的部件中通過(guò)后噴射該混合流體。在細(xì)長(zhǎng)板狀的液體供給板與氣體供給板之間夾著混合板，使自空氣供給板經(jīng)由氣孔而輸送到混合板的另一表面上的空氣和自液體供給板經(jīng)由成直角地貫穿混合板的液體孔輸送的液體在混合空間內(nèi)沖擊混合。在氣液混合體通過(guò)在混合空間的下游端貫穿混合板的初級(jí)孔、液體供給板側(cè)的沖擊室、在噴射狹縫的上游端貫穿混合板的次級(jí)孔以及噴射狹縫的期間，利用沖擊、擴(kuò)張以及壓縮使該氣液混合體均勻化以及微?；?，并使其加速地自噴射狹縫噴出。
文檔編號(hào)B05B7/26GK101547744SQ20088000069
公開(kāi)日2009年9月30日 申請(qǐng)日期2008年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月18日
發(fā)明者平木川均 申請(qǐng)人:噴霧系統(tǒng)(日本)株式會(huì)社