專利名稱:一種納米單晶金剛石及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及超硬材料納米粉體技術(shù),特別是一種納米單晶金剛石及其制造方法。
背景技術(shù):
隨著科技的發(fā)展需要,許多精密器件的表面光潔度都要求很高,比如電腦磁盤、磁頭、光通信器件、光學(xué)晶體、半導(dǎo)體基片等器件,都需要精密的拋光加工,如果表面有任何超出許可范圍的凸凹、劃傷或者附著異物,所設(shè)計(jì)的精度及性能將得不到保證。所以,最終的表面拋光是左右精密器件性能的重要加工過程。
縱觀各種拋光加工所使用的拋光材料,從形態(tài)上可以分為兩種,即拋光液和拋光膜,從材質(zhì)上看種類很多,如金剛石、碳化硅、氧化鋁(俗稱剛玉)、氧化鈰、氧化硅等,其中,金剛石以其最高的硬度和很高的磨削力等特點(diǎn),在各種拋光應(yīng)用中占有重要的地位。
最初在拋光加工中應(yīng)用的金剛石微粉是天然金剛石,由于來源稀少、成本高,應(yīng)用很受限制。上個(gè)世紀(jì)末人造金剛石合成技術(shù)發(fā)展成熟并得以推廣,大幅度的成本降低使應(yīng)用得到快速的推廣。目前,金剛石微粉的應(yīng)用不僅存在于許多高科技元件,如電腦磁盤和磁頭等的拋光加工,而且遍布于許多傳統(tǒng)加工領(lǐng)域,如寶石和機(jī)械磨具等產(chǎn)品的拋光加工。
雖然各種應(yīng)用所需的金剛石微粉粒度不盡相同,但是,隨著科技的進(jìn)步,各種加工精度要求都是越來越高,所用的微粉粒度都在向更加細(xì)微化的方向發(fā)展。比如,電腦硬盤的紋理加工自從上世紀(jì)90年代開始使用金剛石微粉以來,粒度大小一直迅速在變化,從開始的1微米左右,到現(xiàn)在的0.1微米,近期很快將要過渡到0.05微米(50nm)甚至更細(xì)的水平。
另一方面,金剛石微粉的制造方法有幾種,各種方法所制得的金剛石也有所區(qū)別,主要有如下幾種方法1)靜態(tài)高溫高壓法在高溫高壓的合成壓機(jī)中,石墨在催化劑的作用下轉(zhuǎn)化成立方體的金剛石晶體,通常稱為靜壓金剛石,或者單晶金剛石,簡(jiǎn)稱金剛石。這種金剛石顆粒經(jīng)過粉碎、分級(jí)而得的金剛石微粉,通常稱為靜壓金剛石微粉,或者單晶金剛石微粉,簡(jiǎn)稱金剛石微粉。這種金剛石從幾十微米到1微米左右,粒度選擇性好、成本低、應(yīng)用最為廣泛,但是,利用傳統(tǒng)的球磨粉碎和自然沉降分級(jí)技術(shù),還不能生產(chǎn)0.2微米以下的微粉,尤其是0.1微米(100納米)以下的微粉更為困難。
2)爆炸法在炸藥爆炸瞬間的高溫高壓作用下,使石墨轉(zhuǎn)化為金剛石顆粒,通常稱為多晶金剛石或者聚晶金剛石。這種金剛石一般顆粒比較小,一般粒度范圍在10微米至0.01微米,通過精密分級(jí)可以得到各種粒度的微粉,且有相當(dāng)好的磨削力和拋光效果,在有些應(yīng)用領(lǐng)域可以發(fā)揮獨(dú)特的威力。但是科技發(fā)展的需要是多種多樣的,與同粒度的單晶金剛石相比,不僅磨削力偏小,而且成本高出10至20倍,限制了用途的擴(kuò)展。
3)爆轟法在負(fù)氧平衡的條件下,使炸藥爆轟過程所產(chǎn)生的游離碳原子聚集、結(jié)晶成金剛石顆粒,一般顆粒很小,一次性單顆粒一般在10nm左右,通常稱為納米金剛石或者爆轟金剛石。從晶型上屬于單晶金剛石的范疇,但是由于表面基團(tuán)的存在和類金剛石結(jié)構(gòu)的影響,一般不稱作單晶金剛石。雖然納米金剛石有很多潛在的用途,但是受其表面上存在的各種基團(tuán)和表面能高的影響,納米顆粒極易團(tuán)聚,很難分散,失去了許多作為納米顆粒所應(yīng)有的特性,同時(shí),成本也相當(dāng)高,不能廣泛得以應(yīng)用。
基于上述對(duì)現(xiàn)有技術(shù)和市場(chǎng)需求的了解,本發(fā)明人一直致力于對(duì)納米級(jí)粒度的單晶金剛石微粉制造的研究,通過對(duì)大顆粒或者說粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒進(jìn)行進(jìn)一步加工處理,完成了下述獲得納米級(jí)單晶金剛石的技術(shù)解決方案。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷或不足,提供一種能夠用于高精度拋光加工的納米單晶金剛石,例如,用于電腦硬盤的紋理加工等。
本發(fā)明還提供一種上述納米單晶金剛石的制造方法,采用該方法能夠以便捷可行的途徑獲得納米級(jí)單晶金剛石,并且生產(chǎn)成本相對(duì)較低。
本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思為,將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒通過球磨粉碎制成納米單晶金剛石,該納米單晶金剛石的粒度分布特征為使用激光粒度分析儀測(cè)試時(shí),平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小。
本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種納米單晶金剛石,其特征在于該納米單晶金剛石是將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒通過球磨粉碎制成。
所述球磨粉碎是指,利用高速振動(dòng)球磨機(jī)粉碎。
所述粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒是指靜態(tài)高溫高壓法制成的單晶金剛石顆粒。
所述納米單晶金剛石的平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小。
納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于包括以下步驟步驟1,將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒進(jìn)行球磨粉碎,得到包含有納米單晶金剛石的微粉;步驟2,對(duì)微粉進(jìn)行酸堿處理,以分別去除金屬、石墨和硅雜質(zhì);步驟3,利用多管高速離心機(jī),把微粉分級(jí)成不同粒度,得到平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小的納米單晶金剛石。
所述步驟1中粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒是指粒度為10微米以下,或6微米以下的單晶金剛石。
所述步驟1中的球磨粉碎是指利用裝載有大小不同的鋼球的球磨罐和具有旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)和振動(dòng)三維運(yùn)動(dòng)的球磨機(jī)進(jìn)行粉碎,球磨機(jī)的擺振頻率為1200周/分。
所述步驟2中采用鹽酸進(jìn)行去除金屬的酸處理,微粉與鹽酸的比為1~2∶6~10,該處理包括離心洗滌和脫水烘干;所述步驟2中采用混合酸進(jìn)行去除石墨的酸處理,該處理包括離心洗滌和脫水烘干;所述步驟2中采用氫氧化鈉進(jìn)行去除硅的堿處理,氫氧化鈉與微粉的比為3~4∶1,該處理包括離心洗滌。
所述步驟3中還包括將微粉進(jìn)行分散的前處理,離心分級(jí)中利用激光粒度儀進(jìn)行的粒度測(cè)試,和離心分級(jí)后的脫水烘干。
所述將微粉進(jìn)行分散的前處理是指,將微粉按5~4重量%的比例放入分散介質(zhì)中,分散介質(zhì)由去離水及分散劑組成,分散劑為六偏磷酸鈉和/或焦磷酸鈉,然后通過超聲分散成金剛石懸浮液。
本發(fā)明的技術(shù)效果如下本發(fā)明的一種納米單晶金剛石及其制造方法,由于首次提出了將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒通過球磨粉碎制成納米單晶金剛石的技術(shù)構(gòu)思,這無疑為納米單晶金剛石的獲得提供了全新的、且切實(shí)可行的技術(shù)解決方案,從而為高精度拋光加工,例如電腦硬盤的紋理加工等,提供了可靠的技術(shù)支持。本發(fā)明的方法充分利用了現(xiàn)有技術(shù)中的球磨、酸堿處理和離心分級(jí)技術(shù),從而能夠以便捷可行的途徑獲得納米級(jí)單晶金剛石,并且生產(chǎn)成本相對(duì)較低。
圖1是各階段除雜后所做XRD圖,圖中(1)是金剛石粉原料,(2)是酸處理過的金剛石粉,(3)是堿處理過的金剛石粉。
圖2為用Nanotrack-150激光粒度儀測(cè)試圖,橫坐標(biāo)為Size顆粒的尺寸大小,左縱坐標(biāo)為%Channel-激光通過率,右縱坐標(biāo)為%Passing-顆粒通過百分率,圖中各外文詞的中文含義如下Passing-通過,Channel-信道,Size-尺寸,microns-微米。
圖3為用Nanotrack-150激光粒度儀測(cè)試圖,橫坐標(biāo)為Size顆粒的尺寸大小,左縱坐標(biāo)為%Channel激光通過率,右縱坐標(biāo)為%Passing顆粒通過百分率,圖表中各外文詞的中文含義如下Passing-通過,Channel-信道,Size-尺寸,microns-微米。
圖4為用Nanotrack-150激光粒度儀測(cè)試圖,橫坐標(biāo)為Size顆粒的尺寸大小,左縱坐標(biāo)為%Channel激光通過率,右縱坐標(biāo)為%Passing顆粒通過百分率,圖表中各外文詞的中文含義如下Passing-通過,Channel-信道,Size-尺寸,microns-微米。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供了一種納米單晶金剛石及其制造方法,其特征在于使用大顆粒的靜壓?jiǎn)尉Ы饎偸w粒,經(jīng)高速振動(dòng)球磨機(jī)粉碎成非常微小的納米級(jí)顆粒,并經(jīng)提純和精確分級(jí)而成。本發(fā)明的納米單晶金剛石的粒度分布特征使用激光粒度分析儀測(cè)試時(shí),平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小。
本發(fā)明主要工藝流程為粉碎球磨→酸堿提純處理→水洗→超聲分散→離心分級(jí)→絮凝沉降→烘干→檢驗(yàn)→包裝。
利用D/max--IIA型X射線衍射儀測(cè)試各階段的樣品,以觀察各階段除雜效果,測(cè)試條件Cu靶,石墨彎晶單色器;管壓40kV,管流30mA,掃描方式步進(jìn)掃描;步寬,2θ0.01°;狹縫,SS1°、DS1°,RS0.15mm;走紙速度,0.1mm/步;時(shí)間常數(shù)0.2s,獲得的衍射圖譜,如圖1所示。
納米單晶納米金剛石的制造方法,包括1)選用靜態(tài)高溫高壓下合成的單晶金剛石顆粒,采用高速振動(dòng)球磨進(jìn)行粉碎處理,使微粉粒度大幅度減?。?)利用酸堿處理除去各種雜質(zhì);3)利用多管高速離心機(jī),把微粉分級(jí)成不同粒度,主要有平均粒度為100nm數(shù)量級(jí)或更細(xì)級(jí)別;4)經(jīng)過干燥、研碎處理得到納米單晶金剛石微粉。
利用激光粒度分析儀MICROTRAC NPA-150測(cè)試時(shí),體積分布的D50為100nm數(shù)量級(jí)或更小。
本發(fā)明的目的是克服上述各種金剛石微粉制造上存在的缺點(diǎn),提出一種能夠生產(chǎn)成本相對(duì)低、納米級(jí)粒度的單晶金剛石微粉制造方法,也就是后面詳細(xì)敘述的高速振動(dòng)球磨粉碎法和多管高速離心法相結(jié)合的方法。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的主要技術(shù)方案選用大顆粒的靜壓?jiǎn)尉Ы饎偸w粒,經(jīng)高速振動(dòng)球磨機(jī)粉碎成非常微小的納米級(jí)顆粒,并經(jīng)提純和多管高速離心分級(jí)而成。本發(fā)明提供的納米單晶金剛石是由球磨、酸堿處理、分級(jí)干燥等工藝組成,具體方法如下1.球磨工藝(1)選用合適的單晶金剛石原料,一般粒度為10微米以下,最好6微米以下;(2)選用鋼球組合,一般選擇3種以上直徑不同的鋼球,其中大鋼球的直徑為12-20mm,中鋼球的直徑為8-12mm,小鋼球的直徑為4-8mm;(3)按一定的比例進(jìn)行混合,對(duì)于1份重量的單晶金剛石,加入20,000-200,000份重量的鋼球,其中鋼球大小的比例為,大鋼球∶中鋼球∶小鋼球=1-2∶2-4∶3-6;(4)把混合物料加入到鋼制球磨罐中,加入的物料量達(dá)到球磨罐容量的1/4-2/3為宜;(5)采用臥式球磨,轉(zhuǎn)速為250-350rpm,根據(jù)球磨罐的大小有關(guān),以保證物料達(dá)到高點(diǎn)處失速下落為準(zhǔn);(6)該球磨機(jī)在研磨時(shí)具有旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)和振動(dòng)三維運(yùn)動(dòng),碰撞能量高于其它類型的球磨機(jī),擺振頻率為1200周/分.
(7)球磨時(shí)間根據(jù)粒度要求而定,一般在2-10天,可以隨時(shí)抽樣檢測(cè)粒度,確定結(jié)束時(shí)間。
2.酸堿處理工藝(1)除金屬取球磨好的微粉與一定配比的鹽酸溶液混合,其中料與酸為1-2∶6-10;加熱攪拌,反應(yīng)1-1.5h后,倒出廢酸液.離心洗滌至PH=3-4,然后脫水,烘干。
(2)除石墨將(1)的金剛石物料置燒杯中,加入少量的水調(diào)成糊狀,倒入已配制好的具有強(qiáng)氧化性混合酸中,并加入適量的催化劑.緩慢加熱,隨著不斷的升溫.溶液反應(yīng)冒出有刺激性氣味,且物料顏色隨著反應(yīng)的進(jìn)行從灰黑色變成灰色,至顏色不再改變時(shí)結(jié)束加熱。整個(gè)過程為1---1.5h,冷卻后,倒出廢酸液.離心洗滌至PH=3-4,脫水,烘干。
(3)除硅將(2)的金剛石物料,按堿料比3-4∶1使氫氧化鈉與金剛石粉料混合盛在鎳鉗鍋中.在400度正負(fù)10度下保持2小時(shí).反應(yīng)結(jié)束時(shí),適當(dāng)降溫.趁氫氧化鈉還是液態(tài)時(shí),將液體倒在涼的不銹鋼板上,使之冷卻為塊狀固體,再放入熱開水中。經(jīng)過沉降.倒出上層堿液.離心洗滌至PH=8-9。經(jīng)過提純的的金剛石微粉做X-射線衍射分析如圖1。從圖中可以看出在2θ=26°附近沒有石墨特征峰的出現(xiàn),同時(shí)整個(gè)圖譜衍射背底低,說明石墨及金屬雜質(zhì)已被除去;金剛石的峰形尖銳,晶面(111)上產(chǎn)生d=2.060A的最強(qiáng)峰;葉蠟石峰,其峰形基本同背底相平,金剛石粉料XRD圖中,只剩下金剛石衍射特征峰,譜線純凈,背底更低″說明此工藝流程在各除雜階段,均獲得較好效果。
3.分級(jí)1)取經(jīng)過酸堿處理的金剛石粉料.按5-4%比例,放入配制好分散介質(zhì)中,分散介質(zhì)由去離水及分散劑組成,分散劑為六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉等超分散劑。
2)把配制好的溶液置于超聲槽中進(jìn)行超聲分散,超聲時(shí)間根據(jù)分散情況而定,一般需要30-40分鐘,而超聲波的功率對(duì)超聲時(shí)間有很大影響。
3)把超聲分散好的金剛石懸浮液,置于多管高速離心機(jī)的離心杯中,然后,根據(jù)分離因素調(diào)整離心機(jī)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間.取上層清液,用激光粒度儀測(cè)試粒度,附圖2。
4)把經(jīng)過離心取出的上層清液.加入絮凝劑使之沉淀,脫水。
5)把脫過水的物料,置于真空干燥箱中烘干..溫度控制在40-70度左右。
實(shí)施例1對(duì)4--8um名義粒度的單晶金剛石顆粒進(jìn)行微粉碎和離心分級(jí)。對(duì)于粉碎步驟,使用鋼制球磨罐,其直徑和長(zhǎng)度均為150mm。裝入100克上述原始金剛石粉,以及按1∶2∶4比例分別裝入直徑分別為12mm,8mm和6mm的鋼球6kg,球磨罐在90n/分下運(yùn)轉(zhuǎn)120小時(shí)。粉碎的粉末從罐中取出,放入10%的稀鹽酸溶液1000ml中,加熱反應(yīng)1小時(shí),通過溶解去除金屬雜質(zhì)的成份,然后用水充分沖洗至PH值為6.5左右。脫水烘干,再把此粉料置于高氯酸與硫酸混合酸液1000ml中(高氯酸∶硫酸=1∶2)加熱處理1.5小時(shí),待顏色不變化時(shí),結(jié)束加熱,離心洗滌PH=4,脫水烘干,然后,按料∶堿=1∶3的比例,置于鎳鉗鍋中,在400度下保溫2小時(shí),待其降溫后,倒入不銹鋼板上,使之冷卻為塊狀固體,加熱水洗滌至PH=9,取上述物料置于用0.5%焦磷酸鈉配制好分散液2500ml中,超聲分散30分鐘,超聲波功率為600W。然后調(diào)整離心機(jī)的轉(zhuǎn)速為7200轉(zhuǎn),時(shí)間為20分鐘,取上層清液,用MICROTRAC NPA--150激光粒度分析儀得到測(cè)試結(jié)果。如圖3可以看出,金剛石顆粒群均具有窄范圍粒度分布D50=31nm。這里,柱代表測(cè)試結(jié)果中在給定范圍內(nèi)的粒度頻率,而曲線圖代表累計(jì)頻率,其中每個(gè)粒度點(diǎn)的頻率被累加。
實(shí)施例2對(duì)2-4um名義粒度的單晶金剛石顆粒進(jìn)行粉碎和離心分級(jí).裝入100克上述原始金剛石粉.以1∶4∶6的比例分別裝入直徑分別為10mm,6mm和4mm的鋼球5kg,球磨罐在80n/分鐘(rpm)運(yùn)轉(zhuǎn)72小時(shí),粉碎的粉末從罐中取出,放入20%的稀鹽酸溶液1000ml中,加熱反應(yīng)0.5小時(shí),通過溶解去除金屬雜質(zhì)的成份,然后用水充分沖洗至PH值為6.5左右。脫水烘干,再把此粉料置于高氯酸與硫酸混合酸液1000ml中(高氯酸∶硫酸=1∶1)加熱處理1.5小時(shí),待顏色不變化時(shí),結(jié)束加熱,離心洗滌,PH=4,脫水烘干.然后,按料∶堿=1∶3的比例,置于鎳鉗鍋中。在400度下保溫2小時(shí).待其降溫后,倒入不銹鋼板上,使之冷卻為塊狀固體.加熱水洗滌至PH=9,取上述物料置于用0.3%超分散劑配制好分散液2000ml中,超聲分散30分鐘,超聲波功率為600W。然后調(diào)整離心機(jī)的轉(zhuǎn)速為6000轉(zhuǎn),時(shí)間為25分鐘,取上層清液,用MICROTRAC NPA--150激光粒度分析儀得到測(cè)試結(jié)果,如圖4。
應(yīng)當(dāng)指出,以上所述實(shí)施方式可以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更全面地理解本發(fā)明,但不以任何方式限制本發(fā)明。因此,盡管本說明書對(duì)本發(fā)明已進(jìn)行了詳細(xì)的說明,但是,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,仍然可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改或者等同替換;而一切不脫離本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)的技術(shù)方案及其改進(jìn),其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明專利的保護(hù)范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.一種納米單晶金剛石,其特征在于該納米單晶金剛石是將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒通過球磨粉碎制成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米單晶金剛石,其特征在于所述球磨粉碎是指,利用高速振動(dòng)球磨機(jī)粉碎。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米單晶金剛石,其特征在于所述粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒是指靜態(tài)高溫高壓法制成的單晶金剛石顆粒。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米單晶金剛石,其特征在于所述納米單晶金剛石的平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小。
5.納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于包括以下步驟步驟1,將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒進(jìn)行球磨粉碎,得到包含有納米單晶金剛石的微粉;步驟2,對(duì)微粉進(jìn)行酸堿處理,以分別去除金屬、石墨和硅雜質(zhì);步驟3,利用多管高速離心機(jī),把微粉分級(jí)成不同粒度,得到平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小的納米單晶金剛石。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于所述步驟1中粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒是指粒度為10微米以下,或6微米以下的單晶金剛石。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于所述步驟1中的球磨粉碎是指利用裝載有大小不同的鋼球的球磨罐和具有旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)和振動(dòng)三維運(yùn)動(dòng)的球磨機(jī)進(jìn)行粉碎,球磨機(jī)的擺振頻率為1200周/分。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于所述步驟2中采用鹽酸進(jìn)行去除金屬的酸處理,微粉與鹽酸的比為1~2∶6~10,該處理包括離心洗滌和脫水烘干;所述步驟2中采用混合酸進(jìn)行去除石墨的酸處理,該處理包括離心洗滌和脫水烘干;所述步驟2中采用氫氧化鈉進(jìn)行去除硅的堿處理,氫氧化鈉與微粉的比為3~4∶1,該處理包括離心洗滌。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于所述步驟3中還包括將微粉進(jìn)行分散的前處理,離心分級(jí)中利用激光粒度儀進(jìn)行的粒度測(cè)試,和離心分級(jí)后的脫水烘干。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的納米單晶金剛石的制造方法,其特征在于所述將微粉進(jìn)行分散的前處理是指,將微粉按5~4重量%的比例放入分散介質(zhì)中,分散介質(zhì)由去離水及分散劑組成,分散劑為六偏磷酸鈉和/或焦磷酸鈉,然后通過超聲分散成金剛石懸浮液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠用于高精度拋光加工的納米單晶金剛石,例如,用于電腦硬盤的紋理加工等,其特征在于該納米單晶金剛石是將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒通過球磨粉碎制成。本發(fā)明還提供一種上述納米單晶金剛石的制造方法,包括以下步驟步驟1,將粒度大于納米級(jí)的單晶金剛石顆粒進(jìn)行球磨粉碎,得到包含有納米單晶金剛石的微粉;步驟2,對(duì)微粉進(jìn)行酸堿處理,以分別去除金屬、石墨和硅雜質(zhì);步驟3,利用多管高速離心機(jī),把微粉分級(jí)成不同粒度,得到平均粒度在100nm數(shù)量級(jí)或者更小的納米單晶金剛石。采用該方法能夠以便捷可行的途徑獲得納米級(jí)單晶金剛石,并且生產(chǎn)成本相對(duì)較低。
文檔編號(hào)C09K3/14GK1962964SQ20061011437
公開日2007年5月16日 申請(qǐng)日期2006年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月8日
發(fā)明者祝世連, 葛丙恒 申請(qǐng)人:北京國(guó)瑞升科技有限公司