專利名稱：正型感光性樹脂組合物、固化膜、保護膜、絕緣膜及使用它們的半導(dǎo)體裝置、顯示器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物、固化膜、保護膜、絕緣膜以及使用它們的半導(dǎo) 體裝置、顯示器裝置。
背景技術(shù)：
以往，在半導(dǎo)體裝置的保護膜、絕緣膜中，使用耐熱性優(yōu)良且具有卓越的電特性、 機械特性等的聚酰亞胺樹脂。但時，由于缺少高極性的來自酰亞胺環(huán)的羰基，因此，最近開 始使用被認為耐濕可靠性良好的聚苯并噁唑樹脂。又，開發(fā)出一種感光性樹脂組合物，該感 光性樹脂組合物可對聚苯并噁唑樹脂或聚酰亞胺樹脂本身賦予感光性，能夠簡化凸紋圖案 形成工序的一部分，可有效縮短工序及提升產(chǎn)率。目前，由安全性方面的進一步改良，開發(fā)出一種正型感光性樹脂組合物，該正型感 光性樹脂組合物由可通過堿水溶液進行顯影的聚苯并噁唑前軀體與作為感光劑的重氮醌 (diazoquinone)化合物所構(gòu)成(例如，參照專利文獻1)。在此，說明正型感光性樹脂組合物的凸紋圖案的制作及其顯影機制。在基板上形 成正型感光性樹脂組合物的涂膜，對該涂膜，通過稱為步進機(st印per)的曝光裝置，并從 掩模上方照射化學(xué)射線(曝光)，由此形成被曝光的部分(以下稱為“曝光部”)與未曝光 的部分(以下稱為“未曝光部”)。存在于該未曝光部中的重氮醌化合物不溶于堿水溶液 中，并通過與樹脂間的相互作用而進一步對堿水溶液具有耐性。另一方面，由于存在于曝光 部的重氮醌化合物通過化學(xué)射線的作用而發(fā)生化學(xué)變化，生成羧酸，因此，可溶于堿水溶液 中，促進樹脂的溶解。利用該曝光部與未曝光部的溶解性的差異，溶解去除曝光部，由此可 制作僅存在于未曝光部的凸紋圖案。形成有涂膜圖案的正型感光性樹脂組合物中的聚苯并噁唑前軀體樹脂，以往是通 過對其在最終接近于300°C的高溫下進行固化而脫水閉環(huán)，形成富有耐熱性的聚苯并噁唑 樹脂。另一方面，隨著近年來半導(dǎo)體裝置的顯著小型化、高集成化，尤其是在存儲元件中，其 耐熱性變得較以往低。因此，為了提升產(chǎn)率，必須要有可在較低溫下進行固化的聚苯并噁唑 前軀體樹脂。又，在使用這些感光性樹脂組合物時，尤其重要的是感光性樹脂組合物的感光 度。若為低感光度、即若感光度差時，則曝光時間變長、處理量降低。如此，最近強烈期盼開發(fā)出高感光度且即使以低溫進行固化時仍具有優(yōu)越的耐熱 性、可靠性的感光性樹脂組合物。在制作半導(dǎo)體裝置或顯示器裝置時，若使用感光性樹脂組合物，一般進行對在涂 敷后的基板端緣所形成的不需要的感光性樹脂組合物的膜，通過溶劑予以洗凈去除的晶邊 清洗(EBR ；Edge Bead Rinse)處理。專利文獻1 日本特開2004-125814號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明的目的在于提供一種高感光度且即使以低溫進行固化時耐熱性及可靠性 仍優(yōu)越的正型感光性樹脂組合物。另外，本發(fā)明的目的在于提供一種高感光度且即使以低溫進行固化時耐熱性及可 靠性仍優(yōu)越的固化膜、保護膜、絕緣膜、及使用它們的半導(dǎo)體裝置、顯示器裝置。解決課題的方法上述目的可通過下述[1] [12]記載的本發(fā)明而達成。[1] 一種正型感光性樹脂組合物，含有聚酰胺系樹脂與感光劑，其特征在于，上述 聚酰胺系樹脂由下述通式(1)表示，
權(quán)利要求
1. 一種正型感光性樹脂組合物，含有聚酰胺系樹脂和感光劑，其特征在于，所述聚酰胺 系樹脂由下述通式(1)表示，
2.如權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其中，上述聚酰胺系樹脂中的Z由下式 (2-1)表示，
3.如權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其中，上述聚酰胺系樹脂中的Z由下式 (2-2)表示，
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，上述聚酰胺系樹脂 中的Y是選自由下式(3-1) (3-3)所組成的組中，
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，上述聚酰胺系樹脂 在365nm下的透過率為20%以上。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，在250°C進行90 分鐘的固化處理后的上述聚酰胺樹脂的環(huán)化率為80%以上。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，上述感光劑是具有 選自由下式陽_1) (6-9)所組成的組中的結(jié)構(gòu)的一種以上的感光性重氮醌化合物，式(6)
8.一種固化膜，其特征在于，由權(quán)利要求1至7中任一項所述的正型感光性樹脂組合物 的固化物構(gòu)成。
9.一種保護膜，其特征在于，由權(quán)利要求8所述的固化膜構(gòu)成。
10.一種絕緣膜，其特征在于，由權(quán)利要求8所述的固化膜構(gòu)成。
11.一種半導(dǎo)體裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求8所述的固化膜。
12.—種顯示器裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求8所述的固化膜。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種高感光度且即使以低溫進行固化時耐熱性及可靠性仍優(yōu)越的正型感光性樹脂組合物。又，本發(fā)明的目的在于提供一種高感光度且即使以低溫進行固化時耐熱性及可靠性仍優(yōu)越的固化膜、保護膜、絕緣膜及使用它們的半導(dǎo)體裝置、顯示器裝置。本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物含有聚酰胺系樹脂與感光劑，其特征在于，上述聚酰胺系樹脂具有特定的結(jié)構(gòu)。又，本發(fā)明固化膜的特征在于，由上述正型感光性樹脂組合物所構(gòu)成。又，本發(fā)明的保護膜及絕緣膜的特征在于，由上述固化膜構(gòu)成。又，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置及顯示器裝置的特征在于，具有上述固化膜。
文檔編號C08G73/22GK102099740SQ20098012845
公開日2011年6月15日 申請日期2009年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月22日
發(fā)明者寺山美樹 申請人:住友電木株式會社