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聚合性組合物、濾色器、濾色器的制造方法和固體攝像元件的制作方法

文檔序號(hào):3617795閱讀:248來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:聚合性組合物、濾色器、濾色器的制造方法和固體攝像元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及聚合性組合物、濾色器、濾色器的制造方法和固體攝像元件。
背景技術(shù)
作為聚合性組合物,例如有在具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物中加入光聚合引 發(fā)劑而成的組合物。這樣的聚合性組合物由于通過(guò)照射光發(fā)生聚合固化,因此在光固化性 墨液、感光性印刷版、濾色器、各種光致抗蝕劑等中使用。另外,作為聚合性組合物,例如也有通過(guò)光的照射而產(chǎn)生酸,將產(chǎn)生的酸作為催化 劑的其他的方式。具體而言,利用將產(chǎn)生的酸作為催化劑的色素前體的發(fā)色反應(yīng),在用來(lái)圖 像形成、防偽、能量線量檢測(cè)的材料中使用,或者在利用將產(chǎn)生的酸作為催化劑的分解反應(yīng) 的半導(dǎo)體制造用、TFT制造用、濾色器制造用、超小機(jī)器部件制造用等的正性抗蝕劑等中使用。近年,在各種的用途中都特別地需要對(duì)短波長(zhǎng)(365nm或405nm)的光源具有感受 性的聚合性組合物,對(duì)于這樣的對(duì)短波長(zhǎng)的光源顯示優(yōu)良的感度的化合物而言,例如,其對(duì) 光聚合引發(fā)劑的要求也逐漸提高。然而,一般地說(shuō),感度方面優(yōu)良的光聚合引發(fā)劑在穩(wěn)定性 方面有欠缺,因此,需要一種在感度提高的同時(shí)也滿足經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的光聚合引發(fā)劑。因此,作為在聚合性組合物中使用的光聚合引發(fā)劑,在美國(guó)專利第4255513號(hào)說(shuō) 明書(shū)、美國(guó)專利第4590145號(hào)說(shuō)明書(shū)、日本特開(kāi)2000-80068號(hào)公報(bào)和日本特開(kāi)2001-233842 號(hào)公報(bào)中提出了肟酯衍生物。但是,這些公知的肟酯化合物對(duì)于波長(zhǎng)365nm、波長(zhǎng)405nm的 吸光度低,因此從感度的觀點(diǎn)出發(fā),還并不是滿足要求的化合物。另外,作為聚合性組合物,現(xiàn)狀也是期待一種經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)良并且對(duì)于365nm、 405nm等短波長(zhǎng)的光具有優(yōu)良的感度的組合物。進(jìn)而,例如,在日本特開(kāi)2000-314956號(hào)公報(bào)中,公開(kāi)了含肟化合物的濾色器用的 著色放射線敏感性組合物,該聚合物的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性以及對(duì)短波長(zhǎng)的光的感度還并不充分。 另外,在濾色器用的著色放射線敏感性組合物中,圖案形成后的色相的再現(xiàn)性也是新的課 題,迫切希望對(duì)因經(jīng)時(shí)而著色性發(fā)生變化的問(wèn)題進(jìn)行改善。另一方面,對(duì)于圖像傳感器用濾色器而言,為了實(shí)現(xiàn)基于CCD等的固體攝像元件 的高聚光性以及基于高色分離性的畫(huà)質(zhì)提高,因此對(duì)于濾色器的高著色濃度、薄膜化有著 高要求。為了得到高著色濃度而大量添加色材時(shí),在忠實(shí)地再現(xiàn)2. 5μπι以下的細(xì)微的像 素圖案的形狀時(shí)感度會(huì)不足,整體上存在多發(fā)生圖案的缺失的趨勢(shì)。此外,為了消除這種缺 失,需要更高能量的光照射,因此曝光時(shí)間變長(zhǎng),制造上的成品率下降明顯?;谝陨系氖?實(shí),對(duì)于濾色器用的著色放射線敏感性組合物來(lái)說(shuō)為如下現(xiàn)狀,從高濃度地含有色材(著 色劑)且需要得到良好的圖案形成性方面考慮,希望感度較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第1個(gè)目的在于提供一種聚合性組合物,其對(duì)波長(zhǎng)365nm、405nm的光的感度高,經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異,進(jìn)而能夠形成可以抑制因加熱經(jīng)時(shí)而造成的變色的固化膜。本發(fā)明的第2個(gè)目的在于提供一種濾色器,其圖案形狀良好,與支持體的密接性 優(yōu)異,進(jìn)而,具有因加熱經(jīng)時(shí)而造成的變色得到了抑制的著色圖案,本發(fā)明還提供可以以高 生產(chǎn)率制造該濾色器的制造方法以及具備該濾色器的固體攝像元件。本發(fā)明人等不斷地進(jìn)行了深入研究,結(jié)果發(fā)現(xiàn),通過(guò)使用在特定位置具有雙鍵或 三鍵的肟化合物,對(duì)于波長(zhǎng)365nm、405nm的光具有良好的吸光度,且經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性也優(yōu)異,進(jìn) 一步也可以抑制因加熱經(jīng)時(shí)而造成的著色。用于解決上述課題的具體的方法示出如下。用于實(shí)現(xiàn)上述課題的具體的方法如以下所述。<1> 一種聚合性組合物,其特征在于,至少含有(A)下述通式(1)所表示的光聚合 引發(fā)劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體、(D)粘結(jié)劑聚合物和(E)溶劑。
權(quán)利要求
一種聚合性組合物,其至少含有(A)下述通式(1)所表示的光聚合引發(fā)劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體,(D)粘結(jié)劑聚合物和(E)溶劑,所述通式(1)中,R1表示芳香族基團(tuán),R2表示用所述通式(2 1)~(2 3)中的任一個(gè)所表示的基團(tuán),R3表示碳數(shù)1~5的烷基或芳基,A表示單鍵或 C(=O) ,另外,所述通式(2 1)~(2 3)中,X1、X2和Y各自獨(dú)立地表示氫原子、烷基或芳基,Z表示能夠形成含碳 碳雙鍵的任意的環(huán)結(jié)構(gòu)的原子團(tuán)。FPA00001231127000011.tif
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚合性組合物,其中,所述通式(1)中的R1為下述通式(3) 所示的取代基,
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聚合性組合物,其中,所述(B)著色劑為顏料或染料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聚合性組合物,其中,相對(duì)于聚合性組合物的總固體成分,顏 料或染料為50質(zhì)量%以上80質(zhì)量%以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的聚合性組合物,其中,所述(C)聚合性單體具有酸性基團(tuán)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中的任一項(xiàng)所述的聚合性組合物,其中,所述⑶粘結(jié)劑聚合物 具有雙鍵。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的聚合性組合物,其還含有(F)增感劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的聚合性組合物,其還含有(G)共增感劑。
9.一種濾色器,其在支持體上具有使用所述權(quán)利要求1 8中的任一項(xiàng)所述的聚合性 組合物形成的著色圖案。
10.一種濾色器的制造方法,其包括在支持體上涂布所述權(quán)利要求1 8中的任一項(xiàng)所述的聚合性組合物,形成聚合性組 合物層的工序;隔著掩模曝光該聚合性組合物層的工序;顯影曝光后的所述聚合性組合物層,形成著色圖案的工序。
11. 一種固體攝像元件,其具備權(quán)利要求9所述的濾色器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種聚合性組合物,其特征在于,至少包含(A)下述通式(1)所表示的光聚合引發(fā)劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體、(D)粘結(jié)劑聚合物和(E)溶劑,其中通式(1)中,R1表示芳香族基團(tuán),R2表示通式(2-1)~(2-3)中的任一個(gè)所表示的基團(tuán),R3表示烷基等,A表示單鍵或-C(=O)-。X1、X2和Y表示氫原子、烷基等,Z表示能夠形成含碳-碳雙鍵的任意的環(huán)結(jié)構(gòu)的原子團(tuán)。
文檔編號(hào)C08F2/44GK101981063SQ200980110850
公開(kāi)日2011年2月23日 申請(qǐng)日期2009年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月28日
發(fā)明者土村智孝, 牧野雅臣 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社
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