一種具有雙面高反射率的反射膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種具有雙面高反射率的反射膜。
【背景技術(shù)】
[0002]銀(Ag)在所有的常見金屬材料中,對(duì)可見光和紅外光的反射率最高。銀對(duì)可見光的反射率在95%左右,對(duì)紅外光的反射率可達(dá)99%,很容易蒸發(fā),且中性好,其引入的偏振效應(yīng)最小。因此,Ag是可見和近中紅外光區(qū)的重要光學(xué)材料,Ag膜是重要的高反射膜系。
[0003]Ag膜還具有電子傳導(dǎo)快、電阻率小、易制備等優(yōu)點(diǎn),在微電子器件、光電子器件、太陽能利用方面有著廣泛的應(yīng)用。例如液晶顯示(IXD)、等離子顯示板(PDP)及真空熒光顯示(VFD)等都是采用在玻璃基體上形成Ag膜。
[0004]由于Ag與玻璃基體的附著力比較差,而且在一些特殊的氣氛中易被腐蝕而脫落,從而影響了其使用性能。因此,增強(qiáng)膜層對(duì)玻璃基體的附著力是雙面高反射膜的一個(gè)難點(diǎn)。在玻璃基體與Ag膜之間增加一層過渡層對(duì)于提高Ag膜與玻璃基體之間的附著力和維持界面力學(xué)穩(wěn)定性有重要作用。目前Cr膜作為過渡層對(duì)于改善Ag膜的附著力得到了改善,然而,作為雙面高反射鍍膜膜系,膜層反面的反射率降低了很多。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是,保證反射膜高反射率的同時(shí),改善銀膜與玻璃基體之間的附著力。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是,一種具有雙面高反射率的反射膜,包括玻璃基體和銀反射膜,在玻璃基體表面設(shè)過渡層,過渡層表面設(shè)銀反射膜,所述過渡層為鋁膜。
[0007]進(jìn)一步地,所述鋁膜的厚度為l_3nm。鋁膜作為過渡層,其厚度不需要太厚,避免影響反射膜的反射率。
[0008]進(jìn)一步地,所述銀反射膜的厚度為200-250nm,所述玻璃基體的厚度為l_2mm。
[0009]進(jìn)一步地,所述鋁膜真空蒸鍍?cè)诓AЩw表面。
[0010]進(jìn)一步地,所述玻璃基體為B270無色光學(xué)玻璃。
[0011]本實(shí)用新型在玻璃基體與高反射銀膜之間引入一層鋁(A1)膜作為過渡層,不僅可以使反射膜的反射率可以保持在90%以上,而且大大地提高了玻璃基體與銀膜的結(jié)合強(qiáng)度。
【附圖說明】
[0012]圖1表示本實(shí)用新型提供的反射膜的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0014]實(shí)施例1
[0015]本實(shí)施例提供一種具有雙面高反射率的反射膜,該反射膜為層狀結(jié)構(gòu),依次為玻璃基體1、鋁膜2、銀膜3,其厚度分別為1.5mm、1.5nm、220nm。玻璃基體1采用的是B270無色光學(xué)玻璃;鋁膜2、銀膜3均采用真空鍍膜工藝依次蒸鍍。
[0016]該反射膜的制備工藝流程為:取1.5_厚的B270光學(xué)玻璃,經(jīng)過清洗劑超聲清洗—去離子水超聲清洗一漂洗一異丙醇脫水干燥,放入真空鍍膜設(shè)備,將設(shè)備抽至高真空,預(yù)熱一定時(shí)間,蒸鍍純A1膜,厚度控制在約20A,再將設(shè)備抽至高真空,預(yù)熱一定時(shí)間,鍍純Ag薄膜,將厚度控制在約220 A —設(shè)備進(jìn)大氣,完成雙面高反射膜的制作。
[0017]實(shí)施例2
[0018]本實(shí)施例提供一種具有雙面高反射率的反射膜,該反射膜與實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)和制備方法均相同,區(qū)別僅在于玻璃基體1、鋁膜2、銀膜3的厚度分別為1.5mm,2.5nm、240nm。
[0019]將上述實(shí)施例1和2得到的反射膜與現(xiàn)有的反射膜進(jìn)行進(jìn)行附著力和反射率測(cè)試的對(duì)比,結(jié)果如下:
[0020]用棉簽以一定的力度在膜層表面摩擦,對(duì)薄膜和玻璃基體之間的附著力進(jìn)行檢測(cè),結(jié)果表明:普通高反射膜系經(jīng)過1次摩擦膜層就脫落了,而A1作為過渡層的膜系經(jīng)過10次摩擦膜層還未脫落,由此說明A1膜作為過渡層得到的高反射膜系與玻璃基體的附著力有明顯改善。
[0021]用UV1900紫外分光光度計(jì)分別對(duì)引入Cr膜和A1膜為過渡層得到的高反射膜系的反面反射率檢測(cè),結(jié)果顯示:Cr膜作為過渡層的高反射膜的反面反射率約為75%,引入A1膜為過渡層得到的高反射膜的反面反射率約為91%。采用這種A1膜為過渡層的雙面高反射鍍膜膜系,與其它雙面高反射鍍膜膜系相比,Ag膜和玻璃基體之間的附著力有明顯的改善,而且這種過渡層對(duì)Ag膜的反面反射率影響要小很多。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有雙面高反射率的反射膜,包括玻璃基體(1)和銀反射膜(3),其特征在于,在玻璃基體(1)表面設(shè)過渡層,過渡層表面設(shè)銀反射膜(3 ),所述過渡層為鋁膜(2 )。2.如權(quán)利要求1所述的反射膜,其特征在于,所述鋁膜(2)的厚度為l_3nm。3.如權(quán)利要求1或2所述的反射膜,其特征在于,所述銀反射膜(3)的厚度為200-250nm,所述玻璃基體(1)的厚度為1_2臟。4.如權(quán)利要求1或2所述的反射膜,其特征在于,所述鋁膜(2)真空蒸鍍?cè)诓AЩw(1)表面。5.如權(quán)利要求1或2所述的反射膜,其特征在于,所述玻璃基體(1)為B270無色光學(xué)玻璃。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種具有雙面高反射率的反射膜,包括玻璃基體和銀反射膜,在玻璃基體表面設(shè)過渡層,過渡層表面設(shè)銀反射膜,所述過渡層為鋁膜。本實(shí)用新型在玻璃基體與高反射銀膜之間引入一層鋁膜作為過渡層,不僅可以使反射膜的反射率可以保持在90%以上,而且大大地提高了玻璃基體與銀膜的結(jié)合強(qiáng)度。
【IPC分類】C03C17/40
【公開號(hào)】CN205133414
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520855735
【發(fā)明人】陳曦, 劉長(zhǎng)青, 劉益民
【申請(qǐng)人】長(zhǎng)沙韶光鉻版有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請(qǐng)日】2015年10月30日