一種新型的多晶硅錠鑄錠爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及化工領(lǐng)域，尤其涉及一種新型的多晶硅錠鑄錠爐。
【背景技術(shù)】
[0002]目前常規(guī)的多晶硅生產(chǎn)工藝中，其中熔化階段硅液對(duì)流主要依靠自然對(duì)流，其對(duì)流速度通常較慢、對(duì)流效果較差，雖然通過(guò)延長(zhǎng)足夠時(shí)間可實(shí)現(xiàn)硅液充分對(duì)流，但從經(jīng)濟(jì)性上來(lái)講顯然并不可取，所以目前通常熔化結(jié)束后直接進(jìn)入長(zhǎng)晶階段，這將導(dǎo)致整個(gè)硅液的內(nèi)部溫度及雜質(zhì)分布不均勻，從而影響提純效果及導(dǎo)致后續(xù)晶體中局部熱應(yīng)力分布不勻。另外，在長(zhǎng)晶階段，靠近坩禍壁或坩禍底的位置容易長(zhǎng)成枝晶，造成多晶硅錠內(nèi)部品質(zhì)差異性較大，容易對(duì)多晶硅片的電學(xué)性能產(chǎn)生一定的影響；雖然目前高效多晶硅通過(guò)籽晶形核技術(shù)可控制細(xì)晶的形成，從而得到高品質(zhì)的多晶硅錠，但是出材率太低及成本太高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種新型的多晶硅錠鑄錠爐。
[0004]本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，包括鑄錠容器，所述鑄錠容器內(nèi)側(cè)中部設(shè)有坩禍護(hù)板，所述坩禍護(hù)板內(nèi)部設(shè)有坩禍，所述坩禍護(hù)板下側(cè)設(shè)有石墨塊，所述石墨塊下側(cè)對(duì)稱設(shè)有支撐軸，所述支撐軸之間設(shè)有氣動(dòng)振動(dòng)器，所述氣動(dòng)振動(dòng)器下側(cè)設(shè)有氬氣進(jìn)出口，所述氬氣進(jìn)出口下側(cè)設(shè)有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管下側(cè)設(shè)有油水分離器。
[0006]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的氣動(dòng)振動(dòng)器材質(zhì)為耐高溫的鉬、鎢、或碳化硅材料。
[0007]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的氣動(dòng)振動(dòng)器通入的氣體為氬氣，且充入壓力為4Bar?6Bar。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0009]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置氣體振動(dòng)器，使高溫熔體中產(chǎn)生強(qiáng)迫對(duì)流，從而加速硅液的對(duì)流速度，使雜質(zhì)分布更加均勻并增強(qiáng)后續(xù)的排雜效果、減少晶體中熱應(yīng)力的形成，且可以破碎正在生長(zhǎng)的樹枝狀晶體的晶枝，形成更多的結(jié)晶核心，有利于減少枝晶的形成并獲得更多細(xì)小的晶粒，提尚娃徒品質(zhì)。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:1、坩禍，2、坩禍護(hù)板，3、石墨塊，4、啟動(dòng)振動(dòng)器，5、氬氣進(jìn)出口，6、導(dǎo)氣管，7、油水分離器，8、支撐軸，9、鑄錠容器。
具體實(shí)施方案
[0012]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0013]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，包括鑄錠容器9，所述鑄錠容器9內(nèi)側(cè)中部設(shè)有坩禍護(hù)板2，所述坩禍護(hù)板2內(nèi)部設(shè)有坩禍1，所述坩禍護(hù)板2下側(cè)設(shè)有石墨塊3，所述石墨塊3下側(cè)對(duì)稱設(shè)有支撐軸8，所述支撐軸8之間設(shè)有氣動(dòng)振動(dòng)器4，所述氣動(dòng)振動(dòng)器4材質(zhì)為耐高溫的鉬、鎢、或碳化硅材料，所述氣動(dòng)振動(dòng)器4通入的氣體為氬氣，且充入壓力為4Bar?6Bar，所述氣動(dòng)振動(dòng)器4下側(cè)設(shè)有氬氣進(jìn)出口 5，所述氬氣進(jìn)出口 5下側(cè)設(shè)有導(dǎo)氣管6，所述導(dǎo)氣管6下側(cè)設(shè)有油水分離器7。
[0015]現(xiàn)場(chǎng)使用時(shí)，先在鑄錠的熔化階段打開(kāi)氣動(dòng)振動(dòng)器4，通過(guò)導(dǎo)氣管6通入氬氣，振動(dòng)作用使高溫熔體中產(chǎn)生強(qiáng)迫對(duì)流，從而加速硅液的對(duì)流速度，使雜質(zhì)分布更加均勻，并增強(qiáng)后續(xù)的排雜效果、減少晶體中熱應(yīng)力的形成。在長(zhǎng)晶階段由于振動(dòng)作用，可以破碎正在生長(zhǎng)的樹枝狀晶體的晶枝，形成更多的結(jié)晶核心，有利于減少枝晶的形成并獲得更多細(xì)小的晶粒，提高硅錠品質(zhì)，通過(guò)油水分離器7來(lái)精確控制進(jìn)氣流量及壓力，以達(dá)到調(diào)節(jié)振幅及振動(dòng)頻率的作用。
[0016]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，包括鑄錠容器(9)，其特征在于:所述鑄錠容器(9)內(nèi)側(cè)中部設(shè)有坩禍護(hù)板(2)，所述坩禍護(hù)板(2)內(nèi)部設(shè)有坩禍(I)，所述坩禍護(hù)板(2)下側(cè)設(shè)有石墨塊(3)，所述石墨塊(3)下側(cè)對(duì)稱設(shè)有支撐軸(8)，所述支撐軸(8)之間設(shè)有氣動(dòng)振動(dòng)器(4)，所述氣動(dòng)振動(dòng)器(4)下側(cè)設(shè)有氬氣進(jìn)出口(5)，所述氬氣進(jìn)出口(5)下側(cè)設(shè)有導(dǎo)氣管(6)，所述導(dǎo)氣管(6)下側(cè)設(shè)有油水分離器(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:所述的氣動(dòng)振動(dòng)器(4)材質(zhì)為耐高溫的鉬、鎢、或碳化硅材料。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:所述的氣動(dòng)振動(dòng)器(4)通入的氣體為氬氣，且充入壓力為4Bar?6Bar。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種新型的多晶硅錠鑄錠爐，包括鑄錠容器，所述鑄錠容器內(nèi)側(cè)中部設(shè)有坩堝護(hù)板，所述坩堝護(hù)板內(nèi)部設(shè)有坩堝，所述坩堝護(hù)板下側(cè)設(shè)有石墨塊，所述石墨塊下側(cè)對(duì)稱設(shè)有支撐軸，所述支撐軸之間設(shè)有氣動(dòng)振動(dòng)器，所述氣動(dòng)振動(dòng)器下側(cè)設(shè)有氬氣進(jìn)出口，所述氬氣進(jìn)出口下側(cè)設(shè)有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管下側(cè)設(shè)有油水分離器。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置氣體振動(dòng)器，使高溫熔體中產(chǎn)生強(qiáng)迫對(duì)流，從而加速硅液的對(duì)流速度，使雜質(zhì)分布更加均勻并增強(qiáng)后續(xù)的排雜效果、減少晶體中熱應(yīng)力的形成，且可以破碎正在生長(zhǎng)的樹枝狀晶體的晶枝，形成更多的結(jié)晶核心，有利于減少枝晶的形成并獲得更多細(xì)小的晶粒，提高硅錠品質(zhì)。
【IPC分類】C30B29/06, C30B28/06
【公開(kāi)號(hào)】CN204690167
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520377369
【發(fā)明人】周小英
【申請(qǐng)人】新余學(xué)院
【公開(kāi)日】2015年10月7日
【申請(qǐng)日】2015年6月3日