為本發(fā)明的實施方式的樣本，準備了實施例1、2、3、4的玻璃 基板。另外，作為這些樣本的比較對象，準備了比較例1、2、3、4、5的玻璃基板。
[0211] 這里，關于實施例1、3、4、以及比較例1、2、3、4的玻璃基板，使用了無堿玻璃（日本 電氣硝子（株）制：〇A_ll)，另一方面，關于實施例2、以及比較例5的玻璃基板，使用了無 堿玻璃（日本電氣硝子（株）制：0A_10G)。
[0212] 另外，關于此時的玻璃基板的尺寸，在實施例1、2、3、4、以及比較例4、5中，設為 橫向：730[111111]、縱向1020[111111]，另一方面，在比較例1、2、3中，設為橫向 ：730[111111]、縱向 920[mm]。
[0213] 需要說明的是，玻璃基板的尺寸不同是由于該玻璃基板的支承方法不同所致，在 懸掛支承的情況下需要在熱處理后切斷保持部，因此將縱向的尺寸設定得較大。
[0214] 其中，關于此時的玻璃基板的厚度，在實施例1、3、4、以及比較例1、2、4中，設為 0.5 [mm]，另一方面，在實施例2以及比較例3、5中，設為0.3 [mm]。
[0215] 關于玻璃基板的支承方法，在實施例1、2、3、4中，利用伴隨前述的面接觸而表現(xiàn) 出的粘合力，在基板主體的上端附近粘貼帶狀的平板玻璃而形成保持部，通過多個保持夾 具夾持（或者卡掛）該保持部的情況下，將玻璃基板懸吊支承。
[0216] 此時，在實施例1、2中，通過使具有70[mm]的寬度尺寸的帶狀的平板玻璃（日本 電氣硝子（株）制：0A_10G，厚度0.5[mm])分別與基板主體的表面以及背面的各自的上側(cè) 邊緣部粘貼而形成保持部。
[0217]另外，作為夾持所述保持部的保持夾具，采用與所述保持部接觸的夾持機構部的 前端面的形狀成為1邊50[mm]的正方形的保持夾具。
[0218] 另外，在實施例3中，對于基板主體的表面以及背面的各自的上側(cè)邊緣部，將具有 70 [mm]的寬度尺寸的帶狀的平板玻璃（日本電氣硝子（株）制：0A-10G，厚度0.5 [mm])以 三片為一組進行層疊，并且分別粘貼，從而形成保持部。
[0219] 其中，作為保持夾具的支承方法，利用所述保持部與基板主體的臺階，通過夾持機 構部的前端部卡掛所述保持部。
[0220] 并且，在實施例4中，對于基板主體的表面以及背面的各自的上側(cè)邊緣部，以朝向 所述基板主體的寬度方向兩側(cè)分別延伸50 [mm]的方式粘貼具有50 [mm]的寬度尺寸的帶狀 的平板玻璃（日本電氣硝子（株）制：0A_10G，厚度0.5 [mm])，從而形成保持部。
[0221] 另外，作為保持夾具的支承方法，為將所述保持部的延伸部位卡掛于保持夾具上。
[0222] 另一方面，在比較例1中，準備由比玻璃基板的周圍尺寸（縱向尺寸、以及橫向尺 寸）各大出10[mm]的尺寸構成的結(jié)晶化玻璃制成的支承板（定位器），將玻璃基板載置在 該支承板上，從而將玻璃基板支承為水平姿態(tài)。
[0223] 另外，在比較例2、3中，準備結(jié)晶化玻璃制成的支承構件，通過相對于該支承構件 倚靠立起，從而將玻璃基板支承為垂直姿態(tài)。
[0224] 并且，在比較例4、5中，通過多個保持夾具直接夾持基板主體的上側(cè)邊緣部，并且 將玻璃基板懸吊支承。
[0225] 需要說明的是，比較例4、5中的保持夾具的夾持機構部的前端面的形狀與前述的 實施例1、2中采用的保持夾具相同。
[0226] 對于以上示出的實施例1、2、3、4、以及比較例1、2、3、4、5的各自的玻璃基板，在升 溫速度10 [°C /min]、熱處理溫度540 [°C ]的條件下，實施了熱處理。
[0227] 另外，熱處理后分三階段使溫度降低至室溫。
[0228] 需要說明的是，關于實施例2、以及比較例5,與其他的實施例、以及比較例相比花 費足夠的時間的情況下使溫度降低。
[0229] 而且，關于實施例1、2、3、4、以及比較例4、5,在使溫度降低至室溫后，通過利用激 光切割將由保持夾具支承的上側(cè)邊緣部切掉，從而得到由規(guī)定的尺寸（橫向：730[mm]，縱 向920[mm])構成的玻璃基板。
[0230] 對于通過像如上那樣設置而獲得的實施例1、2、3、4、以及比較例1、2、3、4、5的規(guī) 定的尺寸的玻璃基板，對有效區(qū)域內(nèi)的表面上的損傷的有無、因熱處理中產(chǎn)生的裂縫造成 的把持部的損壞的有無、壓曲導致的玻璃基板的變形的有無進行了評價，能夠得到由[表 1]以及[表2]示出的結(jié)果。
[0231] 需要說明的是，評價結(jié)果中，?表示合格等級，X表示不合格等級。
[0232][表1]
[0233]
[0234][表 2]
[0235]
[0236] 如[表1]所示，實施例1、2、3、4中，關于損傷、損壞、變形的有無，均未發(fā)現(xiàn)問題。
[0237] 然而，如[表2]所示，在比較例1、2、3、4、5中，均發(fā)現(xiàn)某些問題。
[0238] 基于以上的結(jié)果，明確了通過利用將本發(fā)明具體化了的第一至第六實施方式的玻 璃基板支承單元1〇〇、200*"600進行熱處理，能夠制造不會產(chǎn)生損傷、損壞、變形的優(yōu)質(zhì)的 玻璃基板。
[0239] 工業(yè)實用性
[0240] 本發(fā)明的帶保持部的玻璃基板、玻璃基板的熱處理方法、以及玻璃基板支承單元 例如能夠用于，例如，以液晶顯示器、等離子顯示器、以及有機EL等為代表的平板顯示器、 太陽能電池板等中使用的矩形平板狀的玻璃基板的熱處理。
[0241] 附圖標記說明
[0242] 1玻璃基板
[0243] 10a邊緣部（上側(cè)邊緣部）
[0244] 11保持部
[0245] 201玻璃基板
[0246] 210a邊緣部（上側(cè)邊緣部）
[0247] 211保持部
[0248]301玻璃基板
[0249] 310a邊緣部（上側(cè)邊緣部）
[0250] 311保持部
[0251] 401玻璃基板
[0252] 410a邊緣部（上側(cè)邊緣部）
[0253] 410c邊緣部（下側(cè)邊緣部）
[0254] 411保持部
[0255] 501玻璃基板
[0256] 510d邊緣部（右側(cè)邊緣部）
[0257] 510e邊緣部（左側(cè)邊緣部）
[0258] 511保持部
[0259] 601玻璃基板
[0260] 610a邊緣部（上側(cè)邊緣部）
[0261] 610c邊緣部（下側(cè)邊緣部）
[0262] 610d邊緣部（右側(cè)邊緣部）
[0263] 610e邊緣部（左側(cè)邊緣部）
[0264] 611保持部
【主權項】
1. 一種玻璃基板的熱處理方法，其是對矩形平板狀的玻璃基板實施熱處理時的玻璃基 板的熱處理方法，其特征在于， 在玻璃基板的邊緣部形成板厚比其他的區(qū)域厚的保持部， 在借助該保持部對所述玻璃基板進行保持的狀態(tài)下，對所述玻璃基板實施熱處理， 在該熱處理結(jié)束后，將包括所述保持部在內(nèi)的規(guī)定的區(qū)域從所述玻璃基板去除。2. 根據(jù)權利要求1所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述保持部通過在所述玻璃基板上粘貼帶狀的平板玻璃而形成， 所述玻璃基板與所述平板玻璃直接面接觸。3. 根據(jù)權利要求2所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述保持部以從所述玻璃基板向外部伸出的方式形成。4. 根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述玻璃基板通過夾持所述保持部而被保持。5. 根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述玻璃基板通過卡掛所述保持部而被保持。6. 根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述玻璃基板以懸吊的狀態(tài)被保持。7. 根據(jù)權利要求6所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 具備多個所述玻璃基板， 多個所述玻璃基板沿著與所述玻璃基板的板面正交的方向排列設置成一直線狀。8. 根據(jù)權利要求6或7所述的玻璃基板的熱處理方法，其特征在于， 所述玻璃基板的下端附近配置于沿著與所述玻璃基板的板面正交的方向排列設置的 一對引導構件的間隙中。9. 一種帶保持部的玻璃基板，其特征在于，具備： 矩形平板狀的玻璃基板；以及 保持部，其形成在該玻璃基板的邊緣部，且板厚比其他的區(qū)域厚，并且在對所述玻璃基 板進行熱處理時被保持。10. 根據(jù)權利要求9所述的帶保持部的玻璃基板，其特征在于， 所述保持部通過在所述玻璃基板上粘貼帶狀的平板玻璃而形成， 所述玻璃基板與所述平板玻璃直接面接觸。11. 根據(jù)權利要求9或10所述的帶保持部的玻璃基板，其特征在于， 所述保持部形成于所述玻璃基板的一邊的邊緣部。12. 根據(jù)權利要求11所述的帶保持部的玻璃基板，其特征在于， 所述保持部以從所述玻璃基板向外部伸出的方式形成。13. 根據(jù)權利要求10至12中任一項所述的帶保持部的玻璃基板，其特征在于， 所述玻璃基板與所述平板玻璃由同一材質(zhì)形成。14. 一種玻璃基板支承單元，其特征在于，具備： 權利要求9至13中任一項所述的玻璃基板；以及 保持夾具，其具有夾持機構部，通過利用該夾持機構部夾持所述保持部、或者將所述保 持部卡掛于該夾持機構部而保持所述玻璃基板。15.根據(jù)權利要求14所述的玻璃基板支承單元，其特征在于， 所述保持部形成于所述玻璃基板的對置的兩邊的邊緣部、或者全部四邊的邊緣部， 借助所述保持部，所述玻璃基板以縱向姿態(tài)或者平放姿態(tài)被保持。
【專利摘要】本發(fā)明提供玻璃基板、玻璃基板的熱處理方法、以及玻璃基板支承單元，其在對矩形平板狀的玻璃基板實施熱處理時，能夠在不施加多余的應力的情況下支承玻璃基板，從而能夠有效地防止玻璃基板產(chǎn)生變形、歪曲、損傷等問題。在玻璃基板(1)的邊緣部(10a)形成有板厚比其他的區(qū)域厚的保持部(11)，在借助保持部(11)對玻璃基板(1)進行保持的狀態(tài)下，對玻璃基板(1)實施熱處理，在熱處理結(jié)束后，將包括保持部(11)在內(nèi)的規(guī)定的區(qū)域從玻璃基板(1)去除。
【IPC分類】H01L21/683, C03B25/087, C03B35/20
【公開號】CN105121368
【申請?zhí)枴緾N201480020611
【發(fā)明人】寺西妥夫, 梅村博通, 稻山尚利
【申請人】日本電氣硝子株式會社
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2014年4月8日
【公告號】WO2014168149A1